JPS63263424A - 振動検出制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、地震等の振動振幅が設定レベルを越えた瞬
間から、制御出力信号を発生し続ける振動検出制御装置
に関するものである。

〔従来の技術〕

近年、半導体集積回路等の微細加工製品が急速に増大す
る傾向にある。この場合、微細加工を行う装置等は、振
動を極端に嫌うことから、許容振幅値以上の振動が加わ
った場合には、電源を切って作業を中断したり、あるい
は装置の稼動部分をロックする等の操作が必要である。

ここで、係る振動に対する保護動作は、従来一般に人為
的操作によって行われており、地震等の振動が発生した
ことを惑すると、直ちに電源スィッチを切ったり、ある
いは動きを止める必要のある部分に対するロック操作を
行っている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の微細加工装置等に対する振動保護動作は、以上の
ようにして行われているために、突発的に発生する地震
等の振動に対して、人為的操作が大幅に遅れて、振動保
護動作が不完全なものとなってしまう問題点を有してい
る。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、突発的な振動の発生に対しても、振幅が許
容値を越えた時点において、装置の電源を切ったりある
いは装置の稼動部分をロックするための制御信号を容易
に、かつ確実に発生し続けさせることが出来る振動検出
制御装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る振動検出制御装置は、通電状態で水平・
垂直方向に対して揺動自在に支持された金属球と、この
金属球の周囲でかつ該金属球の水平および垂直振動方向
に位置調整可能にそれぞれ設けられた水平・垂直方向振
動接触電極と、この水平・垂直方向振動検出電極からの
出力信号を検出してトリガー信号を発生するトリガー発
生回路と、このトリガー発生回路から発生されるトリガ
ー信号によりトリガーされて制御出力信号を反転保持す
るメモリー回路とによって構成したものである。

〔作用〕

この発明における振動検出制御装置は、振動の強さに応
じて通電状態の金属球が揺動することになる。従って、
この金属球の水平および垂直振動方向に位置調整可能に
それぞれ設けられた水平・垂直方向振動接触電極の位置
を設定することにより、この水平・垂直方向振動接触電
極の位置によって決定される設定値以上の振幅が印加さ
れた時に、前記金、属球が水平・垂直方向振動検出電極
の何れかに接触することから、該電極から金属球の接触
期間においてのみ出力信号が発生されることになる。そ
して、この出力信号はトリガー信号発生回路によって検
出されることにより、トリガー信号が発生されてメモリ
ー回路をトリガーすることから、該メモリー回路から発
生される制御出力が反転保持される。つまり、許容振幅
値を越えた瞬間に制御出力がオン状態となって、以後は
このオン状態を保持し続けることになる。従って、この
制御出力信号を電源オフ制御または可動部をロック制御
する信号等として使用することにより、許容振幅値以上
の振動が発生した場合における各種制御が行えることに
なる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、１は電圧Ｖえを出−力する電源、ＳＷｌは
電源ｌの出力を入り切りする電源スィッチ、２は振動検
出部であって、箱形をなした框体の内部には、電源スィ
ッチＳＷ、を介して電源１に接続された導電性スプリン
グ３によって金属球４が揺動自在に吊り下げられている
。５は金属球４に近接配置された垂直方向振動検出電極
であって、垂直方向位置調整用パルプ６によって垂直方
向位置が調整されるようになっている。７は水平方向振
動検出電極であって、水平方向位置調整用パルプ８によ
って水平方向位置が調整されるようになっている。９は
トリガー発生回路であって、垂直方向振動検出電極５ま
たは水平方向振動検出電極７のいずれかから信号が発生
されると、この信号を検出してトリガー信号を発生する
。ｌＯはメモリー回路であって、トリガー信号の供給を
受けると、出力信号を“Ｌ　ＩＩから“ＨＩＩに反転し
て、この“ＨＩＩ状態を保持し続ける。ＳＷ２はメモリ
ー回路１０の保持動作を解除するリセットスイッチであ
って、その一端はアースに接続されている。

このように構成された振動検出制御装置において、電源
スィッチＳ　Ｗ　＋を投入すると、電源１の出力が導電
スプリング３を介して金属球４に印加されることになる
。ここで、通常状態における金属球４は静止しているこ
とから、垂直方向振動検出電極５および水平方向振動検
出電極７に接触することは無く、従ってＡ点電位はアー
ス電位となっている。

ここで、例えば第２図（ａ）に示す波形を有する振動が
供給されると、振動検出部２はこの振動に応じて移動さ
れるのに対し、その内部に導電性スプリング３によって
揺動自在に吊り下げられている金属球４は定位置を保と
うとする。この結果、金属球４と垂直・水平方向振動検
出電極５，７間の距離によって設定される許容値Ａ５以
上の振動が供給されると、この金属球４がこの振動方向
に対応する垂直方向振動検出電極５または水平方向振動
検出電極７に接触することになる。この結果、垂直・水
平方向振動検出電極５．７に接続されたＡ点には、第２
図（ｂ）に示すように、第２図（ａ）の振動波形が許容
値Ａ、を越える期間においてのみ、電源１の出力電圧ｖ
、ｌが出力されることになる。

トリガー発生回路９は、Ａ点に出力信号が発生されたこ
とを検出すると同時に、トリガー信号を発生してメモリ
ー回路１０に供給する。メモリー回路１０はトリガー信
号の供給を受けると、出力信号を“Ｌ　ＩＩから“Ｈ”
に反転して、この“Ｈ”状態を保持し続けることにより
、この出力信号を第２図（Ｃ）に示す振動検出制御信号
Ｃとして被制御装置に供給する。被制御装置は、メモリ
ー回路１０から振動検出制御信号Ｃの供給を受けると、
電源スィッチを切ったりあるいは動きを止める必要のあ
る部分に対するロック操作を実行して振動に対する保護
を行う。

ここで、振動検出部２において検出される振動波形の許
容（Ｉ！Ａ　＋は、無振動時における金属球４と垂直・
水平方向振動検出電極５，７間の距離によって決定され
ることから、垂直・水平方向位置調整用バルブ６．８を
回動することによって、係る許容値Ａ、の調整が行える
ことになる。また、この様に構成された振動検出制御装
置においては、振動レベルが前記許容値を一瞬たりとも
越えると、その瞬間からメモリー回路１０が出力信号を
反転保持することから、振動検出制御信号が発生し続け
られて、振動検出制御に最も適した信号が出力されるこ
とになる。

次に、地震等の振動が完全に停止したならば、リセット
スイッチＳＷ２をオン制御する。リセットスイッチＳＷ
ｔがオンされると、Ｂ点電位が第２図（ｄ）に示すよう
に該オン期間において“Ｈ“から“Ｌ″′に反転する。

この結果、メモリー回路ｌＯに対するリセット制御が加
えられて、メモリー回路１０から出力される振動検出制
御信号Ｃが零レベルに復帰する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば簡単な構成でありなが
ら、許容値を越える振幅を有する振動が印加されたこと
を確実に検出して、リセット制御が加えられるまで制御
出力信号を発生し続けることが出来るために、振動を嫌
う装置に対する電源の遮断および可動部分に対するロッ
ク制御等に適した制御が行える効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による振動検出制御装置の一実施例を
示す構成図、第２図は第１図の動作を示す各部動作波形
図である。 １は電源、２は振動検出部、３は導電性スプリング、４
は金属球、５は垂直方向振動検出電極、６は垂直方向位
置調整用バルブ、７は水平方向振動検出電極、８は水平
方向値Ｗｆｆｌ整用パルプ、９はトリガー回路、ｌＯは
メモリー回路、ＳＷ、は電源スィッチ、ＳＷ２はリセッ
トスイッチ。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。 代理人　　大　岩　増　ａ　（外２名）第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）通電状態で水平・垂直方向に対して揺動自在に支
   持された金属球と、この金属球の周囲でかつ該金属球の
   水平および垂直振動方向に所定距離離間して設けられた
   水平・垂直方向振動検出電極と、この水平・垂直方向振
   動検出電極からの出力信号を検出してトリガー信号を発
   生するトリガー発生回路と、このトリガー発生回路から
   発生されるトリガー信号によりトリガーされて制御出力
   信号を反転保持するメモリー回路とによって構成される
   ことを特徴とする振動検出制御装置。
2. （２）水平・垂直方向振動検出電極は、許容振幅値を設
   定するために、金属球との距離調整が可能となっている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の振動検出
   制御装置。