JPS63236915A - Movement controller for coordinate measuring instrument - Google Patents

Movement controller for coordinate measuring instrument

Info

Publication number
JPS63236915A
JPS63236915A JP62071057A JP7105787A JPS63236915A JP S63236915 A JPS63236915 A JP S63236915A JP 62071057 A JP62071057 A JP 62071057A JP 7105787 A JP7105787 A JP 7105787A JP S63236915 A JPS63236915 A JP S63236915A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
speed
axis
stored
read
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62071057A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH07113544B2 (en
Inventor
Osamu Arai
荒井 治
Masahito Yoshida
雅人 吉田
Mieko Murayama
村山 実枝子
Hiroko Tsuchida
土田 裕子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP7105787A priority Critical patent/JPH07113544B2/en
Publication of JPS63236915A publication Critical patent/JPS63236915A/en
Publication of JPH07113544B2 publication Critical patent/JPH07113544B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To perform speedy processing by storing and detecting path coordinates until the detection of a probe and then tracing back the stored path at the best speed. CONSTITUTION:A timer 12 inputs a read command clock to a microcomputer MC 11 at constant intervals of time by the actuation of the MC 11. The values of coordinate counters 13, 14, and 15 for respective X, Y, and Z axes are read with the read clock and stored in a memory 16 only when different from last read coordinates, thus updating the contents of the memory. When the probe 1 contacts a body to be measured, the MC 11 reads back the stored coordinate values in the memory 16 with a touch signal to determine the best speeds matching with the movement path of the probe 1. The determined respective axis speeds are supplied to a speed control circuit 17 and respective axis motors 21, 22, and 23 are driven through X, Y, and Z axis motor circuits 18, 19, and 20. Consequently, the probe 1 moves at the composite speed of respective axis speeds determined according to the rotating speeds of respective motors. Consequently, the speedy processing is performed.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の技術分野) 本発明は、座標測定機の速度制御装置に関する。[Detailed description of the invention] (Technical field of invention) The present invention relates to a speed control device for a coordinate measuring machine.

(発明の背景) 三次元座標測定機において、外部より目視不能な測定点
からプローブを安全に後退移動させることのできるプロ
ーブ移動装置は特公昭60−18001号にて公知であ
る。
(Background of the Invention) In a three-dimensional coordinate measuring machine, a probe moving device capable of safely moving the probe backward from a measurement point that is not visible from the outside is known from Japanese Patent Publication No. 18001/1983.

このものは、測定点までプローブを移動させる際にプロ
ーブの移動速度を順次記憶し、プローブが測定点に達す
るとプローブから得られる接触信号によって方向信号を
反転させると共に、記憶速度を逆方向から順次読み出し
て、往路に沿って往路の移動速度でプローブを後退させ
るようになしている。
This device memorizes the moving speed of the probe sequentially when moving the probe to the measurement point, and when the probe reaches the measurement point, the direction signal is reversed by the contact signal obtained from the probe, and the memorized speed is sequentially stored from the opposite direction. The probe is read out and moved back along the outward path at the moving speed of the outward path.

従ってこのものは、往路の速度と同じ速度でしか後退移
動させることができないため、より高速に処理のするこ
とは不可能であった。
Therefore, since this object can only be moved backward at the same speed as the forward movement, it has been impossible to perform processing at a higher speed.

(発明の目的) 本発明は、これらの欠点を解決し、測定点からプローブ
を高速退避させることのできる座標測定機の移動制御装
置を得ることを目的とする。
(Objective of the Invention) An object of the present invention is to solve these drawbacks and provide a movement control device for a coordinate measuring machine that is capable of retracting a probe from a measurement point at high speed.

(発明の概要) 本発明は、被測定物を検出すると検出信号を出力するプ
ローブ(1)を2軸以上に移動可能な座標測定機の移動
制御装置において、前記プローブ(1)が被測定物を検
出するまでの移動経路座標を順次記憶することができる
記憶手段(2)と、前記プローブ(1)の検出信号に基
づいて、前記記憶された移動経路座標を前記記憶された
順序とは逆方向に順次読み出すことができる読出手段(
3)と、前記読出手段により順次読み出された座標から
、前記移動経路に沿った最適な駆動速度を順次設定する
速度設定手段(4)と、前記プローブが被駆動物を検出
した後、前記最適な駆動速度に応じて前記プローブを前
記検出するまでの移動経路に沿って被駆動物から後退移
動させる制御手段(5)と、を有することを特徴とする
座標測定機の移動制御装置である。
(Summary of the Invention) The present invention provides a movement control device for a coordinate measuring machine capable of moving a probe (1) that outputs a detection signal when it detects an object to be measured in two or more axes. storage means (2) capable of sequentially storing moving route coordinates up to the detection of the moving route coordinates; A reading means that can read out sequentially in the direction (
3), speed setting means (4) for sequentially setting an optimum driving speed along the movement route from the coordinates sequentially read out by the reading means; A movement control device for a coordinate measuring machine, comprising: a control means (5) for moving the probe backward from the driven object along the movement path up to the detection according to an optimum driving speed. .

(実施例) 第2図は、本発明の一実施例のブロック図である。(Example) FIG. 2 is a block diagram of one embodiment of the present invention.

操作キー10は各種の指令を行なうためのキ一群の中の
一つであり、操作キー10のオンによってマイクロコン
ピュータ11に読込み開始割込が入力される。読込み開
始割込によってマイクロコンピュータ11は読取指令ク
ロック割込を発生させるためのタイマー12を起動する
。タイマー12はマイクロコンピュータ11による起動
によって、一定時間毎に読取指令クロックをマイクロコ
ンピュータ11に入力する。マイクロコンピュータ11
は、一定時間毎に割込む読取指令クロックの割込により
、X軸座標カウンタ13、Y軸座標カウンタ14、X軸
座標カウンタ15の値を読み取り、これらの値が1つ前
の読取指令のクロックの割込により読み取った座標と異
なる時のみメモリ7に格納する。格納された内容は順次
更新されていく。
The operation key 10 is one of a group of keys for issuing various commands, and when the operation key 10 is turned on, a reading start interrupt is input to the microcomputer 11. The read start interrupt causes the microcomputer 11 to start a timer 12 for generating a read command clock interrupt. The timer 12 is activated by the microcomputer 11 and inputs a reading command clock to the microcomputer 11 at fixed time intervals. Microcomputer 11
reads the values of the X-axis coordinate counter 13, Y-axis coordinate counter 14, and X-axis coordinate counter 15 by the interrupt of the read command clock that interrupts at regular intervals, and these values are the clock of the previous read command. The coordinates are stored in the memory 7 only when the coordinates are different from those read by the interrupt. The stored contents are updated sequentially.

詳述すれば、プローブ1が移動すると、それに応じてプ
ローブlの当接部の空間座標値が変化する。この空間座
標値がX軸カウンタ13、Y軸カウンタ14、Z軸カウ
ンタ15によって読み取られるのであるが、プローブl
が停止しているときには、各カウンタ13.14.15
の値は変化しない、従って、X軸座標カウンタ13、Y
軸座標カウンタ14、X軸座標カウンタ15の値が読取
指令クロックの前後の割込によって変化しないのであれ
ば、プローブ1が停止していると判断できる。
To be more specific, when the probe 1 moves, the spatial coordinate values of the contact portion of the probe 1 change accordingly. These spatial coordinate values are read by an X-axis counter 13, a Y-axis counter 14, and a Z-axis counter 15.
When is stopped, each counter 13.14.15
The values of X-axis coordinate counter 13 and Y do not change.
If the values of the axis coordinate counter 14 and the X-axis coordinate counter 15 do not change due to interruptions before and after the reading command clock, it can be determined that the probe 1 is stopped.

例えば、第2図のように、ジ町イスチックによる手動走
査にてプローブlを被測定物の孔M内に移動させ、軌跡
Nによって孔Mの最奥点P1に当接させる。そうすると
、上述の構成によってメモリ16には、軌跡N上の座標
値が、移動経路座標として読取指令クロックにより定ま
る一定時間毎に記憶される。
For example, as shown in FIG. 2, the probe 1 is moved into the hole M of the object to be measured by manual scanning by the robot, and brought into contact with the innermost point P1 of the hole M along the trajectory N. Then, with the above-described configuration, the coordinate values on the trajectory N are stored in the memory 16 as movement route coordinates at fixed time intervals determined by the reading command clock.

プローブlが点P、に当接すると、プローブlからタッ
チ信号が出力され、マイクロコンピュータ11にタッチ
信号割込として入力される。マイクロコンピュータ11
は、タッチ信号割込によってメモリ16に記憶された座
標値(例えば、軌跡Nの座標列の各座標値)を、最後に
記憶された座標値から順に読出して行き、プローブ1の
移動経路(例えば、軌跡N)に沿った最適な速度を順次
設定し、各軸に出力すべき速度を決定する。決定された
各軸速度は、速度制御回路17に与えられ、X軸モータ
回路18、Y軸モータ回路19、Z軸モータ回路20を
通してX軸モータ2iY軸モータ22、Z軸モータ23
が駆動される。その結果、プローブ1をX軸に沿って移
動するX軸モータ21、プローブ1をY軸に沿って移動
するY軸モータ22、プローブ1をZ軸に沿って移動す
る2軸モータ23の各回転数に応じて定まる各軸方向の
合成された速度でプローブ1は移動する。
When the probe l comes into contact with point P, a touch signal is output from the probe l and inputted to the microcomputer 11 as a touch signal interrupt. Microcomputer 11
reads out the coordinate values (for example, each coordinate value of the coordinate string of the trajectory N) stored in the memory 16 in response to the touch signal interruption in order from the last stored coordinate value, and reads out the movement path of the probe 1 (for example, , trajectory N), and determine the speed to be output to each axis. The determined speed of each axis is given to the speed control circuit 17, and is transmitted to the X-axis motor 2i, Y-axis motor 22, and Z-axis motor 23 through the X-axis motor circuit 18, Y-axis motor circuit 19, and Z-axis motor circuit 20.
is driven. As a result, each rotation of the X-axis motor 21 that moves the probe 1 along the X-axis, the Y-axis motor 22 that moves the probe 1 along the Y-axis, and the two-axis motor 23 that moves the probe 1 along the Z-axis. The probe 1 moves at a combined speed in each axis direction that is determined according to the number.

このプローブ1の移動速度は、移動経路(例えば、軌跡
N)の接線方向を向いているように設定される。
The moving speed of the probe 1 is set so that it faces in the tangential direction of the moving route (for example, the trajectory N).

なお、上述した移動経路に沿った最適な速度の設定は、
例えば以下のように行なわれる。但し、ここでは2次元
的な軌跡に対する速度決定を説明する。第4図に示した
ようにプローブlが、位置KからAまで移動し、メモリ
16には位置KからAの座標値が記憶されているものと
する。プローブlが位置Aまで移動し、タッチ信号割込
がマイクロコンピュータ1に入力されると、マイクロコ
ンピュータ11は、線分ABと線分BCとのなすなす角
度θ、から擬似的に曲率半径R(AB/2・Sinθ、
)を求め、定数をKとして位置Aでの速度■えを、 VA=K ff1=K  (AB)/(「Sin fl
m )と計算する。
The optimal speed setting along the above-mentioned travel route is as follows:
For example, this is done as follows. However, here, speed determination for a two-dimensional trajectory will be explained. Assume that the probe l moves from position K to A as shown in FIG. 4, and the coordinate values from position K to A are stored in the memory 16. When the probe l moves to position A and a touch signal interrupt is input to the microcomputer 1, the microcomputer 11 calculates a pseudo radius of curvature R( AB/2・Sinθ,
) and the velocity at position A with K as the constant, VA=K ff1=K (AB)/("Sin fl
m ).

第4図は2次元的な説明であるが3次元的な場合でも同
様であって、移動軌跡を円弧で近似し、各位置に対して
曲率半径に応じて定まる速度Vを計算すると、例えば、
第5図に示したような速度分布を得ることができる。
Although Fig. 4 is a two-dimensional explanation, the same applies to a three-dimensional case.If the movement locus is approximated by a circular arc and the velocity V determined according to the radius of curvature is calculated for each position, for example,
A velocity distribution as shown in FIG. 5 can be obtained.

ただし、第5図でわかるように、急激な速度変化は、制
御系の動作を不安定にするから、適切な加速、減速処理
速度を計算し、速度変化が第5図に破線で示したように
、連続的になるように制御を行なう。この速度変化、す
なわち加減速勾配は、速度制御回路17が各軸に対応し
た単位時間当りのパルスの数をコンピュータ11からの
制御指令によって変化させ、このパルスの計数値に対応
したレベル信号を各モータ回路18.19.20に出力
することにより最終的に決定される。
However, as can be seen in Figure 5, sudden speed changes make the operation of the control system unstable, so the appropriate acceleration and deceleration processing speeds are calculated, and the speed changes are as shown by the broken line in Figure 5. Control is performed so that it is continuous. This speed change, that is, the acceleration/deceleration gradient, is determined by the speed control circuit 17 changing the number of pulses per unit time corresponding to each axis according to a control command from the computer 11, and transmitting a level signal corresponding to the counted value of the pulses to each axis. It is finally determined by outputting to the motor circuits 18, 19, and 20.

次に、マイクロコンピュータ11の動作の整理を行なう
為に、フローチャートである第6図の説明を行なう。
Next, in order to organize the operations of the microcomputer 11, the flowchart shown in FIG. 6 will be explained.

マイクロコンピュータ11は、まず、読込み開始割込が
入力されたか否かを判断しくステップ60L読込み開始
割込が入力されると、読取指令クロック用タイマー12
を起動する(ステップ61)。その後、読取指令クロッ
クを入力すると(ステップ62)、1つ前のクロックを
入力した場合と同じ座標データか否かを判断しくステッ
プ63)、同じデータならさらに次のクロックが入力さ
れるまで座標データの記憶をやめる。ステップ63で同
じ座標データでない場合には、X軸カウンタ13、Y軸
カウンタ14、Z軸カウンタ15の値がメモリ16に格
納(記憶)される(ステップ64)。
The microcomputer 11 first determines whether or not a read start interrupt has been input. In step 60L, when the read start interrupt is input, the read command clock timer 12 is activated.
(step 61). After that, when a reading command clock is input (step 62), it is determined whether or not the coordinate data is the same as when inputting the previous clock (step 63). If the data is the same, the coordinate data will continue until the next clock is input. stop remembering. If the coordinate data are not the same in step 63, the values of the X-axis counter 13, Y-axis counter 14, and Z-axis counter 15 are stored in the memory 16 (step 64).

ところで、ステップ62で読取指令クロックを入力して
いない場合には、タッチ信号が入力されたか否かを判断
しており(ステップ65)、タッチ信号が入力されると
、メモリ16から記憶された順序とは逆方向に順次、X
、Y、Z座標値を読込み、隣接した複数の座標値から最
適速度を計算する(ステップ66)、そして、加減速勾
配をチェックし、速度変化ができるだけ連続して、なめ
らかに行なわれるように指令速度の補正を行ない(ステ
ップ67)、指令速度を出力する(ステップ68)0以
上のステップ66.67.68を出力データが終了する
まで行ない(ステップ69)、すなわち、プローブ1が
始点まで戻ると、タイマー12を停止させ(ステップ7
0)、次の読込開始割込に備える。
By the way, if the reading command clock is not input in step 62, it is determined whether or not a touch signal has been input (step 65), and when a touch signal is input, the stored order from the memory 16 is Sequentially in the opposite direction to
, Y, and Z coordinate values, and calculates the optimal speed from a plurality of adjacent coordinate values (step 66).Then, the acceleration/deceleration gradient is checked and commands are given so that the speed changes are as continuous and smooth as possible. The speed is corrected (step 67), and the command speed is output (step 68). Steps 66, 67, and 68 of 0 or more are performed until the output data is completed (step 69), that is, when the probe 1 returns to the starting point. , stop the timer 12 (step 7
0), prepare for the next read start interrupt.

以上のように本発明の実施例によれば、プローブ接触後
の後退経路を接触経路と同一の経路とする駆動ができ、
外部から目視不能な測定点からのプローブの後退、移動
を容易に行なうことができる利点があるのみならず、読
み取った点列から最適速度を計算することにより、全く
むだのない最適な速度制御が可能となり、高スループツ
トを実現させることができる。更に本発明の実施例にお
いて、記憶された点列(座標列)を自動測定、及びくり
返し測定の情報として記憶すれば、複雑な測定も高速に
処理が可能となる。又、読取りのタイミングは読取指令
クロック1によらず、一定検動量毎に座標値を取り込む
ことも可能であり、各軸の一定移動量毎に取り込むこと
も可能。データの取り込み方によりデータのばらつきを
少なくすることができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, it is possible to drive the retracting path after contact with the probe to be the same path as the contact path,
Not only does it have the advantage of allowing the probe to be easily retracted and moved from measurement points that cannot be seen from the outside, but by calculating the optimal speed from the sequence of read points, it is possible to achieve optimal speed control with no waste. This makes it possible to achieve high throughput. Furthermore, in the embodiment of the present invention, if the stored point sequence (coordinate sequence) is stored as information for automatic measurement and repeated measurements, even complex measurements can be processed at high speed. Further, the reading timing is not based on the reading command clock 1, but it is also possible to take in coordinate values every fixed amount of detection movement, and it is also possible to take in every fixed amount of movement of each axis. Variations in data can be reduced depending on how the data is captured.

最も効率的な速度計算方法の一例を示したが、その他に
も方法は考えられる。駆動装置に合った計算方法を選択
すればよい。
An example of the most efficient speed calculation method has been shown, but other methods are possible. All you have to do is select the calculation method that suits your drive device.

なお、以上の実施例において説明したプローブは、被測
定物に接触すると検出信号であるタッチ信号を出力する
、いわゆる接触式プローブであったが、被測定物までの
距離が所定の値になると被測定物を検出したとして検出
信号を出力する、いわゆる非接触式プローブであっても
構わない。この種非接触プローブとしては、被測定物に
光スポットを投射し、その反射像の位置によって被測定
物までの距離が所定の値になったことを検出するもの等
がある。
The probe described in the above embodiments was a so-called contact probe that outputs a touch signal as a detection signal when it comes into contact with the object to be measured, but when the distance to the object reaches a predetermined value, It may be a so-called non-contact type probe that outputs a detection signal when it detects the object to be measured. Examples of this type of non-contact probe include those that project a light spot onto an object to be measured and detect, based on the position of the reflected image, that the distance to the object has reached a predetermined value.

また、第6図のフローチャートにおいて、ステップ70
はステップ65の直後に置いても構わない。
Further, in the flowchart of FIG. 6, step 70
may be placed immediately after step 65.

(発明の効果) 以上述べたように本発明は、座標測定機のプローブを高
速退避させることができるので、迅速な処理を可能とす
る速度制御装置を得ることができる。
(Effects of the Invention) As described above, according to the present invention, since the probe of the coordinate measuring machine can be evacuated at high speed, it is possible to obtain a speed control device that enables rapid processing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のフレイム対応図、第2図は本発明の一
実施例のブロック図、第3図はプローブの動きを示す説
明図、第4図は移動経路座標の記憶データより最適速度
を求める一例を説明するための説明図、第5図は得られ
た最適速度と指令速度との関係を示すグラフ、第6図は
第2図で用いられるマイクロコンピュータのフローチャ
ートである。 (主要部分の符号の説明) ■・・・プローブ、    2・・・記憶手段3・・・
読出手段、   4・・・速度設定手段5・・・制御手
段、 11・・・マイクロコンピュータ 13・・・X軸カウンタ 14・・・Y軸カウンタ 15・・・Z軸カウンタ 16・・・メモリ 17・・・速度制御回路 21・・・X軸モータ 22・・・Y軸モータ 23・・・Z軸モータ
Fig. 1 is a frame correspondence diagram of the present invention, Fig. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention, Fig. 3 is an explanatory diagram showing the movement of the probe, and Fig. 4 is an optimum speed based on stored data of moving route coordinates. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the obtained optimum speed and the command speed, and FIG. 6 is a flowchart of the microcomputer used in FIG. 2. (Explanation of symbols of main parts) ■...Probe, 2...Storage means 3...
Reading means, 4... Speed setting means 5... Control means, 11... Microcomputer 13... X-axis counter 14... Y-axis counter 15... Z-axis counter 16... Memory 17 ... Speed control circuit 21 ... X-axis motor 22 ... Y-axis motor 23 ... Z-axis motor

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被測定物を検出すると検出信号を出力するプローブを2
軸以上に移動可能な座標測定機の移動制御装置において
、 前記プローブが被測定物を検出するまでの移動経路座標
を順次記憶することができる記憶手段と、前記プローブ
の検出信号に基づいて、前記記憶された移動経路座標を
前記記憶された順序とは逆方向に順次読み出すことがで
きる読出手段と、前記読出手段により順次読み出された
座標から、前記移動経路に沿った最適な駆動速度を順次
設定する速度設定手段と、 前記プローブが被測定物を検出した後、前記最適な駆動
速度に応じて前記プローブを前記検出するまでの移動経
路に沿って被駆動物から後退移動させる制御手段と、 を有することを特徴とする座標測定機の移動制御装置。
[Claims] Two probes that output a detection signal when an object to be measured is detected.
A movement control device for a coordinate measuring machine capable of moving beyond an axis, comprising: a storage means capable of sequentially storing movement path coordinates until the probe detects the object to be measured; a reading means capable of sequentially reading out the stored moving route coordinates in a direction opposite to the stored order; and an optimum driving speed along the moving route being sequentially determined from the coordinates sequentially read out by the reading means. a speed setting means for setting the measured object; and a control means for moving the probe backward from the driven object along a movement path until the detected object according to the optimum driving speed after the probe detects the measured object. A movement control device for a coordinate measuring machine, comprising:
JP7105787A 1987-03-25 1987-03-25 Movement control device for coordinate measuring machine Expired - Lifetime JPH07113544B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7105787A JPH07113544B2 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Movement control device for coordinate measuring machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7105787A JPH07113544B2 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Movement control device for coordinate measuring machine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63236915A true JPS63236915A (en) 1988-10-03
JPH07113544B2 JPH07113544B2 (en) 1995-12-06

Family

ID=13449512

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7105787A Expired - Lifetime JPH07113544B2 (en) 1987-03-25 1987-03-25 Movement control device for coordinate measuring machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07113544B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009092488A (en) * 2007-10-09 2009-04-30 Panasonic Corp Three-dimensional shape measuring method
JP2014134437A (en) * 2013-01-09 2014-07-24 Nikon Corp Shape measuring device, and structure manufacturing system and method

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009092488A (en) * 2007-10-09 2009-04-30 Panasonic Corp Three-dimensional shape measuring method
JP2014134437A (en) * 2013-01-09 2014-07-24 Nikon Corp Shape measuring device, and structure manufacturing system and method

Also Published As

Publication number Publication date
JPH07113544B2 (en) 1995-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0588512B1 (en) Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece
US6052628A (en) Method and system for continuous motion digital probe routing
JPH08178646A (en) Method for controlling profiling measurement
JPS63236915A (en) Movement controller for coordinate measuring instrument
US4578574A (en) Pattern tracer with variable effective forward offset and method
JPH02109683A (en) Automatic measuring device for grindstone dimension in numerical control grinder
JPH01153253A (en) Non-contact copy system
JP2679236B2 (en) Non-contact type shape measuring device
JPH07210228A (en) Control method for measuring system using nc machine tool
JPS6331340B2 (en)
JPS6019002B2 (en) numerical control device
JPH08338717A (en) Three-dimensional coordinates measuring device
JPH0379645B2 (en)
JPS5941010A (en) Numerical control method
JPS63253206A (en) Shape measuring instrument
JP3015639B2 (en) 3D measuring device
JPH0233128Y2 (en)
JPH071368A (en) Position and attitude recognizing method of robot and device thereof
JPH09145354A (en) Multidimensional coordinate measuring unit
JPS6166915A (en) Noncontacting type automatic size measuring method
JPS63253208A (en) Optical shape measuring instrument
JPS60190806A (en) Configuration detecting method of solid model
JPH0351549B2 (en)
JPH05127729A (en) Cnc controller
JPH04331038A (en) Automatic machining programming metod

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071206

Year of fee payment: 12