JPS6326558B2 - - Google Patents
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- JPS6326558B2 JPS6326558B2 JP56139450A JP13945081A JPS6326558B2 JP S6326558 B2 JPS6326558 B2 JP S6326558B2 JP 56139450 A JP56139450 A JP 56139450A JP 13945081 A JP13945081 A JP 13945081A JP S6326558 B2 JPS6326558 B2 JP S6326558B2
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- Japan
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- laser
- beryllia
- cooling
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Lasers (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、空冷ガスレーザ装置の放電スタート
の改良に関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an improvement in the discharge start of an air-cooled gas laser device.
一般に、アルゴンを活性媒質とした希ガスレー
ザは可視域でもつとも大きな出力を得ることので
きるガスレーザとして、フイルム露光やカラース
キヤナーの光源として広く用いられるようになつ
て来た。しかし、希ガスイオンレーザは能率がき
わめて低いことから、これらの分野で十分な役割
を果たすためには、強性冷却を必要とするほどの
電力を注入しなくてはならない。希ガスイオンレ
ーザでは、レーザ管の細管部に数10Aもの電流を
流すことによつて生じた希ガスイオンのエネルギ
レベル間の推移を利用してレーザ発振を行なわせ
ている。このとき、レーザ細管部では、細管内の
希ガスイオンが管壁に衝突する際の損失のための
数100Wから数KWもの熱発生がある。従つてこ
の熱を除去するために通常細管部を直接、水で冷
却するか、小形のものでは強性空冷が行なわれて
いる。レーザ細管の材料は、強烈なイオン衝撃に
耐えることができ、しかも大量の熱発生を外部の
冷却媒質、冷却水及び空冷フインに伝達させる効
率の高いベリリア磁器が用いられることが多い。
ここで小形空冷のアルゴンレーザにおいては、こ
のベリリア磁器細管を空冷するために、一般的に
アルミブロツクでベリリア細管をサンドイツチし
冷却する方法や、最近ではベリリア磁器に直接フ
インをメタライズし、ロウ付けする方法が取られ
る。 In general, rare gas lasers using argon as an active medium have come to be widely used as light sources for film exposure and color scanners as gas lasers that can produce large output even in the visible range. However, rare gas ion lasers have very low efficiency and must be injected with enough power to perform well in these applications, requiring intense cooling. In rare gas ion lasers, laser oscillation is performed by utilizing the transition between the energy levels of rare gas ions produced by passing a current of several tens of amperes through the thin tube portion of the laser tube. At this time, in the laser tube section, heat generation of several 100 W to several KW occurs due to loss when the rare gas ions inside the tube collide with the tube wall. Therefore, in order to remove this heat, the thin tube section is normally cooled directly with water, or, in small tubes, strong air cooling is performed. The material of the laser tube is often Beryllium porcelain, which can withstand intense ion bombardment and is highly efficient in transferring large amounts of heat generation to the external cooling medium, cooling water, and air cooling fins.
In the case of a small air-cooled argon laser, in order to air-cool the beryllia porcelain thin tube, there is generally a method of cooling the beryllia thin tube by sandwiching it with an aluminum block, or recently, a method is used in which fins are directly metallized and brazed onto the beryllia porcelain. method is taken.
一方このレーザ管を放電開始させるために使用
されている方法として無極放電を利用したものが
ほとんどであるが、レーザ細管部を放電が走らず
放電しないとか、放電しずらいという欠点があ
る。 On the other hand, most of the methods used to start the discharge in this laser tube utilize non-polar discharge, but these methods have the disadvantage that the discharge does not run through the narrow laser tube, or that it is difficult to discharge.
本発明の目的は、かかる欠点を改良し、放電ス
タートの良いガスレーザ装置を提供することであ
る。 An object of the present invention is to improve such drawbacks and provide a gas laser device with a good discharge start.
次に図面を参照しながら本発明の詳細を説明す
る。 Next, details of the present invention will be explained with reference to the drawings.
第1図は、一般的空冷ガスレーザ装置の概略図
を示す。第1図ではレーザ管に電圧を印加する直
流電流、2はレーザ管、3は高圧を発生するスパ
ークギヤツプ、4は高圧を発生するコイル、5は
サイリスタ、6はサイリスタのゲード信号回路、
7はコンデンサ、8は抵抗を示す。かかる構成に
おいて、直流電源1によつて抵抗8を通しコンデ
ンサ7に電荷がチヤージする。 FIG. 1 shows a schematic diagram of a general air-cooled gas laser device. In Figure 1, 2 is the laser tube, 3 is the spark gap that generates high voltage, 4 is the coil that generates high voltage, 5 is the thyristor, 6 is the gate signal circuit of the thyristor,
7 represents a capacitor, and 8 represents a resistor. In this configuration, electric charges are charged by the DC power supply 1 into the capacitor 7 through the resistor 8.
一方、ゲート信号回路6の信号によりサイリス
タ5を点弧することによりコンデソサ7の電荷が
コイル4を通し放電される。コイル4の一次側に
電流が流れることによりコイル4′に高圧が発生
し、スパークギヤツプ3を通し、コイル4″に高
周波減衰振動の高圧が発生する。この高圧がレー
ザ管4のアノードに印加されレーザ管4が放電す
る。以上がガスレーザ装置動作の概略であるが、
次に本発明の一実施例を示す。 On the other hand, by firing the thyristor 5 in response to a signal from the gate signal circuit 6, the charge in the capacitor 7 is discharged through the coil 4. When a current flows through the primary side of the coil 4, a high voltage is generated in the coil 4', which passes through the spark gap 3 and generates a high voltage of high frequency damped vibration in the coil 4''.This high voltage is applied to the anode of the laser tube 4, and the laser is activated. The tube 4 discharges.The above is an outline of the operation of the gas laser device.
Next, one embodiment of the present invention will be described.
第2図は、レーザ管の断面図を示すものであ
る。第2図において、9はレーザ管アノード、1
0はベリリア細管冷却フイン、11はベリリア細
管である。かかる構成において、アノード9と冷
却フイン10を電気的に接続する。この方法とし
て直接リード線でアノード9と冷却フイン10を
接続する方法と、ベリリア細管11にメタライズ
し、アノード9と冷却フイン10を接続する方法
がある。図ではメタライズした方法を示した。 FIG. 2 shows a cross-sectional view of the laser tube. In FIG. 2, 9 is a laser tube anode, 1
0 is a beryllia tube cooling fin, and 11 is a beryllia tube. In this configuration, the anode 9 and the cooling fins 10 are electrically connected. This method includes a method in which the anode 9 and the cooling fin 10 are directly connected with a lead wire, and a method in which the beryllia thin tube 11 is metallized and the anode 9 and the cooling fin 10 are connected. The figure shows the method of metallization.
以上の構成をとることにより、レーザ細管のベ
リリア磁器にもスタート時の高圧が印加され、細
管部の電界強度が強くなり放電がベリリア細管を
通りやすくなる。よつて放電しやすいガスレーザ
装置を提供することができる。 By adopting the above configuration, a high voltage at the time of starting is also applied to the beryllia porcelain of the laser thin tube, and the electric field strength in the thin tube portion becomes strong, making it easier for discharge to pass through the beryllia thin tube. Therefore, it is possible to provide a gas laser device that is easy to discharge.
第1図は、ガスレーザ装置の回路図を示すもの
であり、第2図は、本発明の一実施例を示すレー
ザ管の断面図である。
1……直流電源、2……レーザ管、3……スパ
ークギヤツプ、4……コイル、5……サイリス
タ、6……ゲート信号回路、7……コンデンサ、
8……抵抗、9……レーザ管アノード、10……
冷却フイン、11……ベリリア細管。
FIG. 1 shows a circuit diagram of a gas laser device, and FIG. 2 is a sectional view of a laser tube showing an embodiment of the present invention. 1... DC power supply, 2... Laser tube, 3... Spark gap, 4... Coil, 5... Thyristor, 6... Gate signal circuit, 7... Capacitor,
8...Resistor, 9...Laser tube anode, 10...
Cooling fins, 11...Beryllia tubules.
Claims (1)
ザ管と、レーザ管を放電させるレーザ電源を有す
るガスレーザ装置において、前記ベリリア磁器細
管を冷却する放熱フインとレーザ管アノード電極
とを電気的に接続したことを特徴とするガスレー
ザ装置。1. A gas laser device having an ion laser tube using beryllia porcelain as the laser tube and a laser power source for discharging the laser tube, characterized in that a heat dissipation fin for cooling the beryllia porcelain tube is electrically connected to the laser tube anode electrode. gas laser equipment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13945081A JPS5840877A (en) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | Gas laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13945081A JPS5840877A (en) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | Gas laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840877A JPS5840877A (en) | 1983-03-09 |
| JPS6326558B2 true JPS6326558B2 (en) | 1988-05-30 |
Family
ID=15245484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13945081A Granted JPS5840877A (en) | 1981-09-04 | 1981-09-04 | Gas laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840877A (en) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50140292A (en) * | 1974-04-30 | 1975-11-10 | ||
| JPS5298377U (en) * | 1976-01-21 | 1977-07-25 |
-
1981
- 1981-09-04 JP JP13945081A patent/JPS5840877A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5840877A (en) | 1983-03-09 |
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