JPS63237605A - 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 - Google Patents
超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法Info
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- JPS63237605A JPS63237605A JP7018487A JP7018487A JPS63237605A JP S63237605 A JPS63237605 A JP S63237605A JP 7018487 A JP7018487 A JP 7018487A JP 7018487 A JP7018487 A JP 7018487A JP S63237605 A JPS63237605 A JP S63237605A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法
に関する。
に関する。
［従来の技術］
近年、ビデオテープレコーダやカラーテレビジョン受像
機などの映像機器における小型化や低価格化への動きに
は目覚ましいものがあり、超音波遅延素子はこれらの機
器の小型無調整化を促進するものとして頻用されている
。
機などの映像機器における小型化や低価格化への動きに
は目覚ましいものがあり、超音波遅延素子はこれらの機
器の小型無調整化を促進するものとして頻用されている
。
このような超音波遅延素子は、適宜の形状に形成されて
いる超音波遅延媒体に入出力用トランスジューサを配設
することで形成されており、このうちの超音波遅延媒体
については、！−。
いる超音波遅延媒体に入出力用トランスジューサを配設
することで形成されており、このうちの超音波遅延媒体
については、！−。
に１石英ガラス等、適宜の組成からなるガラス材から切
り出されて形成さねているガラス媒体が多く用いられて
いる。
り出されて形成さねているガラス媒体が多く用いられて
いる。
ところで、このようなガラス媒体を用いて形成される超
音波遅延素子は、これが絹み込まれる映像機器セットの
高画質化や高信頼性化を確保するうえから、得られる遅
延時間の経時変化を極力抑制することで、遅延時間の変
動幅をできるだけ少なくしてその無調整化を図ってやる
必要がある。この場合に問題となる経時変化については
、ガラス媒体の表面に付着している有機質汚れが時の経
過とともにその表面状態を変化させることと無関係でな
いとされており、かかる観点から、ガラス切断時に用い
られる冷却液としての油や蛋白等の有機質汚れをガラス
媒体の表面から除去すべく、例えば、イソプロピＩシ？
ＩＩ／−１−ＩＩ／ ｅ ｋ ＋１ ／７
Ｌ、 ％／ −Ｉｔ／笠／７’ｌ ｆＡ ｍｌ ｔ
ｙ ＩＴＩ Ｉハて洗浄処理を施したガラス媒体が
使用されていた。
音波遅延素子は、これが絹み込まれる映像機器セットの
高画質化や高信頼性化を確保するうえから、得られる遅
延時間の経時変化を極力抑制することで、遅延時間の変
動幅をできるだけ少なくしてその無調整化を図ってやる
必要がある。この場合に問題となる経時変化については
、ガラス媒体の表面に付着している有機質汚れが時の経
過とともにその表面状態を変化させることと無関係でな
いとされており、かかる観点から、ガラス切断時に用い
られる冷却液としての油や蛋白等の有機質汚れをガラス
媒体の表面から除去すべく、例えば、イソプロピＩシ？
ＩＩ／−１−ＩＩ／ ｅ ｋ ＋１ ／７
Ｌ、 ％／ −Ｉｔ／笠／７’ｌ ｆＡ ｍｌ ｔ
ｙ ＩＴＩ Ｉハて洗浄処理を施したガラス媒体が
使用されていた。
［発明の解決しようとする問題点コ
しかし、上記したような溶剤を用いて洗浄しても、ガラ
ス媒体表面から油や蛋白等の有機質汚れを完全に除去す
ることはできなかった。また、使用溶剤自体の有機質物
質もガラス媒体の表面に残存することなどもあって、こ
のような溶剤を用いいて行なわれる洗浄処理のみでは、
有機質汚れによりもたらされる経時変化を、効果的に抑
制することに困難があった。
ス媒体表面から油や蛋白等の有機質汚れを完全に除去す
ることはできなかった。また、使用溶剤自体の有機質物
質もガラス媒体の表面に残存することなどもあって、こ
のような溶剤を用いいて行なわれる洗浄処理のみでは、
有機質汚れによりもたらされる経時変化を、効果的に抑
制することに困難があった。
［発明の目的］
本発明の目的は、従来方法が有していた上記問題点に鑑
み、超音波遅延素子を構成するガラス媒体に対し新規な
乾式洗浄処理を施すことで、遅延時間の経時変化をもた
らす有機質汚れを効果的に除去することができる超音波
遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法を提供することに
ある。
み、超音波遅延素子を構成するガラス媒体に対し新規な
乾式洗浄処理を施すことで、遅延時間の経時変化をもた
らす有機質汚れを効果的に除去することができる超音波
遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法を提供することに
ある。
［問題点を解決するための手段］
このような目的を達成するため、本発明は、次のように
して構成されている。
して構成されている。
すなわち、本発明は、超音波遅延素子を構成するガラス
媒体の表面に対し短波長の紫外線とオゾンとを照射して
乾式洗浄を行なうことに構成上の特徴がある。
媒体の表面に対し短波長の紫外線とオゾンとを照射して
乾式洗浄を行なうことに構成上の特徴がある。
［実施例］
以下１本発明の詳細な説明する。
超音波遅延素子を構成し、適宜の形状を呈して形成され
る石英ガラス等からなるガラス媒体は、数十ワット程度
の出力を有する紫外線（以下、ＵＶという）とオゾン（
以下ｔＯｓという）とを照射することができる適宜の装
置内に光源に対し好適な距離をおいて収容するとともに
、その表面に対し、ＵＶと０．とを数分間照射（以下、
ＣＩ Ｖ ／ Ｏｓ照射という）することで、乾式洗浄
処理を施す。
る石英ガラス等からなるガラス媒体は、数十ワット程度
の出力を有する紫外線（以下、ＵＶという）とオゾン（
以下ｔＯｓという）とを照射することができる適宜の装
置内に光源に対し好適な距離をおいて収容するとともに
、その表面に対し、ＵＶと０．とを数分間照射（以下、
ＣＩ Ｖ ／ Ｏｓ照射という）することで、乾式洗浄
処理を施す。
この場合、照射するＵＶは、２９０ｎｍ以下の短波長の
もの、より好床しくはエネルギーがより強力である２４
０ｎｍ以下の短波長のものであることが洗浄効果を高め
るうえからは望ましい。
もの、より好床しくはエネルギーがより強力である２４
０ｎｍ以下の短波長のものであることが洗浄効果を高め
るうえからは望ましい。
次いで、本発明方法による洗浄処理の作用について説明
する。
する。
本発明方法は、ＵＶによりもたらされる有機化合物の化
学結合の切断効果と、０．が有している強力な酸化効果
とに着目して行なわれるものであり、ＩＪ Ｖ ／ Ｏ
ｓ照射を行なうことで、有機質汚れを例えば炭酸がスや
水等の揮発性物質に分解し、これを除去するものである
。
学結合の切断効果と、０．が有している強力な酸化効果
とに着目して行なわれるものであり、ＩＪ Ｖ ／ Ｏ
ｓ照射を行なうことで、有機質汚れを例えば炭酸がスや
水等の揮発性物質に分解し、これを除去するものである
。
すなわち、光のエネルギーＥは、Ｅ＝ｈｃ／λの式で表
わされる。この式から得られるＩＪ Ｖのエネルギー、
例えば波長が２５３．７ｎｍあるいは１１！４．９ｎｍ
であるＵ Ｖのエネルギーは、結合エネルギーが８３．
５ ｋｃａｌ ／ ｍｏｌであるＣ−Ｃ結合や、９８．
８ ｋｃａｌ ／ ｍｏｌであるＣ−１１結合より高い
解離エネルギーを有しており、これを対象物であるガラ
ス媒体に照射することにより、Ｃ−〇結合やＣ−１１結
合の結合関係を解離することがで一方、波長が２４０ｎ
ｍ以下、例えば１８４．９ｎｍであるＩＪＶは、酸素分
子０２に吸収され、次の反応式によって０３を発生する
。
わされる。この式から得られるＩＪ Ｖのエネルギー、
例えば波長が２５３．７ｎｍあるいは１１！４．９ｎｍ
であるＵ Ｖのエネルギーは、結合エネルギーが８３．
５ ｋｃａｌ ／ ｍｏｌであるＣ−Ｃ結合や、９８．
８ ｋｃａｌ ／ ｍｏｌであるＣ−１１結合より高い
解離エネルギーを有しており、これを対象物であるガラ
ス媒体に照射することにより、Ｃ−〇結合やＣ−１１結
合の結合関係を解離することがで一方、波長が２４０ｎ
ｍ以下、例えば１８４．９ｎｍであるＩＪＶは、酸素分
子０２に吸収され、次の反応式によって０３を発生する
。
０２−〇＋０
０＋０２→ｏ３
また、波長が２４０ｎｍ以上であって２９０ｎｍ以下で
あるＵＶ、例えば波長が２５３．７ｎｍであるＵＶは、
酸素分子０２に吸収されず、次の反応式のようにして０
．に吸収され、再び０３を発生する。
あるＵＶ、例えば波長が２５３．７ｎｍであるＵＶは、
酸素分子０２に吸収されず、次の反応式のようにして０
．に吸収され、再び０３を発生する。
０３→Ｏ＋ ｏ ２
０＋０８−〇。
しかし、波長が２９０ｎｍ以上であるＵＶになると、０
３”による光の吸収はなくなり、０．は分解しない。
３”による光の吸収はなくなり、０．は分解しない。
かくして、０．とｏ３の分解生成時に生ずる原子状酸素
は、非常に強力な酸化効果を発揮し、有機質汚れを炭酸
ガスや水などの揮発性物質に分解し、これを除去するこ
とが可能とななお、ガラス媒体については、ＵＶ１０．
照射前における洗浄と、［ＪＶ１０３照射後における保
管についても十分な配慮を払う必要がある。
は、非常に強力な酸化効果を発揮し、有機質汚れを炭酸
ガスや水などの揮発性物質に分解し、これを除去するこ
とが可能とななお、ガラス媒体については、ＵＶ１０．
照射前における洗浄と、［ＪＶ１０３照射後における保
管についても十分な配慮を払う必要がある。
第１図は、本発明方法により処理されたガラス媒体を用
いてなる超音波遅延素子と、未処理品を用いてなる超音
波遅延素子とを、室温が２５℃で湿度が３５％である雰
囲気中に置き、その遅延時間の経時変化を測定した結果
得られたグラフ図である。これによれば、本発明方法に
よる処理を施したガラス媒体を用いてなる超音波遅延素
子の遅延時間が、いずれの経過時間においても未処理品
に比較してその経時変化の少ないことが確認され、本発
明方法が遅延時間の経時変化を抑制するうえで有効であ
ることを知ることができた。
いてなる超音波遅延素子と、未処理品を用いてなる超音
波遅延素子とを、室温が２５℃で湿度が３５％である雰
囲気中に置き、その遅延時間の経時変化を測定した結果
得られたグラフ図である。これによれば、本発明方法に
よる処理を施したガラス媒体を用いてなる超音波遅延素
子の遅延時間が、いずれの経過時間においても未処理品
に比較してその経時変化の少ないことが確認され、本発
明方法が遅延時間の経時変化を抑制するうえで有効であ
ることを知ることができた。
［発明の効果］
以゛上述べたように本発明方法によれば、超音波遅延素
子用のガラス媒体表面に付着し、遅延時間の経時変化を
生じさせる要因の１つであつた有機質汚れを効果的に除
去することができるので、高品位で信頼性の高いガラス
媒体、ひいては、その無調整化をより効果的に促進する
ことができる超音波遅延素子の製造を可能とすることが
できる。
子用のガラス媒体表面に付着し、遅延時間の経時変化を
生じさせる要因の１つであつた有機質汚れを効果的に除
去することができるので、高品位で信頼性の高いガラス
媒体、ひいては、その無調整化をより効果的に促進する
ことができる超音波遅延素子の製造を可能とすることが
できる。
第１図は、本発明方法により処理されたガラス媒体を用
いてなる超音波遅延素子と未処理品を用いてなる超音波
遅延素子とにおける得られる遅延時間の経時変化を示す
グラフ図である。
いてなる超音波遅延素子と未処理品を用いてなる超音波
遅延素子とにおける得られる遅延時間の経時変化を示す
グラフ図である。
Claims (1)
- 超音波遅延素子を構成するガラス媒体の表面に対し短
波長の紫外線とオゾンとを照射して乾式洗浄を行なうこ
とを特徴とする超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62070184A JPH0767058B2 (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62070184A JPH0767058B2 (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63237605A true JPS63237605A (ja) | 1988-10-04 |
| JPH0767058B2 JPH0767058B2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=13424183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62070184A Expired - Lifetime JPH0767058B2 (ja) | 1987-03-26 | 1987-03-26 | 超音波遅延素子用ガラス媒体の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0767058B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994014191A1 (fr) * | 1992-12-14 | 1994-06-23 | Ebara Corporation | Dispositif de transfert de galette |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4984342A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-13 | ||
| JPS58145643A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-08-30 | Sharp Corp | 電極ガラス板の製造方法 |
| JPS6075327A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-27 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置及びそれを用いた材料処理装置 |
-
1987
- 1987-03-26 JP JP62070184A patent/JPH0767058B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4984342A (ja) * | 1972-12-19 | 1974-08-13 | ||
| JPS58145643A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-08-30 | Sharp Corp | 電極ガラス板の製造方法 |
| JPS6075327A (ja) * | 1983-09-30 | 1985-04-27 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置及びそれを用いた材料処理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1994014191A1 (fr) * | 1992-12-14 | 1994-06-23 | Ebara Corporation | Dispositif de transfert de galette |
| US5515618A (en) * | 1992-12-14 | 1996-05-14 | Ebara Corporation | Substrate transportation system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0767058B2 (ja) | 1995-07-19 |
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