JPS6345547A - 共振器内を通過する誘電体の内部に存在する導電性異物のマイクロ波による検出方法 - Google Patents

共振器内を通過する誘電体の内部に存在する導電性異物のマイクロ波による検出方法

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JPS6345547A
JPS6345547A JP61190086A JP19008686A JPS6345547A JP S6345547 A JPS6345547 A JP S6345547A JP 61190086 A JP61190086 A JP 61190086A JP 19008686 A JP19008686 A JP 19008686A JP S6345547 A JPS6345547 A JP S6345547A
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JP
Japan
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foreign matter
sample
resonance
resonator
electric field
Prior art date
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Pending
Application number
JP61190086A
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English (en)
Inventor
Kibatsu Shinohara
己抜 篠原
Hideo Yoshigami
由上 秀男
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Nihon Koshuha Co Ltd
Original Assignee
Nihon Koshuha Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、発明の目的 〔産業上の利用分野〕 最近電子機器の使用周波数がますます上昇し、導体間隔
がミクロン程度を下廻る勢いとなり、誘電体内の微細な
金属片の存在が事故の基となる場合が多くなって来た。
従って、微小な導電性異物を高感度に検出できる方法が
必要となっている。
本発明は、誘電体繊維または幅の狭い誘電体布や誘電体
板内に含まれる異物を、高感度に検出することを目的と
する。
〔従来の技術〕
同種の目的に対し、公開特許公報昭59−214748
号および同昭80−87844号の発明が公開されてい
るが、これらはガラス繊維またはその製品に高電圧を印
加し、異物による放電現象を検出するものである。また
マイクロ波を使用するものに公開特許公報昭80−20
138号があるが、入射波と通過波もしくは反射波との
間の信号位相差の変化を検出する方法である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従って前者の従来方法では高電圧・大電力を使用するた
めに、安全性に問題を生じ、装置も大形となる欠点があ
る。また後者はマイクロ波信号間の位相差を検出するた
めに、検出感度が低く誤差が大となる。特に微小異物を
対象として、使用周波数を高める程、この欠点が著しく
なる。
本発明は上記諸問題を解消した誘電体内の微小異物の検
出方法を提供することを目的とする。
口1発明の構成 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、連続波または周波数掃引を行ったマイクロ波
信号を、共振器または帯域濾波器等に印加し、その発生
電界に沿う如く被測定誘電体を通過させ、正常な場合と
異物を含有する場合との相対的電磁気的変化により、異
物の存在を検出することを特徴とするマイクロ波による
誘電体内の異物検出方法である。
なお、上記の電磁気的変化とは、入射波信号と通過波信
号または反射波信号から検出される共振周波数、インピ
ーダンス、挿入損失1反射波電力または通過電力の変化
等である。
〔作 用〕
共振器等の共振電磁界の電界に沿って誘電体を移動させ
ると、正常な試料と異物を含む試料とでは電磁気的変化
を生じるから、その差を、共振周波数や反射波電力、ま
たは挿入損失もしくはインピーダンスの変化として検出
し、異物の含有を認知できる。またその検出感度を向上
させ連続的な無人監視を可能とするためには適宜なコン
ピュータ処理も有効となる。
また試料の結合部としては帯域認波器を含む各種共振器
を使用でき、試料の誘電率、金属性異物の大きさ等によ
って、使用周波数帯や、共振時のQを適宜選択でき、高
分解簡の検出が可能となる。
信号発生源としては、単一周波数でもよいが、福引周波
数源を使用すれば、共振周波数やその共振振幅の変化と
して検出が容易になる。
〔実施例〕
第1図は円筒形空洞共振農工を使用する例で、その胴壁
に孔2I ・22を穿ち、これに試料3を通す、マイク
ロ波掃引信号は入力端子4から印加され、共振姿態は、
試料が電界に沿うように位置付けされる。共振出力は、
出力端子5から取り出され、その共振周波数や共振振幅
の変化は、オシロスコープ面上で監視することもできる
が、簡単なコンピュータ回路を使用して、連続的に無人
監視することも容易である。
また第2図は、導波管形帯域濾波器6を使用した例で、
その広辺の中央部に挿入孔2I ・22を設け、これに
試料を貫通させる。il!波器6の終端は、無反射終端
器7を接続し、入射波と反射波との間の干渉からインピ
ーダンスや反射量の変化を読みとり異物の検知を行って
もよいが、濾波器終端に電力検出器を接続し、入射波と
通過波のレベル差即ち挿入損失の変化または通過電力の
レベル差から、異物の検出を行ってもよい、この例では
固定周波数源が使用でき、簡単なコンピュータ回路を使
用して連続無人監視も同様に容易である。
第2図の例で35 GHzの帯域濾波器に無反射終端器
を接続した。この濾波器の中央に、直径5〜7ミクロン
のガラスm維を通し、これの中心に直径2.5ミクロン
長さ3mm程度の金属片を挿入した所、反射量が正常時
より24〜30dB増加し、容易に異物混入を識別でき
た。また使用周波数を70 GHzに選ぶことによって
、直径2.5ミクロン長さ2腸■程度の異物混入識別が
容易であった。
ハ1発明の効果 本発明は上述のように、共振器の電界に沿って試料を通
過させるもので、使用周波数を高めることによって、異
物検出感度を向上させることができ、簡単に無人連続監
視が可廃となる特徴を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の円筒形空洞共振器を使用した一例、第
2図は導波管形帯域濾波器を使用した本発明の一例を示
す。 1は円筒形空洞共振器、2、・22は試料挿入孔、3は
試料、4はマイクロ波信号入力端、5はマイクロ波信号
出力端、6は導波管形帯域濾波器、7は無反射終端器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)連続波または周波数掃引を行ったマイクロ波信号
    を、共振器または同様の器内に導き、その電界方向に誘
    電体を移行させて、入射波と通過波もしくは反射波から
    検出する共振周波数、インピーダンス、挿入損失または
    通過電力もしくは反射電力の相対的変化から、誘電体内
    に存在する導電性異物を検出するマイクロ波異物検出方
    法。
JP61190086A 1986-08-13 1986-08-13 共振器内を通過する誘電体の内部に存在する導電性異物のマイクロ波による検出方法 Pending JPS6345547A (ja)

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