JPS6330607U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6330607U JPS6330607U JP12514086U JP12514086U JPS6330607U JP S6330607 U JPS6330607 U JP S6330607U JP 12514086 U JP12514086 U JP 12514086U JP 12514086 U JP12514086 U JP 12514086U JP S6330607 U JPS6330607 U JP S6330607U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- piston
- main
- sub
- houses
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- Granted
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Description
第1図は本考案の実施例の縦断面図、第2図は
従来の真空機器用シリンダの縦断面図である。 1……ピストンロツド、2……真空用ベローズ
、3……メインピストン、4……給排気ポート、
5……メインシリンダ、6……給排気ポート、9
……中間軸、10……調整ボルト、11……サブ
ピストンロツド、12……サブピストン、13…
…サブシリンダ、14……給排気ポート、15…
…給排気ポート、16……Oリング。
従来の真空機器用シリンダの縦断面図である。 1……ピストンロツド、2……真空用ベローズ
、3……メインピストン、4……給排気ポート、
5……メインシリンダ、6……給排気ポート、9
……中間軸、10……調整ボルト、11……サブ
ピストンロツド、12……サブピストン、13…
…サブシリンダ、14……給排気ポート、15…
…給排気ポート、16……Oリング。
Claims (1)
- 真空室内の機器を駆動するメインピストンを収
容したメインシリンダと、メインシリンダの後方
に直列に配置されサブピストンを収容したサブシ
リンダと、サブピストンの作動によりメインシリ
ンダ内に進入してメインピストンの後退位置を制
約する停止手段と、該停止手段の進入位置を微調
整する調整手段を有することを特徴とする真空機
器用シリンダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986125140U JPH062004Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 真空機器用シリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986125140U JPH062004Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 真空機器用シリンダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6330607U true JPS6330607U (ja) | 1988-02-29 |
JPH062004Y2 JPH062004Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31017786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986125140U Expired - Lifetime JPH062004Y2 (ja) | 1986-08-15 | 1986-08-15 | 真空機器用シリンダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH062004Y2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50127071A (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-06 | ||
JPS5594008A (en) * | 1979-01-09 | 1980-07-17 | Caterpillar Mitsubishi Ltd | Device for adjusting stroke of hydraulic cylinder |
JPS58225213A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-27 | ヤマザキマザック株式会社 | 位置決め機構 |
-
1986
- 1986-08-15 JP JP1986125140U patent/JPH062004Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50127071A (ja) * | 1974-03-25 | 1975-10-06 | ||
JPS5594008A (en) * | 1979-01-09 | 1980-07-17 | Caterpillar Mitsubishi Ltd | Device for adjusting stroke of hydraulic cylinder |
JPS58225213A (ja) * | 1982-06-22 | 1983-12-27 | ヤマザキマザック株式会社 | 位置決め機構 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH062004Y2 (ja) | 1994-01-19 |