JPS6329031U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は一実施例が適用されたクリーン
ルームの縦断面図、第２図は要部の拡大図、第３
図は本考案の他の実施例を示す第２図と同様の図
、第４図および第５図は従来の集塵装置の一構造
例を示す第１図および第２図と同様の図である。 ２……製造機器、５……床板、６……グレーチ
ング、７……集塵材、８……給気チヤンバ、９…
…給気ダクト、１０……環気フアン、２０……ク
リーンルーム、２１……仕切り壁、２２……主排
気口、２３，２３ａ，２３ｂ……補助排気口、２
４……ダンパ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 製造機器が配設される装置領域と、該装置領域
   に隣接して設けられるとともに、前記製造機器に
   近接して設けられた仕切り壁によつて前記装置領
   域から分離された機器保全領域とからなる製造機
   器用設置空間に設けられ、これら両空間部間に清
   浄空気を還流させて内部の塵埃を除去するように
   した集塵装置であつて、前記製造機器から仕切り
   壁の長さ方向に離間して配設されるとともに、該
   製造機器に向かいかつ前記仕切り壁に沿つて清浄
   空気を送り込む空気供給部と、前記仕切り壁の前
   記製造機器近傍に形成され、前記空気供給部から
   送り込まれる清浄空気を前記機器保全領域へ排出
   する主排気口と、前記仕切り壁に、前記主排気口
   から清浄空気流の上流側へ向かつて間隔をおいて
   形成された複数の補助排気口とを具備してなる製
   造機器用設置空間部における集塵装置。