JPS63285452A - 線状体端面の検査装置 - Google Patents
線状体端面の検査装置Info
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- JPS63285452A JPS63285452A JP12080087A JP12080087A JPS63285452A JP S63285452 A JPS63285452 A JP S63285452A JP 12080087 A JP12080087 A JP 12080087A JP 12080087 A JP12080087 A JP 12080087A JP S63285452 A JPS63285452 A JP S63285452A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 11
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、レーザーによるコヒーレント光を光ファイバ
ーなどの線状体の端面に照射して、その反射光により生
じる干渉により表面の粗さを計測でき、しかも顕微鏡と
しての機能を有し、レーザー光や、さらに白色光、赤色
光によって表面の状態を精査をすることができる検査装
置に関するものである。
ーなどの線状体の端面に照射して、その反射光により生
じる干渉により表面の粗さを計測でき、しかも顕微鏡と
しての機能を有し、レーザー光や、さらに白色光、赤色
光によって表面の状態を精査をすることができる検査装
置に関するものである。
「従来の技術および問題点」
マイケルソンの干渉計の原理を利用した表面の粗さや形
状を測定する技術は、従来からよく知られている。しか
し、この種の表面粗さ計測装置は、コヒーレント光源と
してガスレーザーを用いることから大型となり、各種の
加工現場で用いる上で不便であり、特にガラス光ファイ
バー、単結晶光ファイバー、プラスチックス光ファイバ
ー、金属電線などの線状体端面のような微小面の測定に
は不向きであった。レーザー・ダイオードによる半導体
レーザーを用いる場合は、光源部分はコンパクトであっ
ても平行光を得るためには別にレンズ群を使用する必要
があり、装置の小型化ないし簡単化には障害であった。
状を測定する技術は、従来からよく知られている。しか
し、この種の表面粗さ計測装置は、コヒーレント光源と
してガスレーザーを用いることから大型となり、各種の
加工現場で用いる上で不便であり、特にガラス光ファイ
バー、単結晶光ファイバー、プラスチックス光ファイバ
ー、金属電線などの線状体端面のような微小面の測定に
は不向きであった。レーザー・ダイオードによる半導体
レーザーを用いる場合は、光源部分はコンパクトであっ
ても平行光を得るためには別にレンズ群を使用する必要
があり、装置の小型化ないし簡単化には障害であった。
また、これらの装置は、単に干渉縞による面精度の測定
は十分行なえるものであっても、傷、その地表面の状態
を観測する機能は持っていなかった。
は十分行なえるものであっても、傷、その地表面の状態
を観測する機能は持っていなかった。
本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、干渉縞による表面計測と、顕微鏡機能による表面状
態の観察とを同一の装置により極めて容易かつ高精度に
行なうことのできるコンパクト化された線状体端面の検
査装置を提供することにある。
は、干渉縞による表面計測と、顕微鏡機能による表面状
態の観察とを同一の装置により極めて容易かつ高精度に
行なうことのできるコンパクト化された線状体端面の検
査装置を提供することにある。
「問題点を解決するための手段」
前記従来の問題点を解決するためになされた本発明に係
る線状体端面の検査装置を、第１図を参照して説明する
。
る線状体端面の検査装置を、第１図を参照して説明する
。
図中符号１は光源を示すもので、この光源ｌとしてＩｔ
ｅ −Ｎ ｅレーザー、白色光および赤色光が適宜選
択使用可能に設けられている。この光源ｌからの光線光
路Ａ上には、所定の間隔を置いて、減光フィルター兼光
路移動用の２枚の透明平行板２．３、ハーフミラ−４、
参照反射板５が順次設置されている。前記ハーフミラ−
４は前記光路Ａに対して所定角度傾斜して設置されてお
り、前記参照反射板５は煽り機構５ａによって俯仰旋回
、すなわち上下方向および左右方向に傾斜自在に回動で
きるように構成されている。前記ハーフミラ−４と参照
反射板５との間の側方位置には遮蔽装置６が設けられて
いる。この遮蔽装置６は螺合構造やソレノイド構造など
のその他の駆動構造によりその遮蔽板６ａを光路Ａ上に
出没させてハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路
Ａの遮断が自在にできるように構成されている。また、
前記ハーフミラ−４の位置において光路Ａに直交する光
路Ｂの一方側（光源ｌからの光線がハーフミラ−４によ
り反射される方向）には、光ファイバーなどの線状体７
をその端面７ａを前記光路Ｂに直交させて固定させるた
めのコネクター８が設けられている。
ｅ −Ｎ ｅレーザー、白色光および赤色光が適宜選
択使用可能に設けられている。この光源ｌからの光線光
路Ａ上には、所定の間隔を置いて、減光フィルター兼光
路移動用の２枚の透明平行板２．３、ハーフミラ−４、
参照反射板５が順次設置されている。前記ハーフミラ−
４は前記光路Ａに対して所定角度傾斜して設置されてお
り、前記参照反射板５は煽り機構５ａによって俯仰旋回
、すなわち上下方向および左右方向に傾斜自在に回動で
きるように構成されている。前記ハーフミラ−４と参照
反射板５との間の側方位置には遮蔽装置６が設けられて
いる。この遮蔽装置６は螺合構造やソレノイド構造など
のその他の駆動構造によりその遮蔽板６ａを光路Ａ上に
出没させてハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路
Ａの遮断が自在にできるように構成されている。また、
前記ハーフミラ−４の位置において光路Ａに直交する光
路Ｂの一方側（光源ｌからの光線がハーフミラ−４によ
り反射される方向）には、光ファイバーなどの線状体７
をその端面７ａを前記光路Ｂに直交させて固定させるた
めのコネクター８が設けられている。
このコネクター８の前記ハーフミラ−４を介した反対側
の光路Ｂ上には、所定の間隔を置いて順次対物レンズ９
、結像（接眼）レンズＩＯが設けられ、この結像レンズ
１０によって光路Ｂ上を通ってきた光線が結像する位置
に自己走査型固体撮像素子（ＣＯＤ）カメラ１１が設置
されている。
の光路Ｂ上には、所定の間隔を置いて順次対物レンズ９
、結像（接眼）レンズＩＯが設けられ、この結像レンズ
１０によって光路Ｂ上を通ってきた光線が結像する位置
に自己走査型固体撮像素子（ＣＯＤ）カメラ１１が設置
されている。
前記構成の線状体端面の検査装置に使用方法は、次のよ
うにして行なわれる。
うにして行なわれる。
まず、線状体７の端面の凹凸ないし湾曲状態を計測する
場合は、光源１をＩ ｅ −Ｎ ｅレーザーに切り替え
、遮蔽装置６の遮蔽板６ａを引き上げて光路Ｂを解放し
ておき、光源１から１ｉｅ−Ｎｅレーザー光を光路Ａ上
に照射する。照射されたレーザー光は減光フィルター兼
光路移動用平行板２．３を通ってハーフミラ−４に到達
し、ここで透過光と反射光とに分かれる。これら透過光
および反射光はそれぞれ参照反射板５および線状体７の
端面７ａで反射し、ハーフミラ−４で出会い、合成され
、その光路差による干渉光が対物レンズ９、結像レンズ
１０を通ってＣＯＤカメラｌｌ上に像を結ぶ。この場合
の線状体７の端面７ａは必ずしも水平でな（、切断時等
の状態によって傾斜を有する場合が多いので、鮮明な結
像が得られない時には、前記参照反射板５の上下、左右
各方向の傾斜角度を煽り機構５ａによって調節すること
により、鮮明な結像を得ることができる。得られる結像
には、平行等間隔に配列した参照反射板５からの干渉縞
と、円形もしくは楕円形の線状体７の端面７ａの反射映
像とがあり、端面７ａに凹凸が存在すれば、この反射映
像内に湾曲もしくはリング状の干渉縞が現れる。平面度
の計測にあたっては、一般に被計測面上の干渉縞の湾曲
量をＱとし、縞と縞との間隔をＬとすれば、面精度はλ
（２／２ Ｌとして表示される。ここで、λは波長を表
し、Ｈｅ−Ｎｅレーザーの場合、６３２．８ｎｆｆであ
るので、縞と縞との間にはλ／２の段差があり、これは
約０．３μ麓に相当する。線状体端面上の縞が参照反射
面の縞に対し、わずかな湾曲しか示していなければ、こ
の線状体端面はほぼ平面に近いものと判定される。これ
に対し、例えば、線状体端面の反射面上にリング状干渉
縞が現れ、それが四重に現れているとすると、線状体の
端面が、λ／２×４−２λ、すなわち、約１２〜・１３
μ肩の凹状の湾曲面をなしていることが判る。
場合は、光源１をＩ ｅ −Ｎ ｅレーザーに切り替え
、遮蔽装置６の遮蔽板６ａを引き上げて光路Ｂを解放し
ておき、光源１から１ｉｅ−Ｎｅレーザー光を光路Ａ上
に照射する。照射されたレーザー光は減光フィルター兼
光路移動用平行板２．３を通ってハーフミラ−４に到達
し、ここで透過光と反射光とに分かれる。これら透過光
および反射光はそれぞれ参照反射板５および線状体７の
端面７ａで反射し、ハーフミラ−４で出会い、合成され
、その光路差による干渉光が対物レンズ９、結像レンズ
１０を通ってＣＯＤカメラｌｌ上に像を結ぶ。この場合
の線状体７の端面７ａは必ずしも水平でな（、切断時等
の状態によって傾斜を有する場合が多いので、鮮明な結
像が得られない時には、前記参照反射板５の上下、左右
各方向の傾斜角度を煽り機構５ａによって調節すること
により、鮮明な結像を得ることができる。得られる結像
には、平行等間隔に配列した参照反射板５からの干渉縞
と、円形もしくは楕円形の線状体７の端面７ａの反射映
像とがあり、端面７ａに凹凸が存在すれば、この反射映
像内に湾曲もしくはリング状の干渉縞が現れる。平面度
の計測にあたっては、一般に被計測面上の干渉縞の湾曲
量をＱとし、縞と縞との間隔をＬとすれば、面精度はλ
（２／２ Ｌとして表示される。ここで、λは波長を表
し、Ｈｅ−Ｎｅレーザーの場合、６３２．８ｎｆｆであ
るので、縞と縞との間にはλ／２の段差があり、これは
約０．３μ麓に相当する。線状体端面上の縞が参照反射
面の縞に対し、わずかな湾曲しか示していなければ、こ
の線状体端面はほぼ平面に近いものと判定される。これ
に対し、例えば、線状体端面の反射面上にリング状干渉
縞が現れ、それが四重に現れているとすると、線状体の
端面が、λ／２×４−２λ、すなわち、約１２〜・１３
μ肩の凹状の湾曲面をなしていることが判る。
次に、本発明の装置を線状体端面を観察する顕べ鏡とし
て使用する場合には、まず、光源１はＨｅＮｅレーザー
光、白色光もしくは赤色光を任意に選択する。Ｉｔ ｅ
−Ｎ ｅレーザーでも観察は可能であるが、白色光ら
しくは赤色光を選択した方がより鮮明な端面観察が可能
である。続いて、遮蔽装置６を駆動して遮蔽板６ａを突
出させ、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路を
閉鎖状態にする。
て使用する場合には、まず、光源１はＨｅＮｅレーザー
光、白色光もしくは赤色光を任意に選択する。Ｉｔ ｅ
−Ｎ ｅレーザーでも観察は可能であるが、白色光ら
しくは赤色光を選択した方がより鮮明な端面観察が可能
である。続いて、遮蔽装置６を駆動して遮蔽板６ａを突
出させ、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路を
閉鎖状態にする。
この状態で光源１からＨｅ −Ｎ ｅレーザー、白色、
もしくは赤色光を照射すれば、光線は光路Ａ上を直進し
、ハーフミラ−４で反射し、線状体７の端面７ａに向か
い、この線状体７の端面７ａで反射し、対物Ｌノンズ９
、結像レンズ１０を通って、線状体７の端面の映像をＣ
ＯＤカメラｌｌ上に現す。このように、本発明の装置に
よれば、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路を
閉鎖するだけで、顕微鏡として使用が可能となる。なお
、前記構成において、光源１と（７て白色光もしくは赤
色光を使用する場合は、対物レンズ９として暗視野型顕
微鏡用の対物レンズを使用することも可能である。
もしくは赤色光を照射すれば、光線は光路Ａ上を直進し
、ハーフミラ−４で反射し、線状体７の端面７ａに向か
い、この線状体７の端面７ａで反射し、対物Ｌノンズ９
、結像レンズ１０を通って、線状体７の端面の映像をＣ
ＯＤカメラｌｌ上に現す。このように、本発明の装置に
よれば、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路を
閉鎖するだけで、顕微鏡として使用が可能となる。なお
、前記構成において、光源１と（７て白色光もしくは赤
色光を使用する場合は、対物レンズ９として暗視野型顕
微鏡用の対物レンズを使用することも可能である。
このように、本発明の線状体端面の検査装置によれば、
次のような利点が得られる。まず、端面計測の光源１に
使用するＨ ｅ −Ｎ ｅレーザーは、最近、小型化が
可能になり、しかも平行光線が極めて容易に得られるの
で、装置のコンパクト化が容易に実現できる。
次のような利点が得られる。まず、端面計測の光源１に
使用するＨ ｅ −Ｎ ｅレーザーは、最近、小型化が
可能になり、しかも平行光線が極めて容易に得られるの
で、装置のコンパクト化が容易に実現できる。
また、コネクター８によって線状体７の微小端面７ａは
確実に固定され、参照反射板５は俯仰旋回自在になって
いるので、各干渉縞の間隔を拡大、縮小することができ
、それによって線状体７端面７ａの傾斜が各試験体によ
って差異が生じるような場合にも対応できる。その結果
、参照反射板５と線状体７端面７ａとからの反射光がハ
ーフミラ−４において適性に合成され、対物レンズ９、
結像レンズ１０を通して鮮明な干渉像を容易にＣＯＤカ
メラ１１内に形成することができる。そして、線状体端
面の凹部もしくは凸部は、得られた干渉縞の各縞間隔と
、線状体端面から得られた曲線干渉縞の各縞間隔との比
較により容易にその凹凸の程度が０１０５μ肩以下のオ
ーダーで計測できる。すなわち、線状体端面が平担に近
い場合は、干渉縞が端面上にリング状には結ばれず、曲
線をなすのみであるので、参照反射面からの干渉縞との
傾きの程度および干渉縞の間隔（−０，３μ肩）との対
比により湾曲度ないし平坦度を判定する。これに対し、
端面が明らかな湾曲をなしている場合は、リング状をな
した端面そのものの干渉縞により湾曲度が判定できるの
で、この場合は干渉縞間の間隔とは無関係に判定できる
。
確実に固定され、参照反射板５は俯仰旋回自在になって
いるので、各干渉縞の間隔を拡大、縮小することができ
、それによって線状体７端面７ａの傾斜が各試験体によ
って差異が生じるような場合にも対応できる。その結果
、参照反射板５と線状体７端面７ａとからの反射光がハ
ーフミラ−４において適性に合成され、対物レンズ９、
結像レンズ１０を通して鮮明な干渉像を容易にＣＯＤカ
メラ１１内に形成することができる。そして、線状体端
面の凹部もしくは凸部は、得られた干渉縞の各縞間隔と
、線状体端面から得られた曲線干渉縞の各縞間隔との比
較により容易にその凹凸の程度が０１０５μ肩以下のオ
ーダーで計測できる。すなわち、線状体端面が平担に近
い場合は、干渉縞が端面上にリング状には結ばれず、曲
線をなすのみであるので、参照反射面からの干渉縞との
傾きの程度および干渉縞の間隔（−０，３μ肩）との対
比により湾曲度ないし平坦度を判定する。これに対し、
端面が明らかな湾曲をなしている場合は、リング状をな
した端面そのものの干渉縞により湾曲度が判定できるの
で、この場合は干渉縞間の間隔とは無関係に判定できる
。
さらに、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路を
遮蔽板６ａで遮断することにより、線状体端面を明瞭に
観察することができる。
遮蔽板６ａで遮断することにより、線状体端面を明瞭に
観察することができる。
以下、本発明の実施例を示す。
「実施例１ 」
第１図に示した構造の装置を用いて、端面が平担である
と思われる光ファイバー（線状体７）の端面７ａの計測
を行なった。被計測体である光ファイバーの直径は、約
１２５μ肩であった。光源１は小型Ｈｅ−Ｎｅレーザー
で、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路は、解
放状態とした。
と思われる光ファイバー（線状体７）の端面７ａの計測
を行なった。被計測体である光ファイバーの直径は、約
１２５μ肩であった。光源１は小型Ｈｅ−Ｎｅレーザー
で、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光路は、解
放状態とした。
得られた結像の写真を第２図に示した。この第２図の場
合、光フアイバ一端面上の縞Ｘは参照反射面の縞Ｙに対
し、わずかな湾曲しか示していないので、この光フアイ
バ一端面はほぼ平面に近いものと判定される。
合、光フアイバ一端面上の縞Ｘは参照反射面の縞Ｙに対
し、わずかな湾曲しか示していないので、この光フアイ
バ一端面はほぼ平面に近いものと判定される。
「実施例２ 」
同じく第１図に示した構造の装置を用いて、端面が凹状
に変形していると思われる先ファイバー（線状体７）の
端面７ａの計測を行なった。被計測体である光ファイバ
〒の直径は、約１２５μ肩であった。
に変形していると思われる先ファイバー（線状体７）の
端面７ａの計測を行なった。被計測体である光ファイバ
〒の直径は、約１２５μ肩であった。
光源ｌはＨｅ −Ｎ ｅレーザー（波長λ＝ ６３２．
８ｎｚ）で、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光
路は、解放状態とした。
８ｎｚ）で、ハーフミラ−４と参照反射板５との間の光
路は、解放状態とした。
得られた結像の写真を第３図に示した。この第３図にお
いては、光フアイバ一端面上にリング状干渉縞Ｚが四重
に現れているので、λ／２Ｘ ４ ＝ ２λ、すなわち
、約１．２〜１．３μ麓の凹状の湾曲面をなしているこ
とが判る。
いては、光フアイバ一端面上にリング状干渉縞Ｚが四重
に現れているので、λ／２Ｘ ４ ＝ ２λ、すなわち
、約１．２〜１．３μ麓の凹状の湾曲面をなしているこ
とが判る。
「実施例３ 」
同じく第１図に示した構造の装置を用いて、直径約１２
５μ肩の光ファイバー（線状体７）の端面７ａを顕微鏡
機能により観察した。光源１はＨｅ−Ｎｅレーザー（波
長λ−６３２，８ｎｚ）で、ハーフミラ−４と参照反射
板５との間の光路は、遮蔽装置６によって閉鎖状態とし
た。
５μ肩の光ファイバー（線状体７）の端面７ａを顕微鏡
機能により観察した。光源１はＨｅ−Ｎｅレーザー（波
長λ−６３２，８ｎｚ）で、ハーフミラ−４と参照反射
板５との間の光路は、遮蔽装置６によって閉鎖状態とし
た。
得られた結像の写真を第４図に示した。図に見るように
、端面７ａの様子は充分に把握できる像が得られた。こ
れに対し、光源１を白色光とし、対物レンズ９に暗視野
型顕微鏡用の対物レンズを使用して同一対象を観察した
ところ、チラッキの少ないより鮮明な観察像が得られた
。
、端面７ａの様子は充分に把握できる像が得られた。こ
れに対し、光源１を白色光とし、対物レンズ９に暗視野
型顕微鏡用の対物レンズを使用して同一対象を観察した
ところ、チラッキの少ないより鮮明な観察像が得られた
。
「発明の効果」
以上説明したように、本発明に係る線状体端面の検査装
置は、光源からの光線を減光フィルター兼光路移動用の
２枚の透明平行板で線状体端面の中心に来るように合わ
せ、前記平行光線がハーフミラ−を通り、反射光と屈折
透過光とに分けられ、反射光は線状体端面で反射すると
ともに、透過光は参照反射板で反射し、再度ハーフミラ
−で合成されて干渉し、この干渉光が対物レンズおよび
結像レンズを通って結像される構造の線状体端面の検査
装置であって、前記参照反射板に俯仰旋回可能とする煽
り機構が設けられ、前記ハーフミラ−と参照反射板との
間に前記透過光を適宜遮る遮断機構が設けられ、前記光
源としてＨｅ −Ｎ ｅレーザー光、白色光および赤色
光が適宜交換使用可能とされ、それによって干渉縞によ
る端面計測機能と暗視野型の顕微鏡としての機能を同時
に有することを特徴とするものである。
置は、光源からの光線を減光フィルター兼光路移動用の
２枚の透明平行板で線状体端面の中心に来るように合わ
せ、前記平行光線がハーフミラ−を通り、反射光と屈折
透過光とに分けられ、反射光は線状体端面で反射すると
ともに、透過光は参照反射板で反射し、再度ハーフミラ
−で合成されて干渉し、この干渉光が対物レンズおよび
結像レンズを通って結像される構造の線状体端面の検査
装置であって、前記参照反射板に俯仰旋回可能とする煽
り機構が設けられ、前記ハーフミラ−と参照反射板との
間に前記透過光を適宜遮る遮断機構が設けられ、前記光
源としてＨｅ −Ｎ ｅレーザー光、白色光および赤色
光が適宜交換使用可能とされ、それによって干渉縞によ
る端面計測機能と暗視野型の顕微鏡としての機能を同時
に有することを特徴とするものである。
したがって、本発明によれば、干渉縞による表面計測と
、顕微鏡機能による表面状態の観察とを同一の装置によ
り調整の操作が最小限で極めて容易かつ高精度に行なう
ことのできるコンパクト化された線状体端面の検査装置
を提供することができる。
、顕微鏡機能による表面状態の観察とを同一の装置によ
り調整の操作が最小限で極めて容易かつ高精度に行なう
ことのできるコンパクト化された線状体端面の検査装置
を提供することができる。
第１図は本発明に係る線状体端面の検査装置の構成図、
第２図は本発明の第１の実施例において得られた干渉結
像写真、第３図は本発明の第２の実施例において得られ
た干渉結像写真、第４図は本発明の第３の実施例にお゛
いて得られたファイバ一端面顕微鏡写真である。 ｌ・・・・・・光源、 ２．３・・・・・・減光フィルター兼光路移動用の透明
平行板、 ４・・・・・・ハーフミラ−１ ５・・・・・・参照反射板、 ６・・・・・・遮蔽装置、 ６ａ・・・・・・遮蔽板、 ７・・・・・・線状体、 ７ａ・・・・・・線状体の端面、 ８・・・・・・コネクター、 ９・・・・・・対物レンズ、 ｌＯ・・・・・・結像（接眼）レンズ。 Ａ、Ｂ・・・・・・光路、 Ｘ・・・・・・光フアイバ一端面の干渉縞、Ｙ・・・・
・・参照反射面の干渉縞、 Ｚ・・・・・・光フアイバ一端面のリング状干渉縞。 出願人 株式会社 応用光電研究室 第１図 工面の浄壷 Ｘ 、Ｙ 図面のか」 第３図 図面の浄貫 手粘ｎ省１ｊ正四季（方式） ２、発明の名称 線状体端面の検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 株式会社 応用光電研究室 （ばか１名）４、代理人 住所 東京都中央区八重洲２丁目１番５号東京駅前ビル
６階 ７、補正の内容 （＋） 明細書の第１Ｏ頁第８行目、第１１頁第１行
目、同頁第７行目、第１３頁第６行目、同頁第７行目、
同頁第９行目にそれぞれ「写真」とあるのを「写真を模
写した図」 と訂正する。 （２）第２〜４図の適正な図面をそれぞれ別紙の通り提
出する。
第２図は本発明の第１の実施例において得られた干渉結
像写真、第３図は本発明の第２の実施例において得られ
た干渉結像写真、第４図は本発明の第３の実施例にお゛
いて得られたファイバ一端面顕微鏡写真である。 ｌ・・・・・・光源、 ２．３・・・・・・減光フィルター兼光路移動用の透明
平行板、 ４・・・・・・ハーフミラ−１ ５・・・・・・参照反射板、 ６・・・・・・遮蔽装置、 ６ａ・・・・・・遮蔽板、 ７・・・・・・線状体、 ７ａ・・・・・・線状体の端面、 ８・・・・・・コネクター、 ９・・・・・・対物レンズ、 ｌＯ・・・・・・結像（接眼）レンズ。 Ａ、Ｂ・・・・・・光路、 Ｘ・・・・・・光フアイバ一端面の干渉縞、Ｙ・・・・
・・参照反射面の干渉縞、 Ｚ・・・・・・光フアイバ一端面のリング状干渉縞。 出願人 株式会社 応用光電研究室 第１図 工面の浄壷 Ｘ 、Ｙ 図面のか」 第３図 図面の浄貫 手粘ｎ省１ｊ正四季（方式） ２、発明の名称 線状体端面の検査装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 株式会社 応用光電研究室 （ばか１名）４、代理人 住所 東京都中央区八重洲２丁目１番５号東京駅前ビル
６階 ７、補正の内容 （＋） 明細書の第１Ｏ頁第８行目、第１１頁第１行
目、同頁第７行目、第１３頁第６行目、同頁第７行目、
同頁第９行目にそれぞれ「写真」とあるのを「写真を模
写した図」 と訂正する。 （２）第２〜４図の適正な図面をそれぞれ別紙の通り提
出する。
Claims (2)
- （１）光源からの光線を減光フィルター兼光路移動用の
２枚の透明平行板で線状体端面の中心に来るように合わ
せ、前記平行光線がハーフミラーを通り、反射光と屈折
透過光とに分けられ、反射光は線状体端面で反射すると
ともに、透過光は参照反射板で反射し、再度ハーフミラ
ーで合成されて干渉し、この干渉光が対物レンズおよび
結像レンズを通って結像される構造の線状体端面の検査
装置であって、 前記参照反射板に俯仰旋回可能とする煽り機構が設けら
れ、前記ハーフミラーと参照反射板との間に前記透過光
を適宜遮る遮断機構が設けられ、前記光源としてＨｅ−
Ｎｅレーザー光、白色光および赤色光が適宜交換使用可
能とされ、それによって干渉縞による端面計測機能と顕
微鏡としての機能を同時に有することを特徴とする線状
体端面の検査装置。 - （２）線状体固定コネクタを設けることにより線状体の
被測定端面の位置決めを容易にしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の線状体端面の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12080087A JPS63285452A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 線状体端面の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12080087A JPS63285452A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 線状体端面の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63285452A true JPS63285452A (ja) | 1988-11-22 |
Family
ID=14795309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12080087A Pending JPS63285452A (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 | 線状体端面の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63285452A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0342510U (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-22 | ||
| US5459564A (en) * | 1994-02-18 | 1995-10-17 | Chivers; James T. | Apparatus and method for inspecting end faces of optical fibers and optical fiber connectors |
| WO2015065762A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | Corning Optical Communications LLC | Device for inspecting a cleave and/or polish of an optical fiber, and related systems and methods |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP12080087A patent/JPS63285452A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0342510U (ja) * | 1989-09-04 | 1991-04-22 | ||
| US5459564A (en) * | 1994-02-18 | 1995-10-17 | Chivers; James T. | Apparatus and method for inspecting end faces of optical fibers and optical fiber connectors |
| WO2015065762A1 (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | Corning Optical Communications LLC | Device for inspecting a cleave and/or polish of an optical fiber, and related systems and methods |
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