JPS63241436A - 溶融材料用投込形赤外線温度計 - Google Patents

溶融材料用投込形赤外線温度計

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JPS63241436A
JPS63241436A JP62327556A JP32755687A JPS63241436A JP S63241436 A JPS63241436 A JP S63241436A JP 62327556 A JP62327556 A JP 62327556A JP 32755687 A JP32755687 A JP 32755687A JP S63241436 A JPS63241436 A JP S63241436A
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molten material
temperature
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 未発dAは鉄鋼、アルζ=クム、塩等のような溶融材料
用の没入形赤外線m反計に関し、特に、一端が閉じてお
り、この端部の内面に焦点をもつ赤外線検出装置と溶融
材料に投入するときの熱的衝撃を防ぐための予加熱装置
を備えた中空の管に関する。
〔従来の技術〕
溶融材料の温度測定は熱電灯が用いられており、これを
溶融材料中に挿入してそれを行っている〔発明が解決し
ようとする問題点〕 このような熱電対は溶融材料に挿入すると溶解するから
、温度測定を行う毎に熱電対が消費されてしまう。更に
この熱′4対の溶解のために温度を測定している深さを
正しく決定することが出来ない0 〔問題点を解決するための手段〕 本発明は、特定の#融材料について考えられる最高温度
において軟化することもまたその材料を汚染することの
ない材料からなる中空の投入体を利用する、溶融材料用
の新しい温度計を提供する〔作 用〕 この投入体の底端はハーメチックシールされており頂端
はこの中空の投入体の内側底面の中心に焦点をもつレン
ズを有するレンズケースに結合され4投入体の底部の温
度を示す出力を出すように較正された赤外線検出器がこ
のレンズと光学的に整合してレンズケースに直接装着さ
れるか、あるいは離れたところに装着される。後者の場
合にはフレキシブルな光学ファイバ組立体によりそれを
レンズに光学的に結合させる。
溶融材料に投入体を入れるときの熱衝撃による投入体の
割れを紡ぐために予加熱装置が投入体に与えられており
、これが投入体を充分高温にして熱衝撃によるその損傷
の可能性を回避する。るつぼ内の溶融材料の温度は投入
体の挿入条さを制御することにより槌々の深さにおいて
決定することが出来る。
〔実施 例〕
第1 ”s 1 bs 2%  5図に示す本発明の第
1実施例による投入形赤外線温度計は金属または塩のよ
うな測定されるべき溶融材料よついて予測されうる最高
の温度において軟化、溶解または材料汚染を生じない材
料からなる中空の投入体10からなる。温度範囲が12
00℃から1500℃である鉄鋼のような溶融材料につ
いてはそのような温度においてその剛性を保持するセラ
ミック材料が投入体として適している。500℃から1
000℃の温度範囲の溶融アルミニウムについては@ま
たはセラミック材料を用いることが出来る。この中空の
投入体は閉じた端部12を有し、これは中空管と一体の
ものでも、あるいは別々につくられた適当な手段により
中空投入体にハーメチックシールされるものでもよい。
鋼のよ5なものからなる、溶融材料には入れられない環
形のカップリング リング14がねじ接合16または他
の適当な手段により中空の投入体10の上端に固定され
る。リング14の中央のねじのない部分にはadの半径
方向の排気孔15が設けである。リング14の反対側端
部はねじ接合22または他の適当な手段により包囲体2
0に固定される。
一端に両凸レンズ17が固定されたレンズケ−ス21が
第1&図に示すように1個以上のセットねじ25により
包囲体20内に調整しうるように装着される。このよう
に、投入体10に面するレンズ17の焦点は点M19で
示すように投入体10の端部12の内面18上に正確に
位置ぎめすることか出来る。サファイアまたは石英の光
学的な伝達ロッド24が円筒状の端部取付は部材25の
一端に固定される。この部材25は点線26で示すよう
にロッド24の端面2Bをレンズ17の反対側焦点に位
置ぎめするためにレンズケース21内で滑りうるように
装着される。部材25はセットねじ等(図示せず)のよ
うな適当な手段によりレンズケース21内の調整された
位置に固定されるO 光学ファイバ束50は適当な被覆56を有し、そしてそ
の端部がロッド24の端部34に当接するかあるいは接
近して整合するようKして部材25の反対端に固定され
る。このようにして投入体10の内部底端から赤外Is
輻射はレンズ17とロッド24を通りファイバ束50に
伝達されて、赤外線→Ili射を投入体10の端部のま
わりの溶融材料の温度を示す電気・14号に変換するこ
との出来る遠隔の赤外線恢m器へと更に伝達されうるよ
うになっている。部材25はそれとロッド24がファイ
バ束50の端部を投入体10からの強い熱幅射から分離
して保護するように高温に耐える適当な材料でつくられ
る。
ファイバ束50の反対端は第5図に示すように赤外M、
t&出器40に接続されており、この検出器はハウジン
グ41内に装着されている。空気取入孔43がハウジン
グ41の一端に設けられており、この孔は冷却空気源(
図示せず)に接続されるようになっている。取付は部材
44が赤外線検出器40に固定されてそれを従来の温度
読堆装置に接続する手段を形成する。被覆されたファイ
バ束50のハウジング41から包囲体20までの全長部
分が、一端でねじ結合45によりハウジング41に固定
されておりそして他端で結合部材48のねじ部47に固
定される中空の管状ケース42により覆われており、部
材48は包囲体20のねじ部49に接続している。孔4
6から入る冷却空気はハウジング41、中空ケース42
、部材48、包囲体20およびリング14を通って排気
孔15から出る。このように、ファイバ束は全長にわた
りその特性に悪い影響を与える高温に対し保護てれてい
る。
溶融材料内に入れられたときの熱衝撃による投入体の変
形や割れを防止するために、K2図に示すように予熱装
置イ50が投入体に設けである。この予加熱装置50は
閉じた端部54を有する断熱材等からなる中空の管状ハ
ウジング52からなる。84加熱コイル56がハウジン
グ52のまわりに配置され、そしてこのコイルは絶縁層
56で覆われる。ハウジング52ははソその全長に投入
体10を緊実に受け入れる:うな寸法を有する。投入体
10の端部はハウジング52の底に乗るかあるいは21
当な手段により第2図に示すようにハウジングに対し間
隔をもってハウジング内に吊下げてもよい。例えば、ね
じ結合部材16はノ・ウジフグ52の上面に乗るか、あ
るいは別のブラケット(図示せず)に固定してもよい。
誘導′JM熱コイル56の附勢により、投入体10は加
熱されてるつば内の予想される溶融温度より僅かに低い
安定した温度に自動的に保持される。赤外線検出器は投
入体の底端の温度を定常的に測定するから、従来の滞磁
ループを設けて、投入体が常に投入しうる状態にあるよ
うに所望の温度に投入体を維持するに必要な加熱度を制
御することが出来る。投入体の予加熱はガス焔、抵抗加
熱装置あるいは他の適当な加熱製産でも行うことが出来
る。このように熱衝撃を回避しうるから投入体の寿命を
、誤操作による損傷の場合を除き長くすることが出来る
第4図に示す本発明の第2の実施例においては、赤外1
腋検出器組立体がレンズケースに一体的に装着されてフ
ァイバ束50と冷却系の必要性をなくしている。第4図
に示すようにこの組立体全体は投入体10の端部に固定
される第1a図の包囲体20と同様の中空円筒状ハウジ
ング内に装着されるようになっている。第4図の組立体
は、レンズケース21をセットねじ等で包囲体20内に
装着する場合と同様に包囲体20内に装着してもよい。
この組立体は中空円筒レンズケース61からなり、この
ケース61はそこにねじ止めされるレンズ保持リング6
5によりその一端近辺に片凸レンズ62を固定している
。石英の窓64がケース61の端部にねじ止めされた態
保持リング65によりケース61内でレンズ62の外側
に固定されている。弾性ロリング66がレンズ62とケ
ース61の間に、′そして弾性Oリング67が石英窓6
4とケース61の間に夫々装着されて熱補償を行うと共
にレンズケースの端部をシールしている。
他の弾性0リング68がケース61の外側の溝に設けら
れて投入体に装着された包囲体20内にケースをシール
する。ケース61は凸レンズ62の焦点が投入体の内部
底面と一致するようにノ・ウジング内に調整しうるよう
に装着しうる。レンズ62を通る赤外線はアークリング
70によりケース61内に同心配置された複数のバック
ルワッシャ69によってコリメートされる。赤外線検出
器組立体71は、1個のみを第4図に示している複数の
ねじ75によりアダプタ72に固定され、そしてこのア
ダプタがセットねじ74によりケース61の端に固定さ
れる。サファイアまたは石英のロッド75がアダプタ7
2内に同心配置されて赤外線輻射をレンズ62から検出
器ヘッド71に装着された検出器76に伝達する。適当
な弾性0リング77と78がアダプタを検出器ヘッド組
立体とレンズケースに対し夫々クールするために設けで
ある。この組立体全体は適当な導体79により接電され
、そして検出器76はワイヤ80によりハウジングの外
の9適当な信号処理系に接続しうるようになっている。
〔発明の効果〕
投入形光外線温度計を使用する場合、高温でちるため、
投入体は予加熱装「這と、適当なロボット装置により温
度測定されるべきm線材料との間で移動しうるよンにな
っている。この温度計は極めて寿命が長くそして溶融材
料の温度を正確に測定するためにくり返して使用するこ
とが出来る。この温度計は投入形であるから解融材料の
表面から種々の深さのところの温度を測定することが出
来る。
【図面の簡単な説明】
第1a図および第1b図は第1a図の右端が第1b図の
左端に接続してなる本発明による投入形赤外i1J温度
計の第1実施例の部分断面側面図、第2図は予加熱装置
の一部の部分断面側面図、第5図は第1a図および第1
b図の温度計に用いる赤外線検出器組立体の、そのカバ
ーを除いた側面図、第4図は本発明によるレンズと赤外
線検出器組立体の第2の実施例の部分断面側面図である
。 10・・・投入体     12・・・閉じた端部14
・・・カップリングリング 15・・・排気孔     16・・・ねじ結合部材1
7・・・両凸レンズ   20・・・包囲体21・・・
レンズケース  22・・・ねじ接続部25・・・セッ
トねじ   24・・・光学伝達ロッド25・・・端部
取付は部材 50・・・光学ファイバ東56・・・カバ
ー     40・・・赤外線検出器41・・・ハウジ
ング   42・・・中空ケーシング45・・・吸気孔
      44・・・取付は部材48・・・、結合部
材     50・・・予加熱装置52・・・ハウジン
グ    55・・・絶一層56・・・誘導加熱コイル
  61・・・レンズケース62・・・片凸レンズ  
  66・・・レンズ保持リン64・・・石英窓   
      グ65・・・態保持リング 66.67.68.77.78・・・0リング69・・
・バックルワッシャ 70・・・アークリング71・・
・赤外線検出器組立体 72・・・アダプタ     75・・・石英ロッド7
6・・・検出器 特許alt人ハンゼツテイ システムスインコーホレー
テッド

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 溶融材料の推測温度より高い溶融または変形温度を
    もつ材料からなる、溶融材料に挿入されるようになつた
    閉じた端部を有する中空の管状の投入体と、この投入体
    に動作的に接続してその上記端部からの赤外線輻射を受
    けてその近辺の溶融材料の温度を示す出力信号を出す赤
    外線検知装置と、上記投入体内にあつて上記閉じた端の
    内面から上記赤外線検知装置に赤外線輻射を伝達する赤
    外線伝達装置と、から成り、この赤外線伝達装置は、上
    記閉じた端部と整合して上記投入体内に装着されると共
    に上記閉じた端部の内面に配置された焦点を有するレン
    ズ装置並びにこのレンズ装置と整合して配置されてこの
    レンズ装置から上記赤外線検知装置に赤外線輻射を伝達
    する中間赤外線伝達ロッドを含むごとくなつた溶融材料
    用温度測定装置。 2 前記投入体を受け入れる中空のレセプタクルとこの
    レセプタクルに動作的に関連してこの投入体を溶融材料
    の推測温度より低いがそれに近い予定の温度まで予加熱
    し溶融材料への上記投入体の投入による熱的衝撃を防止
    する加熱装置とを更に含む特許請求の範囲第1項記載の
    温度測定装置。 3 前記赤外線検知装置は前記投入体の前記閉じた端部
    とは反対の側の端部に装着されるごとくなつた特許請求
    の範囲第1項記載の温度測定装置。 4 前記赤外線検知装置は前記投入体から離れた位置に
    配置されており、更に前記ロッドの中間および上記赤外
    線検知装置に接続して赤外線輻射を上記検知装置に伝達
    するためのフレキシブルなファイバ光学装置を含む、特
    許請求の範囲第1項記載の温度測定装置。 5 前記ファイバ光学装置を囲み、冷却空気を受ける空
    気通路を更に含む特許請求の範囲第4項記歳の温度測定
    装置。 6 溶融材料の推定温度より高い温度で変形または破壊
    に対し耐性のある材料からなる、閉じた端部を有し、且
    つその端部に整合して装着され、そしてその端部の内面
    に焦点をもつレンズ装置を備えた中空の管状投入体の閉
    じた端部を上記溶融材料に所望の深さまで挿入し、上記
    閉じた端部の内面からの赤外線輻射を検出し、この検出
    された赤外線輻射を上記レンズ装置と赤外線伝達ロッド
    を介して赤外線検出装置に伝達し、検出された赤外線輻
    射を上記閉じた端部近辺の溶融材料の温度を示す電気信
    号に変換する、ことからなる、異る深さにおける溶融材
    料の温度を決定する方法。 7 前記投入体を溶融材料に挿入する前にその材料の推
    定温度に近いがそれより低い温度まで予加熱する段階を
    更に含む特許請求の範囲第6項記載の方法。
JP62327556A 1987-01-15 1987-12-25 溶融材料用投込形赤外線温度計 Pending JPS63241436A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US003,438 1987-01-15
US07/003,438 US4737038A (en) 1987-01-15 1987-01-15 Immersion infrared thermometer for molten materials

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JPS63241436A true JPS63241436A (ja) 1988-10-06

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ID=21705876

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62327556A Pending JPS63241436A (ja) 1987-01-15 1987-12-25 溶融材料用投込形赤外線温度計

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Country Link
US (1) US4737038A (ja)
EP (1) EP0275059A3 (ja)
JP (1) JPS63241436A (ja)
KR (1) KR880009270A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06331450A (ja) * 1993-05-26 1994-12-02 Tsubakimoto Chain Co 溶湯温度測定装置
JP2019521522A (ja) * 2016-06-21 2019-07-25 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 基板温度モニタリング

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4919505A (en) * 1989-01-12 1990-04-24 Square D Company Infrared thermometer with fiber optic remote pickup
US5011296A (en) * 1989-01-12 1991-04-30 Square D Company Method of using infrared thermometer with remote fiber optic pickup
US5180228A (en) * 1989-09-18 1993-01-19 Asahi Glass Company Ltd. Radiation thermometer for molten iron and method for measuring the temperature of molten iron
GB9020219D0 (en) * 1990-09-15 1990-10-24 Smiths Industries Plc Optical temperature sensors
US5277496A (en) * 1990-10-17 1994-01-11 Ametek, Inc. High temperature optical probe
US5078507A (en) * 1991-03-18 1992-01-07 General Electric Company Temperature sensor
US5263839A (en) * 1991-11-05 1993-11-23 Trafalgar House Inc. Apparatus for sensing the temperature of a thermoplastic sheet in a differential pressure forming machine
US5364186A (en) * 1992-04-28 1994-11-15 Luxtron Corporation Apparatus and method for monitoring a temperature using a thermally fused composite ceramic blackbody temperature probe
US5302027A (en) * 1992-10-22 1994-04-12 Vesuvius Crucible Company Refractory sight tube for optical temperature measuring device
JPH075043A (ja) * 1992-12-07 1995-01-10 Seiichi Okuhara 光学的温度測定装置の受光部
US5389335A (en) * 1993-06-18 1995-02-14 Charm Sciences, Inc. High temperature, short time microwave heating system and method of heating heat-sensitive material
GB2294318A (en) * 1994-09-30 1996-04-24 Solar Turbines Inc Pyrometer probe with a tapered optical fibre
JP3555492B2 (ja) * 1998-09-22 2004-08-18 株式会社デンソー 温度センサ
US6471397B2 (en) 1999-08-06 2002-10-29 Howmet Research Corporation Casting using pyrometer apparatus and method
GB2370632B (en) * 2000-11-30 2004-11-17 Rolls Royce Plc A gas turbine engine guide vane and temperature monitor therefor
CN1527932A (zh) * 2001-07-27 2004-09-08 新日本制铁株式会社 熔融金属的测温装置和测温方法
EP1298423A1 (en) * 2001-10-01 2003-04-02 Vesuvius Crucible Company Pyrometer
BRPI0502779B1 (pt) * 2005-06-09 2020-09-29 Usinas Siderúrgicas De Minas Gerais S.A. - Usiminas Dispositivo para medição contínua de temperatura do aço líquido no distribuidor com pirômetro infravermelho e fibra óptica
TW200841859A (en) * 2007-04-27 2008-11-01 Actherm Inc Infrared thermometer
US9261407B2 (en) * 2009-11-02 2016-02-16 Eric M. Lawson Thermometer for determining the temperature of an animal's ear drum and method of using the same
EP2538187A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-26 Jyoti Goda An immersion type sensor for measuring temperature of molten metals and the like
US9265427B2 (en) 2012-03-19 2016-02-23 Welch Allyn, Inc. Systems and methods for determining patient temperature
US9138149B2 (en) 2012-03-19 2015-09-22 Welch Allyn, Inc. Systems and methods for determining patient temperature
AU2013204818B2 (en) * 2013-04-12 2015-02-19 Metso Metals Oy Molten bath temperature measurement for a top submerged lance injection installation
US9671291B2 (en) * 2013-11-08 2017-06-06 Ccpi Inc. Non-contact temperature measurement in molten metal applications
WO2015107099A1 (en) 2014-01-15 2015-07-23 KB Medical SA Notched apparatus for guidance of an insertable instrument along an axis during spinal surgery
US9885610B2 (en) 2014-12-22 2018-02-06 Rosemount Inc. Thermowell system with vibration detection
TR201815134T4 (tr) * 2015-01-28 2018-11-21 Heraeus Electro Nite Int Bir eriyiğin sıcaklığını ölçmeye yönelik bir optik elyaf için besleme cihazı.
US10013808B2 (en) 2015-02-03 2018-07-03 Globus Medical, Inc. Surgeon head-mounted display apparatuses
GB201510588D0 (en) * 2015-06-16 2015-07-29 Novacast Systems Ab Apparatus for analysis of metals
US9891111B2 (en) * 2015-06-30 2018-02-13 Rosemount Inc. Thermowell with infrared sensor
US10646298B2 (en) 2015-07-31 2020-05-12 Globus Medical, Inc. Robot arm and methods of use
US10520371B2 (en) 2015-10-22 2019-12-31 Applied Materials, Inc. Optical fiber temperature sensors, temperature monitoring apparatus, and manufacturing methods
US11058378B2 (en) 2016-02-03 2021-07-13 Globus Medical, Inc. Portable medical imaging system
US10842453B2 (en) 2016-02-03 2020-11-24 Globus Medical, Inc. Portable medical imaging system
US10448910B2 (en) 2016-02-03 2019-10-22 Globus Medical, Inc. Portable medical imaging system
US10067292B2 (en) * 2016-06-08 2018-09-04 General Electric Technology Gmbh System, method and apparatus for adjusting a flame scanner
US11357548B2 (en) 2017-11-09 2022-06-14 Globus Medical, Inc. Robotic rod benders and related mechanical and motor housings
JP6778242B2 (ja) 2017-11-09 2020-10-28 グローバス メディカル インコーポレイティッド 手術用ロッドを曲げるための手術用ロボットシステム、および関連する方法および装置
RU2664980C1 (ru) * 2017-12-08 2018-08-24 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Башкирский государственный аграрный университет" Датчик для измерения температуры в агрессивной среде
US10573023B2 (en) 2018-04-09 2020-02-25 Globus Medical, Inc. Predictive visualization of medical imaging scanner component movement
US11571171B2 (en) 2019-09-24 2023-02-07 Globus Medical, Inc. Compound curve cable chain
US11864857B2 (en) 2019-09-27 2024-01-09 Globus Medical, Inc. Surgical robot with passive end effector
US11426178B2 (en) 2019-09-27 2022-08-30 Globus Medical Inc. Systems and methods for navigating a pin guide driver
US11890066B2 (en) 2019-09-30 2024-02-06 Globus Medical, Inc Surgical robot with passive end effector
US11510684B2 (en) 2019-10-14 2022-11-29 Globus Medical, Inc. Rotary motion passive end effector for surgical robots in orthopedic surgeries
DE102020205708A1 (de) 2020-05-06 2021-11-11 Deere & Company Sensoranordnung
WO2023010215A1 (en) * 2021-08-05 2023-02-09 National Research Council Of Canada Refractory lance assembly and refractory lance tube

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1417519A (fr) * 1964-12-07 1965-11-12 Keramische Werke Neuhaus Veb Pyromètre à rayonnement
US3610045A (en) * 1965-04-01 1971-10-05 Ajax Magnethermic Corp Thermocouples
DE1921322A1 (de) * 1968-05-15 1969-12-04 Voest Ag Verfahren zur kontinuierlichen Messung der Temperatur von Metallbaedern und Messlanze zur Durchfuehrung des Verfahrens
US3626758A (en) * 1969-12-15 1971-12-14 Caterpillar Tractor Co Remote radiation temperature sensor
CA943368A (en) * 1971-02-05 1974-03-12 Stanislaw M. Veltze Device for measuring temperature of molten metal
US3946610A (en) * 1973-06-12 1976-03-30 Societe Des Aciers Fins De L'est Temperature measuring device for metallurgical furnaces
JPS5276086A (en) * 1975-12-22 1977-06-25 Nippon Steel Corp Device for measuring temperature of radiation from molten metals
US4158965A (en) * 1978-01-05 1979-06-26 Electromedics, Inc. Electronic thermometer with heat conditioned probe
US4508461A (en) * 1981-09-22 1985-04-02 Westinghouse Electric Corp. Distributed fiber optic temperature monitoring apparatus and method
CH649790A5 (de) * 1982-04-02 1985-06-14 Alusuisse Vorrichtung zum messen der badtemperatur in einer aluminium-schmelzflusselektrolysezelle.
JPS5988629A (ja) * 1982-11-12 1984-05-22 Seiichi Okuhara 光学的測温装置の受光部
CA1218866A (en) * 1984-04-24 1987-03-10 John M. Lucas Tuyere pyrometer
JPS6153525A (ja) * 1984-08-22 1986-03-17 Nippon Denso Co Ltd 火災センサ
DE3432522A1 (de) * 1984-09-05 1986-03-13 INRESA Schultheiss GmbH, 7543 Engelsbrand Temperaturmessvorrichtung fuer eine giessvorrichtung
JPS61182539A (ja) * 1985-02-08 1986-08-15 Chino Works Ltd 放射温度計の検出部

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06331450A (ja) * 1993-05-26 1994-12-02 Tsubakimoto Chain Co 溶湯温度測定装置
JP2019521522A (ja) * 2016-06-21 2019-07-25 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated 基板温度モニタリング
US11053592B2 (en) 2016-06-21 2021-07-06 Applied Materials, Inc. Substrate temperature monitoring

Also Published As

Publication number Publication date
KR880009270A (ko) 1988-09-14
EP0275059A3 (en) 1989-12-27
EP0275059A2 (en) 1988-07-20
US4737038A (en) 1988-04-12

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