JPS63287375A - Oscillatory wave motor - Google Patents

Oscillatory wave motor

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Publication number
JPS63287375A
JPS63287375A JP62120532A JP12053287A JPS63287375A JP S63287375 A JPS63287375 A JP S63287375A JP 62120532 A JP62120532 A JP 62120532A JP 12053287 A JP12053287 A JP 12053287A JP S63287375 A JPS63287375 A JP S63287375A
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JP
Japan
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driving force
force
wave motor
driven
vibrating body
Prior art date
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Pending
Application number
JP62120532A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takuo Okuno
奥野 卓夫
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
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Publication of JPS63287375A publication Critical patent/JPS63287375A/en
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/166Motors with disc stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enlarge a working range, by changing a pressure contacting force between an oscillating unit and a driven object, and by setting a pressure varying device for changing a driving force. CONSTITUTION:Of an electrostriction element 1, an oscillating unit 2, an oscillation absorber 4, a base 5, a stationary shaft 6, and the like, an oscillatory wave motor is composed. An electrostriction element 12 is retained between the base 5 and the oscillation absorber 4, and is worked as a pressure changing element. Then, the electrostriction element 12 is formed so that a displacement in the shaft core of the stationary shaft 6 may generate, and when a driving force is increased, then voltage is applied to so that the thickness of the electrostriction element 12 may decrease, and the pressure of a frictional contact section is reduced, and the driving force is reduced. On the other hand, when the driving force is reduced, then the thickness of the electrostriction element 12 is increased, and the ununiformity of the driving force can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、振動波を発生する振動体と、該振動体に摩擦
接触して前記振動波により駆動される物体とからなる振
動波モータに関するもので、とくに、その摩擦接触力を
変化させる加圧力可変装置を備えた振動波モータに関す
るものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a vibration wave motor comprising a vibrating body that generates vibration waves and an object that is in frictional contact with the vibrating body and is driven by the vibration waves. In particular, the present invention relates to a vibration wave motor equipped with a pressure variable device that changes the frictional contact force.

[従来の技術] 従来の振動波モータは、たとえば、第10図に示すよう
な構成からなっている。
[Prior Art] A conventional vibration wave motor has a configuration as shown in FIG. 10, for example.

第10図において、1は電歪素子で、たとえば、PZT
  (チタン酸ジルコン酸鉛)、2は振動体で弾性物質
からなり、前記電歪素子1を接着しである。そして、振
動体2は電歪素子1とともに振動吸収体4を介して基台
5に保持されている。3は駆動される物質で、軸受11
でブツシュ10を介して固定軸6に回転可能に支持され
ている。固定軸6は下端が基台5に取り付けられており
、上部はねじになっている。また固定軸6には、ブツシ
ュ10の上端にばね9がはめられ、ナットフがワッシャ
8を介してねじ込まれる。これにより駆動される物体3
は振動体2に押しつけられている。
In FIG. 10, 1 is an electrostrictive element, for example, PZT.
(lead zirconate titanate), 2 is a vibrating body made of an elastic material, to which the electrostrictive element 1 is adhered. The vibrating body 2 and the electrostrictive element 1 are held on a base 5 via a vibration absorber 4. 3 is a driven substance, bearing 11
It is rotatably supported by a fixed shaft 6 via a bushing 10. The lower end of the fixed shaft 6 is attached to the base 5, and the upper end is screwed. Further, a spring 9 is fitted to the upper end of a bush 10 on the fixed shaft 6, and a nut is screwed in through a washer 8. Object 3 driven by this
is pressed against the vibrating body 2.

振動波によって駆動する振動波モータは、その原理上、
振動体2と該振動体2に摩擦接触して駆動される物体3
を加圧接触させる必要があるため、ばね9とナットクな
どの機械的手段を用いて適度の一定加圧接触を行ってい
る。
In principle, a vibration wave motor that is driven by vibration waves:
A vibrating body 2 and an object 3 driven by frictional contact with the vibrating body 2
Since it is necessary to bring them into pressure contact, mechanical means such as a spring 9 and a nut are used to achieve a moderately constant pressure contact.

[発明が解決しようとする問題点] 前述のように、従来の振動波モータにおいては、振動体
2と駆動される物体3を適度の一定加圧力で加圧接触さ
せているが、振動体2と駆動される物体3の接触部の表
面状態や偏芯等による摩擦接触部位の変化によって生ず
る駆動力のむらがあり、その駆動力のむらを変化させる
ことができなかったため、使用範囲が限定されるという
問題点があった。本発明は、このような問題点を解決し
ようとするものである。すなわち、本発明は、駆動力の
むらを変化させて、広範囲に使用できる振動波モータを
提供することを目的とするものである。
[Problems to be Solved by the Invention] As mentioned above, in the conventional vibration wave motor, the vibrating body 2 and the driven object 3 are brought into pressure contact with each other with a moderate constant pressing force. There is unevenness in the driving force caused by changes in the frictional contact area due to surface conditions and eccentricity of the contact part of the object 3 being driven, and because it was not possible to change the unevenness of the driving force, the range of use is limited. There was a problem. The present invention attempts to solve these problems. That is, an object of the present invention is to provide a vibration wave motor that can be used in a wide range of applications by changing the unevenness of the driving force.

[問題点を解決するための手段] 振動波モータの振動体と駆動される物体の間の加圧接触
力を変化させて駆動力を変える加圧力可変装置を設けた
[Means for Solving the Problems] A pressurizing force variable device is provided which changes the driving force by changing the pressurizing contact force between the vibrating body of the vibration wave motor and the driven object.

[作用] 加圧力可変装置を有するので、振動体と駆動される物体
の間の加圧接触力を変化させて駆動力を所望に変えるこ
とがてぎる。
[Operation] Since the pressurizing force variable device is provided, it is possible to change the pressurizing contact force between the vibrating body and the driven object to change the driving force as desired.

[実施例コ 第1図は本発明の第1実施例を示している。[Example code] FIG. 1 shows a first embodiment of the invention.

第1図において、1は電歪素子、2は振動体、3は駆動
される物体、4は振動吸収体、5は基台、6は固定軸、
7はナツト、8はワッシャ、9はばね、10はブツシュ
、11は軸受で、ここまでは、第10図に示した従来の
ものと同様である。そして、12は電歪素子で、基台5
と振動吸収体4の間に保持されており、電圧により固定
軸6の軸芯方向への変移が生じるように配置されている
。すなわち、電歪素子12は加圧力可変装置の主要部を
なしていて、後述するように、加圧力変化素子として働
く。
In FIG. 1, 1 is an electrostrictive element, 2 is a vibrating body, 3 is a driven object, 4 is a vibration absorber, 5 is a base, 6 is a fixed shaft,
7 is a nut, 8 is a washer, 9 is a spring, 10 is a bush, and 11 is a bearing, which is the same as the conventional one shown in FIG. 10. 12 is an electrostrictive element, and a base 5
The fixed shaft 6 is held between the fixed shaft 6 and the vibration absorber 4, and is arranged so that the fixed shaft 6 is displaced in the axial direction by voltage. That is, the electrostrictive element 12 constitutes the main part of the pressurizing force variable device, and functions as a pressurizing force varying element, as will be described later.

前述のように、振動波によって駆動する振動波モータで
は、振動体2と該振動体2に摩擦接触して駆動される物
体3を加圧接触させる必要があり、この加圧力と駆動力
は、第4図に示す特性からなるものであり、したがって
、摩擦接触部の表面状態や偏芯等による摩擦接触部位の
変化によって駆動力のむらが生じたとき、第4図のO−
A点の間の特性を利用して駆動力のむらを減少させるこ
とができる。すなわち、駆動力が大きくな)たときには
、加圧力を減少させて駆動力を小さくし、反対に、駆動
力が小さくなったときには、加圧力を増大させて駆動力
を大きくするように作動させると、駆動力のむらを少な
くすることができる。
As mentioned above, in the vibration wave motor driven by vibration waves, it is necessary to pressurize the vibrating body 2 and the object 3 that is driven by frictional contact with the vibrating body 2, and this pressurizing force and driving force are as follows. It has the characteristics shown in Figure 4. Therefore, when the driving force becomes uneven due to changes in the friction contact area due to the surface condition of the friction contact part or eccentricity, etc., the O-
The unevenness of the driving force can be reduced by using the characteristics between the A points. In other words, when the driving force becomes large, the pressurizing force is decreased to make the driving force smaller, and conversely, when the driving force becomes small, the pressurizing force is increased to increase the driving force. , it is possible to reduce the unevenness of the driving force.

第5は、駆動力のむらを検出して、そのむらを制御する
手段の一例を示したブロック図である。
The fifth is a block diagram showing an example of means for detecting unevenness in driving force and controlling the unevenness.

さらに説明すると、第1図に示した実施例では、加圧力
変化素子として電歪素子12を用い、固定軸6の軸芯方
向への変容が生じるように配置し、駆動力が大きくなフ
たときには、電歪素子12の厚みが減少するように電圧
が印加され、摩擦接触部の加圧力を減少させて駆動力を
小さくする。また反対に、駆動力が小さくなったときに
は、電歪素子12の厚みが増大するように電圧が印加さ
れ、摩擦接触部の加圧力を増加させて駆動力を大きくす
る。このようにすれば、駆動力のむらを少なくすること
ができる。なお反対の設定をすれば、駆動力のむらを大
きくすることもできる。またばね9を省略して摩擦接触
部の加圧力をなくし、電歪素子12にストロークのとれ
る積層型電歪素子を用いて加圧を与えるようにすれば、
振動体2と駆動される物体3の摩擦力も自由に変化でき
るので、より広範囲に使用可能なアクチュエータを構成
することができる。
To explain further, in the embodiment shown in FIG. 1, the electrostrictive element 12 is used as the pressurizing force changing element, and is arranged so that the fixed shaft 6 is deformed in the axial direction. Sometimes, a voltage is applied to reduce the thickness of the electrostrictive element 12, reducing the pressing force on the frictional contact portion and reducing the driving force. Conversely, when the driving force becomes small, a voltage is applied so as to increase the thickness of the electrostrictive element 12, increasing the pressing force on the frictional contact portion and increasing the driving force. In this way, the unevenness of the driving force can be reduced. Note that if the opposite setting is made, the unevenness of the driving force can be increased. Furthermore, if the spring 9 is omitted to eliminate the pressing force at the friction contact part, and the electrostrictive element 12 is applied with a laminated electrostrictive element that can have a stroke,
Since the frictional force between the vibrating body 2 and the driven object 3 can also be changed freely, an actuator that can be used in a wider range can be constructed.

第2図は本発明の第2実施例を示し、第3図は同じく第
3実施例を示している。これらの実施例では、摩擦接触
部の加圧力を変化させる電歪素子13をばね9側に配置
したもので、該電歪素子13は第1図で説明した電歪素
子12と同じような作用をする。
FIG. 2 shows a second embodiment of the invention, and FIG. 3 similarly shows a third embodiment. In these embodiments, an electrostrictive element 13 that changes the pressing force of the frictional contact portion is arranged on the spring 9 side, and the electrostrictive element 13 has the same effect as the electrostrictive element 12 explained in FIG. do.

第6図は本発明の第4実施例を示している。FIG. 6 shows a fourth embodiment of the invention.

この実施例は、加圧力可変装置の加圧力変化素子として
、磁性体14と電磁コイル15を使用し、摩擦接触部の
加圧力変化に磁性体14と電磁コイル15の吸着力を利
用するものである。
In this embodiment, a magnetic body 14 and an electromagnetic coil 15 are used as the force varying element of the force variable device, and the attractive force of the magnetic body 14 and the electromagnetic coil 15 is used to change the force applied to the frictional contact portion. be.

すなわち、磁性体14は駆動される物体3に固着され、
電磁コイル15は基台5に固着されており、磁性体14
と電磁コイル15は僅かに離れて面対向している。この
ような構成において、たとえば、振動波モータの駆動力
が小さくなったとき、電磁コイル15の電流を増して磁
性体14の吸着力を増加し、摩擦接触部の加圧力を増大
して駆動力を大きくするようにする。
That is, the magnetic body 14 is fixed to the object 3 to be driven,
The electromagnetic coil 15 is fixed to the base 5, and the magnetic body 14
and the electromagnetic coil 15 face each other with a slight distance from each other. In such a configuration, for example, when the driving force of the vibration wave motor becomes small, the current of the electromagnetic coil 15 is increased to increase the adsorption force of the magnetic body 14, and the pressing force of the friction contact portion is increased to increase the driving force. Try to make it larger.

反対に、駆動力が大きくなったときは、反対の作動をさ
せて駆動力を小さくするようにする。
On the other hand, when the driving force becomes large, the opposite operation is performed to reduce the driving force.

第7図は本発明の、第5実施例を示している。FIG. 7 shows a fifth embodiment of the present invention.

この実施例は、駆動される物体3に固着された永久磁石
16とハウジング18に固着された電磁コイル17で、
摩擦接触部の加圧力の変化をさせるものである。すなわ
ち、永久磁石16と1を磁コイル17は僅かに離れて面
対向しており、電磁コイル17には永久磁石16と反発
するように電流の方向が決められている。このような構
成において、たとえば、駆動力が小さくなったときには
、電磁コイル17の電流を増して永久磁石16との反発
力を増大させ、摩擦接触部の加圧力を増大させて駆動力
を大きくするようにする。反対に、駆動力が大きくなっ
たときには、反対の作動をさせて駆動力を小さくするよ
うにする。
This embodiment includes a permanent magnet 16 fixed to the object 3 to be driven and an electromagnetic coil 17 fixed to the housing 18.
This changes the pressure applied to the friction contact area. That is, the permanent magnets 16 and 1 and the magnetic coil 17 face each other with a slight distance from each other, and the direction of current is determined in the electromagnetic coil 17 so as to repel the permanent magnet 16. In such a configuration, for example, when the driving force becomes small, the current of the electromagnetic coil 17 is increased to increase the repulsive force with the permanent magnet 16, and the pressing force of the friction contact portion is increased to increase the driving force. do it like this. On the other hand, when the driving force becomes large, the opposite operation is performed to reduce the driving force.

第8図は本発明の第6実施例を示している。FIG. 8 shows a sixth embodiment of the invention.

この実施例は、駆動される物体3に固着された永久磁石
19と、基台5に固着された永久磁石20および電磁コ
イル21が、僅かに離れて面対向しており、前記永久磁
石19と永久磁石20は吸着するように方向が定められ
、その吸着力により駆動される物体3と振動体2が加圧
接触させられる。このような構成において、電磁コイル
21の電流の増減および電流の方向を変化させることに
より、摩擦接触部の加圧力を変化させることができるの
で、前述のように駆動力のむらを減少させることができ
る。
In this embodiment, a permanent magnet 19 fixed to an object 3 to be driven, and a permanent magnet 20 and an electromagnetic coil 21 fixed to a base 5 face each other with a slight distance from each other. The direction of the permanent magnet 20 is determined so as to attract it, and the vibrating body 2 is brought into pressurized contact with the object 3 driven by the attraction force. In such a configuration, by increasing/decreasing the current of the electromagnetic coil 21 and changing the direction of the current, it is possible to change the pressing force of the frictional contact part, so that the unevenness of the driving force can be reduced as described above. .

第9図は本発明の第7実施例を示している。FIG. 9 shows a seventh embodiment of the invention.

この実施例は、駆動される物体3に固着された永久磁石
16とハウジング18に固着された永久磁石22および
電磁石23が、僅かに離れて面対向しており、永久磁石
16と永久磁石22は反発するように方向が定められ、
その反発力により駆動される物体3と振動体2が加圧接
触させられる。このような構成において、電磁コイル2
3の電流の増減および電流の方向を変化させることによ
り、摩擦接触部の加圧力を変化させることができるので
、前述のように駆動力のむらを減少させることができる
In this embodiment, a permanent magnet 16 fixed to an object 3 to be driven, and a permanent magnet 22 and an electromagnet 23 fixed to a housing 18 face each other with a slight distance apart. Directed to repel,
The object 3 driven by the repulsive force and the vibrating body 2 are brought into pressure contact. In such a configuration, the electromagnetic coil 2
By increasing/decreasing the current and changing the direction of the current in step 3, it is possible to change the pressing force on the frictional contact portion, so it is possible to reduce the unevenness of the driving force as described above.

なお以上の説明では、主として、駆動力のむらを減少さ
せることについて述べたが、反対に駆動力のむらを増大
させるようにすることもできるし、また回転型の振動波
モータについて述べたが、リニア型の振動波モータに対
しても、適用できるものである。
In the above explanation, we mainly talked about reducing the unevenness of the driving force, but it is also possible to increase the unevenness of the driving force, and although we talked about rotary type vibration wave motors, linear type It can also be applied to vibration wave motors.

[発明の効果] 本発明は、振動波モータの振動体と駆動される物体の間
の加圧接触力を変化させて駆動力を変える加圧力可変装
置を備えているから、駆動力のむらを変化させることが
でき、したがって、駆動力のむらの小さいものを必要と
するものから、駆動力のむらの大きいものを必要とする
ものまで、その使用範囲を拡大することができ、しかも
、その駆動力の設定も容易となる。
[Effects of the Invention] The present invention includes a pressurizing force variable device that changes the driving force by changing the pressurizing contact force between the vibrating body of the vibration wave motor and the driven object, so that it is possible to change the unevenness of the driving force. Therefore, the range of use can be expanded from those that require small unevenness of driving force to those that require large unevenness of driving force, and the setting of the driving force can be expanded. It also becomes easier.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の第1実施例を示した一部切欠側面図、
第2図は同じく第2実施例を示した要部一部切欠側面図
、第3図は同じく第3実施例を示した要部一部切欠側面
図、第4図は振動波モータの摩擦接触部の加圧力と駆動
力の関係を示した説明図、第5図は駆動力のむらを制御
する手段の一例を示したブロック図、第6図は本発明の
第4実施例を示した一部切欠側面図、第7図は同じく第
5実施例を委した一部切欠側面図、第8図は同じく第6
実施例を示した一部切欠側面図、第9図は同じく第7実
施例を示した一部切欠側面図、第10図は従来の技術の
一例を示した一部切欠側面図である。 1・・・電歪素子     2・・・振動体3・・・駆
動される物体  4・・・振動吸収体5・・・基台  
     6・・・固定軸7・・・ナツト      
 8・・・ワッシャ9・・・ばね       10・
・・ブツシュ11・・・軸受      12.13・
・・電歪素子14・・・磁性体     15・・・電
磁コイル16・・・永久磁石    17・・・電磁コ
イル18・・・ハウジング   19.20・・・永久
磁石21・・・を磁コイル   22・・・永久磁石2
3・・・電磁コイル 第 1 図    第 27 第3図    寮 4図 茅5 図 本6図 第7図 第8図 第9図 第10図 6 4 ]
FIG. 1 is a partially cutaway side view showing a first embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a partially cutaway side view of the main part similarly showing the second embodiment, Fig. 3 is a partially cutaway side view of the main part similarly showing the third embodiment, and Fig. 4 is a friction contact of the vibration wave motor. FIG. 5 is a block diagram showing an example of means for controlling unevenness of the driving force, and FIG. 6 is a partial diagram showing the fourth embodiment of the present invention. FIG. 7 is a partially cutaway side view of the fifth embodiment, and FIG. 8 is a partially cutaway side view of the fifth embodiment.
FIG. 9 is a partially cutaway side view showing the seventh embodiment; FIG. 10 is a partially cutaway side view showing an example of the conventional technique. 1... Electrostrictive element 2... Vibrating body 3... Driven object 4... Vibration absorber 5... Base
6...Fixed shaft 7...Nut
8...Washer 9...Spring 10.
...Bushing 11...Bearing 12.13.
... Electrostrictive element 14 ... Magnetic body 15 ... Electromagnetic coil 16 ... Permanent magnet 17 ... Electromagnetic coil 18 ... Housing 19. 20 ... Permanent magnet 21 ... as magnetic coil 22 ...Permanent magnet 2
3... Electromagnetic coil Fig. 1 Fig. 27 Fig. 3 Dormitory Fig. 4 Fig. 5 Fig. Book Fig. 6 Fig. 7 Fig. 8 Fig. 9 Fig. 10 Fig. 6 4 ]

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)振動波を発生する振動体と、該振動体に摩擦接触
して前記振動波により駆動される物体とからなる振動波
モータにおいて、前記振動体と駆動される物体の間の加
圧接触力を変化させて駆動力を変える加圧力可変装置を
備えていることを特徴とする振動波モータ。
(1) In a vibration wave motor consisting of a vibrating body that generates vibration waves and an object that is in frictional contact with the vibrating body and driven by the vibration waves, pressurized contact between the vibrating body and the driven object A vibration wave motor characterized by being equipped with a pressurizing force variable device that changes driving force by changing force.
JP62120532A 1987-05-18 1987-05-18 Oscillatory wave motor Pending JPS63287375A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62120532A JPS63287375A (en) 1987-05-18 1987-05-18 Oscillatory wave motor

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JP (1) JPS63287375A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02123972A (en) * 1988-10-28 1990-05-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02123972A (en) * 1988-10-28 1990-05-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic motor

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