JPS6326366B2 - - Google Patents

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JPS6326366B2
JPS6326366B2 JP55004972A JP497280A JPS6326366B2 JP S6326366 B2 JPS6326366 B2 JP S6326366B2 JP 55004972 A JP55004972 A JP 55004972A JP 497280 A JP497280 A JP 497280A JP S6326366 B2 JPS6326366 B2 JP S6326366B2
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JP
Japan
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light beam
scanning
mirror
deflection
light
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Application number
JP55004972A
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Japanese (ja)
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JPS56102821A (en
Inventor
Kyoshi Maeda
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Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS56102821A publication Critical patent/JPS56102821A/en
Publication of JPS6326366B2 publication Critical patent/JPS6326366B2/ja
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/127Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光ビーム走査、特に、回転多面鏡
(ポリゴナルミラー)、ガルバノミラー等の光偏向
用ミラーを用いて行う光ビーム平面走査におい
て、鏡面の平面度誤差、もしくは、多面鏡の軸心
に対する鏡面の平行度誤差等に起因して生じる走
査線間隔の不均一性を、実時間的に補正する方法
に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is directed to light beam scanning, particularly light beam plane scanning performed using a light deflecting mirror such as a rotating polygonal mirror or a galvano mirror. Alternatively, the present invention relates to a method for correcting, in real time, non-uniformity in scanning line spacing caused by errors in parallelism of a mirror surface with respect to the axis of a polygon mirror.

カラースキヤナ、フアクシミリ等の画像走査記
録装置の走査方式としては、回転ドラム走査方式
および平面走査方式が知られている。
2. Description of the Related Art Rotary drum scanning methods and plane scanning methods are known as scanning methods for image scanning recording devices such as color scanners and facsimile machines.

この回転ドラム走査方式においては、原画もし
くは記録材料等のシート材料を回転ドラム面に装
着し、この回転ドラムを、円周方向(主走査方
向)に高速回転(例えば900rpm)させて、シー
ト材料の走査を行なうため、時として、シート材
料が回転ドラム面から浮き上ることがあり、極端
な場合には、シート材料が回転ドラム面からはが
れて、破損するに至ることがある。
In this rotating drum scanning method, a sheet material such as an original image or a recording material is mounted on the rotating drum surface, and the rotating drum is rotated at high speed (for example, 900 rpm) in the circumferential direction (main scanning direction). Because of the scanning, the sheet material can sometimes be lifted off the surface of the rotating drum, and in extreme cases, the sheet material can become detached from the surface of the rotating drum, leading to damage.

さらに、回転ドラムの高速回転化に伴い、振動
等の問題が生じるため、現在のところ、走査速度
を大幅に高速化することが困難な状態にある。
Furthermore, as the rotation speed of the rotary drum increases, problems such as vibration occur, so that it is currently difficult to significantly increase the scanning speed.

これに反して、平面走査方式においては、原画
もしくは記録材料等のシート材料を、副走査方向
に低速移動させる一方、該シート材料上を、その
移動方向と交差する方向に、画像信号に応じて変
調された光ビームを高速移動させることにより、
原画の光電走査、並びに複製画像の走査記録が行
なわれるものである。従つて、かかる走査方式に
おける高速化は、光ビームの走査速度によりほぼ
決まることとなり、光ビームの偏向系を構成する
光偏向用ミラーの性能に依存することになる。
On the other hand, in the plane scanning method, a sheet material such as an original image or a recording material is moved at low speed in the sub-scanning direction, and the sheet material is moved in a direction crossing the moving direction according to an image signal. By moving a modulated light beam at high speed,
Photoelectric scanning of the original image and scanning recording of the duplicate image are performed. Therefore, the speed increase in such a scanning method is almost determined by the scanning speed of the light beam, and depends on the performance of the light deflection mirror that constitutes the light beam deflection system.

このような光偏向用ミラーは、近来のレーザー
ビーム利用による平面走査方式の発達によつても
助長されて、改良が加えられ、前記回転ドラム走
査方式の高速化の限界を遥かに上まわる高速のも
のが実用化されつつある。
Such optical deflection mirrors have been improved and improved by the recent development of plane scanning methods using laser beams, and have been improved to achieve high speeds that far exceed the speed limit of the rotating drum scanning method. Things are being put into practical use.

しかしながら、かかる光偏向用ミラーによる走
査、特に回転多面鏡を使用する場合には、第1図
の実線に示す如く、多面鏡への軸心の取付け精度
をも含めた軸心に対する各鏡面の平行度誤差、お
よび鏡面の平面度誤差に起因する走査線間隔の不
均一性が生ずる難点がある。
However, when scanning with such a light deflecting mirror, especially when using a rotating polygon mirror, the parallelism of each mirror surface to the axis, including the accuracy of mounting the axis to the polygon mirror, as shown by the solid line in Figure 1, is difficult. There are drawbacks to non-uniformity in scan line spacing due to angle errors and mirror flatness errors.

かかる走査線間隔の不均一性を補正する方法と
しては、従来、光偏向用ミラーで反射された光ビ
ームが投影される投影面の前段に、シリンドリカ
ルレンズを配置することにより、該投影面に生ず
る走査線間隔の不均一性を縮小する方法、およ
び、使用される光偏向用ミラーが回転多面鏡であ
る場合、各反射面における誤差をあらかじめ測定
して、メモリ装置に書込んでおき、使用される各
反射面に応じて、該メモリ装置から補正用データ
を読出し、該補正用データにより、偏向角補正用
の音響光学光偏向素子(以下、AOMと称する。)
を制御し、各反射面における誤差に対応した偏向
量を光ビームに付与することにより、光ビーム投
影面における走査線間隔の不均一性を補正する方
法が知られている。
Conventionally, as a method for correcting such non-uniformity in the scanning line spacing, a cylindrical lens is placed in front of the projection surface on which the light beam reflected by the light deflection mirror is projected. A method for reducing non-uniformity in scanning line spacing, and when the optical deflection mirror used is a rotating polygon mirror, the error at each reflective surface is measured in advance and written in a memory device, and then used. Correcting data is read from the memory device according to each reflecting surface, and the acousto-optic light deflection element (hereinafter referred to as AOM) for deflection angle correction is read out from the memory device.
There is a known method for correcting non-uniformity in scanning line spacing on a light beam projection surface by controlling the amount of deflection and applying a deflection amount to the light beam corresponding to the error on each reflecting surface.

しかしながら、前者方法は、走査線間隔の不均
一性を単に縮小して、該不均一性が見かけ上目立
たない様にしているだけにすぎず、また後者は、
各反射面における誤差を測定して、メモリ装置に
補正用データを書込んでおき、使用される鏡面に
応じて、対応する補正用データをメモリ装置から
読出して、AOMを制御しなければならないた
め、制御系が複雑で、高価なメモリ装置が必要に
なるとともに、光学軸を調整する場合、鏡面を清
掃するために多面鏡を取外した場合などには、再
度、各反射面における誤差を測定する必要があ
り、手間がかかるという難点がある。
However, the former method merely reduces the non-uniformity of the scanning line spacing to make the non-uniformity less noticeable, and the latter method
This is because it is necessary to measure the error on each reflective surface, write correction data to the memory device, and read the corresponding correction data from the memory device depending on the mirror surface used to control the AOM. , the control system is complex and an expensive memory device is required, and when adjusting the optical axis or removing the polygon mirror to clean the mirror surface, the error at each reflective surface must be measured again. The disadvantage is that it is necessary and time-consuming.

本発明は、かかる従来の補正方法における不都
合を解消し、走査光ビームもしくは記録光ビーム
の如き走査光ビームとともに、検出光ビームを使
用して、光偏向器の各反射面における誤差を、検
出光ビームによつてあらかじめ検出することによ
り、走査線間隔の不均一性を、実時間で補正する
方法を提供することを目的とするものであり、以
下、記録側に本発明に係る補正方法を適用した場
合を例にとつて説明する。
The present invention eliminates the disadvantages of such conventional correction methods and uses a detection light beam together with a scanning light beam such as a scanning light beam or a recording light beam to correct errors on each reflective surface of an optical deflector using the detection light beam. The purpose of this is to provide a method for correcting non-uniformity in scanning line spacing in real time by detecting it in advance with a beam, and hereinafter, the correction method according to the present invention will be applied to the recording side. This will be explained using an example.

第2図は、本発明に係る方法を実施するための
光学的並びに電気的構成の一例を示すもので、1
は、例えばArイオンガスレーザービームである
記録ビーム、2は、画像信号に応じて入射光ビー
ムが変調され、かつ本発明に係る方法により記録
光ビームの偏向角補正を行なうためのAOM、3
は回転多面鏡、4はF・θレンズ、5は、記録光
ビーム1投影面上に載置され、該光ビーム1と交
差する方向に低速移動させられる記録材料であ
る。
FIG. 2 shows an example of the optical and electrical configuration for carrying out the method according to the present invention.
2 is an AOM whose incident light beam is modulated according to an image signal and for correcting the deflection angle of the recording light beam by the method according to the present invention;
4 is a rotating polygon mirror, 4 is an F/θ lens, and 5 is a recording material placed on the projection surface of the recording light beam 1 and moved at low speed in a direction intersecting the light beam 1.

また、6は、例えばHe―Neガスレーザービー
ムである検出光ビーム、7はダイクロイツクミラ
ー、8は、検出光ビーム6を、後述する検出器9
上に結像させるために、その軸線が、回転多面鏡
3による検出光ビームの偏向方向に垂直に配置さ
れたシリンドリカルレンズ、9は、例えば2個の
光電変換素子が日の字状に並設された検出器、1
0は、検出器9へ検出光ビーム6が入射される状
態を検出するための検出回路、11は電圧・周波
数(V/F)変換器、12は平衡変調器、13は
電力増幅器である。
Further, 6 is a detection light beam which is, for example, a He--Ne gas laser beam, 7 is a dichroic mirror, 8 is a detection light beam 6, and a detector 9 which will be described later.
The cylindrical lens 9 has its axis perpendicular to the direction of deflection of the detection light beam by the rotating polygon mirror 3 in order to form an image upwardly, and the cylindrical lens 9 is a cylindrical lens in which, for example, two photoelectric conversion elements are arranged side by side in a Japanese character shape. detector, 1
0 is a detection circuit for detecting the state in which the detection light beam 6 is incident on the detector 9, 11 is a voltage/frequency (V/F) converter, 12 is a balanced modulator, and 13 is a power amplifier.

検出光ビーム6は、記録光ビーム1と平行をな
す様に構成された光学系(図示せず)を介して、
回転多面鏡3に入射される。
The detection light beam 6 is passed through an optical system (not shown) configured to be parallel to the recording light beam 1.
The light is incident on the rotating polygon mirror 3.

この検出光ビーム6は、第3図に例示する如
く、回転多面鏡3の各鏡面において、記録ビーム
1に対して所定の時間差tに相当する間隔を維持
しながら、同一軌跡上を先行走査する様に構成さ
れている。
As illustrated in FIG. 3, this detection light beam 6 scans in advance on the same trajectory on each mirror surface of the rotating polygon mirror 3 while maintaining an interval corresponding to a predetermined time difference t with respect to the recording beam 1. It is structured like this.

なお、この時間差tは、厳密には、回転多面鏡
3の回転に応じて変動するが、その変動量は極く
わずかで無視し得る程度であるため、以下では変
動しないものとして説明する。
Strictly speaking, this time difference t varies according to the rotation of the rotating polygon mirror 3, but since the amount of variation is extremely small and can be ignored, the following description will be made assuming that it does not vary.

回転多面鏡3の鏡面で反射された記録光ビーム
1は、ダイクロイツクミラー7を透過し、F・θ
レンズ4を経て、記録材料5上を、該記録材料5
の送り方向(副走査方向)と交差する方向(主走
査方向)に一定速度で移動し、所定の複製画像を
記録材料5上に記録する。
The recording light beam 1 reflected by the mirror surface of the rotating polygon mirror 3 is transmitted through the dichroic mirror 7, and is reflected by the mirror surface of the rotating polygon mirror 3.
The recording material 5 is passed through the lens 4 and onto the recording material 5.
It moves at a constant speed in a direction (main scanning direction) that intersects the feeding direction (sub-scanning direction) of , and records a predetermined duplicate image on the recording material 5 .

一方、検出光ビーム6は、赤色光ビームである
が故に、ダイクロイツクミラー7で反射され、シ
リンドリカルレンズ8を介して、2個の光電変換
素子が日の字状に並設された検出器9に入射す
る。この際、シリンドリカルレンズ8により、検
出光ビーム6は、回転多面鏡3による偏向角度の
如何にかかわらず定位置に落射し、鏡面の誤差に
起因するシリンドリカルレンズ8の軸線に沿つた
方向の偏位のみが検出される。検出器9に入射し
た検出光ビーム6は、該検出器9における光電変
換素子で光電変換され、検出回路10へ入力す
る。
On the other hand, since the detection light beam 6 is a red light beam, it is reflected by a dichroic mirror 7 and passed through a cylindrical lens 8 to a detector 9 in which two photoelectric conversion elements are arranged side by side in a Japanese character shape. incident on . At this time, the detection light beam 6 is incident on a fixed position by the cylindrical lens 8 regardless of the deflection angle by the rotating polygon mirror 3, and the deviation in the direction along the axis of the cylindrical lens 8 due to errors in the mirror surface only detected. The detection light beam 6 incident on the detector 9 is photoelectrically converted by a photoelectric conversion element in the detector 9 and input to the detection circuit 10 .

第4図は、検出器9と検出回路10との接続関
係を示すもので、検出回路10は、増幅器および
抵抗器から成る電流・電圧変換部と、差動増幅器
とで構成されている。
FIG. 4 shows the connection relationship between the detector 9 and the detection circuit 10. The detection circuit 10 is composed of a current/voltage conversion section consisting of an amplifier and a resistor, and a differential amplifier.

今、この検出器9の各光電変換素子9A,9B
に入射される検出光ビーム6(第4図にハツチン
グを付して示す)の状態が、例えば第5図イに示
す如く変化した場合には、第4図の各電流・電圧
変換部からは、第5図ロおよびハに示す如き検出
信号が出力し、検出回路10からは、最終的に
は、第5図ニに示す如き偏位信号が出力する。
Now, each photoelectric conversion element 9A, 9B of this detector 9
When the state of the detection light beam 6 (shown with hatching in FIG. 4) incident on the detector changes as shown in FIG. 5A, for example, the current/voltage converter in FIG. , detection signals as shown in FIG. 5B and FIG. 5C are outputted, and the detection circuit 10 finally outputs a deviation signal as shown in FIG. 5D.

かくして、走査線間隔の不均一性の原因となる
記録光ビーム1の部分的偏位は、検出光ビーム6
の部分的偏位によりあらかじめ検出されることと
なるが、この検出光ビーム6の部分的偏位に基い
て、記録光ビーム1における走査線間隔の不均一
性は、以下の如く補正される。
Thus, partial deviations of the recording light beam 1 that cause non-uniformities in the scan line spacing will cause the detection light beam 6 to
Based on this partial deviation of the detection light beam 6, the non-uniformity of the scanning line spacing in the recording light beam 1 is corrected as follows.

すなわち、検出回路10から、第6図ロに示す
如き検出光ビーム6の偏位信号が出力されると、
該偏位信号は、次段のV/F変換器11におい
て、第6図ハに示す如く電圧・周波数変換され、
この周波数変換された信号ハは、さらに次段の平
衡変調器12において、第6図イに示す如き画像
信号により振幅変調され、該平衡変調器12から
は、第6図ニに示す如き補正信号が出力される。
That is, when the detection circuit 10 outputs a deviation signal of the detection light beam 6 as shown in FIG. 6B,
The deviation signal is subjected to voltage/frequency conversion in the next stage V/F converter 11 as shown in FIG.
This frequency-converted signal C is further amplitude-modulated in the next-stage balanced modulator 12 by an image signal as shown in FIG. 6A, and from the balanced modulator 12, a correction signal as shown in FIG. is output.

この補正信号は、電力増幅器13を介して、
AOM2における超音波変換用トランスデユーサ
ーに印加され、AOM2に入射する記録光ビーム
1を、画像信号に応じて輝度変調するとともに、
検出回路10によつて検出された検出光ビーム6
の偏位信号に応じて、記録光ビーム1の偏向角を
補正することにより、記録光ビーム1の走査線間
隔の不均一性を補正する。
This correction signal is passed through the power amplifier 13 to
The recording light beam 1 applied to the ultrasonic conversion transducer in the AOM 2 and incident on the AOM 2 is modulated in brightness according to the image signal, and
Detection light beam 6 detected by detection circuit 10
By correcting the deflection angle of the recording light beam 1 according to the deflection signal of the recording light beam 1, non-uniformity in the scanning line spacing of the recording light beam 1 is corrected.

かかる補正を行なう上で重要なことは、回転多
面鏡3の鏡面上の同一位置を、検出光ビーム6が
走査した後、対応する記録光ビーム1が走査する
までの遅れ時間tと、信号がAOM2における超
音波変換用トランスデユーサーに印加されてか
ら、該信号により、入射された記録光ビーム1が
変調されるまでの時間(t′)とを、あらかじめ一
致させておくことである。そのためには、例えば
次の様にすればよい。
What is important in performing such correction is the delay time t from when the detection light beam 6 scans the same position on the mirror surface of the rotating polygon mirror 3 to when the corresponding recording light beam 1 scans, and the signal The purpose is to make the time (t') from when the signal is applied to the ultrasonic converting transducer in the AOM 2 to when the incident recording light beam 1 is modulated by the signal coincide with each other in advance. To do this, for example, you can do as follows.

すなわち、検出光ビーム6の光路上に光チヨツ
パを配置することにより、検出光ビーム6を、一
定幅および一定間隔のパルス光として光電変換器
に入射させ、該光電変換されたパルス信号を、画
像信号に代え、一定周波数の信号が入力されてい
る平衡変調器12に、電流・電圧変換器を介して
入力する。
That is, by arranging an optical chopper on the optical path of the detection light beam 6, the detection light beam 6 is made incident on a photoelectric converter as pulsed light having a constant width and a constant interval, and the photoelectrically converted pulse signal is converted into an image. Instead of the signal, a constant frequency signal is input to the balanced modulator 12 via a current/voltage converter.

この平衡変調器12からは、前記パルス信号に
応じて振幅変調された信号が出力し、この出力信
号を、電力増幅器13を介して、AOM2の超音
波変調用トランスデユーサーに入力すると、超音
波は、該AOM2の結晶中を伝播して、記録光ビ
ーム1を変調するまでの伝播遅れ時間だけ遅れて
変調され、パルス光としてAOM2から出力され
る。
This balanced modulator 12 outputs a signal amplitude modulated according to the pulse signal, and when this output signal is inputted to the ultrasonic modulation transducer of the AOM 2 via the power amplifier 13, the ultrasonic wave propagates through the crystal of the AOM 2, is modulated with a delay of a propagation delay time until it modulates the recording light beam 1, and is output from the AOM 2 as pulsed light.

この記録光ビーム1を、該光ビーム1の光路中
に適宜配置された光電変換器(図示せず)に入射
せしめ、該光電変換器からの出力信号と、前記検
出光ビーム6の光路中に適宜配置された光電変換
器からの出力信号とを、例えばオシロスコープに
入力して、両光電変換器からの出力波形を表示
し、両出力波形の時間差が零となる様に、記録光
ビーム1がAOM2に入射する位置を調整する
か、あるいは、回転多面鏡3の鏡面に入射する検
出光ビーム6の基準位置を調整すればよい。必要
に応じて、適当な遅延回路を用いてもよい。
This recording light beam 1 is made incident on a photoelectric converter (not shown) appropriately placed in the optical path of the light beam 1, and an output signal from the photoelectric converter and an output signal from the photoelectric converter are input into the optical path of the detection light beam 6. The output signals from appropriately placed photoelectric converters are input to, for example, an oscilloscope, the output waveforms from both photoelectric converters are displayed, and the recording light beam 1 is set so that the time difference between the two output waveforms becomes zero. The position of the detection light beam 6 entering the AOM 2 may be adjusted, or the reference position of the detection light beam 6 entering the mirror surface of the rotating polygon mirror 3 may be adjusted. An appropriate delay circuit may be used if necessary.

なお、光チヨツパー、及び両光電変換器は、か
かる調整時にのみ、光路中に配置されることは云
うまでもない。
It goes without saying that the optical chopper and both photoelectric converters are placed in the optical path only during such adjustment.

上述のように、本発明に係る方法は、音響光学
光偏向素子の結晶中を超音波信号が伝播するに要
する時間を利用して、記録光ビームの走査線間隔
の不均一性を、実時間で補正する様にしたもの
で、補正信号が音響光学光偏向素子における超音
波変換用トランスデユーサーに印加され、該トラ
ンスデユーサーから出力された超音波信号が、記
録光ビームの入射位置まで伝播されて、当該記録
光ビームが変調されるまでの時間と、光偏向装置
の同一鏡面位置に検出光ビームが入射してから、
記録光ビームが入射するまでの時間差とを等しく
調整しておき、検出光ビームにより、光偏向装置
の各鏡面における誤差をあらかじめ検出し、該誤
差に対応する補正信号を、記録光ビームを変調す
るための画像信号とともに音響光学偏向素子に印
加することにより、記録光ビームの走査線間隔の
不均一性を実時間で補正する様にしたものであ
る。
As described above, the method according to the present invention utilizes the time required for an ultrasound signal to propagate through the crystal of an acousto-optic light deflection element to detect non-uniformity in the scanning line spacing of a recording light beam in real time. The correction signal is applied to the ultrasonic conversion transducer in the acousto-optic light deflection element, and the ultrasonic signal output from the transducer propagates to the incident position of the recording light beam. and the time it takes for the recording light beam to be modulated, and the time from when the detection light beam is incident on the same mirror surface position of the optical deflection device.
The time difference until the recording light beam is incident is adjusted to be equal, the error in each mirror surface of the optical deflection device is detected in advance using the detection light beam, and the recording light beam is modulated with a correction signal corresponding to the error. By applying it to the acousto-optic deflection element along with an image signal for recording, non-uniformity in the scanning line spacing of the recording light beam can be corrected in real time.

上記した説明では、本発明に係る方法を、画像
走査記録装置の記録側に適用した場合について記
述したが、走査する原画が白黒原画であれば、平
衡変調器12に入力される画像信号を、一定電圧
信号に切換えるだけで、走査側にも適用し得る。
この場合、AOMは、補正用の光偏向のみを行な
つて、記録側におけるような光変調を行なう必要
がないことはいうまでもない。
In the above description, the method according to the present invention is applied to the recording side of an image scanning recording apparatus. However, if the original image to be scanned is a monochrome original image, the image signal input to the balanced modulator 12 is It can also be applied to the scanning side by simply switching to a constant voltage signal.
In this case, it goes without saying that the AOM only performs optical deflection for correction, and there is no need to perform optical modulation as on the recording side.

なお、上記した実施例においては、光ビームに
より平面走査を行なう場合について記載したが、
本発明に係る方法は、円筒面を走査する場合にも
同様に適用することができる。
In addition, in the above-mentioned embodiment, the case where plane scanning is performed by a light beam is described, but
The method according to the invention can be similarly applied when scanning a cylindrical surface.

以上の様に、本発明に係る方法は、記録光ビー
ム、走査光ビーム等の主光ビームに先行して、検
出光ビームを光偏向装置で偏向することにより、
該光偏向装置の各鏡面における非平滑性、平行度
誤差等の誤差をあらかじめ検出し、実時間で、走
査線間隔の不均一性を補正するものであるため、
光学軸を調整する場合等、光学系を調整した後で
も、そのまま使用し得るなど、実用上多大の利点
を有する。
As described above, the method according to the present invention deflects the detection light beam with an optical deflection device prior to the main light beam such as the recording light beam or the scanning light beam.
Errors such as non-smoothness and parallelism errors on each mirror surface of the optical deflection device are detected in advance, and non-uniformity in scanning line spacing is corrected in real time.
It has many practical advantages, such as being able to be used as is even after adjusting the optical system, such as when adjusting the optical axis.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、走査線間隔の不均一性の一例を示す
グラフ、第2図は、本発明に係る方法を実施する
ための光学・電気的構成の一例を示す図、第3図
は、第2図における回転多面鏡に入射する記録光
ビーム及び検出光ビームの状態を示す拡大斜視
図、第4図は、第2図における検出器及び検出回
路の一例を示す略図、第5図は、第2図の検出器
への検出光ビームの入射状態および検出信号の一
例を示す図、第6図は、第2図の各部における信
号波形の一例を示す図である。 1…記録光ビーム、2…AOM(音響光学光偏
向素子)、3…回転多面鏡、4…F・θレンズ、
5…記録材料、6…検出光ビーム、7…グイクロ
イツクミラー、8…シリンドリカルレンズ、9…
検出器、9A,9B…光電変換素子、10…検出
回路、11…電圧・周波数(V/F)変換器、1
2…平衡変換器、13…電力増幅器。
FIG. 1 is a graph showing an example of non-uniformity in scanning line spacing, FIG. 2 is a graph showing an example of the optical and electrical configuration for carrying out the method according to the present invention, and FIG. FIG. 2 is an enlarged perspective view showing the states of the recording light beam and detection light beam incident on the rotating polygon mirror in FIG. 2, FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of the detector and detection circuit in FIG. 2, and FIG. FIG. 2 is a diagram showing an example of the incident state of the detection light beam on the detector and the detection signal, and FIG. 6 is a diagram showing an example of the signal waveform at each part in FIG. 1... Recording light beam, 2... AOM (acousto-optic light deflection element), 3... Rotating polygon mirror, 4... F/θ lens,
5... Recording material, 6... Detection light beam, 7... Gikkreuzk mirror, 8... Cylindrical lens, 9...
Detector, 9A, 9B...Photoelectric conversion element, 10...Detection circuit, 11...Voltage/frequency (V/F) converter, 1
2... Balance converter, 13... Power amplifier.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 走査光ビームを、音響光学光変調素子を介し
て光偏向用ミラーに入射させ、該偏向用ミラーで
偏向された走査光ビームにより、投影面に載置さ
れたシート材料を走査するに際し、前記走査光ビ
ームと光色を異ならせた検出光ビームを、走査光
ビームと所定の時間差をもつて、光偏向用ミラー
の各鏡面における同一位置を先行走査させ、両光
ビームを、光偏向用ミラーの後段の光路中に配置
したダイクロツクミラーにより分離し、走査光ビ
ームは、シート材料面を走査するように投射さ
せ、一方、検出光ビームは、その軸線が光偏向用
ミラーによる偏向方向に垂直に設置したシリンド
リカルレンズを介して、光偏向ミラーの鏡面の誤
差を検出光ビームの偏位により検出する光電変換
装置に投射させ、該光電変換装置の検出値に基い
て、検出光ビームの偏位に対する補正信号を、前
記音響光学光変調素子に印加することにより、走
査光ビームの偏位を補正することを特徴とする、
光ビーム走査における走査線間隔の不均一性補正
方法。 2 光偏向用ミラーの各鏡面における同一位置
を、検出光ビームが走査してから、走査光ビーム
が走査するまでの時間差を、音響光学光偏向素子
に補正信号が印加されてから、音響光学光偏向素
子に入射する走査光ビームが、該補正信号により
変調されるまでの時間と等しくしたことを特徴と
する特許請求の範囲第1項に記載の光ビーム走査
における走査線間隔の不均一性補正方法。 3 光電変換装置が、2個の光電変換素子を日の
字状に組合わせたものであることを特徴とする特
許請求の範囲第1項に記載の光ビーム走査におけ
る走査線間隔の不均一性補正方法。
[Claims] 1. A scanning light beam is made incident on an optical deflection mirror via an acousto-optic light modulation element, and the scanning light beam deflected by the deflection mirror causes a sheet material placed on a projection surface to be When scanning, a detection light beam having a different light color from the scanning light beam is scanned in advance at the same position on each mirror surface of the light deflection mirror with a predetermined time difference from the scanning light beam, and both light beams are are separated by a dichroic mirror placed in the optical path after the light deflection mirror, and the scanning light beam is projected so as to scan the sheet material surface, while the detection light beam is projected with its axis line for light deflection. Through a cylindrical lens installed perpendicular to the direction of deflection by the mirror, the beam is projected onto a photoelectric conversion device that detects the error in the mirror surface of the light deflection mirror by the deflection of the detection light beam, and based on the detected value of the photoelectric conversion device, The method is characterized in that the deviation of the scanning light beam is corrected by applying a correction signal for the deviation of the detection light beam to the acousto-optic modulation element.
A method for correcting non-uniformity of scanning line spacing in light beam scanning. 2. The time difference between when the detection light beam scans the same position on each mirror surface of the light deflection mirror and when the scanning light beam scans the same position is calculated by applying the correction signal to the acousto-optic light deflection element. Non-uniformity correction of scanning line spacing in light beam scanning according to claim 1, characterized in that the time taken for the scanning light beam incident on the deflection element to be modulated by the correction signal is made equal to the time taken for the scanning light beam to be modulated by the correction signal. Method. 3. Non-uniformity of scanning line spacing in light beam scanning as set forth in claim 1, wherein the photoelectric conversion device is a combination of two photoelectric conversion elements in a Japanese letter shape. Correction method.
JP497280A 1980-01-18 1980-01-18 Correction method for ununiformity of scanning line interval in light beam scanning Granted JPS56102821A (en)

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