JPS63281485A

JPS63281485A - 光共振器の調整装置

Info

Publication number: JPS63281485A
Application number: JP63098454A
Authority: JP
Inventors: ウェイン・シャーマン・メファード
Original assignee: Coherent Inc
Current assignee: Coherent Inc
Priority date: 1987-04-24
Filing date: 1988-04-22
Publication date: 1988-11-17
Also published as: EP0288265A1; US4818089A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はレーザー光共振器の光路長の安定化を高める三
種類の調整装置に関するものである。

レーザーの応用部門によって光共振器の光路長の安定化
が必要なことは周知の事実である。例えば単一周波数操
作とモード同期とを向上させるために安定型共振器が使
用されており、この場合の安全型共振器とは共振空胴の
長さく二つの反射鏡の間に入れたレーザ光に沿って′測
定したもの）を一定に保持するためのものである。

従来、共振器の安定化向上に関する様々な技術が提案さ
れており、例えばすべての光学系部品を熱膨脹率の比較
的低い支持棒上に装着すれば空洞の安定化を高められる
ことは良く知られている。

支持棒に適当な一つの材料として、インパールがある。

通常、支持棒は種々の型式の調整装置を介してフレーム
、すなわちレーザーハウジングに接続されており、調整
装置はフレームと支持棒との接触個所を減らす一方、支
持棒の拘束運動を許容するためのものである。この種の
調整装置を使用すれば、光学系部品の心の狂いを生じる
程度の外力をフレームが受けた際にも、支持棒には伝達
されない。本発明の一つの特徴はインパール製支持棒の
改良された調整装置を有する。

しかしながら、インパール製支持棒は熱膨脹率こそ割合
に低いが、やはり温度変化に応じてその長さが幾分変わ
るという欠点があり、このような長さの補償のために様
々な種類の電気機械式サーボ機構が開発されている。ま
た本発明の別の特徴として、共振空洞の全長が多少の温
度変化とは無関係に一定に保持できるように支持棒の長
さの変化を自動補償するための新規の装置を提供するこ
とにある。共振空洞の端部に配された複数個の反射鏡は
通常、調整台上に装着してあり、標準型調整台は二つの
軸心を中心として相対回転できる二枚の揺動板を備えて
いる。これらの揺動板の調整は一対の調整ねしで行う。

このような標準型調整台の欠点は、反射鏡を回転させた
とき鏡表面がレーザ光路に対して相対移動し、従って共
振空洞の長さも変わることである。また本発明のさらに
別の特徴は、従来技術の問題点を解消するジンバル式鏡
調整装置を開示することにある。

したがって、本発明の目的は安定性を向上したレーザ装
置を提供することにある。

本発明の別の目的はレーザ装置のための新しい調整装置
を提供することにある。

本発明のさらに別の目的は鏡支持構造物、ずなわち支持
棒をレーザ・フレームに連結するための新しい調整装置
を提供することである。

本発明の別の目的は新方式の鏡調整装置を提供すること
にある。

本発明の更に別の目的はレーザ装置において共振空洞の
長さを一定に保持するように構成した新方式の鏡調整装
置を提供するにある。

本発明の別の目的は反射鏡を回動自在に支持するギンパ
ル組立体を提供することにある。

本発明の更に別の目的は、温度変化に伴う支持棒の長さ
の変化を自動補償する型式の反射鏡調整装置を提供する
にある。

上記及びそれ以外の目的を達成するため、本発明はレー
ザ光共振器の安定性を改善する新しい支持装置群を提供
する。第１の改良点はインパール製支持棒をフレームに
装着するだめの調整装置であって、該調整装置は支持棒
を受承するための一対の控え部材を具備していて、かつ
該各校え部材は支持棒を支持しつつわずかな範囲で支持
棒に長手方向の伸縮運動と回転運動とを許容するという
機能を持つ。この控え部材の一方の近傍でクランプ部材
が支持棒に固着されており、該クランプ部材は円錐形ノ
ーズとみそ大の相互作用によって関連の控え部材に連結
されている。円錐形ノーズと溝穴による結合部は、支持
棒との接触個所を最小に抑えながら支持棒の運動を拘束
するという利点を持つ。続いて、光共振器の反射鏡組立
体を支持棒に装着させるとレーザ・フレームが好ましく
ない外力を受けた場合でも安定した操作を続けることが
できる。

＝１１＝本発明はレーザ空洞の複数個の反射鏡を支持するのに好
適な調整装置を備えており、該調整装置はその外周に沿
って９０°離隔された４個の屈曲部分を有する一体構造
の円筒形ジンバルを具備する。

対向する各対の屈曲部分を結ぶ直線は揺動軸線となり、
２本の揺動軸線はジンバルの中央で交差する。またジン
バルの一端面は支持棒に連結された固定部材に固定され
る。一方、ジンバルの他端面には鏡ホルダを有する鏡支
持板が装着してあ′す、好ましい実施例において、鏡ホ
ルダはレーザ光が二つの揺動軸線の交点とほぼ一致する
ところで、反射鏡面上の個所を位置決めする。レーザ光
と心合わせするために、固定部材に対する鏡支持板の相
対角度は、共振空洞の長さを一定に保ちながら調整でき
る。

本発明の別の特徴として、支持棒の長さの変化を自動補
償する組立体を開示しており、好ましい実施例において
、光共振器に内設された一対の可動鏡を装着するための
ものである。この組立体は支持棒の一端に配された細長
いビームを含み、該ビームは中央部と、それをはさむ二
つの平行四辺形の屈曲部材とを含んでいる。中央部分に
対して両屈曲部材を相対回転させたとと、各屈曲部材の
自由端も平行運動するが、その平行四辺形の変形特性に
よって相互に平行関係を保ちかつ支持棒にも平行である
。このような自由端は可動鏡の取付面として使用される
。

また自動補償型組立体は支持棒に連結されたクランプを
備えており、このクランプは付勢部材に接続しである。

付勢部材は熱膨脹率が支持棒よりも大きい材料で形成さ
れているので温度変化による付勢部材の長さの変化は支
持棒の場合に比べて大きくなる。また付勢部材を屈曲部
材に連結する装置が設けられており、好ましい実施例に
おいてこの連結装置は屈曲部材の自由端に連結されたレ
バーで形成されている。

本発明では温度変化に応じて支持棒の長さが変わると付
勢部材の長さも同時に変化し、それによって各屈曲部材
が回転する一方、各屈曲部材の自由端と、それに装着し
た可動鏡とは支持棒の伸縮とは反対方向に平行運動する
。このような構成によって、レーザ光路の全長は一定に
保持されるのである。

本発明の前述した以外の目的と利点について添付図面を
参照して以下に詳しく説明する。

第１図及び第２図は共振空洞の安定した長さが特に要求
されるレーザ装置に適した本発明に係わる種々な組立体
を示しており、以下に説明する各組立体はいずれも他種
のレーザにも適用できるものと期待される。以下、特定
の実施例について説明するが、これは各構成部品の理解
を助けることを目的とする。

第１図及び第２図に示すように、レーザ利得媒質（１２
）はその内部を通過する光を増幅させるためのもので、
通常レーザ装置のフレーム（１６）に装着されている。

利得媒質（１２）は二つの反射鏡調整装置（２ＯＡ）、
（２０Ｂ）で画成された共振空洞の中に収容されている
。また該共振空洞の直線長さを抑えるために、該空洞内
のレーザ光束方向を反転させる可動鏡（３０Ａ）、（３
０Ｂ）が設けられている。したがつて共振空洞の内部の
光路は反射鏡（２ＯＡ）から鏡（３０Ａ）へ移り、次い
で鏡（３０Ｂ）で反射されて鏡（２０Ｂ）へ戻る構成を
持つ。前述したように、この光路長は用途が異なる場合
でも常に一定に保持するような構成が好ましい。

光路長さの変化を最小に抑える一つの方法として、各種
の光学系部品を熱膨脹率の低い支持棒（３２）上に装着
することであり、好ましい実施例においてインパール製
支持棒（３２）が本発明に係わる調整装置を介してフレ
ーム（１６）に架装されている。

この調整装置は後述するように一対の控え部材（４０Ａ
）、（４０Ｂ）及びクランプ部材（４２）を備えている
。

一方、共振空洞の端部に配された反射鏡調整装置（２Ｏ
Ａ）、（２０Ｂ）は通常、反射鏡角度を調整して共振空
洞内のレーザ光束の光軸と正しく合わせるという機能を
果す。さらに該反射鏡調整装置（２ＯＡ）、（２０Ｂ）
は共振空洞の長さを一定に保持しながら鏡の角度調整で
きるように特別設計しである。

本発明の第３の特徴として、一対の可動鏡（３０Ａ）、
（３０Ｂ）が支持棒（３２）の長さが変るとこれを自動
補償するを式の組立７体（５０）上に装着されている。

すなわち、熱膨脹率の低いインパール製支持棒は共振空
洞の寸法変化をほぼ排除するが、レーザの種類によって
わずかな寸法変化があってもレーザ性能に影響を及ぼす
ことがあることから、組立体（５０）はこのような僅か
な寸法変化を自動的に補償するような構成を有する。

次に第３図、第４図に示すインパール製支持棒（３２）
の調整装置について詳しく説明する。この調整装置はフ
レーム（１６）に連結された一対の控え部材（４０Ａ）
、（４０Ｂ）を備えていて、該控え部材（４０Ａ）、（
４０Ｂ）はインパール製支持棒（３２）を重力支持する
ためのもので、しかも支持棒（３２）の回転運動と長手
方向の運動とをせまい範囲内で許容する必要がある。本
発明の好ましい実施例では、各控え部材（４０）は上方
部分及び下方部分（１０２）、（１０４）に二分割され
ていて、該上下両部分（１０２）、（１０４）はばね座
金（１０８）付きの一対の調整ねじ（１０６）によって
締結されている。調整ねじ（１０６）は上方部分（１０
２）を貫通し下方部分（１０４）の中に螺入しである。

このような構成によって支持棒（３２）は一定のばね張
力が加えられる。

図示の実施例の各控え部材（４０）は、円形支持棒（３
２）を収容する円形開口部（１１０）を有していて、該
開口部（１１０）は軸受装置を備えている。すなわち、
開口部（１１０）の円周方向に沿って玉軸受を収容した
３個の立方体くぼみ（１１２）が隔置されていて、玉軸
受（１１４）の両側には焼入れタングステンカーバイド
系支持パッド（１１６）が設けである。なお玉軸受（１
１４）と支持パッド（１１６）はシリンダ（１１８）の
内部に収容されている。このような構成の軸受装置を用
いれば支持棒（３２）と控え部材（４０）の間に低摩耗
で低摩擦の機械的結合部が得られる。

一対の控え部材（４ＯＡ）、（４０Ｂ）はフレーム（１
６）上に支持棒（３２）の全長の約６０％の距離だけ相
互に離隔されている。

支持棒調整装置は更に控え部材（４０Ａ）の近傍で支持
棒（３２）に固着されたクランプ（４２）を備えていて
、図示の実施例では、該クランプ（４２）は上方部分及
び下方部分（１２０）、（１２２）に二分割されていて
、一対のねしく１２４）で相連″結しである。該ねじ（
１２４）を締めるとクランプ（４２）が支持棒（３２）
に固着されることになる。

クランプ（４２）を控え部材（４０Ａ）に連結する装置
は支持棒（３２）の回転運動と長手方向の変化とだけを
拘束する形式のもので、それ以外の束ばくは行わない。

このような目的を達成し、支持棒の回転及び長さ変化を
制限する様々な機械装置が利用可能であるが、好ましい
実施例ではこの連結装置は円錐形ノーズを面取りした長
大に係入するような構成を有する。

第４図に示すように、クランプ（４２）上に形成された
円錐形ノーズ（１３０）は控え部材（４０Ａ）に刻設し
た長大（１３２）に嵌入されていて、長大（１３２）の
側縁（１３４）は面取りしである。控え部材（４０Ａ）
の上下方向に延びる長大（１３２）は支持棒（３２）の
円形横断面の半径方向に配されている。好ましい実施例
において、ノーズ（１３０）の頭部にはねじ（１３８，
）が螺入されており、該ねじ（１３８）は第４図に示す
ように、クランプ（４２）側ではざら頭を有し、ノーズ
（１３０）を貫通して控え部材（４ＯＡ）の他側に達し
た後、そこでばね座金（１４２）付きナツト（１４０）
で固定されている。

上記の調整装置は支持棒（３２）との接触個所を最小に
抑えながらフレーム（１６）に対する支持棒（３２）の
相対運動を規制するので、外力に伴ってフレーム（１６
）に生じる力が支持棒（３２）へ伝達されるのを防止す
るという役割を果たす。

次に第５図ないし第８図について説明すると、本発明に
係わる二種類の鏡調整装置のうちの一方が図示してあり
、反射鏡調整装置（２０）は一体構造の円筒状ジンバル
（２１’０）（第６図中に最も良く示す）を備えている
。この簡便な形式のジンバル（２１０）を用いればレー
ザの共振空洞の長さを一定に保持しながら反射鏡の角度
が調整できる低コストで効果的な調整装置が得られる。

Ｆ［形ジンバル（２１０）はその円周方向に沿ってそれ
ぞれ約９０°隔置された４個の取付アーム（２１２Ａ−
Ｄ）を備えていて、一対の対向アーム（２１２Ａ）、（
２１２Ｃ）はジンバル（２１０）の一端面の方向に向け
て一１９＝配されておるのに対し、別の一対の対向アーム（２１２
Ｂ）、（２１２Ｄ）は他方の端面に向けて延出している
。各アーム（２１２）はジンバル（２１０）に刻設した
一対のみぞ穴（２’ｌ　４　）で画成されていて、各み
ぞ穴（２１’４）の終端は穴（２１６）とし、かつ一対
の穴（２１６）の間に介在するアーム（２１２）の部分
は屈曲部分（２１８）となり、これを中心としてジンバ
ル（２１０’）を揺動可能にしである。各屈曲部分（２
１８）は共通の半径方向平面上に配されていて、各対の
対向する屈曲部分（２１８）を結ぶ直線は旋回軸線を形
成し、かつ該二つの軸線はジンバル（２１０）の中心で
交差して、ジンバル（２１０）の転心を形成している。

第５図に示すように、一対のアーム（２１２）は固定部
材（２３２）に装着されていて、また固定部材（２３２
）はインパール製支持棒（３２）に連結されている。固
定部材（２３２）を貫通する一対のねじ（２３４）が各
アーム（２１２）の端部に螺入されることで、アーム（
２１２）が固定部材（２３２）に連結しである。別の一
対のアーム（２１２）はねじ（２４２）を用いて鏡取付
板（２４０）を搭載しており、鏡取付板（２４０）はジ
ンバル２Ｏ− （２１０）の内部に突出する′鏡ホルダ（２４４）を備
えていて、鏡ホルダ（２４４）の端部には反射鏡（２４
６）が装着されている。好ましい実施例において、鏡（
２４６、）はジンバル（２１０）の屈曲部分（２１８）
で画成されたラジアル平面上に実質的に配されているが
、このような配置は入射光路がジンバル（２１０）の転
心と交差するのを確認すれば必ずしも必要ではない。

本発明に係わる鏡取付板（２４０）は固定部材（２３２
）に対して調整自在であって、第５図に示すように、１
個またはそれ以上のばね（２４８）が鏡取付板（２４０
）と固定部材（２３２）の間に介装されていて、さらに
鏡取付板（２４０）を揺動させるための複数個の調整ね
じ（２５０）が設けられている。調整ねじ（２５０）は
鏡取付板（２４０）に挿通されて、そして固定部材（２
３２）と当接している。調整ねじ（２５０）を回すと鏡
取付板（２４０）は、ジンバル（２１０）の屈曲部分（
２１８）で画成された転心の周囲を固定部材（２３２）
に対して相対回転するように構成しである。したがって
反射鏡の角度は共振空洞の長さを変更することなくレー
ザ光束と正確に合わせて調整できる。

続いて第９図ないし第１１図に示す本発明の三番目の特
徴、すなわち温度変化に伴う支持棒（３２）の長さ変化
を補償する組立体（５０）について説明する。

組立体（５０）は中央部（３０４）を有する細長ビーム
（３０２）を含有していて、該中央部（３０４）は４個
のねじ（３０６）を介して支持棒（３２）の一端に連結
されている。また細長ビーム（３０２）には一対の対向
する屈曲部１−１（３１０）が丁番付けされていて、各
屈曲部材（３１０）は平行四辺形の構成を持つ。各屈曲
部材（３１０）の構成は４個のリンク仕掛に類似してい
る。

このような構成を達成するために、複数個の溝穴つまり
丁番（３１２）がビーム（３０２）に刻設されていて、
かつ該溝穴（３１２）は各屈曲部材（３１０）の対向側
壁が互に同一の長さであるという条件で形成されている
。この条件下で屈曲部材（３１０）を中央部（３０４）
に対して回転させると対向する自由端（３１６）は相互
に平行でかつ支持棒（３２）に対して平行を保持する。

゛　この平行関係はビームの角度を一定に保持するため
に必要である。屈曲部材（３１０）の自由端（３１６）
には一対の可動鏡（３２０）が装着されている。

また組立体（５０）はビーム（３０２）から隔置されて
、かつ支持棒（３２）に装着されたクランプ（３３０）
を備えていて、該クランプ（３３０）には付勢部材（３
３２）が連結されている。付勢部材（３３２）は熱膨脹
率が支持棒（３２）に比べて大きい材料から形成してい
るので、温度変化に伴う付勢部材（：３３２）の長さ変
化は支持棒（３２）の場合よりも増大する。付勢部材（
３３２）　ハＬ−バー　（３４０）を介シテ屈曲部材（
３１０）ト連結されていて、またレバー（３４０）は細
長棒として形成されていてその両端は複数個のねじ（３
４２）によって屈曲部材（３１０）に連結されているが
、レバー（３４０）の中央部はビーム（３０２）の中央
部（３０４）と非連結である。レバー（３４−０）は一
対の溝穴（３４４）を刻設しており、この溝穴（３４４
）に沿ってレバー（３４０）か丁番作用を働く。

この組立体（５０）を使用するには、反射鏡組立体（２
０）を担持する固定部材（２３２）（第２図）の位置を
調整して共振空洞を所望の長さにセットする。このセッ
ト作業後に温度が変わるとインパール製支持棒（３２）
の長さが影響を受ける。本発明の装置を使用しない場合
、温度変化に伴って可動鏡（３２０）が反射鏡（２４６
）に対して接近又は後退し、それにより共振空洞の長さ
が変化する。本発明は支持棒のこのような長さの変化を
自動補償するという効果を奏する。

第１１図に示すように、温度変化によって支持棒（３２
）が膨張すると付勢部材（３３２）がより大きく膨張し
、レバー（３４０）に対して矢印Ａの方向に力を加える
。レバー（３４０）が力を受けると屈曲部材（３１０）
が矢印Ｂの方向に回転する。この場合、屈曲部材（３１
０）はリンク仕掛つまり平行四辺形の構成を持つことか
ら、その自由端（３１６）は矢印Ａと反対方向に移動す
るが゛、相互に平行でかつ原方位に対して平行関係を保
持することになる。すなわち自由＠（３１６）は支持棒
（３２）の膨張方向と反対方向に移動するのである。屈
曲部材（３１０）の移動量は付勢部材（３３２）をクラ
ンプ（３３０）に連結した位置で調整可能であって、こ
の調整は止めねじ（３５０）を用いて行う。

第１１図に示してないが、組立体（５０）は周囲温度が
降下した際にも作用す′る。温度が下がると付勢部材（
３３２）が収縮してレバー（３４０）を引張り込み、屈
曲部材（３］０）が笥１１図に示す方向と反対方向に回
転することになる。図示の実施例は一対の屈曲部材（３
１０）を示しているが、屈曲部材が１個の場合も本発明
の構想を実施できる。例えば２個の可動鏡（３２０）の
中の１個は共振空洞の端部を画成すると共に、前述した
反射鏡支持体（２ＯＡ）と同一の支持体を設けることが
できる。したがって本発明の範囲は１個の屈曲部材の場
合も包含している。

本発明は以上、好ましい実施例について詳述したが、添
付の特許請求の範囲の範囲と精神から逸脱することなく
、様々な変更が可能なことは当業者に理解されよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる調整装置を組み込んだレーザ装
置の平面図、第２図は第１図に示すレーザ装置の透視図
、第３図は第２図の線３−３についての、支持棒調整装
置の部分を示す断面図、第４図は支持棒調整装置の側面
図、第５図は第２図の線５−５についての、′ジンバル
式反射鏡調整装置を示す断面図、第６図は本発明に係わ
る円筒状ジンバルを示す透視図、第７図は第６図の線７
−７についての、ジンバルを示す断面図、第８図は第６
図の線８−８についての、ジンバルを示す断面図、第９
図は温度変化に伴う支持棒の伸びを自動補償する組立体
の拡大分解透視図、第１０図は第９図に示す組立体の第
２図の線１０　　ｉｏについ−〔の部分断面平面図、そ
して第１１図は第１０図に類似しているが、付勢部材の
膨張によってビームが屈曲し、それによりレーザ光路長
が一定に保持される作用の説明図である。１６・・・フレーム；　２ＯＡ、２０Ｂ・・・反射鏡調
整装置、　３０Ａ。３０Ｂ・・・可動鏡；３２・・・支持棒、　４ＯＡ、４
０Ｂ・・・控え部材；４２・・・クランプ部材；１３０
・・・円錐状ノーズ；１３２・・・溝穴；２１０・・・
ジンバル１２１２Ａ−Ｄ・・・取付アーム；２１８・・
・屈曲部特許出願代理人

Claims

【特許請求の範囲】

（１）支持棒を安定化させると共に該支持棒がフレーム
に生じる外力を受けて変形しないように該支持棒をフレ
ーム上に装着するための調整装置であって、相互に離隔位置で上記フレーム上に装着されていて、そ
の各々が上記支持棒に僅かな範囲で長手方向の移動と回
転運動とを許容するように上記支持棒を支持する支持面
を備えた第１控え部材及び第２控え部材と、上記第１控え部材の近傍で上記支持棒に固着されたクラ
ンプ部材と、上記支持棒の長手方向の移動と回転運動とだけを拘束す
るように上記クランプ部材を上記第１控え部材に連結す
る装置とを具備する調整装置。
（２）特許請求の範囲第１項に記載の調整装置であって
、上記クランプ部材を第１控え部材に連結する装置が連
結すべき上記両部材の一方に形成された円錐形ノーズと
、上記両部材の他方に刻設されて該ノーズを受容する細
長みぞ穴とを含む調整装置。
（３）特許請求の範囲第２項に記載の調整装置であって
、上記支持棒が円形横断面を有する調整装置。
（４）特許請求の範囲第３項に記載の調整装置であって
、上記みぞ穴が上記支持棒の横断面の半径方向に沿って
配されている調整装置。
（５）特許請求の範囲第２項に記載の調整装置であって
、上記みぞ穴の側縁が面取りされている調整装置。
（６）特許請求の範囲第５項に記載の調整装置であって
、上記クランプ部材が調整ねじを具備していて、該調整
ねじが上記ノーズとみぞ穴とを貫通し上記両部材の一方
に固定されている調整装置。
（７）特許請求の範囲第１項に記載の調整装置であって
、上記各控え部材に形成した支持面が上記支持棒を受容
する開口部で画成されている調整装置。
（８）特許請求の範囲第７項に記載の調整装置であって
、上記各控え部材が調整自在に連結された二つの部分で
構成されている調整装置。
（９）特許請求の範囲第１項に記載の調整装置であって
、上記各控え部材の支持面が玉軸受とその支持パッドと
をそれぞれ複数個有していて、該支持パッドが上記支持
棒に圧接されていることを特徴とする調整装置。
（１０）鏡を固定部材に回動自在に枢着した組立体であ
って、中央開口部と二つの対向端面とを有するジンバル部材で
あって、上記ジンバル部材が４個の取付けアームを内設
していて、これらのアームが相互に約９０°離隔されて
おり、一対の対向アームが上記両端面の一方に向けて配
されるのに対し、別の一対の対向アームが上記端面の他
方に向けて配され、また上記各アームが幅狭の屈曲部分
を有していてすべての屈曲部分が上記ジンバル部材の前
後両端面の中間位置でかつ共通の半径平面上に実質的に
配されており、さらに一対の対向アームが上記固定部材
に連結されているジンバル部材と、上記ジンバル部材の一対の対向アームに連結されていて
、かつ鏡を装着する鏡ホルダを備えた鏡取付板と、上記各取付アームの屈曲部を中心として上記固定部材に
対して上記鏡取付板を調整する装置とを有する組立体。
（１１）特許請求の範囲第１０項に記載の組立体であっ
て、上記ジンバル部材が円筒形リングである組立体。
（１２）特許請求の範囲第１０項に記載の組立体であっ
て、上記鏡取付板を調整する装置が、上記鏡取付板を貫
通して上記固定部材と当接する複数個の調整ねじを含む
ことを特徴とする組立体。
（１３）特許請求の範囲第１０項に記載の組立体であっ
て、上記鏡ホルダが上記ジンバル部材の内方へ向けて延
出していることを特徴とする組立体。
（１４）特許請求の範囲第１０項に記載の組立体であっ
て、上記ジンバル部材の内方に延出する鏡ホルダが、鏡
を上記各取付アームの屈曲部によって画成した共通ラジ
アル面上に概ね配するように構成されていることを特徴
とする組立体。
（１５）レーザー光路に配された一対の鏡を細長い支持
棒に装着し、かつ温度変化に伴う該支持棒の伸縮を補正
することによってレーザー光路の長さを一定に保持する
ように構成された組立体であって、中央部分と、それをはさむ２個の屈曲部材とを具備する
細長いビームであって、上記中央部分は上記支持棒の一
端に連結されているが、上記各屈曲部材は上記中央部分
に丁番付けしてあり、かつ上記一対の鏡をそれぞれ上記
各屈曲部材の自由端上に装着させ、さらに上記各屈曲部
材が上記ビームに対して相対回転させると上記自由端も
平行移動するが、その原方位に平行を保持するように上
記各屈曲部材を構成した細長いビームと、上記ビームから離隔した位置で上記支持棒に連結された
クランプ装置と、上記クランプ装置に連結されていて、その熱膨脹率が上
記支持棒よりも大きく、したがって温度変化に伴うその
長さの伸縮が上記支持棒よりも大きくした付勢部材と、温度変化に伴って上記支持棒の長さが変わると、上記付
勢部材の長さも同時に変化するので上記各屈曲部材が回
転し、それによって上記各屈曲部材の自由端が上記支持
棒の伸縮と反対方向に移動するのでレーザー光路の長さ
が一定に保持されるように、上記付勢部材を上記屈曲部
材に連結する装置とを含む組立体。
（１６）特許請求の範囲第１５項に記載の組立体であっ
て、上記各屈曲部材が平行四辺形であることを特徴とし
た組立体。
（１７）特許請求の範囲第１５項に記載の組立体であっ
て、上記連結装置が上記屈曲部材と付勢部材とを連結す
るレバー装置を含むことを特徴とする組立体。
（１８）特許請求の範囲第１５項に記載の組立体であっ
て、上記屈曲部材が上記クランプ装置に調整可能に連結
されていることを特徴とする組立体。
（１９）レーザー光路に配された鏡を細長い支持棒に装
着し、かつ温度変化に伴う上記支持棒の伸縮を補償する
ことによってレーザー光路に対する鏡の位置を一定に保
持する組立体であって、上記支持棒の一端に接続された
ビームと、その一端は上記ビームに丁番付けしてあるのに対し、そ
の他端には上記鏡を装着し、かつ上記ビームに対して相
対回転させたとき上記ビームの自由端も平行運動するが
、その原方位に平行を保持するように構成された屈曲部
材と、上記ビームから離隔された位置で上記支持棒に連
結されたクランプ装置と、上記クランプ装置に連結されていて、その熱膨脹率が上
記支持棒よりも大きく、したがって温度変化に伴うその
長さの伸縮が上記支持棒よりも大きくなるように構成さ
れた付勢部材と、温度変化に伴って上記支持棒が伸縮す
ると付勢部材も同時に伸縮するので、上記屈曲部材が回
転し、それによって上記各屈曲部材の自由端が上記支持
棒の伸縮方向と反対方向に移動するので、レーザー光路
に対する鏡の相対位置が一定に保持されるように、上記
付勢部材を上記屈曲部材に連結する装置とを有する組立
体。
（２０）特許請求の範囲第１９項に記載の組立体であっ
て、上記屈曲部材が平行四辺形であることを特徴とした
組立体。
（２１）特許請求の範囲第１９項に記載の組立体であっ
て、上記第１屈曲部材と同一形状でかつ上記ビームの他
側に丁番付けされており、さらに上記連結装置を介して
上記付勢部材に連結されて別の鏡を装着するための第２
屈曲部材を備えた組立体。
（２２）特許請求の範囲第２１項に記載の組立体であっ
て、上記連結装置が上記両屈曲部材と付勢部材とを連結
するレバー装置を含むことを特徴とした組立体。
（２３）特許請求の範囲第１９項に記載の組立体であっ
て、上記付勢部材が上記クランプ装置に調整可能に連結
されていることを特徴とした組立体。