JPS6347571U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6347571U JPS6347571U JP14051386U JP14051386U JPS6347571U JP S6347571 U JPS6347571 U JP S6347571U JP 14051386 U JP14051386 U JP 14051386U JP 14051386 U JP14051386 U JP 14051386U JP S6347571 U JPS6347571 U JP S6347571U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- manipulator
- vacuum
- utility
- model registration
- magnetic pieces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案によるマニピユレータの一実施
例を示す断面図、第２図はそのマグネツトピース
の配置を示す斜視図、第３図は従来の直線導入用
マニピユレータの断面図、第４図は従来の直線お
よび回転運動が導入可能なマニピユレータの断面
図である。 １……真空容器、２……フランジ、３……すべ
り軸受、４……パイプ、５……真空隔壁、６，６
′……マグネツトピース、７……ホルダー、８…
…すべり軸受。
例を示す断面図、第２図はそのマグネツトピース
の配置を示す斜視図、第３図は従来の直線導入用
マニピユレータの断面図、第４図は従来の直線お
よび回転運動が導入可能なマニピユレータの断面
図である。 １……真空容器、２……フランジ、３……すべ
り軸受、４……パイプ、５……真空隔壁、６，６
′……マグネツトピース、７……ホルダー、８…
…すべり軸受。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空隔壁を介して、大気中から真空中に直線
および回転運動を導入するマニピユレータにおい
て、真空隔壁の内外に磁気結合が可能にマグネツ
トピースを配置したことを特徴とするマニピユレ
ータ。 ２ マグネツトピースの数を変更可能とした実用
新案登録請求の範囲第１項記載のマニピユレータ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14051386U JPS6347571U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14051386U JPS6347571U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6347571U true JPS6347571U (ja) | 1988-03-31 |
Family
ID=31047428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14051386U Pending JPS6347571U (ja) | 1986-09-16 | 1986-09-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6347571U (ja) |
-
1986
- 1986-09-16 JP JP14051386U patent/JPS6347571U/ja active Pending