【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea]
＜産業上の利用分野＞
本考案は、半導体集積回路等の製造に用いる高
精度パターン板に用いると好適な容器に関する。
＜従来技術＞
第１図に示すようにフオトマスクやレチクル等
の高精度パターン板１は、透明ガラス基板２の片
面に金属や金属酸化物の薄膜からなる極めて微細
な遮光パターン３が形成されているものと言うこ
とができる。
＜考案が解決しようとする問題点＞
このような高精度パターンは、製造時あるいは
使用時に数度にわたり洗浄と乾燥が繰り返される
ものであるが、特に、透明ガラス基板が通常のソ
ーダライムガラス等のアルカリ金属イオンを含む
ガラスである場合、経時変化により、ガラス表面
に異物（異物の形状として水滴状、結晶状等）が
発生する現象があり、これを取り除くため、さら
に洗浄が必要になることがある。なお、このよう
にして生じた、析出反応生成物の為に、ガラス表
面は白くくもつて見えるようになる。このように
ガラスの界面付近に発生した異物は、接着剤の役
割を果たし塵埃などの外部からの汚れを落としな
くくする原因ともなり、異物そのものが外観状の
欠陥もさるものながら、長期保管にも問題となつ
ている。本現象の原因は、ソーダライムガラス基
板のガラス表面上に水分の残留又は空気中の水分
が吸着され、表面付近のナトリウム等のアルカリ
金属イオンがガラス表面に溶出し、空気中の雰囲
気（塩酸ガス等）を反応して種々のナトリウム塩
（塩化ナトリウム）を生成すると推測されている。
このように本現象は少量の水分さえあればガラス
自身が発生源となる現象である。
又、クオーツ、低膨張ガラス等に見られるよう
なナトリウム等のアルカリ金属イオンを含んでい
ない透明ガラス基板にも、時として異物が発生す
る場合がある。この原因として、洗浄の残渣イオ
ン（ナトリウム等の陽イオン）が透明ガラス基板
表面に残留し、この陽イオンが核となり、上記ソ
ーダライムガラスと同様の反応を経て、異物が発
生すると推測されている。
＜課題を解決する為の手段＞
本考案は、上記したような異物の付着を防止し
て、高精度パターン板の保管に益する容器を案出
したものである。
すなわち、本考案は、吸湿性のある乾燥綿布を
幾重にも折り重ねるか、あるいは多数枚積層して
なる緩衝材を、透水蒸気性の袋体に収納してなる
パツキング材を付属させてなるフオトマスク、レ
チクル等の高精度パターン板用容器である。
＜作用及び実施例＞
本考案の一実施例を示す第２図に基いて以下に
説明する。合成樹脂等からなる容器は、容器本体
５と蓋６からなり、かかる容器は、内容物を見通
せるように多くの場合、透明もしくは半透明の合
成樹脂からなる。容器本体５の内側面７には、高
精度パターン板１を立たせた状態で収納できるよ
うに壁状の凸部８を縦に形成してなり、その底部
９には、高精度パターン板１の底面１０を支える
棚部１１を造作してなる。一方、蓋６の上方に
は、パツキング材１２を装着してなり、この蓋６
を容器本体５にかぶせることで、パツキング材１
２が高精度パターン板１の上面と接して、高精度
パターン板１を上から押えつけ、運搬中の振動等
から高精度パターン板１を守るものである。図に
は示されていないが、厚手のパツキング材１２を
底部９に置き、高精度パターン板１を下方から押
えつけても別にさしつかえない。
第３図に基いて、パツキング材１２についてさ
らに説明すると、緩衝材１３は、充分に乾燥して
吸湿性を有する綿布であつて、多層構造にして厚
さ２〜50mm程度とし、クツシヨン性をもたせたも
のである。一方の袋体１４はその性質として透気
性（水蒸気透過性）を有し、しかもそれ自体に塵
を発生しないことおよび塵を通過しにくいことが
要件となる。このような要件を満たすものとして
は、例えばセロハンフイルム、防塵服用の布地
（クリーンクロス）、編目の細かい合成樹脂繊維不
織布や、樹脂含浸を行なつた和紙等があげられ
る。もちろんこれだけに限定されず、透気性があ
り防塵性が良好なものであれば、使用できる。
袋体１４とするための継ぎ部１５は、加熱融
着、圧着、あるいは接着剤による結合等、袋体１
４に用いる材料に応じて種々の手段を用いること
ができる。
＜考案の効果＞
本考案は、以上のような高精度パターン板用の
容器であり、緩衝性と吸湿性の両方を兼ね備えた
パツキング材を付属させて、高精度パターン板表
面の水滴の付着を防止し、保管性能を向上させた
ものである。
以下の実施例に、従来の吸湿性のないパツキン
グ材を用いた容器と本考案の容器についての試験
結果を示すが、これをもつてしても本考案が優れ
ていることが明らかである。
下記に示す三種のパツキング材を付属させた同
種の容器ａ，ｂ，ｃに対して、ソーダライムガラ
スを透明ガラス基板とするホトマスクを収納し
た。
<Industrial Application Field> The present invention relates to a container suitable for use in a high-precision pattern board used in the manufacture of semiconductor integrated circuits and the like. <Prior art> As shown in FIG. 1, a high-precision pattern plate 1 for a photomask, reticle, etc. has an extremely fine light-shielding pattern 3 made of a thin film of metal or metal oxide formed on one side of a transparent glass substrate 2. It can be said that it is a thing. <Problems to be solved by the invention> Such high-precision patterns are washed and dried several times during manufacturing or use. When glass contains alkali metal ions, there is a phenomenon in which foreign matter (in the form of water droplets, crystals, etc.) is generated on the glass surface due to aging, and further cleaning may be required to remove this. be. Note that the glass surface appears white and dull due to the precipitation reaction product thus produced. Foreign matter generated near the interface of the glass acts as an adhesive and makes it difficult to remove dirt and other external contaminants, and while foreign matter itself causes defects in appearance, it also prevents long-term storage. has also become a problem. The cause of this phenomenon is that moisture remains on the glass surface of the soda lime glass substrate or moisture in the air is adsorbed, and alkali metal ions such as sodium near the surface are eluted to the glass surface, causing the atmosphere in the air (hydrochloric acid gas etc.) to produce various sodium salts (sodium chloride).
In this way, this phenomenon is a phenomenon in which the glass itself is the source of the phenomenon, as long as there is a small amount of moisture. In addition, foreign matter may sometimes be generated even in transparent glass substrates that do not contain alkali metal ions such as sodium, such as those found in quartz, low expansion glass, and the like. It is speculated that the cause of this is that residual ions (cations such as sodium) from cleaning remain on the surface of the transparent glass substrate, and these cations become nuclei, which undergo a reaction similar to that of the soda lime glass mentioned above and generate foreign matter. . <Means for Solving the Problems> The present invention has devised a container that prevents the adhesion of foreign substances as described above and is useful for storing high-precision pattern plates. In other words, the present invention provides a photomask in which a cushioning material made by folding or laminating a number of layers of hygroscopic dry cotton cloth is housed in a water-vapor-permeable bag and is attached with a packing material. This is a container for high-precision pattern plates such as reticles. <Operations and Examples> An example of the present invention will be described below based on FIG. 2. A container made of synthetic resin or the like consists of a container body 5 and a lid 6, and is often made of transparent or translucent synthetic resin so that the contents can be seen through. A wall-shaped convex portion 8 is vertically formed on the inner surface 7 of the container body 5 so that the high-precision pattern board 1 can be stored in an upright state. A shelf part 11 is provided to support the bottom surface 10. On the other hand, a packing material 12 is attached to the upper part of the lid 6.
By covering the container body 5, the packing material 1
2 is in contact with the top surface of the high-precision pattern board 1, presses down the high-precision pattern board 1 from above, and protects the high-precision pattern board 1 from vibrations and the like during transportation. Although not shown in the figure, it is also possible to place a thick packing material 12 on the bottom 9 and press down the high-precision pattern board 1 from below. To further explain the packing material 12 based on FIG. 3, the cushioning material 13 is a cotton cloth that is sufficiently dry and hygroscopic, has a multilayer structure, has a thickness of about 2 to 50 mm, and has cushioning properties. It is something that The bag 14, on the other hand, is required to have air permeability (water vapor permeability), and to not generate dust itself and to be difficult for dust to pass through. Materials that meet these requirements include, for example, cellophane film, cloth for dustproof clothing (clean cloth), fine-mesh synthetic resin fiber nonwoven fabric, and Japanese paper impregnated with resin. Of course, the material is not limited to this, and any material that is air permeable and dustproof can be used. The joint portion 15 for forming the bag body 14 is formed by bonding the bag body 1 by heat fusing, pressure bonding, bonding with adhesive, etc.
Various means can be used depending on the material used for 4. <Effects of the invention> The present invention is a container for the high-precision pattern board as described above, and is equipped with a packing material that has both cushioning and moisture absorbing properties to prevent water droplets from adhering to the surface of the high-precision pattern board. This prevents this from happening and improves storage performance. The following examples show test results for a conventional container using a non-hygroscopic packing material and a container of the present invention, and it is clear that the present invention is superior even with these results. A photomask having a transparent glass substrate made of soda lime glass was housed in containers a, b, and c of the same type to which three types of packing materials shown below were attached.
【表】
以下の保管条件において、それぞれの結果を示
すと次の通りである。[Table] The results under the following storage conditions are shown below.
【表】
この結果からすると、ソーダライムガラスを基
板とする高精度パターン板は、40℃で95％の湿度
という過酷な条件では、水滴状異物の発生が避け
られないことが理解されるが、通常の状態（温度
25℃、湿度60％）では、本考案の容器を用いた際
は、150日以上の長期にわたつて、水滴状異物の
発生がみられないことがわかる。
本考案は、乾燥綿布を用いたパツキング材を用
いることで上述のように緩衝性と保管性の両方を
実現したものであり、本考案の容器は実用上極め
て優れている。[Table] From this result, it is understood that the generation of water droplet-like foreign matter is unavoidable under the harsh conditions of 40°C and 95% humidity on high-precision pattern plates using soda lime glass as a substrate. Normal conditions (temperature
At 25°C and 60% humidity, it can be seen that when the container of the present invention was used, no water droplet-like foreign matter was observed for a long period of 150 days or more. The present invention achieves both cushioning properties and storage properties as described above by using a packing material made of dry cotton cloth, and the container of the present invention is extremely excellent in practical use.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
第１図は、高精度パターン板の表面に水滴状異
物が付着する様子を示す斜視図であり、第２図は
本考案の容器の一実施例を示す要部断面図であ
り、第３図は本考案の容器に付着するパツキング
材の一部を示す一部破断斜視図である。
１……高精度パターン板、５……容器本体、６
……蓋、７……内側面、８……凸部、９……底
部、１０……底面、１１……棚部、１２……バツ
キング材、１３……緩衝部、１４……袋体、１５
……継ぎ部。
FIG. 1 is a perspective view showing how water droplet-like foreign matter adheres to the surface of a high-precision pattern plate, FIG. 2 is a cross-sectional view of essential parts showing an embodiment of the container of the present invention, and FIG. FIG. 2 is a partially cutaway perspective view showing a part of the packing material attached to the container of the present invention. 1... High-precision pattern board, 5... Container body, 6
... Lid, 7 ... Inner surface, 8 ... Convex part, 9 ... Bottom, 10 ... Bottom surface, 11 ... Shelf part, 12 ... Backing material, 13 ... Buffer part, 14 ... Bag body, 15
...joint part.