JPS6323711A

JPS6323711A - 圧力スウィング吸着方法

Info

Publication number: JPS6323711A
Application number: JP62121477A
Authority: JP
Inventors: パウル・ライトゲープ; ヨハン・ライス
Original assignee: Linde GmbH
Current assignee: Linde GmbH
Priority date: 1986-05-21
Filing date: 1987-05-20
Publication date: 1988-02-01
Also published as: DE3616981A1; DE3616981C2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】又凱■及歪立！本発明は全般的に異なる吸着能力を有する少なくとも２
つの成分を含むガス混合物を分離する為の改良された圧
力スウィング吸着方法（ｐｒｅｓｓｕｒｅｓｗｉｎｇ　
ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ　ｐｒｏｃｅｓｓ）　　Ｃ以下に
於てＰＳＡ方法と称する）に関し、特に従来技術の方法
の改良に関する。

ｌ米及歪西独間公開公報２６０４３０５号に於ては、分離される
ガス混合物が吸着位相にて１つの吸着装置を通され、こ
の位相の間に吸着能力の大なる成分が吸着剤に吸着され
るようになっている。吸着位相の後で吸着装置に残留し
ている吸着能力の少ない成分は実質的に、吸着能力の大
なる成分より成るガスを導入することによって追出され
るのである。

次に吸着能力の大なる成分は吸着装置内の圧力を大気圧
以下に低下させることによって回収される。

次にこの吸着装置は上述のサイクルを繰返す為に吸着圧
力まで再加圧されるのである。

前述の方法に於ては、技術的に可能な限り純粋な濃度で
吸着可能の成分及び吸着不可能の成分を得ることが望ま
れる。この目的を達成する為に、吸着が２つの直列接続
の吸着装置にて行われるようになっていて、上述の方法
の吸着位相が純粋な生成ガスとして吸着可能の成分を得
る為に第１の吸着装置にて行われると共に、一方これに
引続いて連結されている第２の吸着装置内で吸着不可能
の成分の更に進んだ純化が行われるのである。

このような公知の方法を利用することは、吸着可能の成
分が生成ガスとして得られると共に更に他の比較的大量
の吸着不可能の成分を含み、これが同様に生成ガスとし
て得られるようなガス混合物の分離には有利である。し
かし、吸着可能の成分の一部が第２の吸着装置に入り、
これが第２の吸着装置からは生成ガスとして回収されず
、これによって歩留りを劣化させる欠点を免れなかった
のである。このような経済的に不利な効果の顕著性は分
離されるガス混合物内の吸着可能の成分の濃度に比例し
、即ち濃度が高い程損失が大きくなるのである。

若このような従来技術の方法を生成ガスとして吸着可能
の成分のみを回収する為に応用する場合には、引続いて
接続される吸着装置を省略することが当然考えられる。

しかし、これによっても吸着可能の成分の不満足な歩留
りを改善するものではない。

ヌｌｑ２月１吟本発明の１つの目的は、ＰＳＡ方法特に上述した型式の
改良された方法を提供して吸着可能の成分の歩留りの損
失を低減させるこ七である。

本発明の更に他の目的及び利点は以下の説明及び特許請
求の範囲により明らかになる。

発明の概要本発明は特に少なくとも４０％、一般的には４０−７５
％、望ましくは５０−７０％の範囲の吸着能力の大なる
成分含有量を有するガス混合物を分離するのに有利であ
る。

本発明による改良された方法は、吸着装置に真空を与え
て望ましくは０．０３−０．３バールの圧力にし、吸着
能力の弱いガス、例えば外来ガス又は望ましくは吸着位
相の間に１つの吸着装置から出て来る吸着されないガス
によって第１の圧力蓄積位相に於てこの吸着装置を再加
圧し、前記再加圧ガスを、望ましくは向流にて吸着方向
に０．１−１バールの範囲の中間圧力が得られるまでこ
の吸着装置内に導入するようにし、更にこの吸着装置を
、前記吸着能力の弱いガスとは異なるガス、例えば他の
吸着装置からの膨張ガス及び／又は分離されるガス混合
物によって再加圧することを含んでいる。

従来に於ては、上述の型式のＰＳＡ方法に於ては、１つ
の吸着装置の真空脱着の後の吸着圧力までの再加圧は従
来（ａ）他の吸着装置からの膨張ガス又は（ｂ）分離さ
れるガス混合物の何れかを導入することによって通常行
われていた。しかし、本発明の方法は、従来の方法にて
再加圧の間に吸着装置内に質量伝達区域（ｍａｓｓ　ｔ
ｒａｎｓｆｅｒ　ｚｏｎｅ）が形成されることがガス混
合物の吸着可能の成分の濃度の高い場合に悪影響を与え
ていたとの前提に基づいているのである。このような質
量伝達区域は又吸着前線と称されるが、平衡状態の濃度
の吸着可能の成分を吸着即ち負荷された区域及び吸着可
能の成分を負荷されていない区域の間の吸着装置内の分
離層として働くのである。このような質量伝達層が薄い
程、吸着装置の出口端から負荷されない成分と共に吸着
可能の成分が排出されない内に吸着装置に与え得る負荷
が更に大量となされるのである。これとは反対に、幅の
広い前線は吸着剤が満足に利用出来ないか、又は吸着位
相の間に吸着可能の比較的強い成分が益々増加する濃度
で吸着装置の出口端から引出され、その結果直接に歩留
りの損失を生じさせるのである。

驚くべきことに、本発明に於て、膨張ガス又は分離され
るガス混合物による通常の加圧の前に第１の圧力蓄積位
相が０．１乃至１バール、望ましくは０．１乃至０．５
バールの中間圧力まで行われて吸着されないガスが吸着
装置から排出される場合に、吸着装置内の望ましくない
形の質量伝達区域が防止されることが見出だされたので
ある。吸着されないガスを使用するもの一変形形態とし
て、原理的にはこの方法に対して外来の何れのガスも、
これが吸着可能の成分に比較して比較的弱い吸着能力を
有する限り使用出来る。例えば、若し、−酸化炭素がガ
ス混合物から分離されて吸着されて生成ガス流として得
られる場合には、適当な外来ガスは、例えば窒素又は入
手出来る場合には望ましくは水素、アルゴン等のような
吸着能力の更に弱いガスとなし得るのである。所望の中
間圧力を得る為に、吸着装置内の圧力は、この位相の前
に吸着装置内を支配する圧力を超えて少なくとも０．１
バール、特に少なくとも０．３バール、更に望ましくは
０．４バールの増分量で増加される。

吸着装置内に更に良好な形の質量伝達区域を作ることに
よって、吸着可能の成分に対する認め得る歩留りの向上
が得られる。廃ガスから一酸化炭素を回収する場合、そ
の歩留りは例えば約７５％から９０％より以上にも向上
されることが出来る。

本発明の方法は、ガス混合物内の吸着可能の成分が成る
濃度で含まれているような場合に、このガス混合物から
この吸着可能の成分を回収するのに特に適している。本
発明によらないで、通常のように膨張ガス又は分離され
るガス混合物の導入によって第１の圧力蓄積が行われる
場合には、高い含有量比率の吸着可能の成分を有するガ
スは比較的低い歩留りでしか分離出来ないから、ガス混
合物内の吸着可能の成分の含有量の下限が４０％、望ま
しくは５０％であることが本発明に於ては重要となるの
である。それにも拘わらず本発明の方法は、比較的低い
濃度の場合にもなお高い歩留りを与えるものであるが、
このような歩留りはその場合通常の方法によって得られ
る歩留りからそれ程著しく異なるものではないので、附
加的な処置を行うことは経済的に魅力がない。逆に、７
５％、望ましくは７０％の上限が重要である。何故なら
ば、これ以上に吸着可能の成分に冨んだガス混合物に於
ては、本発明によって得られる処置はそれ自体例えば８
０％、望ましくは９０％以上の高い歩留りを保証するの
には充分でないからである。従って、本発明は現在の経
済的な情況に於て、吸着能力の大なるガスの成る濃度を
有するガス混合物の分離に特に適当に応用出来るから、
本発明は全体として従来技術より著しく優れた発明を構
成するものであり、従って本発明をこのようなガス混合
物の分離に制限することを企図するものではない。

本発明による吸着方法の有利な実施例に於ては、吸着位
相の終了後、吸着装置内に残留される吸着能力の少ない
成分の追出しの前に別の位相即ち段階が設けられる。こ
の介在される位相は分離されるガス混合物内の吸着能力
の大なる成分の分圧より低下してはならない中間圧力ま
で吸着装置を膨張させることを含んでいる。この中間圧
力は吸着能力の大なる成分の分圧に近いのが望ましく特
に前記分圧以上０．１乃至０．５バール、特に０．１乃
至０．２バールの範囲内にするのが望ましい。若し圧力
値がこの範囲以下に低下すると、この膨張位相の間に吸
着能力の大なる成分の脱着が増加して、最終的には得ら
れる歩留りの減少を生ずる。この点に関して、「分圧」
なる用語は吸着の間の吸着能力の大なる成分の分圧を意
味し、この分圧はガス混合物内の吸着能力の大なる成分
の吸着圧力及び濃度によって定義される。

この介在される膨張位相の間に吸着装置から出て来る、
実質的に吸着能力の少ない成分より成る膨張ガスは既に
再生された他の吸着装置の再加圧（即ち圧力蓄積）に有
利に利用されることが出来る。この点に関して「実質的
に・・・より成る」なる用語によって膨張ガスが一般的
に少な（とも約５０％、望ましくは少なくとも８０％、
特に望ましくは少なくとも９０％の、吸着能力の少ない
成分を含むことを意味する。

本発明の方法の更に有利な実施例に於ては、実質的に吸
着能力の大なる成分（例えば少なくとも９５％、望まし
くは少なくとも９９％もの吸着能力の大なる成分）より
成るガスによる吸着装置の追出し位相の間に吸着装置を
出て行くガスが既に再生された他の吸着装置に導入され
るようになされる。

この追出し位相の間に吸着装置から出て行くガスは著し
い含有量比率、例えば約１０乃至９０％、特に約６０％
の吸着能力の大なる成分を含んでいて、この吸着可能の
成分は、この排出ガスを他の吸着装置に再循環させ、そ
の間にこのガスを受取る吸着装置の最初の負荷が同時に
行われるようになすことによって回収出来るのである。

本発明の方法にて保持される吸着圧力は広い範囲内で変
化出来るが、特に分離されるガス混合物の型式及び使用
される吸着剤に関係するのである。

吸着温度に於て支配する吸着等墨線に基づいて通常の方
法で特別な圧力が選択されるのである。多くの場合、例
えば水素及び／又は窒素のような吸着能力の少ない成分
を有する混合物から一酸化炭素を回収する場合、１乃至
５バール、望ましくは１．５乃至３バールの圧力で吸着
を行うのが有利である。

吸着装置の真空肌着を行う場合には、望ましくは０．１
乃至０．２バールの圧力がこの位相の間に得られる。

本発明の方法は、特定のガス混合物の分離に制限される
ものではない。しかし、本発明は、例えば−酸化炭素に
加えて窒素、水素及び二酸化炭素成分を含むような冶金
工業設備にて得られる一酸化炭素に冨んだガスを分離す
るのに特に適している。このようなガスの分離に際して
は、最も吸着能力の大なる成分である二酸化炭素が前取
って分離されなければならないが、このことは例えば上
流側にあるＰＳＡ設備にて行われることが出来る。

本発明によって処理を受は得るＣＯ□を分離された典型
的なガスは一酸化炭素１０乃至８０％、窒素９０乃至２
０％及び／又は水素Ｏ乃至９０％の組成を有する。

溌訓Ｗ虹桝第１図に示された吸着設備は４つの吸着装置１０．２０
．３０及び４０を含んでいる。使用される吸着装置の数
は主に処理されるガスの量に関係し、２つの吸着装置が
最少比の数である。甚だ大量のガスを処理する場合には
４つより多くの、例えば８つ又はそれ以上の吸着装置が
使用出来る。

これらの吸着装置は入口側が弁１１．２１．３１及び４
１を経て夫々分離されるガス混合物の供給導管１に接続
されている。吸着装置の出口側は対応して夫々弁１２．
２２．３２及び４２を経て吸着されないガスの排出導管
２に接続されている。

更に、吸着装置の入口端は夫々弁１３．２３．３３及び
４３を経て脱着された成分の生成ガス導管３に接続され
ている。導管３は弁６及び真空ポンプ４、又は逆止弁５
６を有する導管５を経由するバイパス通路にて生成ガス
貯蔵タンク７に導かれ、この生成ガス貯蔵タンク７から
生成ガスの一部がブロワ−５７及び導管８を経て夫々弁
１４．２４．３４及び４４を介して吸着装置の入口端に
戻されるようになっている。吸着装置の出口端は又夫々
弁１５．２５．３５及び４５を経て導管９に接続されて
いて、この導管は最初の吸着即ち負荷位相の間に吸着さ
れなかった成分を引出すのに使用される。又吸着装置の
出口端は更に夫々弁１６．２６．３６及び４６を経て導
管２から分岐する導管５０に附加的に接続されている。

最後に、吸着装置１０及び２０の出口端は夫々弁１７及
び２７を有する導管５１及び５２によって交叉するよう
に吸着装置２０及び１００入口端に接続されている。

これと対応するように吸着装置３０及び４０の出口端は
夫々弁３７及び４７を有する導管５３及び５４を経て吸
着装置４０及び３０の入口端に交叉するように接続され
ている。

第１図に示された吸着設備の作動が第２図に示されるサ
イクルチャートを利用して詳細に説明される。

例えば吸着装置１０内にて行われる吸着位相への間に分
離されるガス混合物は導管１及び開放された弁１１を経
て吸着装置１０に導入されて、これの内部で分離される
。吸着されなかった成分は開放された弁１２を経て吸着
装置から出て行き、圧力損失を無視すれば分離されるガ
ス混合物の圧力に対応する実質的に一定の圧力で導管２
を経て引出される。この吸着位相Ａの間に吸着装置１０
に組合される弁１３．１４．１５．１６及び１７は閉じ
られている。

吸着位相への完了後に、弁１１及び１２が閉じられ、吸
着装置は、脱着の前に吸着装置内にある若干の無用のガ
スを除去する為に最初にガス混合物内の吸着される成分
の分圧に大体対応する中間圧力まで膨張される。この目
的の為に弁１７が開かれ、吸着不可能の成分より実質的
に成る膨張ガスが導管５１を経てその時に第２の再加圧
位相Ｒ１にある吸着装置２０の°入目端に導入される。

吸着装置１０の膨張位相Ｅは遅くても吸着可能の成分の
分圧に達した時に終了されて、吸着可能の成分の脱着に
よる損失を回避するようになされるのである。

膨張位相の終了後に、吸着装置１０内になお含まれてい
る吸着不可能の成分は生成ガス貯蔵タンク７から導管８
を経て引出される生成ガスによって追出される。この追
出し位相Ｐの間に生成ガスは開かれた弁１４を経て吸着
装置１０の入口端に流入し、吸着装置１０内に残留する
吸着不可能の成分（無用のガス）を排出させるのである
。これらの無用の成分は導管５１及びなお開かれている
弁１７を経て吸着装置２０の入口端に供給される。

この追出し位相Ｐの間に吸着装置１０から出て吸着装置
２０に入るガスのリサイクルはこれらのガスの中にある
吸着可能の成分を回収する為であって、このことは、吸
着装置２０の最初の負荷位相ＰＲ（追出しリサイクル）
によって行われる。この負荷位相ＰＲの間に吸着装置２
０の出口端の弁２５は追出し圧力に達した後で開かれて
、吸着不可能の成分が導管９及び開かれた弁５５を経て
設備から排出され得るようになす。吸着装置１０が吸着
可能の成分によって飽和された後で、弁１４．１７．２
５及び５５が閉じられる。

ＰＲ位相の後で、吸着可能の成分が純粋な形で吸着装置
１０から得られるのである。この目的の為に、吸着装置
内の圧力が先ず大体大気圧まで低下される。この脱着位
相りの間に生成ガスは開かれた弁１３によって導管３、
逆止弁５６及び導管５を経て生成物貯蔵タンク７に流入
し、この時弁６は閉じられている。吸着装置１０内の圧
力が大体大気圧まで低下した後で、弁６が開かれて吸着
装置１０が真空ポンプ４によって排気される。この真空
脱着位相■は吸着装置１０が適当に再生されるまで続け
られ、大体０．０３乃至０．３バールの圧力、望ましく
は０．１乃至０．２バールの圧力にて終了されるのであ
る。

真空脱着位相Ｖの終了後、弁１３が閉じられ、これによ
って再生された吸着装置１０は次の吸着位相Ａを行う前
に吸着圧力まで再加圧されることが出来る。この目的の
為に、位相ＲＦに於て、導管２からの吸着されなかった
ガス（又はこれとは異なり、西独間特許ＨＰ３５１６９
８１．１の図面に示されるように他の導管を経由する外
来の吸着不可能のガス）が最初に吸着装置１０の出口端
に接続される導管５０及び開かれた弁１６を経て導入さ
れて吸着剤を０．１乃至１バールの中間圧力まで再加圧
するのである。

ＲＦ位相の完了後に、弁１６が閉じられ、附加的な圧力
蓄積位相Ｒ１が開かれた弁２７及び導管５２を経て既に
吸着位相を完了している吸着装置２０からのガスによっ
て行われる。この再加圧位相Ｒ１は、圧力蓄積の為に使
用される膨張ガスを生じていた吸着装置２０がガス混合
物内の吸着可能の成分の分圧に大体近い圧力まで低下し
た時に終了する。然る後弁２５が閉じて、吸着装置１０
が先ず追出し位相Ｐの間に吸着装置２０から排出される
ガスによって負荷されるのである。このことは導管５２
及び開かれた弁２７を経て行われる。

最初の負荷位相ＰＲの間に吸着装置１０から出て行くガ
スは開かれた弁１５、導管９及びこの位相にて同様に開
かれている弁５５を経て排出される。

この最初の負荷位相ＰＲは、吸着不可能の成分が追出し
位相Ｐの間に吸着装置２０から追出された後で終了する
。次に弁２７及び１５が閉じられて吸着装置１０は最初
の負荷ＰＲが行われる中間圧力から圧力蓄積位相ＲＯの
間に吸着圧力まで加圧されるのである。この加圧位相Ｒ
Ｏは分離されるガス混合物を開かれた弁１１を経て導入
することによって行われる。吸着圧力に達すると、弁１
２が開かれ、新しい吸着位相Ａが開始され、新しいサイ
クルが開始されるのである。

他の吸着装置は対応する態様で作動を行うが、切換えサ
イクルの相互の位相のずれは第２図に示されたサイクル
チャートに示されている。

前述の本発明の説明に於て、総ての％はモルで示されて
いる。

更に詳しく説明をしないでも、当業者には前述の説明に
よって本発明を最大限に実施出来ると考えられる。次の
例は単なる図解的なもので、本発明を制限するものでは
ない。

■１図面に示された前述の説明によって、７０容積％のＣ０
１３０容積％のＮ２より作られたガス混合物が分離され
た。排気の後で、吸着装置内の圧力は０．１バールであ
った。ＲＦ位相の間、０．１バールの圧力が０．２５バ
ールまで上昇された。本発明の方法によって９８容積％
のＣＯの生成物純度にて９７．５％のｃｏの歩留りが得
られた。上述に比較してＲＦ位相がない場合には、単に
８９％の歩留りしか得られず、最初の圧力蓄積が他の吸
着装置との圧力平衡によって行われるのである。９５％
のＣＯの生成物純度にて本発明の方法によって９８．２
％のＣＯの歩留りが得られたが、ＲＦ位相がない場合に
は、単にクルードガス即ち未精製ガスに含まれているＣ
Ｏの９１．４％が生成ガスとして得られただけである。

この特別の実施例に於て、３．０５バールの吸着圧力を
使用し、吸着の間の吸着能力の強い成分の対応する分圧
が２．１バールであった。夫々の位相の終了時の圧力は
次の通りであった。

位相Ａ：　　　３．０５バール位相Ｅ：　　　２．１バール位相Ｐ：　　　２．１バール位相Ｄ：　　　１．０バール位相Ｖ：　　　０．１バール位相ＲＦ　：　　０．２５バ一ル位相Ｒ１：０．６５バール位相ＲＯ７３，０５バール上述にて述べた総ての特許、特許側は参考として本明細
書に組込まれている。

前述の例は、本発明に於て一般的又は特定して説明され
たガス及び／又は作動条件を、前述の例に使用されたも
のと置換えることによっても同様の効果を以て繰返され
ることが出来る。

前述の説明より、当業者には、本発明の実質的な特徴を
容易に確認出来、本発明の精神及び範囲を逸脱しないで
種々の応用面及び使用条件に適合するように変形及び修
正出来ることが判る。

ｌ肌ｑ四果上述のように構成されているから、本発明は特に少なく
とも４０％、一般的には４０−７５％、望ましくは５０
−７０％の範囲の吸着能力の大なる成分含有量を有する
ガス混合物を従来技術の方法に比較して極めて能率良く
分離するのに有利に使用出来る優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法を実施する吸着設備を示す図面。第２図は第１図に示される吸着設備の作動位相の関係を
示すサイクルチャート。１・・・・・・・・・・・・・供給導管２・・・・・・
・・・・・・・排出導管３・・・・・・・・・・・・・
生成ガス導管４・・・・・・・・・・・・・真空ポンプ
６・・・・・・・・・・・・・汁７・・・・・・・・・・・・・生成ガス貯蔵タンク

Claims

【特許請求の範囲】

（１）異なる吸着能力を有する少なくとも２つの成分を
含むガス混合物を分離するに際し、吸着位相にて前記ガ
ス混合物を１つの吸着装置を通して吸着能力の大なる成
分を吸着させ、吸着位相の後で前記吸着装置に残留する
吸着能力の少ない成分を、この吸着装置に、実質的に、
前記吸着能力の大なる成分より成るガスを通すことによ
って追出し、前記吸着装置に真空を引込むことによって
前記吸着能力の大なる成分を回収し、前記吸着装置を吸
着圧力まで再加圧することを含む圧力スウィング吸着方
法に於て、第１の圧力蓄積位相にて前記吸着装置を前記
吸着能力の少ないガスの吸着能力よりも大体大きくない
吸着能力を有する吸着能力の弱いガスによって再加圧し
、更に続く圧力蓄積段階で前記吸着装置を前記吸着能力
の弱いガスとは異なるガスによって再加圧することを特
徴とする圧力スウィング吸着方法。
（２）前記真空による回収段階が０．０３−０．３バー
ルにて行われ、前記中間圧力が０．１−１バールである
特許請求の範囲第１項記載の方法。
（３）前記ガス混合物が４０−７５％の前記吸着能力の
大なる成分を含んでいる特許請求の範囲第１項又は第２
項の何れか１項に記載の方法。
（４）前記ガス混合物が５０−７０％の前記吸着能力の
大なる成分を含んでいる特許請求の範囲第２項記載の方
法。
（５）前記中間圧力が０．１−０．５バールである特許
請求の範囲第２項又は第３項の何れか１項に記載の方法
。
（６）前記吸着能力の弱いガスが吸着位相の間に１つの
吸着装置から引出された吸着されないガスである特許請
求の範囲第１項乃至第５項の何れか１項に記載の方法。
（７）１つの吸着位相が終了した後で、前記吸着装置を
、分離されるガス混合物の前記吸着能力の大なる成分の
分圧よりも低くない圧力まで膨張させ、前記吸着装置か
ら出て来る得られた膨張ガスを前以って再生されている
吸着装置に通してこれを再加圧することを含んでいる特
許請求の範囲第１項記載の方法。
（８）１つの吸着位相が終了した後で、前記吸着装置を
、分離されるガス混合物の前記吸着能力の大なる成分の
分圧よりも低くない圧力まで膨張させ、前記吸着装置か
ら出て来る得られた膨張ガスを、既に前記第１の圧力蓄
積位相を受けた後で前以って再生されている吸着装置に
通してこれを再加圧することを含んでいる特許請求の範
囲第３項、第６項及び第７項の何れか１項に記載の方法
。
（９）実質的に、前記吸着能力の大なる成分より成るガ
スによる前記吸着装置からの追出しによって得られた排
出追出しガスを回収して、この排出追出しガスを他の既
に再生されている吸着装置に導入することを含んでいる
特許請求の範囲第１項、第３項、第６項及び第７項の何
れか１項に記載の方法。
（１０）実質的に、前記吸着能力の大なる成分より成る
ガスによる前記吸着装置からの追出しによって得られた
排出される追出しガスを回収して、膨張ガスによって再
加圧された後の他の既に再生されている吸着装置に前記
排出される追出しガスを導入することを含んでいる特許
請求の範囲第７項及び第８項の何れか１項に記載の方法
。
（１１）前記吸着位相が１−５バールの圧力にて行われ
る特許請求の範囲第２項記載の方法。
（１２）前記吸着位相が１．５−３バールの圧力にて行
われる特許請求の範囲第５項記載の方法。