JPS6351533B2 - - Google Patents

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JPS6351533B2
JPS6351533B2 JP2016882A JP2016882A JPS6351533B2 JP S6351533 B2 JPS6351533 B2 JP S6351533B2 JP 2016882 A JP2016882 A JP 2016882A JP 2016882 A JP2016882 A JP 2016882A JP S6351533 B2 JPS6351533 B2 JP S6351533B2
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JP
Japan
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film
plastic film
vapor
deposited
metal
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JP2016882A
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Susumu Nagai
Takamasa Ibaraki
Setsuo Toyoshima
Hisatoshi Kamotani
Tsuneo Terajima
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Honshu Paper Co Ltd
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Honshu Paper Co Ltd
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  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明は金属化プラスチツクフイルム、特に捲
回コンデンサ用に適した金属化プラスチツクフイ
ルムの製造方法に関する。 本発明者等は、最近平滑な表面を有するプラス
チツクフイルム製の担持基材の一面に適当な蒸着
手段により金属蒸着膜を形成し、一方で別のプラ
スチツクフイルムの片面もしくは両面を電気的コ
ロナ放電処理に付して活性化させ、次いでこれら
2者を金属蒸着膜とコロナ放電処理面とが相接す
るように、接着剤を介在させることなしに、熱と
圧力とを加えることにより接着し、得られる接着
物から前記担持基材を剥離して該金属蒸着膜を転
写することを特徴とする新規な金属化プラスチツ
クフイルムの製造方法を開発した。 この方法により得られる金属化プラスチツクフ
イルムをコンデンサの製造に使用した場合、高い
耐電圧性を有し、かつ従来の接着剤を使用する転
写法により製造された金属化プラスチツクフイル
ムでは達成し得なかつたコンパクトなコンデンサ
が得られることがわかつた。しかしながら、この
ようにして作られる金属化プラスチツクフイルム
をそのままコンデンサの製造において直接使用す
るには問題があり、更に改良の必要がある。 一般に、金属化プラスチツクフイルムを捲回し
て得られる金属化プラスチツクフイルムコンデン
サの場合、使用される金属化プラスチツクフイル
ムの蒸着金属膜面の一方の端に未金属化部分を設
け、二層の金属化プラスチツクフイルムを、その
未金属化部分が相対するように捲回してコンデン
サ素子を得ている。更に、このコンデンサ素子の
両端面部に溶融金属を吹付けた後に、リード線を
取付けて金属化プラスチツクフイルムコンデンサ
が得られる。この場合、前記未金属化部分は対向
電極間の絶縁性を保証するために設けられるもの
であつて、コンデンサ用の金属化プラスチツクフ
イルムにおいては不可欠のものである。 従つて、前記の如き電気的コロナ放電処理を利
用した、接着剤を使用しない、転写法により得ら
れる金属化プラスチツクフイルムにおいても、コ
ンデンサ用に使用する場合には前記のような未金
属化部分を設ける必要があり、そうすることによ
りコンデンサ用金属化プラスチツクフイルムとし
て有利なものとなる。 従来直接蒸着によつて金属化プラスチツクフイ
ルムを得る際の手段として知られている未金属化
部分を設ける方法は、金属を基材上に蒸着する際
に、未蒸着部分を予めテープ、オイル等でマスキ
ングした後金属蒸着処理することからなつてい
る。この様な従来技術によつて得られる、未蒸着
部分を有する金属膜担持基材を使用して、結果的
に本発明の方法によると同様の未金属化部分を有
する金属化プラスチツクフイルムを得ることも無
論可能である。 しかしながら、かかる従来法ではテープ、オイ
ル等の交換のために長時間を要し、必ずしも満足
すべき方法とはいえない。 かかる状況に鑑みて、本発明者等は金属化プラ
スチツクフイルムに未金属化部分を簡単かつ短時
間で与える方法を開発すべく種々試みた結果本発
明を完成するに至つた。 そこで、本発明の目的はコンデンサ用に適した
金属化プラスチツクフイルムの製造方法を提供す
ることにある。 本発明の他の目的は、簡単かつ短時間で金属化
プラスチツクフイルムに未金属化部分を設ける方
法を提供することにある。 本発明の更に別の目的は、前記の如き金属化プ
ラスチツクフイルムから構成された高い耐電圧特
性並びに長い耐用寿命を有するコンデンサを提供
することにある。 本発明の前記並びにその他の目的および特徴は
以下の記載から明らかとなろう。 即ち、本発明は金属膜担持基材としての、平滑
表面を有するプラスチツクフイルムの一面に金属
蒸着膜を形成し、一方他のプラスチツクフイルム
の片面もしくは両面を電気的コロナ放電処理して
活性化させ、かくして得られる2者を、蒸着膜と
活性化フイルム面とが相接するように、熱および
圧力を加えて接着剤を介さずに接着し、次いでか
くして得られる接着物から前記担持基材を剥離し
て、蒸着金属膜を転写する工程を含む金属化プラ
スチツクフイルムの製法において、前記蒸着金属
膜と活性化フイルム面とを接着させる際に、これ
ら両者の接合部分に圧力差を与えることにより、
蒸着金属膜の一部を該活性化フイルム上に転写さ
せずに金属非転写部分を形成することを特徴とす
る、金属化プラスチツクフイルムの製造方法に係
る。 かくして、本発明によれば簡単かつ短時間で、
即ちテープ、オイル等によるマスキング処理、も
しくはこれらの除去操作を必要とすることなく、
コンデンサ製造用に適した金属化プラスチツクフ
イルムを製造し得る。 本発明の方法においては、まず金属蒸着膜を担
持用基材上に形成するがこれは従来公知の蒸着法
を利用することができ、蒸着金属としては電導性
のよいアルミニウム、亜鉛、金、銀、銅、クロ
ム、ニツケル等を使用することができる。また、
担持用基材としてはポリプロピレン、ポリエチレ
ン等を使用することができる。 コロナ放電処理も公知技術に従つて行うことが
でき、コロナ放電処理すべき誘電性基材として
は、この処理によつて活性化し得るものであれば
いかなるプラスチツクフイルムまたはシートであ
つてもよい。特にポリエチレン、ポリプロピレン
等の無極性高分子材料のフイルムまたはシート、
またはポリエチレンテレフタレート、ポリフツ化
ビニリデン等の極性高分子材料のフイルムまたは
シートが有利である。 上記の如くして形成される金属蒸着膜とコロナ
放電処理された誘電性基材の処理面とはプレスロ
ールまたはプレス板等を使用して熱と圧力とを加
えることにより、接着剤を介在させることなしに
所定の接着強度で、均一な接着面を有するように
接着される。 ここで、前記2者の接着に際して、温度条件と
圧力条件とは反比例関係にある。即ち、同じ接着
強度を達成するためには低温度下では高い圧力が
必要とされ、逆に高温度下では低い圧力ですむ。
従つて、これらは所定の接着強度に応じて適宜選
択される。 接着後、担持用基材は即座に剥離することがで
きる。 本発明の方法において、蒸着金属膜と活性化フ
イルム面とを接着する際に、両者の接合部分に圧
力差を与えるための具体的な態様として以下のも
のを例示することができる。 (a) 加圧ロール表面に所定の形状の溝を形成す
る: (b) 前記溝部分における蒸着金属面と活性化フイ
ルム面との間に風圧を加える。 以下、その製造方法の一例を添付図面に基いて
説明する。第1図に示すごとく、基材のプラスチ
ツクフイルムAに電気的コロナ放電処理Cを行
う。次に表面が平滑なプラスチツクフイルムの担
持基材の一面に蒸着手段で蒸着金属膜を全面に均
一に形成した金属化フイルムBの金属面と、上記
コロナ処理されたプラスチツクフイルムAのコロ
ナ処理面とをプレスロールDによつて接合する。
この場合のプレスロールには、第2図および第3
図に示すようにプレスの圧力差を得るために必要
とされる未金属部分と同じ模様の溝がその表面に
設けられている。2種のフイルムが接合する際、
この溝部分が殆ど非加圧状態となるため、溝部分
の個所だけが金属面とコロナ処理されたプラスチ
ツクフイルム面の接着条件を満足し得ず、剥離E
後、担持基材上には未転写部分として溝の形に沿
つた金属膜面が残り、基板のプラスチツクフイル
ムの面上には未金属膜部分として、必要とされる
未金属膜部分の模様が得られる。 この方法によれば、複雑な未金属膜部分の模様
も、プレスロールに必要とされる模様を溝で描く
ことによつて簡単にかつ連続的に得られることも
特徴である。 また、担持基材の蒸着金属面と基材のコロナ処
理されたプラスチツクフイルム面との間に強い接
着強度を得るために基材のプラスチツクフイルム
面に強い電気的コロナ処理を施したり、担持基材
と基材を接合する際に強い圧力または高い温度条
件下で行う場合がある。このような条件下では溝
部の無圧力部分でも担持基材と基材が密着するだ
けで接着条件を満足し得る場合がある。このよう
な条件下で接合する場合には第4図に示すように
溝部分の担持基材の金属面と基材のプラスチツク
フイルムのコロナ処理面との間に風圧Fを加える
ことにより、金属面とプラスチツクフイルムのコ
ロナ処理面とが密着することがなくなり、接着条
件を満足しなくなるため基材のプラスチツクフイ
ルムの金属膜転写面に、必要とする未金属膜部分
が得られる。 以下本発明について更に具体的に説明する。 実施例 1 厚さ10μmのポリプロピレンフイルムを使用し
て、その表面にコロナ放電処理強度1.5W・s/
cm2で電気的コロナ放電を行つた面と、コロナ放電
処理を施さない担持基材の厚さ20μmのポリプロ
ピレンフイルム上に常法に従つて蒸着したアルミ
ニウム金属膜の面とを、本発明第2図の溝付ロー
ルによつて接着した。この時のロール温度は100
℃、貼合圧力は18Kg/cmであつた。その後、剥離
することにより転写実験を行つた。 その結果、溝の巾と同一の未転写部分が線状で
転写された、金属化ポリプロピレンフイルムが得
られた。 実施例 2 厚さ5μmのポリエチレンテレフタレートフイ
ルムを使用して実施例1と同様の溝付ロールを使
用して転写実験を行つた。担持基材にコロナ処理
強度を施さない厚さ20μmのポリプロピレンフイ
ルムを使用した。 コロナ処理強度0.5W・s/cm2、貼合ロールの
温度120℃、圧力18Kg/cmであつた。 その結果、溝の巾と同一の未転写部分が線状で
転写された、金属化ポリエチレンテレフタレート
フイルムが得られた。 実施例 3 厚さ10μmのポリプロピレン・フイルムを使用
して、その表面にコロナ処理強度1.5W・s/cm2
で電気的コロナ放電を行つた面と、コロナ放電処
理を施さない担持基材の厚さ20μmのポリプロピ
レンフイルム上に常法に従つて蒸着したアルミニ
ウム金属膜の面とを、本発明第3図の模様付ロー
ルによつて接着した。この時のロール温度は100
℃、貼合圧力は48Kg/cmであつた。その後、剥離
することにより転写実験を行つた。 その結果、模様付ロールの凸部と同一模様の蒸
着金属膜がコロナ放電処理されたポリプロピレン
フイルムに転写された。 実施例 4 厚さ10μmのポリプロピレンフイルムを使用し
て、その表面にコロナ処理強度2.0W・s/cm2
電気的コロナ放電を行つた面と、コロナ放電処理
を施さない担持基材の厚さ20μmポリプロピレン
フイルム上に常法に従つて蒸着したアルミニウム
金属膜の面とを、本発明第2図のロールによつて
接着した。その際第4図のように溝付ロールの溝
部にエアーを吹付けながら接着した。エアーの圧
力は第1表に示すように0〜3.0Kg/cm2のはんい
で変化させた。この時のロール温度は120℃、貼
合圧力は18Kg/cmであつた。その後、剥離するこ
とにより、転写実験を行つた。 実験結果を第1表に示す。上記の条件で行つた
転写されたNo.2、3、4の金属化ポリプロピレン
フイルムでは、溝の巾と同一の未転写部分が線状
で得られた。
The present invention relates to a method for producing a metallized plastic film, particularly a metallized plastic film suitable for use in wound capacitors. The present inventors recently discovered that a metal evaporated film is formed on one side of a support substrate made of a plastic film having a smooth surface by an appropriate evaporation method, while one or both sides of another plastic film is subjected to electrical corona discharge treatment. The metal vapor deposited film and the corona discharge treated surface are then bonded by applying heat and pressure without intervening an adhesive so that the metal vapor deposited film and the corona discharge treated surface come into contact with each other. We have developed a novel method for producing a metallized plastic film, which is characterized in that the supporting base material is peeled off from the bonded material and the metal vapor-deposited film is transferred. When the metallized plastic film obtained by this method is used in the manufacture of capacitors, it has high voltage resistance, which cannot be achieved with metallized plastic films manufactured by conventional transfer methods using adhesives. It was found that a compact capacitor can be obtained. However, there are problems in directly using the metallized plastic film produced in this way in the manufacture of capacitors, and further improvements are needed. Generally, in the case of a metallized plastic film capacitor obtained by winding a metallized plastic film, an unmetallized portion is provided at one end of the vapor-deposited metal film surface of the metallized plastic film used, and a two-layer metallized plastic film is formed. A capacitor element is obtained by winding the film so that the unmetallized portions thereof face each other. Further, after spraying molten metal onto both end faces of this capacitor element, lead wires are attached to obtain a metallized plastic film capacitor. In this case, the unmetallized portion is provided to ensure insulation between opposing electrodes, and is essential in metallized plastic films for capacitors. Therefore, even in a metallized plastic film obtained by a transfer method using an electric corona discharge treatment as described above without using an adhesive, the unmetallized portion as described above must be removed when used for a capacitor. This makes it advantageous as a metallized plastic film for capacitors. The method of providing an unmetallized part, which is conventionally known as a means of obtaining a metallized plastic film by direct vapor deposition, is that when metal is vapor-deposited onto a base material, the unmetallized part is preliminarily covered with tape, oil, etc. The process consists of masking and then metal vapor deposition. By using a metal film-supporting substrate having an unmetallized portion obtained by such a conventional technique, as a result, a metallized plastic film having a similar unmetallized portion can be obtained by the method of the present invention. Of course it is also possible. However, this conventional method requires a long time to replace the tape, oil, etc., and is not necessarily a satisfactory method. In view of this situation, the present inventors have completed various attempts to develop a method for providing unmetallized portions to a metallized plastic film simply and in a short time, and as a result have completed the present invention. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a metallized plastic film suitable for use in capacitors. Another object of the invention is to provide a simple and quick method for providing unmetallized areas on a metallized plastic film. A further object of the present invention is to provide a capacitor constructed from a metallized plastic film as described above, which has high withstand voltage characteristics and a long service life. These and other objects and features of the invention will become apparent from the following description. That is, the present invention forms a metal vapor deposited film on one side of a plastic film having a smooth surface as a metal film supporting base material, and activates one or both sides of the other plastic film by electrical corona discharge treatment. The two thus obtained are adhered by applying heat and pressure without using an adhesive so that the vapor deposited film and the activated film surface come into contact with each other, and then the supporting base material is peeled from the thus obtained adhesive. In a method for manufacturing a metallized plastic film including a step of transferring a vapor-deposited metal film, when adhering the vapor-deposited metal film and the activation film surface, a pressure difference is applied to the bonded portion between the two,
The present invention relates to a method for manufacturing a metallized plastic film, characterized in that a part of the vapor-deposited metal film is not transferred onto the activated film to form a non-metal transfer portion. Thus, according to the present invention, it is possible to easily and quickly
In other words, there is no need for masking treatment with tape, oil, etc., or removal operations of these.
Metallized plastic films suitable for capacitor manufacturing can be produced. In the method of the present invention, a metal vapor deposition film is first formed on a supporting substrate, and this can be done using a conventionally known vapor deposition method. , copper, chromium, nickel, etc. can be used. Also,
Polypropylene, polyethylene, etc. can be used as the supporting base material. Corona discharge treatment can also be carried out according to known techniques, and the dielectric substrate to be corona discharge treated can be any plastic film or sheet that can be activated by this treatment. In particular, films or sheets of non-polar polymeric materials such as polyethylene and polypropylene,
Alternatively, films or sheets of polar polymeric materials such as polyethylene terephthalate and polyvinylidene fluoride are advantageous. The metal vapor deposited film formed as described above and the treated surface of the dielectric substrate subjected to corona discharge treatment are treated by applying heat and pressure using a press roll or a press plate, etc., to interpose an adhesive. The adhesive is bonded with a predetermined bonding strength and a uniform bonding surface. Here, when adhering the two, the temperature condition and the pressure condition are in an inversely proportional relationship. That is, higher pressure is required at lower temperatures to achieve the same adhesive strength, whereas lower pressure is required at higher temperatures.
Therefore, these are appropriately selected depending on the predetermined adhesive strength. After adhesion, the carrier substrate can be immediately peeled off. In the method of the present invention, when bonding the vapor-deposited metal film and the activated film surface, the following can be exemplified as a specific embodiment for applying a pressure difference to the bonded portion between the two. (a) Forming grooves of a predetermined shape on the surface of the pressure roll; (b) Applying wind pressure between the vapor-deposited metal surface and the activated film surface in the groove portion. An example of the manufacturing method will be described below with reference to the accompanying drawings. As shown in FIG. 1, a plastic film A as a base material is subjected to an electrical corona discharge treatment C. Next, the metal surface of the metallized film B, in which a vapor-deposited metal film is uniformly formed over the entire surface by a vapor deposition method on one surface of a supporting base material of a plastic film having a smooth surface, and the corona-treated surface of the plastic film A, which has been subjected to the corona treatment. are joined by press roll D.
In this case, the press rolls are shown in Figures 2 and 3.
As shown in the figure, grooves with the same pattern as the unmetallic part required to obtain the pressure difference of the press are provided on its surface. When two types of films are joined,
Since this groove part is almost not pressurized, only the groove part cannot satisfy the adhesion conditions between the metal surface and the corona-treated plastic film surface, resulting in peeling.
After that, a metal film surface along the shape of the groove remains as an untransferred part on the supporting substrate, and a pattern of the required non-metal film part is left on the surface of the plastic film of the substrate as an untransferred part. can get. This method is also characterized in that even complex patterns on non-metallic film parts can be easily and continuously obtained by drawing the required pattern on the press roll with grooves. In addition, in order to obtain strong adhesive strength between the vapor-deposited metal surface of the supporting substrate and the corona-treated plastic film surface of the substrate, strong electrical corona treatment is applied to the plastic film surface of the substrate, and When bonding the base material and the base material, it may be done under strong pressure or high temperature conditions. Under such conditions, the adhesion condition may be satisfied simply by the supporting substrate and the substrate being in close contact even in the pressure-free portion of the groove. When joining under such conditions, as shown in Figure 4, by applying wind pressure F between the metal surface of the supporting base material in the groove portion and the corona-treated surface of the plastic film of the base material, the metal surface is Since the corona-treated surface of the plastic film and the corona-treated surface of the plastic film are no longer in close contact with each other and the adhesion conditions are no longer satisfied, the required non-metallic film portion can be obtained on the metal film transfer surface of the plastic film as the base material. The present invention will be explained in more detail below. Example 1 A polypropylene film with a thickness of 10 μm was used, and its surface was subjected to corona discharge treatment with an intensity of 1.5 W・s/
cm 2 and the surface of an aluminum metal film deposited in accordance with a conventional method on a 20 μm thick polypropylene film as a supporting substrate without corona discharge treatment. It was adhered using the grooved roll shown in the figure. The roll temperature at this time is 100
℃, and the lamination pressure was 18 kg/cm. Thereafter, a transfer experiment was performed by peeling it off. As a result, a metallized polypropylene film was obtained in which an untransferred portion having the same width as the groove was transferred in a linear form. Example 2 A transfer experiment was conducted using a polyethylene terephthalate film having a thickness of 5 μm and using the same grooved roll as in Example 1. A 20 μm thick polypropylene film that was not subjected to corona treatment was used as a support substrate. The corona treatment strength was 0.5 W·s/cm 2 , the temperature of the laminating roll was 120° C., and the pressure was 18 Kg/cm. As a result, a metallized polyethylene terephthalate film was obtained in which the untransferred portions having the same width as the grooves were transferred in a linear form. Example 3 A polypropylene film with a thickness of 10 μm was used, and its surface was corona treated with an intensity of 1.5 W・s/cm 2
The surface on which electrical corona discharge was applied and the surface of an aluminum metal film deposited in accordance with a conventional method on a 20 μm thick polypropylene film as a supporting base material without corona discharge treatment were as shown in FIG. 3 of the present invention. It was attached using a patterned roll. The roll temperature at this time is 100
℃, and the lamination pressure was 48 kg/cm. Thereafter, a transfer experiment was performed by peeling it off. As a result, a vapor-deposited metal film having the same pattern as the convex portions of the patterned roll was transferred to the corona discharge treated polypropylene film. Example 4 Using a polypropylene film with a thickness of 10 μm, the surface was subjected to electrical corona discharge at a corona treatment intensity of 2.0 W・s/cm 2 and the thickness of the supporting base material that was not subjected to corona discharge treatment. A 20 μm polypropylene film was bonded to the surface of an aluminum metal film deposited in accordance with a conventional method using a roll shown in FIG. 2 of the present invention. At that time, the adhesive was bonded while blowing air into the grooves of the grooved roll as shown in FIG. The air pressure was varied from 0 to 3.0 kg/cm 2 as shown in Table 1. At this time, the roll temperature was 120°C and the lamination pressure was 18 kg/cm. Thereafter, a transfer experiment was performed by peeling it off. The experimental results are shown in Table 1. In the metallized polypropylene films No. 2, 3, and 4 transferred under the above conditions, untransferred portions having the same width as the grooves were obtained in the form of a line.

【表】 ×……悪い
○……良好
[Table] ×……Bad
○...Good

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の方法の1例を模式的に示す図
であり、第2図および第3図は第1図のプレスロ
ール部分を拡大して示した基材上に金属の未転写
部分を形成する様子を示す図であり、第4図は本
発明の方法の他の態様のプレスロール部を示す模
式図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing an example of the method of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are enlarged views of the press roll portion in FIG. FIG. 4 is a schematic diagram showing a press roll section of another embodiment of the method of the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 (i) 担持基材としての、平滑表面を有するプ
ラスチツクフイルムの一面に金属蒸着膜を形成
し、 (ii) 一方、他のプラスチツクフイルムの片面もし
くは両面を電気的コロナ放電処理して活性化
し、 (iii) 工程(i)および(ii)の両者を、蒸着金属膜と活性
化されたフイルム面とが相接するように、熱お
よび圧力を加えて接着し、 (iv) 次いで、得られる接着物から前記担持基材を
剥離して、該蒸着金属膜を転写する、 工程を含む金属化プラスチツクフイルムの製法に
おいて、前記蒸着金属膜と活性化フイルム面とを
接着させる際に、これら両者の接合部分に圧力差
を与えることにより、該蒸着金属膜の一部を該活
性化フイルム面上に転写させずに、金属未転写部
分を形成することを特徴とする、前記金属化プラ
スチツクフイルムの製造方法。 2 前記圧力差を、加圧ロール表面に所定の形状
の溝を形成することにより与えることを特徴とす
る、特許請求の範囲第1項記載の方法。 3 更に、前記溝部分における前記蒸着膜と活性
化フイルム面との間に風圧を加えることを特徴と
する、特許請求の範囲第2項記載の方法。
[Claims] 1 (i) A metal vapor deposited film is formed on one side of a plastic film having a smooth surface as a supporting base material, and (ii) one or both sides of the other plastic film is subjected to electric corona discharge. (iii) bonding both steps (i) and (ii) by applying heat and pressure such that the deposited metal film and the activated film surface are in contact with each other; (iv) ) Next, in the method for manufacturing a metallized plastic film, which includes the step of peeling off the supporting base material from the obtained adhesive and transferring the vapor-deposited metal film, when adhering the vapor-deposited metal film and the activated film surface, The above-mentioned method is characterized in that by applying a pressure difference to the joint portion between the two, a part of the vapor-deposited metal film is not transferred onto the surface of the activated film, and a non-transferred portion of the metal is formed. A method for producing a chemically modified plastic film. 2. The method according to claim 1, characterized in that the pressure difference is provided by forming grooves of a predetermined shape on the surface of the pressure roll. 3. The method according to claim 2, further comprising applying wind pressure between the vapor deposited film and the activated film surface in the groove portion.
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