JPS6329527A - Resin potting method for tape carrier package - Google Patents
Resin potting method for tape carrier packageInfo
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はテープキャリアパッケージを組立する際のレジ
ンポツティング技術の改良に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to improvements in resin potting techniques for assembling tape carrier packages.
半導体素子の実装方式の一つにテープキャリア方式があ
る。この方式は別称フィルムキャリア方式とかTAB(
Tape Automated Bonding )方
式とか呼ばれており、一般に、長尺のスプロケットホー
ル付きフィルムテープに半導体素子を連続的に組込んで
いく方式で、当該ホールを利用してフィルム(テープ)
を送り、位置合せを行なう。One of the mounting methods for semiconductor elements is the tape carrier method. This method is also known as the film carrier method or TAB (
Tape Automated Bonding (Tape Automated Bonding) method is generally a method in which semiconductor elements are successively assembled into a long film tape with sprocket holes, and the holes are used to bond the film (tape).
, and perform positioning.
この方式の一例は、適宜幅のテープに前記スプロケット
ホールと半導体素子の組込み用デバイスホールとを穿設
し、銅箔をラミネートし、ホトレジスト技術やエツチン
グ技術を用いて、所望のリードパターンを形成する。こ
の方式では、前記デバイスホール内にフィンガ状のリー
ドを突出させるのが一つの特徴となっている。An example of this method is to drill the sprocket hole and a device hole for incorporating a semiconductor element in a tape of an appropriate width, laminate copper foil, and form a desired lead pattern using photoresist technology or etching technology. . One feature of this method is that finger-shaped leads protrude into the device hole.
そして、このリードに半導体素子を7エイスアツプで位
置合せしてボンディングする。Then, the semiconductor element is aligned and bonded to this lead at 7-eighths-up.
次いで、当該ボンディング後に、半導体素子や当該ボン
ディング部の封止のために、樹脂溶液をポッティングし
、熱硬化させ、樹脂を塗布する。Next, after the bonding, a resin solution is potted, thermally cured, and the resin is applied in order to seal the semiconductor element and the bonding portion.
この塗布の方法として、従来、半導体素子の表裏面に樹
脂を塗布するいわゆる両面レジン塗布方式があったが、
これでは厚さが厚くなり過ぎ、ICカードなどの薄物に
組込み難いという難点がある。Conventionally, the method for this coating was the so-called double-sided resin coating method, in which resin was applied to the front and back surfaces of the semiconductor element.
This has the disadvantage that it is too thick and difficult to incorporate into thin objects such as IC cards.
そこで、半導体素子の片面のみに樹脂溶液をポッティン
グし、樹脂を塗布するという片面レジン塗布方式が提案
されている。Therefore, a single-sided resin coating method has been proposed in which a resin solution is potted on only one side of a semiconductor element and the resin is applied.
なお、フィルムキャリアについて述べた文献の例として
、(株)工業調査会1980年1月15日発行rIC化
実装技術J P107〜113およびP175並びにP
143〜146があげられる。Examples of documents that describe film carriers include rIC Mounting Technology J P107-113, P175, and P175 published by Kogyo Kenkyukai Co., Ltd., January 15, 1980.
143 to 146 are listed.
しかしながら、上記片面レジン塗布方式の場合、そのポ
ツティングに際し、樹脂溶液が半導体素子の側面におい
てその底面端部にとどまらずに底面下部につらら状にた
れ下り、あるいは底面に周り込んできたりする。その結
果、パッケージ全体の厚が大となり、規格厚をオーバー
したり薄膜化が必要なICカードなどに組込み難(なる
という難点がある。上記つらら状にたれ下ったレジンを
取除き厚を小さくすることは可能であるが、その取除き
作業には手間がかかる。However, in the case of the single-sided resin coating method, during potting, the resin solution does not stay on the bottom edge of the side surface of the semiconductor element, but drips down to the lower part of the bottom surface in an icicle-like manner, or flows around the bottom surface. As a result, the overall thickness of the package becomes large, making it difficult to incorporate it into IC cards, etc., which exceed the standard thickness or require a thinner film.Remove the icicle-shaped resin and reduce the thickness. Although it is possible, the removal work is time-consuming.
本発明はかかる従来技術の有する欠点を解消し、レジン
のたれ下りや底面への周り込みを防止し、片面塗グな良
好に行なうことができ、ポツティングの作業性を向上さ
せ、その歩留を向上させ、フィルムキャリアパッケージ
の薄膜化に寄与することのできる技術を提供することを
目的とする。The present invention eliminates the drawbacks of the prior art, prevents the resin from dripping down and wrapping around the bottom surface, enables single-sided coating, improves the workability of potting, and improves the yield. The purpose of the present invention is to provide a technology that can contribute to the thinning of film carrier packages.
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。The above and other objects and novel features of the present invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。A brief overview of typical inventions disclosed in this application is as follows.
すなわち、本発明では、レジンポッティング前罠、半導
体素子の裏面(底面)側に、テープを貼着しておき、そ
の後に、半導体素子の表面側より樹脂溶液をポツティン
グするようにした。また、当該テープに突起部を突設し
てもよい。さらに、レジン上面より、レジンが付着しに
ぐい板状物でポッティング物全体を押圧してもよい。That is, in the present invention, tape is attached to the trap before resin potting and to the back (bottom) side of the semiconductor element, and then the resin solution is potted from the front side of the semiconductor element. Further, a protrusion may be provided on the tape. Further, the entire potting object may be pressed from the upper surface of the resin with a plate-like object that prevents resin from adhering.
上記テープを貼着してポッティングを行なうことにより
、樹脂溶液は、当該テープにより、下方向への流れが阻
止され、そのたれ下りが防止される。半導体素子の裏面
にはテープが貼着されているので、樹脂溶液の半導体素
子の底面側への周り込みも防止できる。当該テープは、
ポッティング後に適宜剥離してもよい。当該テープに突
起部が突設されていると上記たれ下りや周り込みが防止
されると共に横方向への広がりも防止できる。また、前
配板状物により押圧することにより、フィルムキャリア
パッケージの厚味を減少させ、かつ、その厚さを一定に
保持することができる。By applying the tape and performing potting, the tape prevents the resin solution from flowing downward and prevents the resin solution from dripping down. Since the tape is attached to the back side of the semiconductor element, it is possible to prevent the resin solution from entering the bottom side of the semiconductor element. The tape is
You may peel it off as appropriate after potting. If the tape is provided with protrusions, it is possible to prevent the tape from hanging down or wrapping around, and also to prevent it from spreading in the lateral direction. Further, by pressing with the front plate-like object, the thickness of the film carrier package can be reduced and the thickness can be kept constant.
次に、本発明を、図面に示す実施例に基づいて説明する
。Next, the present invention will be explained based on embodiments shown in the drawings.
第4図は、テープキャリアの一例平面図を模式的に示し
たもので、樹脂フィルムテープ1の両側端部にはスプロ
ケットホール2が穿設され、その中央にはデバイスホー
ルλが穿設され、該デバイスホール3内にはリードパタ
ーン4のフィンガーリード5が突出し、該フィンガーリ
ード5の裏面には半導体素子(ペレット)6が取着され
ている。FIG. 4 schematically shows a plan view of an example of a tape carrier, in which sprocket holes 2 are bored at both ends of the resin film tape 1, and a device hole λ is bored in the center thereof. Finger leads 5 of a lead pattern 4 protrude into the device hole 3, and a semiconductor element (pellet) 6 is attached to the back surface of the finger lead 5.
第5図はその一単位を詳細に図示したもので、第5図に
て、7はテスト用パッド、8はレジンポッティング後の
切断線である。第4図および第5図に示すフィルムキャ
リアのペレット6の裏面側に、第1図に示すようにテー
プ9を予じめ貼着しておく。そして、ペレット60表面
側から樹脂溶液を滴下して、レジンポツティングを行な
う。FIG. 5 shows one unit in detail. In FIG. 5, 7 is a test pad, and 8 is a cutting line after resin potting. As shown in FIG. 1, a tape 9 is previously attached to the back side of the pellet 6 of the film carrier shown in FIGS. 4 and 5. Then, a resin solution is dropped from the surface side of the pellet 60 to perform resin potting.
第1図は当該ボンディング後のフィルムキャリアパッケ
ージの断面図で、デバイスホール3に注入された、樹脂
溶液は当該ペレット6の裏面側に貼着された当該テープ
9により流れがせき止められ、その樹脂溶液の熱硬化に
より、レジン片面塗りのフィルムキャリアパッケージを
得る。半導体素子6や、この素子6とフィンガーリード
5との接合部であるバンプ10はポッティングレジン1
1により封止される。FIG. 1 is a cross-sectional view of the film carrier package after bonding. The flow of the resin solution injected into the device hole 3 is blocked by the tape 9 attached to the back side of the pellet 6, and the resin solution is injected into the device hole 3. By heat curing, a film carrier package coated on one side with resin is obtained. The semiconductor element 6 and the bumps 10 which are the joints between the element 6 and the finger leads 5 are made of potting resin 1.
1 is sealed.
当該ポツティング後に、テープ9を、ベレット6の裏面
側から剥離してもよいし、テープ9を薄いもので構成し
てあり、厚味への影響が余りないようであればそのまま
貼着しておいてもよい。After the potting, the tape 9 may be peeled off from the back side of the pellet 6, or if the tape 9 is made of a thin material and does not seem to affect the thickness much, it can be left on as is. You can stay there.
第2図は、テープ9に突起部12を突設し、当該突起部
12.12間にベレット6が位置するようにして、同様
にポツティングを行なったもので、樹脂溶液は当該突起
部12により横方向への流れをせき止められ、横方向へ
の広がりを防ぐことができる。In FIG. 2, potting was carried out in the same way by protruding protrusions 12 on the tape 9 and positioning the pellet 6 between the protrusions 12 and 12. It can block the flow in the lateral direction and prevent it from spreading laterally.
当該樹脂溶液の粘度が小の場合に有効であり、当該突起
部12を突設したテープ9のベレット6の裏面への貼着
により、テープとしての前記した効果を奏し得るととも
に、当該突起部12の存在によりベレット6周辺への広
がりをも防止することが可能である。This is effective when the viscosity of the resin solution is low, and by adhering the tape 9 on which the protrusion 12 is protruded to the back surface of the pellet 6, the above-mentioned effect as a tape can be achieved, and the protrusion 12 It is also possible to prevent the spread to the vicinity of the pellet 6 due to the presence of the .
次に、第3図は、第1図に示すようにして、ポツティン
グを行なったフィルムキャリアパッケージについて、ポ
ッティングレジン11の上面より、板状物13により、
当該レジン11を押圧して、当該パッケージの全体厚を
減少させ、あるいは−定の厚さを保持するようにしてな
る説明断面図を示す。Next, FIG. 3 shows that the film carrier package potted as shown in FIG.
An explanatory cross-sectional view is shown in which the resin 11 is pressed to reduce the overall thickness of the package or to maintain a constant thickness.
本発明におけるテープキャリアは従来公知の方法で製造
することができ、それに使用される樹脂フィルムテープ
1は、例えばポリイミド系合成樹脂フィルム(テープ)
により構成される。The tape carrier in the present invention can be manufactured by a conventionally known method, and the resin film tape 1 used therein is, for example, a polyimide synthetic resin film (tape).
Consisted of.
リードパターン4は、例えばCu箔により構成される。The lead pattern 4 is made of, for example, Cu foil.
半導体素子(チップ)6は、例えばシリコン単結晶基板
から成り、周知の技術によってこのチップ内には多数の
回路素子が形成され、1つの回路機能が与えられている
。回路素子の具体例は、例えばMOS)ランジスタから
成り、これらの回路素子によって、例えば論理回路およ
びメモリの回路機能が形成されている。The semiconductor element (chip) 6 is made of, for example, a silicon single-crystal substrate, and a large number of circuit elements are formed within this chip using well-known techniques to provide one circuit function. A concrete example of a circuit element is, for example, a transistor (MOS), and these circuit elements form, for example, a logic circuit and a memory circuit function.
本発明に使用されるテープ9としては、上記樹脂フィル
ムテープ1と同様のものを用〜・ることかできる。The tape 9 used in the present invention may be the same as the resin film tape 1 described above.
ポツティングレジン11は、例えばエポキシ樹脂を溶剤
に溶解してなるものにより構成されろ。The potting resin 11 may be made of, for example, an epoxy resin dissolved in a solvent.
板状物13は、ポツティングレジン1,1に、付着しに
くく、したがって、当該レジ/11から容易に剥離でき
るものが好ましい。例えばテフロン系合成樹脂により構
成されろ。The plate-like material 13 is preferably one that does not easily adhere to the potting resins 1, 1 and can therefore be easily peeled off from the register/11. For example, it may be made of Teflon-based synthetic resin.
なお、この板状物13による抑圧後に、テープ9を剥離
しても、剥離しなくてもよい。Note that the tape 9 may or may not be peeled off after being suppressed by the plate-like material 13.
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されろ
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, it goes without saying that the present invention is not limited to the above-mentioned examples, and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Nor.
本願において開示されろ発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとうりであ
る。A brief explanation of the effects obtained by typical inventions disclosed in this application is as follows.
本発明によれば、厚みの薄いフィルムキャリアパッケー
ジが得られ、たれ下ったレジンの削り作業などを要しな
いのでポツティングの歩留が向上し、レジンの横方向へ
の広がりも抑制され、また、厚味も均一なものが得られ
た。According to the present invention, a thin film carrier package can be obtained, and since there is no need to scrape dripping resin, the potting yield is improved, the spread of the resin in the lateral direction is suppressed, and the thickness is reduced. A uniform taste was obtained.
第1図は本発明の実施例工程の説明断面図、第2図は本
発明の他の実施例工程の説明断面図、第3図は本発明の
さらに他の実施例工程の説明断面図、
第4図は本発明に使用されるフィルムキャリアの一例平
面図、
第5図は同フィルムキャリアのユニットを示す一例平面
図である。
1・・・樹脂フィルムテープ、2・・・スプロケットホ
ール、3・・・テハイスホール、4・・・リードパター
ン、5・・フィンガーリード、6・・半導体素子、7・
・・テスト用パッド、8・・・切断線、9・テープ、1
0・・バンプ、11・・・ポツティングレジン、12・
突起部、13・・・板状物
第 1 図
第 5 図FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view of an example process of the present invention, FIG. 2 is an explanatory cross-sectional view of another example process of the present invention, and FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view of yet another example process of the present invention, FIG. 4 is a plan view of an example of a film carrier used in the present invention, and FIG. 5 is a plan view of an example of a unit of the film carrier. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Resin film tape, 2... Sprocket hole, 3... Tech high speed hole, 4... Lead pattern, 5... Finger lead, 6... Semiconductor element, 7...
...Test pad, 8... Cutting line, 9. Tape, 1
0...Bump, 11...Potting resin, 12...
Projection, 13... Plate-shaped object Fig. 1 Fig. 5
Claims (1)
ってなるテープキャリアパッケージにおける当該レジン
ポッティング方法において、当該素子のポッティングす
る反対側の面にテープを貼着してポッティングを行なう
ことを特徴とするテープキャリアパッケージレジンポツ
テイング方法。 2、テープが、突起部を突設してなるテープである、特
許請求の範囲第1項記載の方法。 3、特許請求の範囲第1項記載の方法において、ポッテ
ィング後に、当該ポッティングレジンと剥離できる板状
物により、ポッティング物全体を押圧することを特徴と
する、特許請求の範囲第1項記載の方法。[Claims] 1. In the resin potting method for a tape carrier package in which a semiconductor element is sealed by potting resin, the potting is performed by attaching a tape to the opposite side of the element to be potted. A tape carrier package resin potting method characterized by: 2. The method according to claim 1, wherein the tape is a tape having protruding portions. 3. The method as set forth in claim 1, wherein after potting, the entire potted object is pressed by a plate-like material that can be peeled off from the potting resin. .
Priority Applications (1)
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JP17157186A JPS6329527A (en) | 1986-07-23 | 1986-07-23 | Resin potting method for tape carrier package |
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1986
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