JPS6329833B2 - - Google Patents

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JPS6329833B2
JPS6329833B2 JP10913579A JP10913579A JPS6329833B2 JP S6329833 B2 JPS6329833 B2 JP S6329833B2 JP 10913579 A JP10913579 A JP 10913579A JP 10913579 A JP10913579 A JP 10913579A JP S6329833 B2 JPS6329833 B2 JP S6329833B2
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JP
Japan
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storage device
fixed storage
circuit
rom
memory
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Application number
JP10913579A
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Japanese (ja)
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JPS5633873A (en
Inventor
Kenzo Masuda
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5633873A publication Critical patent/JPS5633873A/en
Publication of JPS6329833B2 publication Critical patent/JPS6329833B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B20/00Read-only memory [ROM] devices

Landscapes

  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ
(以下、MISFETと称する)を使用する固定記憶
装置、特に記憶素子として使用されるMISFET
が直列接続されて成る縦型の固定記憶装置に関す
る。 本願出願人においては、先に、デプレツシヨン
型MISFETおよびエンハンスメント型MISFET
を組合せることによつて、マトリツクス状の高密
度の幾何学的レイアウトが一つの半導体基板上に
可能な固定記憶装置すなわちROM(ead
nly emory、以下、単にROMと称する場合が
ある)を提案した。そのようなROMは、例えば
特開昭52−30388、特開昭52−58452、および特開
昭52−106665に示されているように、動作電圧に
よりエンハンスメント型MISFETは、オン或い
はオフするが、デプレツシヨン型MISFETは、
その動作電圧に無関係に常にオン状態にあること
を利用し、MISFETを行列のマトリツクス状に、
各列におけるMISFETが互いに直列接続される
ように、所謂、縦型に配置せしめ、かつマトリツ
クスの選択された箇所をエンハンスメント型とし
て記憶素子として配置し、残りをデプレツシヨン
型として配線素子として配置せしめたことを特徴
としている。このような方式とすることにより、
一つの半導体基板に対し、極めて高い集積度の
ROM装置を形成することが可能であり、しかも
製造方法も簡単になるため、従来周知の記憶素子
として用いられるMISFETが互いに並列接続さ
れた、所謂、横型ROMに対して製造歩留りを向
上せしめることが出来る。 しかしながら、かかる縦型ROM装置において
は、単位回路を構成するMISFETの直列回路に
接続されるMISFETの数を増加せしめて、大容
量の記憶装置を作成しようとしたとき、直列回路
の抵抗が増加し、結果的に直列回路とそれに関係
する他の回路との時定数が大きくなつて高速度化
が不可能となる問題がある。 従つて、本発明の主目的は、大容量化および高
速化に適した縦型ROM装置の構造を提供するこ
とにある。 さらに、本発明の他の目的は、半導体集積回路
技術によつて一つの半導体基板に高密度に集積化
することが可能な大容量化に適した縦型ROM装
置のレイアウトを提供することにある。 本発明のROM装置に従えば、MISFETの単位
直列回路の集合によつて形成されるべき固定記憶
回路マトリクスを複数に分割し、各分割された固
定記憶回路マトリクス部に、該固定記憶回路マト
リクス部のそれぞれを選択するための選択回路手
段が設けられる。さらに、共通出力端子には、負
荷回路又はプリチヤージ回路手段のような、その
共通出力端子に電位を与えるための電位供給回路
手段が設けられる。これによつて、出力端子およ
び電位供給回路手段は、各分割固定記憶マトリク
ス部に対し共通的に使用される。また、本発明に
従えば各分割固定記憶マトリクス部を構成する各
列の直列回路の列選択回路手段を、共通化するた
めに、共通出力端子と分割された複数の固定記憶
マトリクス部との間に挿入することも出来る。 本発明の目的、および利益は、以下の図面を参
照した説明により、さらによく理解されるであろ
う。 第1図は、本発明の一実施例に従う、固定記憶
装置の回路図を示す。 第1図にて、ROM11,ROM12,ROM21および
ROM22は、システム設計に基づいて決定された
所定記憶容量を、4つの固定記憶装置に分割した
場合の単位固定記憶装置で、各固定記憶装置は、
固定記憶マトリクス部MEと、固定記憶マトリク
ス部MEのそれぞれを固定記憶装置間において選
択するための固定記憶マトリクス選択回路部SE
とから成る。 複数の単位記憶装置ROM11,ROM12,ROM21
およびROM22のそれぞれは、固定記憶マトリク
ス部MEにおいて、幾可学的に行列状のマトリク
ス形式に配置されたPチヤンネルMISFETQ5
Q20を有している。すなわち、列において、
MISFETが直列接続され、行において、各列の
MISFETのゲート電極相互間を共通接続する導
電線路L5〜L8が配置されている。記憶マトリク
ス部MEを構成するMISFETQ5〜Q20の選択され
たものは、エンハンスメント型MISFETから
成り、残りのものは、デプレツシヨン型
MISFETから成る。エンハンスメント型
MISFETが選択された行列状の位置パターン
は、単位記憶装置間において異なる。このエンハ
ンスメント型MISFETの選択パターンは、固定
記憶装置を使用する電子機器のシステム設計に従
つて、決定される。もし、ある行とある列とに決
定される位置に、エンハンスメント型MISFET
Eが存在すれば、その位置において、データ
“1”が記憶されているものと定義することがで
き、逆にその位置がデプレツシヨン型FET
あつたとすれば、データ“0”が記憶されている
ものと定義することができる。もちろん、この定
義とは逆に、エンハンスメント型MISFET
存在を、データ“0”と定義しても良い。 各単位固定記憶装置の選択回路部SEは、線路
L9によつてゲート電極が共通接続されたPチヤ
ンネルエンハンスメント型MISFETQ1〜Q4から
成る。 複数の単位固定記憶装置ROM11,ROM12
ROM21およびROM22の相互間は、幾何学的に行
R1,R2と列C1,C2のマトリクス状にまた、配置
されている。同じ列に配置された単位固定記憶装
置において、各単位固定記憶装置の対応する列に
おいて配置されたPチヤンネルMISFETの直列
回路は、導電線路L1〜L4によつて、互いに並列
接続される。例えば、列C1において配置された
ROM11とROM21とにおいて、MISFETQ5〜Q8
から成る2つの直列回路は、互いに線路L1によ
つて並列接続されている。 ROMS1とROMS2とは、列選択回路部で、共通
出力端子OUT1,OUT2と各単位固定記憶装置と
の間に接続されている。各列選択回路部ROMS1
ROMS2は、行列状に配置されたPチヤンネル
MISFETQ21〜Q52から成り、同じ行のMISFET
のゲート電極は共通接続されている。この列選択
回路部を構成するMISFETQ21〜Q52は、ゲート
電極線路に印加される選択信号に従つて、単位固
定記憶装置における特定な列の直列回路を選択す
るように、選択的にエンハンスメント型
MISFETとされ、残りのものはデプレツシヨ
ン型MISFETとされている。 Q01およびQ02は、共通出力端子OUT1,OUT2
と基準電位源(アース電位)との間に存在する容
量C01,C02を、それぞれプリチヤージするために
設けられたPチヤンネルエンハンスメント型
MISFETで、電位源VDDと共通出力端子OUT1
OUT2との間にそれぞれ接続され、それらのゲー
ト電極には、タイミングパルス信号φPが印加さ
れる。 単位固定記憶装置ROM11,ROM12,ROM21
よびROM22の記憶回路部MEにおいて、行状に配
置されたゲート電極線路L5〜L8には、アドレス
信号Vn1〜Vn4が印加され、その選択回路部SEに
おいて、ゲート電極L9には、行に応じて選択信
号VS1およびVS2が印加される。 列選択回路部ROMS1、ROMS2の共通ゲート電
極線路には、カラム選択信号VC1〜VC8が印加さ
れる。 動作について述べるに、先ず列選択回路部
ROMS1,ROMS2のゲート電極線路の選択された
ものに、列選択信号VC1〜VC8が印加され、所定
の単位固定記憶装置の直列回路のある選択された
列が出力端子OUT1又はOUT2に接続される。例
えば、列選択信号VC1のみがエンハンスメント型
MISFETをオンせしめるレベル(−VDDレベル)
に変化すると、MISFETQ21はオンする。この
時、Q21に直列接続された他のMISFETQ22〜Q28
は、すべてデプレツシヨン型であるので、VC2
VC8の信号レベルが、オフレベル(アースレベ
ル)であつても、Q22〜Q28の直列回路は、導通
状態となつているから、結果的に出力端子OUT1
は、各固定記憶装置ROM11およびROM21のある
特定された一つの出力端子P1に接続される。 列選択信号によつて、特定の列が選択されてい
る状態において、プリチヤージのためにタイミン
グパルスφPが印加されると、MISFETQ01,Q02
はオン状態となつて、各共通出力端子OUT1
OUT2のそれぞれに等価的に接続された出力容量
C01,C02をプリチヤージする。 タイミングパルスφPの所定時間の印加によつ
て出力容量C01,C02が、所定の電位にプリチヤー
ジされた後、単位固定記憶装置の選択回路部SE
に、選択パルス信号VS1又はVS2が印加されるこ
とによつて特定された単位固定記憶装置における
記憶回路部MEが動作可能にされる。例えば、
VS1がオンレベルで、VS2がオフレベルである時、
ROM11およびROM12が選択され、動作可能の状
態にされる。 この状態において、上述したように、ある特定
の列が選択されているから、選択された単位固定
記憶装置の対応する特定の列が選択されることと
なる。上述の例に従えば、MISFETQ21に印加さ
れたVC1によつて、Q5〜Q6の列が選択され、Q1
印加されたVC1によつて、特定の固定記憶装置
ROM11のQ5〜Q6の直列回路のみが選択される。
従つて、例えば、この状態において、もし、アド
レス信号Vn1〜Vn4のうち、Vn1のみがオフレベ
ル(アースレベル)であれば、トランジスタQ5
の状態のみが、出力端子OUT1に伝達される。す
なわち、ROM11のQ5は、デツプレツシヨン型で
あるので、Q5〜Q8の直列回路は導通状態となり、
その直列回路は、出力端子OUT1の出力レベルを
オフレベル(アースレベル)とするように、出力
容量C01のプリチヤージ電圧を放電せしめる。 アドレス信号Vn1〜Vn4の信号レベルは、指定
レベルをオフレベル(アースレベル)に規定する
ことができる。Q5の状態を判定したいとき、上
述したように、Vn1をオフレベルに、他をオンレ
ベル(−VDDレベル)にしたが、同様にQ6の状態
を判定したいときは、Vn2のみをオフレベルとす
れば良い。もし、Vn2によつて、Q6が選択された
場合、Q5〜Q8の直列回路は、非導通状態となる
ので、出力容量C01のプリチヤージ電圧は、保持
され、その結果、出力端子OUT1の出力レベル
は、オンレベル(−VDDレベル)となる。 このように、列選択回路部ROMS1および
ROMS2は、特定の列を選択するように動作し、
アドレス信号Vn1〜Vn4は、特定の行を選択せし
める。さらに、固定記憶装置選択回路部SEに印
加される選択信号VS1〜VS2は、特定の単位固定
記憶装置を選択せしめる。 固定記憶回路部SEは、記憶回路部MEのアース
側に、配置(Q8のソース側にQ1を設ける)する
ことも考えられるが、上述実施例のように、直列
回路の電源側(すなわち、Q5のドレイン側にQ1
を設ける)に設ける有利な点は、例えば、VS1
よつてROM11のQ5〜Q8の直列回路が選択されて
いる場合、ROM21のQ5〜Q8の直列回路は、
ROM21のMISFETQ1のオフ状態によつて、
ROM11から開放されるので、ROM21のQ5〜Q8
直列回路がアース電位に対して有するストレー容
量CSは、出力容量C01に接続されることはない。
従つて、出力容量C01の増加を防止することがで
き、結果的に、スイツチング速度の低下を防止で
きる。 また、列C1の共通出力端子OUT1と、列C2の共
通出力端子OUT2とは、分離されているが、共通
の一つの出力端子と、一つのプリチヤージ用
MISFETとすることもできる。 かかる本発明の固定記憶装置の回路配置に従え
ば、分割された各単位固定記憶装置に対してそれ
ぞれプリチヤージ用MISFETのような出力線路
に電位を与える手段を設ける必要がなくなる。す
なわち、1組のプリチヤージ用手段を複数の単位
固定記憶装置に対して共通に使用できる。 また、分割された各単位固定記憶装置に対して
共通の出力端子を使用するので、複数の出力信号
を合成するためのAND又はOR回路のような論理
回路を省略できる。 さらに本発明に従えば、列選択回路部は、同じ
列に配列された多数の単位固定記憶装置に対し、
1組又は、省略された規模の回路で良い。 従つて、本発明に従えば、一つの半導体基板に
対し、大容量の固定記憶装置を実現出来る。上述
せる実施例は、本発明の理解を容易にするため
に、単位固定記憶装置の記憶部の記憶容量が16ビ
ツト(4行×4列)で、同じ列に2組の固定記憶
装置を配列した場合について図示されているが、
より商品的に生産される固定記憶装置において
は、本発明に従つて、例えば、64行×8列(512
ビツト)を単位固定記憶装置の記憶部として、こ
れを4組同じ列に配列せしめることによつて、大
容量の固定記憶装置を実現することができる。 本発明に従う、他の利点は、分割される単位固
定記憶装置の数を多くすることによつて、単位固
定記憶装置における直列接続されるMISFETの
数を減少せしめ、スイツチング速度を早くするこ
とができる。例えば、上述せる実施例において、
4行×4列の単位固定記憶装置の2組ROM11
よびROM21は、8行×4列の1つの固定記憶装
置を2分割したものとみることができる。その結
果、8個のMISFETの直列回路よりも、本発明
のような4個のMISFETの直列回路の方が、直
列回路の等価抵抗は減少され、プリチヤージ容量
に対するより短い時定数回路を形成することがで
きるので、読出し時間を早くできる。さらに、そ
の時、直列回路のストレー容量CSも小さくできる
ので、プリチヤージ時間の短縮も期待できる。こ
のように、本発明は、縦型固定記憶装置ROMの
列において直列接続されるべきMISFETの数を、
幾つかの直列回路に分割し、その直列回路の
MISFETの数を減少せしめたものとみなすこと
ができるので、高速化を可能ならしめる。 本発明に従う固定記憶装置を一の半導体基板上
に、半導体集積回路IC技術によつて、レイアウ
トする場合、列選択回路部を含む全体の
MISFETのマトリクス回路は、幾何学的に行列
状に規即正しく配置することができる。 第2図は、第1図に示した固定記憶装置を一枚
のシリコン半導体基板に半導体集積回路ICの形
成に形成した場合の部分的な平面図を示し、第3
図は、第2図の−に沿つた断面図を示す。 第2図および第3図にて、1はN型のシリコン
半導体基板。12〜20は、MISFETのゲート
電極および信号入力導線として作用するポリシリ
コン配線層。1〜11は、ポリシリコン配線層1
2〜20をマスクの一部として拡散されたP型拡
散層、この各拡散層は、MISFETのソース若し
くはドレインとして動作し、P型拡散層1〜11
と、ポリシリコン配線層12〜20との交点にお
いて、MISFETが形成される。 すなわち、MISFETは、第3図の断面図から
明らかなように、ポリシリコン配線層によつてセ
ルフアライメント構造に形成されたソース領域お
よびドレイン領域として作用する拡散層2〜5を
有し、かつ、ポリシリコン配線層と拡散層とが交
差しようとする部分において、酸化シリコンから
成る薄い(例えば、1000Å)ゲート用絶縁膜24
を有している。領域23は、P型不純物イオン
が、イオン打込み技術によつて導入された部分
で、デプレツシヨン型MISFETを形成した部分
において選択的に形成されている。 25は、酸化シリコンによつて形成された例え
ば、1〜2μのような、比較的に厚いフイールド
絶縁膜で、P型拡散層の表面およびゲート電極用
のポリシリコン配線層の表面を覆つている。 L1,L2およびL3は、ポリシリコン配線層14
〜18を横切つて、フイールド絶縁膜25の上に
設けられたアルミニウム配線層で、これは、コン
タクト部21および22において、P型拡散層に
オーミツクコンタクトされている。このアルミニ
ウム配線層は、各列において、P型拡散層と二層
配線の形をとり、それと平行して配置することが
できる。 かかる構造は、例えば特開昭52−30388および
特開昭52−106689に開示されたプロセスに従つて
形成できる。 第2図および第3図から明らかなように、本発
明に従えば、すべてのMISFETは、行列の形に
マトリクス状に整然と配置せしめることができる
ので、レイアウトが容易であり、かつその占有面
積を減少することができる。 第4図は、PチヤンネルMISFETによつて構
成された本発明の他の実施例を示す回路図であ
る。本実施例は、列選択回路の一部が単位固定記
憶装置の一部として組込まれている場合である。 第4図にて、ROMS1およびROMS2は列選択回
路部。ROM11,ROM12,ROM21およびROM22
は、単位固定記憶装置で、この各装置は、記憶回
路部MEと、記憶回路選択回路部SEと、列選択回
路部CEとから成る。 各単位固定記憶装置(例えば、ROM11)にお
いて、PチヤンネルMISFETの直列回路(エン
ハンスメント型とデプレツシヨン型を含む)
は、複数のグループに分けられ、各グループにお
いて、互いに並列接続されている。単位固定記憶
装置における列選択回路部CEは、各グループ内
の所定の直列回路を選択するために付加されてお
り、列選択回路マトリクスROMS1は、所定の列
のグループを選択するように動作する。すなわ
ち、ROMS1とCEとの組合せによつて、単位固定
記憶装置のMEの所定の列のみが選択される。 かかる固定記憶装置の動作も第1図とほぼ同様
に説明されるので、その説明を省略する。 第5図は、第4図の固定記憶装置の半導体集積
回路装置における平面図を示す。この半導体集積
回路の構造は、第2図および第3図に示したもの
と同様な構造を持つている。 第5図にて、50は、N型のシリコン半導体基
板、26〜35は共通ゲート電極と使用するため
のポリシリコン配線層、36〜45は、ポリシリ
コン配線層26〜35の両側において配置された
MISFETのソース又はドレインとして作用する
P型拡散層、51は、デプレツシヨン型
MISFETを形成するためのP型不純物イオン打
込み領域、48および49は、アルミニウム配線
層46および47を、P型拡散層38および45
にオーミツクコンタクトさせるためのコンタクト
部である。 かかるIC構造の有利な点は、単位固定記憶装
置間を接続するための、アルミニウム配線層に対
する拡散層のコンタクト部を有効的に大きくする
ことができる点にある。すなわち、第2図の実施
例の場合、アルミニウム配線層L1,L2,L3のそ
れぞれのコンタクト部21および22の周辺にお
いて、そのコンタクト部がはみ出さないようにP
型拡散層の面積を大きくする必要があるが、第5
図の実施例においては、2つの列に対し、共通的
なコンタクト部48および49を設ければ良いの
で、殊さらに、P型拡散層のコンタクト部周辺の
面積を大きくする必要がなくなり、共通化された
2列を、コンタクト部の設置のために、有効に活
用できる。従つて、第5図の構造は、第2図に比
べ横方向において、MISFETの集積密度を高く
することができる。 第6図は、第4図の実施例の一部を変形した他
の実施例の回路図である。第4図と対応する回路
部分は同一符号を以つて示されている。この固定
記憶装置は、第4図における単位固定記憶装置の
記憶回路選択回路部SEを省略し、その代りに
AND回路、AND1およびAND2を設け、ROM選
択信号VS1および列選択信号VC1′,VC2′を、
AND回路、AND1およびAND2に印加せしめた
ものである。かかる配置に従つて、固定記憶装置
の素子数の低減が期待できる。 第7図は、本発明のさらに他の実施例を示す回
路図で、行列状のマトリクスに配置された
MISFETは、○印又は□印の記号によつて略式
的に示されている。○印はエンハンスメント型の
PチヤンネルMISFETを示し、□印は、デプレ
ツシヨン型のPチヤンネルMISFETを示してい
る。 この固定記憶装置は、分割された単位固定記憶
装置ROM11,ROM21,ROM31のそれぞれの中
に、列選択信号VC1〜VCoによつて制御される列
選択回路部CEが設けられている。 さらに、単位固定記憶装置ROM11,ROM21
ROM31は、単位固定記憶装置相互間を選択する
ために設けられたROM選択回路部SEと、データ
を記憶するために設けられた固定記憶回路部ME
とを含んでいる。ROM選択回路部SEには、
ROM選択信号VS1が印加され、固定記憶回路部
MEの各行には、所定の行を選択するためのアド
レス信号Vn1〜Vnoが印加される。各単位固定記
憶装置のMISFETの直列回路は、互いに並列接
続されている。そして、各単位固定記憶装置に対
し、共通の出力端子OUT0が設けられ、この共通
出力端子に接続される出力容量C0を、所定の時
間の間プリチヤージするためのスイツチング用の
MISFETQ0が、設けられる。 かかる固定記憶装置によれば、SEによつて特
定の固定記憶装置が選択され、CEによつて、そ
の特定された固定記憶装置における、ある特定さ
れた列が選択され、さらに、アドレス信号Vn1
Vnoによつて特定列の中の、ある所定の行が指定
される。その結果得られるデータは、出力端子
OUT0より出力される。 このようにして、各単位固定記憶装置に対して
一つのプリチヤージ用MISFETによつて構成で
きる。本実施例は、特に列の数が少ないとき、列
選択回路部を各単位固定記憶装置内に設置しても
占有面積が差程増加しないような場合に適用され
る。 上述した幾つかの実施例においては、負荷容量
C0を予め充電しておく、所謂、レシオレスタイ
プの回路について述べたが、プリチヤージ用
MISFETQ0,Q01,Q02を、負荷用MISFETに置
き換えて、あるインピーダンスを持たせるように
して、レシオタイプの回路に構成することによつ
て、出力信号を取り出しても良い。 また、上述した実施例は、Pチヤンネル、シリ
コンゲート型のMISFETを用いた実施例につい
て説明したが、本発明は、アルミニウムゲート型
MISFETなどの他のMIS型素子を使用するもの
に適用できる。 第8図は、Pチヤンネル型MISFETとNチヤ
ンネル型MISFETを使用する、所謂、コンプリ
メンタリMISFET(又はCMOS)で構成された固
定記憶装置の他の実施例の回路図を示す。 第8図にて、単位固定記憶装置ROMnは、N
チヤンネルエンハンスメント型MISFETQR1
QRoから成る単位固定記憶装置選択回路部SEと、
NチヤンネルMISFETQn1〜Qnoから成り、その
選択されたものは、エンハンスメント型にされ
た固定記憶回路部MEと、記憶状態を判定するタ
イミングを決定するために設けられたNチヤンネ
ルエンハンスメント型MISFETQDから成る状態
決定回路部DIとから成る。 列選択回路部ROMSは、Nチヤンネル
MISFETQS1〜QSoから成り、列選択信号VC1
VCoの信号レベルに応じて特定な列を選択するた
めに、MISFETQS1〜QSoの選択されたものはエ
ンハンスメント型とされている。この列選択回
路部ROMSは、同じ列に配置される多数の単位固
定記憶装置と、共通出力端子OUT0との間に共通
的に設けられたものである。 Q0は、プリチヤージ用のPチヤンネルエンハ
ンスメント型MISFETで、ある時間の間、出力
容量C0をプリチヤージするように動作する。 かかる固定記憶装置も、第1図に示した固定記
憶装置と同様な動作を行なう。 第8図の実施例にて、SEは、MISFETQDと兼
用できるが、SEを省略すると、上述したように、
ある単位固定記憶装置のMISFETの直列回路の
ストレー容量CSが他の単位固定記憶装置の対応す
る列のMISFETの直列回路のストレー容量とし
て合成されるので、高速化の点で望ましくない。
本実施例の場合、SEは、所謂、単位固定記憶装
置間の電気的分離手段として作用する。 以上の説明から明らかにされるように、本発明
に従えば、大記憶容量を持ち、かつ高速度の縦型
固定記憶装置を得ることができる。 本発明は、その精神を逸脱しない範囲内におい
て種々の変形が可能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a fixed memory device using an insulated gate field effect transistor (hereinafter referred to as MISFET), and particularly to a fixed memory device using an insulated gate field effect transistor (hereinafter referred to as MISFET).
This invention relates to a vertical fixed storage device in which two are connected in series. The applicant first developed depletion type MISFET and enhancement type MISFET.
A fixed memory device, ROM ( Read O
nlyMemory (hereinafter sometimes simply referred to as ROM). In such a ROM, the enhancement type MISFET is turned on or off depending on the operating voltage, as shown in, for example, JP-A-52-30388, JP-A-52-58452, and JP-A-52-106665. Depletion type MISFET is
Taking advantage of the fact that MISFETs are always on regardless of the operating voltage, we can arrange MISFETs in a matrix of rows and columns.
The MISFETs in each column are arranged in a so-called vertical configuration so that they are connected in series with each other, and selected locations in the matrix are arranged as enhancement type storage elements, and the rest are arranged as depletion type wiring elements. It is characterized by By using this method,
Extremely high degree of integration on a single semiconductor substrate
Since it is possible to form a ROM device and the manufacturing method is simple, it is possible to improve the manufacturing yield compared to the so-called horizontal ROM in which MISFETs used as memory elements are connected in parallel with each other. I can do it. However, in such a vertical ROM device, when an attempt is made to create a large capacity storage device by increasing the number of MISFETs connected to a series circuit of MISFETs constituting a unit circuit, the resistance of the series circuit increases. As a result, the time constant between the series circuit and other circuits related to it becomes large, making it impossible to achieve high speed. Therefore, the main object of the present invention is to provide a vertical ROM device structure suitable for increasing capacity and speed. Furthermore, another object of the present invention is to provide a layout of a vertical ROM device suitable for increasing capacity, which can be integrated at high density on one semiconductor substrate using semiconductor integrated circuit technology. . According to the ROM device of the present invention, a fixed memory circuit matrix to be formed by a set of unit series circuits of MISFETs is divided into a plurality of parts, and each divided fixed memory circuit matrix part is connected to the fixed memory circuit matrix part. Selection circuit means are provided for selecting each of the. Furthermore, the common output terminal is provided with potential supply circuit means, such as load circuit or precharge circuit means, for applying a potential to the common output terminal. Thereby, the output terminal and the potential supply circuit means are commonly used for each divided fixed storage matrix section. Further, according to the present invention, in order to commonize the column selection circuit means of the series circuits of each column constituting each divided fixed storage matrix section, it is possible to connect the common output terminal and the plurality of divided fixed storage matrix sections. It can also be inserted into. The objects and benefits of the present invention will be better understood from the description taken in conjunction with the following drawings. FIG. 1 shows a circuit diagram of a persistent storage device according to one embodiment of the invention. In Figure 1, ROM 11 , ROM 12 , ROM 21 and
The ROM 22 is a unit fixed storage device in which a predetermined storage capacity determined based on the system design is divided into four fixed storage devices, and each fixed storage device is
a fixed memory matrix section ME and a fixed memory matrix selection circuit section SE for selecting each of the fixed memory matrix sections ME between fixed memory devices;
It consists of Multiple unit storage devices ROM 11 , ROM 12 , ROM 21
and ROM 22 each have P channel MISFETQ 5 to
Q has 20 . That is, in the column
MISFETs are connected in series, in a row, each column
Conductive lines L 5 to L 8 are arranged to commonly connect the gate electrodes of the MISFETs. Selected MISFETs Q 5 to Q 20 that make up the memory matrix section ME are enhancement type MISFETs E , and the remaining ones are depletion type MISFETs.
Consists of MISFET D. Enhancement type
The matrix position pattern in which MISFET E is selected differs between unit storage devices. This enhancement type MISFET selection pattern is determined according to the system design of the electronic device using the fixed storage device. If the enhancement type MISFET is placed in the position determined in a certain row and a certain column,
If E exists, it can be defined that data “1” is stored at that position, and conversely, if that position is depletion type FET D , data “0” is stored. It can be defined as something that exists. Of course, contrary to this definition, the existence of the enhancement type MISFET E may be defined as data "0". The selection circuit section SE of each unit fixed storage device is connected to the line
It consists of P channel enhancement type MISFETs Q1 to Q4 whose gate electrodes are commonly connected by L9 . Multiple unit fixed storage devices ROM 11 , ROM 12 ,
There is a geometric line between ROM 21 and ROM 22 .
They are also arranged in a matrix of R 1 , R 2 and columns C 1 , C 2 . In the unit fixed storage devices arranged in the same column, the series circuits of P-channel MISFETs arranged in the corresponding column of each unit fixed storage device are connected in parallel to each other by conductive lines L 1 to L 4 . For example, placed in column C 1
MISFETQ 5 to Q 8 in ROM 11 and ROM 21
are connected in parallel to each other by a line L1 . ROM S1 and ROM S2 are column selection circuit sections connected between common output terminals OUT 1 and OUT 2 and each unit fixed storage device. Each column selection circuit block ROM S1 ,
ROM S2 has P channels arranged in matrix.
Consisting of MISFETQ 21 ~ Q 52 , MISFET in the same row
The gate electrodes of are commonly connected. The MISFETs Q 21 to Q 52 constituting this column selection circuit section are selectively enhanced-type MISFETs so as to select a specific column series circuit in the unit fixed storage device according to a selection signal applied to the gate electrode line.
MISFET E , and the remaining ones are depletion type MISFET D. Q 01 and Q 02 are common output terminals OUT 1 and OUT 2
P-channel enhancement type provided to precharge the capacitances C 01 and C 02 that exist between the reference potential source (earth potential) and the
MISFET, potential source V DD and common output terminal OUT 1 ,
OUT 2 , and a timing pulse signal φ P is applied to their gate electrodes. In the memory circuit section ME of the unit fixed memory devices ROM11 , ROM12 , ROM21 , and ROM22 , address signals Vn1 to Vn4 are applied to the gate electrode lines L5 to L8 arranged in rows. In the selection circuit section SE, selection signals V S1 and V S2 are applied to the gate electrode L 9 depending on the row. Column selection signals V C1 to V C8 are applied to the common gate electrode line of the column selection circuit units ROM S1 and ROM S2 . To explain the operation, first the column selection circuit section
Column selection signals V C1 to V C8 are applied to selected ones of the gate electrode lines of ROM S1 and ROM S2 , and the selected column with the series circuit of a predetermined unit fixed storage device is connected to the output terminal OUT 1 or OUT. Connected to 2 . For example, only column selection signal V C1 is of enhancement type.
Level that turns on MISFET (-V DD level)
When the voltage changes to , MISFETQ 21 turns on. At this time, other MISFETs Q 22 ~ Q 28 connected in series with Q 21
are all depletion type, so V C2 ~
Even if the signal level of V C8 is off level (earth level), the series circuit of Q 22 to Q 28 is in a conductive state, so as a result, the output terminal OUT 1
is connected to one specified output terminal P 1 of each fixed storage device ROM 11 and ROM 21 . When a timing pulse φ P is applied for precharging while a specific column is selected by the column selection signal, MISFETQ 01 , Q 02
is in the on state, and each common output terminal OUT 1 ,
Output capacitance equivalently connected to each of OUT 2
Precharge C 01 and C 02 . After the output capacitors C 01 and C 02 are precharged to a predetermined potential by applying the timing pulse φ P for a predetermined time, the selection circuit section SE of the unit fixed storage device
Then, by applying the selection pulse signal V S1 or V S2 , the memory circuit section ME in the specified unit fixed memory device is made operational. for example,
When V S1 is on level and V S2 is off level,
ROM 11 and ROM 12 are selected and made operational. In this state, as described above, since a certain column has been selected, the corresponding specific column of the selected unit fixed storage device will be selected. Following the example above, V C1 applied to MISFETQ 21 selects columns Q 5 -Q 6 and V C1 applied to Q 1 selects a particular fixed storage device.
Only the series circuits Q5 to Q6 of ROM 11 are selected.
Therefore, for example, in this state, if only V n1 of the address signals V n1 to V n4 is off level (earth level), the transistor Q 5
Only the state of is transmitted to the output terminal OUT 1 . In other words, since Q5 of ROM 11 is of the depletion type, the series circuit of Q5 to Q8 becomes conductive.
The series circuit discharges the precharge voltage of the output capacitor C 01 so that the output level of the output terminal OUT 1 is set to the off level (earth level). The signal levels of the address signals V n1 to V n4 can be set to an off level (earth level). When you want to judge the state of Q 5 , as mentioned above, you set V n1 to off level and the others to on level (-V DD level), but if you want to judge the state of Q 6 in the same way, only V n2 should be set as off-level. If Q 6 is selected by V n2 , the series circuit of Q 5 to Q 8 becomes non-conductive, so the precharge voltage of the output capacitor C 01 is maintained, and as a result, the output terminal The output level of OUT 1 is on level (-V DD level). In this way, column selection circuit section ROM S1 and
ROM S2 works to select specific columns,
Address signals V n1 -V n4 cause a particular row to be selected. Further, the selection signals V S1 to V S2 applied to the fixed storage device selection circuit section SE select a specific unit fixed storage device. It is also possible to arrange the fixed memory circuit section SE on the ground side of the memory circuit section ME (provide Q1 on the source side of Q8 ), but as in the above embodiment, it is possible to arrange it on the power supply side of the series circuit (i.e. , Q 1 on the drain side of Q 5
For example, if the series circuit of Q 5 to Q 8 of ROM 11 is selected by V S1 , the series circuit of Q 5 to Q 8 of ROM 21 is
Due to the off state of MISFETQ 1 in ROM 21 ,
Since it is released from the ROM 11 , the stray capacitance C S that the series circuit of Q 5 to Q 8 of the ROM 21 has with respect to the ground potential is not connected to the output capacitance C 01 .
Therefore, an increase in the output capacitance C 01 can be prevented, and as a result, a decrease in switching speed can be prevented. In addition, the common output terminal OUT 1 of column C 1 and the common output terminal OUT 2 of column C 2 are separated, but have one common output terminal and one precharge terminal.
It can also be a MISFET. According to the circuit arrangement of the fixed storage device of the present invention, there is no need to provide means for applying a potential to the output line, such as a precharge MISFET, for each divided unit fixed storage device. That is, one set of precharge means can be used in common for a plurality of unit fixed storage devices. Furthermore, since a common output terminal is used for each divided unit fixed storage device, a logic circuit such as an AND or OR circuit for synthesizing a plurality of output signals can be omitted. Furthermore, according to the present invention, the column selection circuit unit selects a plurality of unit fixed storage devices arranged in the same column.
One set or an omitted scale circuit may be used. Therefore, according to the present invention, a large capacity fixed storage device can be realized on one semiconductor substrate. In order to facilitate understanding of the present invention, the above-mentioned embodiment assumes that the storage capacity of the unit fixed storage device is 16 bits (4 rows x 4 columns), and that two sets of fixed storage devices are arranged in the same column. The diagram shows the case where
In a more commercially produced fixed storage device, according to the invention, for example, 64 rows by 8 columns (512
A large-capacity fixed storage device can be realized by arranging four sets of bits in the same column as the storage portion of a unit fixed storage device. Another advantage of the present invention is that by increasing the number of divided unit fixed storage devices, the number of series-connected MISFETs in the unit fixed storage devices can be reduced and the switching speed can be increased. . For example, in the embodiment described above,
The two sets of ROM 11 and ROM 21 , which are unit fixed storage devices with 4 rows and 4 columns, can be viewed as two parts of one fixed storage device with 8 rows and 4 columns. As a result, the equivalent resistance of the series circuit is reduced in a series circuit of four MISFETs as in the present invention, compared to a series circuit of eight MISFETs, forming a shorter time constant circuit for precharge capacitance. This allows the readout time to be shortened. Furthermore, at this time, the stray capacitance C S of the series circuit can also be reduced, so it is expected that the precharge time will be shortened. In this way, the present invention reduces the number of MISFETs to be connected in series in a column of a vertical fixed storage device ROM.
Divide into several series circuits and
Since this can be regarded as a reduction in the number of MISFETs, it is possible to increase the speed. When the fixed memory device according to the present invention is laid out on one semiconductor substrate using semiconductor integrated circuit IC technology, the entire fixed memory device including the column selection circuit section is laid out on one semiconductor substrate.
MISFET matrix circuits can be geometrically arranged precisely in rows and columns. FIG. 2 shows a partial plan view when the fixed storage device shown in FIG. 1 is formed on a single silicon semiconductor substrate to form a semiconductor integrated circuit IC;
The figure shows a sectional view taken along - in FIG. In FIGS. 2 and 3, 1 is an N-type silicon semiconductor substrate. 12 to 20 are polysilicon wiring layers that act as gate electrodes of MISFETs and signal input conductors; 1 to 11 are polysilicon wiring layers 1
P-type diffusion layers 2 to 20 are diffused as part of a mask, each diffusion layer operates as a source or drain of a MISFET, and P-type diffusion layers 1 to 11
MISFETs are formed at the intersections between and the polysilicon wiring layers 12 to 20. That is, as is clear from the cross-sectional view of FIG. 3, the MISFET has diffusion layers 2 to 5 functioning as a source region and a drain region formed in a self-aligned structure by a polysilicon wiring layer, and A thin (for example, 1000 Å) gate insulating film 24 made of silicon oxide is formed at the portion where the polysilicon wiring layer and the diffusion layer are to intersect.
have. The region 23 is a region into which P-type impurity ions are introduced by ion implantation technology, and is selectively formed in the region where the depletion type MISFET is formed. 25 is a relatively thick field insulating film made of silicon oxide, for example, 1 to 2 μm thick, and covers the surface of the P-type diffusion layer and the surface of the polysilicon wiring layer for the gate electrode. . L 1 , L 2 and L 3 are polysilicon wiring layers 14
An aluminum wiring layer is provided on the field insulating film 25 across the field 18, and is in ohmic contact with the P-type diffusion layer at contact portions 21 and 22. This aluminum wiring layer takes the form of a P-type diffusion layer and a two-layer wiring in each column, and can be arranged in parallel thereto. Such structures can be formed, for example, according to the processes disclosed in JP-A-52-30388 and JP-A-52-106689. As is clear from FIGS. 2 and 3, according to the present invention, all the MISFETs can be arranged in an orderly manner in a matrix, making the layout easy and reducing the area occupied. can be reduced. FIG. 4 is a circuit diagram showing another embodiment of the present invention constructed using P-channel MISFETs. In this embodiment, a part of the column selection circuit is incorporated as part of a unit fixed storage device. In Figure 4, ROM S1 and ROM S2 are column selection circuit sections. ROM 11 , ROM 12 , ROM 21 and ROM 22
is a unit fixed storage device, and each device is composed of a storage circuit section ME, a storage circuit selection circuit section SE, and a column selection circuit section CE. In each unit fixed storage device (for example, ROM 11 ), a series circuit of P-channel MISFETs (including enhancement type E and depletion type D )
are divided into a plurality of groups, and are connected in parallel to each other in each group. The column selection circuit section CE in the unit fixed storage device is added to select a predetermined series circuit in each group, and the column selection circuit matrix ROM S1 operates to select a predetermined column group. . That is, only a predetermined column of ME of the unit fixed storage device is selected by the combination of ROM S1 and CE. The operation of such a fixed storage device will be explained in substantially the same manner as in FIG. 1, so the explanation thereof will be omitted. FIG. 5 shows a plan view of the semiconductor integrated circuit device of the fixed storage device of FIG. 4. The structure of this semiconductor integrated circuit is similar to that shown in FIGS. 2 and 3. In FIG. 5, 50 is an N-type silicon semiconductor substrate, 26 to 35 are polysilicon wiring layers used as a common gate electrode, and 36 to 45 are arranged on both sides of the polysilicon wiring layers 26 to 35. Ta
The P-type diffusion layer 51, which acts as the source or drain of the MISFET, is a depletion type
P-type impurity ion implantation regions 48 and 49 for forming a MISFET connect aluminum wiring layers 46 and 47 to P-type diffusion layers 38 and 45.
This is a contact part for making ohmic contact with. An advantage of such an IC structure is that the contact portion of the diffusion layer to the aluminum wiring layer for connecting unit fixed storage devices can be effectively enlarged. That is, in the case of the embodiment shown in FIG. 2, around the contact parts 21 and 22 of each of the aluminum wiring layers L 1 , L 2 , and L 3 , P is placed so that the contact parts do not protrude.
Although it is necessary to increase the area of the type diffusion layer, the fifth
In the embodiment shown in the figure, it is sufficient to provide common contact portions 48 and 49 for the two columns, so there is no need to particularly increase the area around the contact portion of the P-type diffusion layer. The two rows thus formed can be effectively utilized for installing contact parts. Therefore, the structure shown in FIG. 5 can increase the integration density of MISFETs in the lateral direction compared to the structure shown in FIG. 2. FIG. 6 is a circuit diagram of another embodiment which is a partial modification of the embodiment of FIG. 4. Circuit parts corresponding to those in FIG. 4 are designated with the same reference numerals. This fixed storage device omits the storage circuit selection circuit section SE of the unit fixed storage device in FIG.
AND circuits, AND 1 and AND 2 are provided, and the ROM selection signal V S1 and column selection signals V C1 ′, V C2 ′ are
This is applied to the AND circuit, AND 1 and AND 2 . According to such an arrangement, a reduction in the number of elements in the fixed storage device can be expected. FIG. 7 is a circuit diagram showing still another embodiment of the present invention.
MISFETs are indicated schematically by the symbol ○ or □. The ○ mark indicates an enhancement type P-channel MISFET, and the □ mark indicates a depletion type P-channel MISFET. In this fixed storage device, a column selection circuit section CE controlled by column selection signals V C1 to V Co is provided in each of the divided unit fixed storage devices ROM 11 , ROM 21 , and ROM 31 . There is. Furthermore, unit fixed storage devices ROM 11 , ROM 21 ,
The ROM 31 includes a ROM selection circuit section SE provided for selecting between unit fixed storage devices, and a fixed storage circuit section ME provided for storing data.
Contains. In the ROM selection circuit SE,
When the ROM selection signal V S1 is applied, the fixed memory circuit section
Address signals V n1 to V no for selecting a predetermined row are applied to each row of the ME. The MISFET series circuits of each unit fixed storage device are connected in parallel to each other. A common output terminal OUT 0 is provided for each unit fixed storage device, and a switching circuit is provided for precharging the output capacitor C 0 connected to this common output terminal for a predetermined period of time.
MISFETQ 0 is provided. According to such a fixed storage device, a specific fixed storage device is selected by the SE, a certain specified column in the specified fixed storage device is selected by the CE, and the address signal V n1 is selected by the CE. ~
V no specifies a certain row within a particular column. The resulting data will be sent to the output terminal
Output from OUT 0 . In this way, each unit fixed storage device can be configured with one precharge MISFET. This embodiment is applied particularly when the number of columns is small and the occupied area does not increase significantly even if the column selection circuit section is installed in each unit fixed storage device. In some of the embodiments described above, the load capacity
I mentioned a so-called ratioless type circuit that charges C 0 in advance, but it is not suitable for pre-charging.
The output signal may be extracted by replacing the MISFETs Q 0 , Q 01 , and Q 02 with load MISFETs to provide a certain impedance and constructing a ratio type circuit. Further, in the above-mentioned embodiment, an embodiment using a P-channel, silicon gate type MISFET was described, but the present invention uses an aluminum gate type MISFET.
It can be applied to devices using other MIS type elements such as MISFET. FIG. 8 shows a circuit diagram of another embodiment of a fixed storage device configured with a so-called complementary MISFET (or CMOS) using a P-channel type MISFET and an N-channel type MISFET. In FIG. 8, the unit fixed storage device ROM n is N
Channel enhancement type MISFETQ R1 ~
A unit fixed storage device selection circuit section SE consisting of Q Ro ;
Consisting of N-channel MISFETQ n1 to Q no , the selected one is an enhancement type E fixed memory circuit section ME, and an N-channel enhancement type MISFETQ D provided to determine the timing for determining the memory state. and a state determination circuit section DI. Column selection circuit section ROM S is N channel
MISFETQ consists of S1 ~ Q So , column selection signal V C1 ~
In order to select a specific column according to the signal level of V Co , the selected MISFETs Q S1 to Q So are of enhancement type E. This column selection circuit section ROM S is provided in common between a large number of unit fixed storage devices arranged in the same column and the common output terminal OUT 0 . Q 0 is a P-channel enhancement type MISFET for precharging, and operates to precharge the output capacitance C 0 for a certain period of time. Such a fixed storage device also performs the same operation as the fixed storage device shown in FIG. In the embodiment shown in FIG. 8, SE can also be used as MISFETQ D , but if SE is omitted, as mentioned above,
The stray capacitance C S of the MISFET series circuit of a certain unit fixed storage device is combined as the stray capacitance of the MISFET series circuit of the corresponding column of another unit fixed storage device, which is undesirable from the viewpoint of speeding up.
In this embodiment, the SE acts as a so-called electrical isolation means between unit fixed storage devices. As is clear from the above description, according to the present invention, a vertical fixed storage device having a large storage capacity and high speed can be obtained. The present invention can be modified in various ways without departing from its spirit.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明に従う固定記憶装置の一実施
例を示す回路図。第2図は、第1図に示す固定記
憶装置を半導体集積回路の形態に構成した場合の
半導体集積回路の平面図。第3図は、第2図に示
す半導体集積回路の部分−に沿つた部分断面
図。第4図は、本発明に従う固定記憶装置の他の
実施例を示す回路図。第5図は、第4図に示す固
定記憶装置を半導体集積回路の形態に構成した場
合の平面図。第6図は、第4図に示す固定記憶装
置の回路を一部変形した本発明に従う固定記憶装
置の回路図。および第7図および第8図は、本発
明に従うさらに他の実施例を示す回路図。 ROMS1,ROMS2,ROMS……列選択回路部、
ROM11,ROM12,ROM21,ROM22……単位固
定記憶装置、ME……固定記憶回路部、SE……記
憶選択回路部、Q0,Q01,Q02……プリチヤージ
用MISFET。
FIG. 1 is a circuit diagram showing an embodiment of a fixed storage device according to the present invention. FIG. 2 is a plan view of a semiconductor integrated circuit in which the fixed storage device shown in FIG. 1 is configured in the form of a semiconductor integrated circuit. FIG. 3 is a partial sectional view taken along a portion of the semiconductor integrated circuit shown in FIG. 2. FIG. 4 is a circuit diagram showing another embodiment of the fixed storage device according to the present invention. FIG. 5 is a plan view of the fixed storage device shown in FIG. 4 configured in the form of a semiconductor integrated circuit. FIG. 6 is a circuit diagram of a fixed storage device according to the present invention, which is a partial modification of the circuit of the fixed storage device shown in FIG. 4. 7 and 8 are circuit diagrams showing still other embodiments according to the present invention. ROM S1 , ROM S2 , ROM S ... Column selection circuit section,
ROM 11 , ROM 12 , ROM 21 , ROM 22 ...unit fixed storage device, ME...fixed memory circuit section, SE...memory selection circuit section, Q0 , Q01 , Q02 ...precharge MISFET.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 それぞれが、行および列状に選択的に配置さ
れ、かつ前記各列において直列接続された記憶素
子として与えられた絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタを含み、その絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタのゲート電極は、各行において、共通接続
されて成る複数の固定記憶回路部と、一つの共通
出力端子と、前記各固定記憶回路部の各列の前記
記憶素子用絶縁ゲート型電界効果トランジスタの
直列回路を、前記共通出力端子に選択的に結合す
るための列選択回路部と、前記複数の固定記憶回
路部のそれぞれに結合された、それらの固定記憶
回路部を選択的に動作可能にするための記憶選択
回路部と、前記共通出力端子とある電位源との間
に結合された、前記記憶回路部の記憶内容に従つ
て、前記共通出力端子に所定電位を供給するため
の電位供給回路手段とを具備して成ることを特徴
とする固定記憶装置。 2 前記電位供給回路手段は、前記共通出力端子
と基準電位源との間に存在する容量を予め充電す
るためのスイツチ素子として用いられた絶縁ゲー
ト型電界効果トランジスタから成ることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の固定記憶装置。 3 前記列選択回路部は、前記複数の記憶回路部
と、前記共通出力端子との間に、前記各記憶回路
部に対して共通的に設けられて成る少なくとも一
つのものから成ることを特徴とする特許請求の範
囲第1項又は第2項記載の固定記憶装置。 4 前記列選択回路部は、前記記憶回路部のそれ
ぞれと、前記共通出力端子との間に、前記各記憶
回路部に対して設けられた複数のものから成るこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項
記載の固定記憶装置。 5 前記列選択回路部は、前記各記憶回路部にそ
れぞれ結合された、複数の第1の回路部と、前記
各記憶回路部と、それに対応して設けられた前記
第1の回路部とに対して共通的に設けられた少な
くとも1つの第2の回路部とから成ることを特徴
とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載の固
定記憶装置。
[Scope of Claims] 1 Each includes insulated gate field effect transistors selectively arranged in rows and columns and provided as storage elements connected in series in each column, the insulated gate field effect transistors In each row, the gate electrode of the effect transistor includes a plurality of commonly connected fixed memory circuit sections, one common output terminal, and the insulated gate field effect transistor for the memory element in each column of each fixed memory circuit section. a column selection circuit unit for selectively coupling a series circuit of the plurality of fixed memory circuits to the common output terminal; and a fixed memory circuit unit coupled to each of the plurality of fixed memory circuit units, the fixed memory circuit units being selectively operable. a memory selection circuit unit for supplying a predetermined potential to the common output terminal according to the memory content of the memory circuit unit, the potential supply being coupled between the common output terminal and a certain potential source; 1. A fixed storage device comprising circuit means. 2. A patent claim characterized in that the potential supply circuit means comprises an insulated gate field effect transistor used as a switch element for precharging a capacitance existing between the common output terminal and the reference potential source. The fixed storage device according to item 1. 3. The column selection circuit section is characterized by comprising at least one element that is provided between the plurality of memory circuit sections and the common output terminal and is commonly provided to each of the memory circuit sections. A fixed storage device according to claim 1 or 2. 4. Claims characterized in that the column selection circuit section comprises a plurality of circuits provided for each of the memory circuit sections between each of the memory circuit sections and the common output terminal. The fixed storage device according to item 1 or 2. 5. The column selection circuit unit includes a plurality of first circuit units respectively coupled to each of the memory circuit units, each of the memory circuit units, and the first circuit unit provided corresponding thereto. 3. The fixed storage device according to claim 1, further comprising at least one second circuit section provided in common with the fixed storage device.
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