JPS6342166U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6342166U JPS6342166U JP13625786U JP13625786U JPS6342166U JP S6342166 U JPS6342166 U JP S6342166U JP 13625786 U JP13625786 U JP 13625786U JP 13625786 U JP13625786 U JP 13625786U JP S6342166 U JPS6342166 U JP S6342166U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- single crystal
- crystal pulling
- pulling device
- view
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は単結晶引上げ装置の下部構造を示す断
面図、第２図はヒーターの斜視図、第３図はヒー
ターに作用する磁界による電磁力を示す斜視図、
第４図はこの考案の実施例を示すヒーター下端外
周の斜視図、第５図は第４図の断面図である。 １…引上炉、２…溶融液、３…ルツボ、４…ヒ
ーター、５…スリツト、６…磁界印加装置、７…
ワイヤ、８…種結晶ホルダ、９…単結晶、１０…
嵌合部、１１…溝、１２…リング。
面図、第２図はヒーターの斜視図、第３図はヒー
ターに作用する磁界による電磁力を示す斜視図、
第４図はこの考案の実施例を示すヒーター下端外
周の斜視図、第５図は第４図の断面図である。 １…引上炉、２…溶融液、３…ルツボ、４…ヒ
ーター、５…スリツト、６…磁界印加装置、７…
ワイヤ、８…種結晶ホルダ、９…単結晶、１０…
嵌合部、１１…溝、１２…リング。
Claims (1)
- 単結晶引上げ装置のヒーター外周端部に非電導
性および耐熱性を有するリングを取付けてなるこ
とを特徴とする単結晶引上げ装置のヒーター変形
防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13625786U JPS6342166U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13625786U JPS6342166U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342166U true JPS6342166U (ja) | 1988-03-19 |
Family
ID=31039197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13625786U Pending JPS6342166U (ja) | 1986-09-05 | 1986-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6342166U (ja) |
-
1986
- 1986-09-05 JP JP13625786U patent/JPS6342166U/ja active Pending