JPS63302773A - Ultrasonic wave motor - Google Patents

Ultrasonic wave motor

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Publication number
JPS63302773A
JPS63302773A JP62133344A JP13334487A JPS63302773A JP S63302773 A JPS63302773 A JP S63302773A JP 62133344 A JP62133344 A JP 62133344A JP 13334487 A JP13334487 A JP 13334487A JP S63302773 A JPS63302773 A JP S63302773A
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JP
Japan
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lubricant
resin
ultrasonic motor
resin material
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP62133344A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshinobu Imasaka
喜信 今坂
Masanori Sumihara
正則 住原
Hiroshi Komeno
米野 寛
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS63302773A publication Critical patent/JPS63302773A/en
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Abstract

PURPOSE:To avoid noise and increase a driving force, by using resin material for a moving unit, and by placing lubricant on the surface between the moving unit and a stationary unit in contact with each other. CONSTITUTION:An ultrasonic wave motor is composed of a stationary unit 2 provided with a piezoelectric unit 1, in pressure contact with a moving unit 3 made of resin material. In this case, on the field surface between the stationary unit 2 and the moving unit 3 in contact with each other, lubricant 4 is placed. As the resin material of the moving unit 3, phenol resin, fluororesin, or the like is used, and in order to increase the strength, glass fiber, carbon fiber, or the like is included in the resin. As the lubricant 4, liquid lubricant or semi-solid lubricant is used. As a result, even if the lubricant 4 to reduce friction is placed on the surface between the stationary unit 2 and the moving unit 3 in contact with each other, a great driving force can be obtained and a device can be stably driven for a long time.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、圧電体を用い進行性振動波からなる超音波振
動を発生させることにより駆動するモータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a motor that is driven by generating ultrasonic vibrations consisting of progressive vibration waves using a piezoelectric body.

(従来の技術) 進行性振動波方式からなる超音波モータにおいては、固
定体と移動体とが面接触にて相互に接触加圧され、前記
固定体に圧電体を装着した構造を有する0時間差と位相
差をつけ圧電体の両端に電圧を印加することにより、進
行性振動波からなる微小な振動が発生する。その微小な
振動が、固定体により励振され、移動体へと伝えられ、
固定体と移動体との接触による摩擦力を介して、移動体
が動かされる。固定体の移動体との接触表面は。
(Prior Art) In an ultrasonic motor using a progressive vibration wave method, a fixed body and a movable body are pressed against each other in surface contact, and a piezoelectric body is attached to the fixed body. By applying a voltage to both ends of the piezoelectric material with a phase difference, minute vibrations consisting of progressive vibration waves are generated. The minute vibrations are excited by the fixed body and transmitted to the moving body,
The movable body is moved through the frictional force caused by the contact between the fixed body and the movable body. The contact surface of the stationary body with the moving body.

電圧を印加することにより進行性振動波からなる表面波
が発生し、その表面の1点を取ると楕円軌跡を描きなが
ら運動しており、その横方向の速度成分により移動体が
駆動される。それ故、移動体は、固定体の接触表面にお
いて、固定体の横方向の運動を確実に伝え、すべりを生
じることのないように、ゴムなどの摩擦係数の大きい材
料を接触表面に用いることが好ましいと考えられている
By applying a voltage, a surface wave consisting of a progressive vibration wave is generated, and when one point on the surface is taken, it moves while drawing an elliptical locus, and the moving body is driven by its transverse velocity component. Therefore, in order to reliably transmit the lateral movement of the stationary body to the contact surface of the stationary body and prevent slippage, it is recommended that the moving body use a material with a high coefficient of friction, such as rubber, on the contact surface of the stationary body. considered desirable.

そのため、スライダーという固定体と金属からなる移動
体との摩擦を大きくするために移動体に薄いゴム材料を
貼り付ける方法が考えられている。
Therefore, in order to increase the friction between a fixed body called a slider and a movable body made of metal, a method of attaching a thin rubber material to the movable body has been considered.

また別法として、金゛属の材料単体を用いて移動体を構
成することも検討されている。
Alternatively, constructing a moving body using a single metal material is also being considered.

そして、この種のモータは、従来の電磁モータに比べて
巻線が不要であるため、小型に製造できるだけでなく、
低速回転、高トルク、あるいは慣性の少ない回転機とし
てカメラ等光学機械のレンズの自動焦点調節または自動
絞り機構として実用化されつつある。
And since this type of motor does not require windings compared to conventional electromagnetic motors, it can not only be manufactured in a smaller size, but also
Rotating machines that rotate at low speed, have high torque, or have little inertia are being put into practical use as automatic focus adjustment or automatic aperture mechanisms for lenses in optical machines such as cameras.

(発明が解決しようとする問題点) 金属の材料単体を用いて移動体を構成すると、駆動中騒
音が発生すること、および固定体との摩擦による摩耗が
激しく、また、焼きつけ現像などが起こり、モータとし
ての性能を維持することが難しいという問題があった。
(Problems to be Solved by the Invention) If a moving body is constructed using a single metal material, noise will be generated during driving, wear will be severe due to friction with a fixed body, and problems such as baking and development will occur. There was a problem in that it was difficult to maintain performance as a motor.

一方、移動体と固定体との接触表面にゴムなどの摩擦係
数の大きい材料を用い、それを金属からなる移動体に貼
りつける方法で摩擦による摩耗が激しく性能を維持する
ことが難しいという問題があった。
On the other hand, the method of using a material with a high coefficient of friction such as rubber on the contact surface between the moving body and the fixed body and attaching it to the moving body made of metal has the problem of severe wear due to friction and difficulty in maintaining performance. there were.

以上のような移動体の構成は、その全部あるいは大部分
が金属材料から構成する方法であり、移動体は、樹脂材
料に比べ重たいものである。それ故、停止した状態から
回転しだすとき、および回転中から停止するときの電気
信号に対する応答性は、移動体の重量に依存する慣性力
が働くことになるので1重たい分だけ回転しだしたり停
止するのが遅くなるという問題もあった。
The structure of the moving body as described above is a method in which all or most of the moving body is made of a metal material, and the moving body is heavier than a resin material. Therefore, the responsiveness to electrical signals when starting to rotate from a stopped state or when stopping from rotating is affected by an inertial force that depends on the weight of the moving object, so it will start rotating or stop by the weight of the moving object. There was also the problem that it was too late.

本発明は、以上のような従来の問題点を解決するもので
あり、モータ駆動時に騒音が発生しない超音波モータを
提供することを目的とするものである。また、本発明は
、モータの固定体と移動体とが加圧接触することによっ
て生じる駆動力が大きく、モータの駆動時に接触面が摩
擦することにより発生する摩耗量が極力少なく、長時間
安定に性能が維持できる超音波モータを提供することを
目的とするものである。
The present invention solves the conventional problems as described above, and aims to provide an ultrasonic motor that does not generate noise when the motor is driven. In addition, the present invention has a large driving force generated by pressurized contact between the fixed body of the motor and the movable body, and the amount of wear caused by friction of the contact surface when the motor is driven is minimized, resulting in stable operation for a long time. The purpose of this invention is to provide an ultrasonic motor that can maintain its performance.

さらに1本発明はモータの電気信号に対する起動および
停止が速い高性能の超音波モータを提供することを目的
とするものである。
Another object of the present invention is to provide a high-performance ultrasonic motor that can be started and stopped quickly in response to an electric signal.

(問題点を解決するための手段) 前記目的を達成するために1本発明は、圧電体を装着し
てなる固定体に移動体を加圧接触させ。
(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, one aspect of the present invention is to bring a movable body into pressure contact with a fixed body having a piezoelectric body mounted thereon.

前記圧電体の進行性振動波からなる微小な振動により前
記移動体が移動する超音波モータにおいて。
In an ultrasonic motor in which the movable body moves by minute vibrations made of progressive vibration waves of the piezoelectric body.

前記移動体が樹脂材料から構成され、かつ前記固定体と
前記移動体との接触界面に潤滑剤を存在させるものであ
る。また、本発明の潤滑剤は、液体潤滑剤、半固体潤滑
剤(グリース)などがあり、移動体の回転軸が樹脂材以
外からなることもできる。
The movable body is made of a resin material, and a lubricant is present at the contact interface between the fixed body and the movable body. Further, the lubricant of the present invention includes liquid lubricant, semi-solid lubricant (grease), etc., and the rotating shaft of the moving body may be made of other than resin material.

さらに1本発明の移動体は、フェライト磁石を含有する
樹脂材からなり、固定体は磁性体からなるものとするこ
とができる。
Furthermore, the moving body of the present invention may be made of a resin material containing a ferrite magnet, and the fixed body may be made of a magnetic material.

(作 用) 移動体を樹脂材料から構成するので、従来の金属材料主
体で移動体を構成する場合に比べて移動体が軽量になる
0例として、超音波モータが停止する際の応答性につい
て説明する。超音波モータの移動体は、電気信号を圧電
体に入力することにより、固定体の進行性振動波からな
る微小な振動により、ある一定速度Vで運動することに
なる。
(Function) Since the movable body is made of resin material, the movable body is lighter compared to the case where the movable body is made of conventional metal materials.As an example, we will discuss the responsiveness when the ultrasonic motor stops. explain. The moving body of the ultrasonic motor moves at a certain constant speed V by inputting an electric signal to the piezoelectric body and by minute vibrations made of progressive vibration waves of the fixed body.

そこで1.電気的入力を切ると、移動体は、■v2なる
運動エネルギー(mは移動体の質量)を有していること
になる。一方、超音波モータの構造上、移動体は、固定
体と常にある一定の加圧力にて接触している状態になっ
ているから、電気的入力を切った時点で、接触面には、
移動体に運動を停止しようとする摩擦力fが働く、それ
故、rav”=flとなる。ここでQは、電気入力を切
断後、移動する距離である。摩擦力fは、固定体と移動
体間の接触加圧力とその接触面間の摩擦係数の積で表わ
され、超音波モータの形状などにより、はぼ一定の最適
な値があると考えられる。一方、移動体を樹脂材料から
構成し、その質量を軽くすることにより、運動エネルギ
ーは質量の軽い分だけ小さくなる、それ故、電気入力を
切断後、移動する距離Qが、短くなり、モータの電気信
号に対する停止が速くなる。起動の場合も、停止の場合
とほぼ同様な作用をし、樹脂材料を移動体に用いること
により、その起動性が速くなる。
So 1. When the electrical input is cut off, the moving body has a kinetic energy of ■v2 (m is the mass of the moving body). On the other hand, due to the structure of the ultrasonic motor, the movable body is always in contact with the fixed body with a certain pressure, so when the electrical input is turned off, the contact surface
A frictional force f acts on the moving body to try to stop it, so rav”=fl. Here, Q is the distance it moves after cutting off the electrical input. The frictional force f acts on the fixed body and It is expressed as the product of the contact force between moving bodies and the coefficient of friction between their contact surfaces, and it is thought that there is an optimal value that is approximately constant depending on the shape of the ultrasonic motor.On the other hand, if the moving body is made of resin By making the mass lighter, the kinetic energy becomes smaller by the lighter mass. Therefore, the distance Q traveled after cutting off the electrical input becomes shorter, and the motor stops faster in response to the electrical signal. .In the case of starting, the effect is almost the same as in the case of stopping, and by using a resin material for the moving body, the starting performance becomes faster.

さらに、固定体と移動体の接触界面に潤滑剤を存在させ
ることにより、モータ駆動時に騒音が発生しないだけで
なく、モータの固定体と移動体とが適当な加圧接触によ
って駆動力も発生することができた。モしてモータの駆
動時に接触面が摩擦することにより発生する摩耗が少な
く長時間安定に性能の維持をすることのできる実用に供
しつる超音波モータとすることができる。
Furthermore, by providing a lubricant at the contact interface between the fixed body and the movable body, not only does noise not occur when the motor is driven, but also driving force is generated through appropriate pressurized contact between the fixed body and the movable body of the motor. was completed. As a result, it is possible to obtain a practically usable ultrasonic motor that can stably maintain performance for a long period of time with little wear caused by friction of the contact surfaces when the motor is driven.

(実施例) 本発明の超音波モータの基本構成を第1図に示す、超音
波モータは、圧電体1を装着した固定体2に樹脂材料か
らなる移動体3を加圧接触させる構成をとる。固定体2
と移動体3との接触界面に潤滑剤4を存在させるように
した1本発明の実際の応用例として、円盤型の超音波モ
ータ(第2図)および円環型の超音波モータ(第3図)
が挙げられる。
(Example) The basic configuration of the ultrasonic motor of the present invention is shown in FIG. 1. The ultrasonic motor has a configuration in which a movable body 3 made of a resin material is pressed into contact with a fixed body 2 on which a piezoelectric body 1 is attached. . Fixed body 2
As an actual application example of the present invention, the lubricant 4 is present at the contact interface between the moving body 3 and the moving body 3. figure)
can be mentioned.

圧電体としては、酸化鉛、チタン酸鉛、ジルコン酸鉛の
3成分系の圧電セラミックスを用い、固定体としては、
ステンレス材、鋼材、アルミニウム材など振動を効率良
く移動体へ伝達することのできるものを用いた。移動体
の樹脂材としては、グリル樹脂、フェノール樹脂、フラ
ン樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、エ
ポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、塩化ビニル樹脂
As the piezoelectric body, a three-component piezoelectric ceramic of lead oxide, lead titanate, and lead zirconate is used, and as the fixed body,
We used materials such as stainless steel, steel, and aluminum that can efficiently transmit vibrations to the moving body. Resin materials for moving objects include grill resin, phenol resin, furan resin, urea resin, melamine resin, xylene resin, epoxy resin, unsaturated polyester resin, and vinyl chloride resin.

ポリアミド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド
樹脂、ポリイミド樹脂、ポリスルホン樹脂。
Polyamide resin, polystyrene resin, polyamideimide resin, polyimide resin, polysulfone resin.

ポリエステル樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレ
ンオキサイド樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポ
リカーボネート樹脂、フッ素樹脂などを用いることがで
きる。さらに、その樹脂中に、強度を補強するために、
ガラス繊維、炭素繊維。
Polyester resin, polyacetal resin, polyphenylene oxide resin, polyphenylene sulfide resin, polycarbonate resin, fluororesin, etc. can be used. Furthermore, in order to reinforce the strength,
Glass fiber, carbon fiber.

芳香族ポリアミド繊維、パルプ、アスベストなどの繊維
質の充填剤や増量剤として、木粉2石英粉。
Wood flour 2 quartz powder as a filler or extender for fibrous materials such as aromatic polyamide fibers, pulp, and asbestos.

けい砂粉、カーボンブラック、鉄粉、アルミナ。Silica sand powder, carbon black, iron powder, alumina.

マイカ、シリカ、タルク、硫化モリブデン粉、炭酸カル
シウム、硫酸バリウムを加え樹脂の硬さを調整すること
が要求される場合がある。すなわち、固定体の微小な振
動を効率よく伝達するため、軟らかくその振動をすべて
吸収するような場合には。
It may be necessary to adjust the hardness of the resin by adding mica, silica, talc, molybdenum sulfide powder, calcium carbonate, or barium sulfate. In other words, in order to efficiently transmit the minute vibrations of a fixed body, it is soft and absorbs all the vibrations.

移動体は全く駆動しなくなるので、ある程度の硬度を有
するように、軟質樹脂を改質する必要がある。潤滑剤と
しては、液体潤滑剤、および半固体潤滑剤のいずれかを
用いることができる。液体潤滑剤としは、シリコン油、
ポリアルキレンゲリコール、ジエステル系およびフルオ
ロカーボン系などの合成潤滑用油、タービン油、ダイナ
モ油、スピンドル油、マシン油およびシリンダー油など
の鉱油が用いられる。半固体潤滑剤(グリース)として
は、上述した液体潤滑剤を基油として、その中に金属せ
っけんなどの増ちょう剤、グラファイトや硫化モリブデ
ンなどの充填剤、および酸化防止剤や極圧添加剤などの
添加剤を加えることにより合成されたものを用いる。
Since the moving body is not driven at all, it is necessary to modify the soft resin so that it has a certain degree of hardness. As the lubricant, either a liquid lubricant or a semi-solid lubricant can be used. Liquid lubricants include silicone oil,
Synthetic lubricating oils such as polyalkylene gelicols, diester and fluorocarbon oils, mineral oils such as turbine oil, dynamo oil, spindle oil, machine oil and cylinder oil are used. Semi-solid lubricants (grease) use the above-mentioned liquid lubricant as a base oil, and contain thickeners such as metal soap, fillers such as graphite and molybdenum sulfide, and antioxidants and extreme pressure additives. The one synthesized by adding the following additives is used.

以下、具体的な一実施例について、円盤型の超音波モー
タに応用した場合について述べる。移動体5を樹脂材料
として、アクリル樹脂を選定し、第2図に示すような形
状に切削加工した0次に、圧電体6を装着した固定体7
と移動体5の接触面8に潤滑剤としてシリコン油を塗布
した。固定体と移動体を相互に加圧接触させるため、コ
イルバネを用い、2にg / 01 ”の加圧力となる
ようにした。
Hereinafter, a specific example will be described in which the present invention is applied to a disc-shaped ultrasonic motor. As the resin material for the movable body 5, acrylic resin was selected and cut into the shape shown in FIG.
Silicone oil was applied as a lubricant to the contact surface 8 of the moving body 5. In order to bring the fixed body and the movable body into pressurized contact with each other, a coil spring was used to create a pressing force of 2 g/01''.

モータ直径は、40+amとし、移動体の重さは約9g
となった。このモータを入力電力約3Wの条件で駆動さ
せたところ、騒音は全くせず、起動トルク400gf−
am、無負荷回転数70Orpmとなり、充分なモータ
性能を得ることができた。さらに、24時間連続に回転
させつづけたところ、移動体および固定体の接触面にお
ける摩耗はほとんど観察されず安定に駆動した。今まで
、超音波モータは、接触面の摩擦を大きくすることによ
り大きな駆動力を(起動トルク)が得られると考えられ
ていた。ところが、M<べきことに、本発明のように、
摩擦を小さくするような潤滑剤を、固定体と移動体の接
触面に存在させても、大きな駆動力を得ることができ、
かつ安定に長時間駆動することができる。
The motor diameter is 40+am, and the weight of the moving object is approximately 9g.
It became. When this motor was driven with an input power of approximately 3W, there was no noise at all, and the starting torque was 400 gf.
am, the no-load rotation speed was 70 rpm, and sufficient motor performance could be obtained. Further, when the device was continuously rotated for 24 hours, almost no wear was observed on the contact surfaces between the movable body and the fixed body, and the device was driven stably. Until now, it has been thought that ultrasonic motors can obtain large driving force (starting torque) by increasing the friction of the contact surfaces. However, as in the present invention, M<should be
Even if a lubricant that reduces friction is present on the contact surface between the stationary and moving objects, a large driving force can be obtained.
And it can be driven stably for a long time.

ここで用いたシリコン油以外の、前述したその他の潤滑
剤を用いても同様の良い結果が得られた。
Similar good results were obtained using the other lubricants mentioned above in addition to the silicone oil used here.

さらに、電気信号に対する応答性は、移動体の重量に依
存する0本発明において作成した移動体の重it9gに
比べ、ステンレス材で同様に作成した場合は、55gと
なった。この両者について、立上り速度を測定したとこ
ろ、ステンレス材の場合は、約20m5ec、アクリル
樹脂材の場合は約2〜3■seeとなり、移動体を樹脂
材料で構成することにより、応答性の速い超音波モータ
が得られた。さらに、移動体の構成として、回転軸9を
金属材料から構成して動力伝達のため機械的強度を有す
るようにし、その他の移動体部10を樹脂材料から構成
した場合についても行なった(第4図(a)、(b))
Furthermore, the responsiveness to electrical signals depends on the weight of the moving body.Compared to the weight of the moving body produced in the present invention, which weighs 9 g, the response to the electric signal was 55 g when similarly produced from stainless steel. When we measured the rising speed of both of them, it was approximately 20m5ec for stainless steel material, and approximately 2 to 3cmsees for acrylic resin material.By composing the moving body with resin material, it was found that the response speed was extremely fast. A sonic motor was obtained. Further, as a configuration of the moving body, the rotating shaft 9 was made of a metal material to have mechanical strength for power transmission, and the other moving body part 10 was made of a resin material. Figures (a), (b))
.

この場合、移動体の重量は、樹脂のみの構成と比べて増
加するが、電気信号に対する応答性は、立上り速度2〜
3 +m5ecとなりほぼ同様の値を示した。
In this case, the weight of the moving body increases compared to a configuration made only of resin, but the responsiveness to electrical signals is
3 + m5ec, showing almost the same value.

これは、回転体の場合の慣性モーメントエは、■=Σl
1r2で表されるので中心部は、慣性力にはほとんど影
響しなかったためと考えられる。このように1本発明は
1回転軸9を樹脂材料に限定するものではなく1回転軸
は超音波モータの使用用途に応じ適宜任意に選定できる
This means that the moment of inertia for a rotating body is ■=Σl
This is thought to be because the center part had almost no effect on the inertial force since it was expressed as 1r2. As described above, the present invention does not limit the one-rotation shaft 9 to be made of a resin material, and the one-rotation shaft can be arbitrarily selected as appropriate depending on the intended use of the ultrasonic motor.

第3図に示した、円環型の超音波モータにお塾、1ても
、移動体に、フェライト磁石等を含有した樹脂材料を用
いて固定と移動体との加圧構成とし、その固定体と移動
体の接触面に潤滑油を存在させることにより本発明の超
音波モータを構成した。
In the annular ultrasonic motor shown in Figure 3, the movable body is made of a resin material containing ferrite magnets, etc., and the movable body is pressurized. The ultrasonic motor of the present invention was constructed by providing lubricating oil on the contact surface between the body and the moving body.

さらに1円環型については、第5図に示したような円盤
型と同様な構成をとることも可能であった。
Furthermore, regarding the one-ring type, it was also possible to adopt a configuration similar to the disk type shown in FIG.

(発明の効果) 本発明は、移動体に樹脂材料を使用し、かつ移動体と固
定体との接触面に潤滑剤を介在させたので、上記両者の
摩擦によって生ずるモータ駆動時の騒音が発生せず、駆
動力が大きく、長時間安定に性能が維持できる。
(Effects of the Invention) In the present invention, a resin material is used for the movable body and a lubricant is interposed on the contact surface between the movable body and the fixed body, so noise generated when the motor is driven due to friction between the two is generated. It has a large driving force and can maintain stable performance for a long time.

また、本発明は、移動体を樹脂材料として軽量化したた
め、モータの電気信号に対する起動および停止の応答性
が早い超音波モータを与えるものである。
Furthermore, the present invention provides an ultrasonic motor that is lightweight in weight by using a resin material for the movable body, and is therefore quick in starting and stopping responsiveness to electric signals of the motor.

さらに1本発明は、摩擦材の摩耗粉がないので。Furthermore, in the present invention, there is no wear powder of the friction material.

長時間の駆動後および停止と駆動の繰返しにおいて、安
定した起動停止の応答ができるようになる。
Stable starting/stopping responses can be achieved after long periods of driving and after repeated stopping and driving.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の超音波モータの基本構成を示す断面
図、第2図は、円盤型の超音波モータの構成を示す斜視
図、第3図は1円環型の超音波モータの構成を示す斜視
図、第4図は1円盤型の超音波モータの移動体の断面図
、第5図は、円環型超音波モータの構成を示す断面図で
ある。 1.6.6’、13・・・圧電体、 2,7゜7’、1
2・・・固定体、  3.5.5’、 11・・・移動
体、 4・・・潤滑剤、 8.8′ ・・・接触面、 
9 ・・・回転軸、10・・・移動体部、14・・・フ
ェルト、15・・・基台、16・・・ベアリング。 第1図 14電体 2− rEJ、を体 3−#1体 4−0.澗滑刑 第2図 5.−伶F1株 609.圧電体 7−固り体 8、−持II!面 第3図 5′−玲廓 6′−9圧電体 8′−接触面 7′−固定体 第4図 (a)       (b) 9−回転軸 io =玲vJ体郁 第5図 11 、++玲動体 12、−、固7を体 13−0圧電体 14 +フェルト 15−基白 16−、ベアリ)ゲ
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the basic configuration of the ultrasonic motor of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the configuration of a disk-shaped ultrasonic motor, and FIG. 3 is a one-ring type ultrasonic motor. FIG. 4 is a sectional view of a moving body of a one-disk type ultrasonic motor, and FIG. 5 is a sectional view showing the configuration of an annular ultrasonic motor. 1.6.6', 13...piezoelectric body, 2,7°7', 1
2... Fixed body, 3.5.5', 11... Moving body, 4... Lubricant, 8.8'... Contact surface,
9... Rotating shaft, 10... Moving body section, 14... Felt, 15... Base, 16... Bearing. FIG. 14 Electric body 2-rEJ, body 3-#1 body 4-0. Diagram 2 5. - Rei F1 strain 609. Piezoelectric body 7-solid body 8, -holding II! Surface Fig. 3 5' - Rei 6' - 9 Piezoelectric body 8' - Contact surface 7' - Fixed body Fig. 4 (a) (b) 9 - Axis of rotation io = Rei vJ body Fig. 5 11, ++ Removing body 12, -, solid 7 body 13-0 piezoelectric body 14 + felt 15-base white 16-, bare)ge

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)圧電体を装着してなる固定体に移動体を加圧接触
させ、前記圧電体の進行性振動波からなる微小な振動に
より前記移動体から移動する超音波モータにおいて、前
記移動体が樹脂材料から構成され、かつ前記固定体と前
記移動体との接触界面に潤滑剤を存在させることを特徴
とする超音波モータ。
(1) In an ultrasonic motor that brings a movable body into pressure contact with a fixed body equipped with a piezoelectric body and moves from the movable body by minute vibrations made of progressive vibration waves of the piezoelectric body, the movable body An ultrasonic motor made of a resin material, and characterized in that a lubricant is present at a contact interface between the fixed body and the movable body.
(2)前記潤滑剤が、液体潤滑剤、半固体潤滑剤(グリ
ース)のいずれかであることを特徴とする特許請求の範
囲第(1)項記載の超音波モータ。
(2) The ultrasonic motor according to claim (1), wherein the lubricant is either a liquid lubricant or a semi-solid lubricant (grease).
(3)前記移動体の回転軸が樹脂材料以外からなること
を特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超音波モ
ータ。
(3) The ultrasonic motor according to claim (1), wherein the rotating shaft of the movable body is made of a material other than a resin material.
(4)前記移動体は、フェライト磁石を含有する樹脂材
からなり、前記固定体は磁性体からなることを特徴とす
る特許請求の範囲第(1)項記載の超音波モータ。
(4) The ultrasonic motor according to claim (1), wherein the moving body is made of a resin material containing a ferrite magnet, and the fixed body is made of a magnetic material.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09172789A (en) * 1996-12-20 1997-06-30 Nikon Corp Ultrasonic motor

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JPH09172789A (en) * 1996-12-20 1997-06-30 Nikon Corp Ultrasonic motor

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