JPS63253208A - Optical shape measuring instrument - Google Patents

Optical shape measuring instrument

Info

Publication number
JPS63253208A
JPS63253208A JP8807487A JP8807487A JPS63253208A JP S63253208 A JPS63253208 A JP S63253208A JP 8807487 A JP8807487 A JP 8807487A JP 8807487 A JP8807487 A JP 8807487A JP S63253208 A JPS63253208 A JP S63253208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measured
sensor
taught
shift
shift information
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8807487A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazuteru Watanabe
和輝 渡辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP8807487A priority Critical patent/JPS63253208A/en
Publication of JPS63253208A publication Critical patent/JPS63253208A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To take a measurement through simple constitution by shifting the coordinates of a taught position to which shift information is added according to the deviation between a measurement start position taught in a storage device and an actual measurement start position on a body to be measured which is measured by a sensor. CONSTITUTION:A shift command setting function device 6 adds shift information to an optional taught point among plural taught points. A shift processing part 47 shifts the coordinates of the taught point to which the shift information is added according to the deviation between the measurement start position on the body 1 to be measured which is taught in the taught point storage device 5 and the actual measurement start position on the body 1 to be measured. Shift information is added to all taught points where it is clear that the shape or size of the body 1 to be measured varies, and consequently the deviation between the taught value and an actual value is detected in the stage of shape size measurement, so that the coordinates of the taught point to which the shift information is added is shifted according to the deviation.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は光学式センナを用いた形状計測装置に関する
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a shape measuring device using an optical sensor.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第4図は、この種計測装置に用いられる一般的な機械系
の構成を概念的に示す斜視図であり、図において(1)
は被測定物、(2)はこの被測定物(1)の形状または
寸法を測定するためのレーザ光線などを用いた光学式セ
ンサであり、被測定物(1)との距離を高さ信号りとし
て出力する。(3)は上記センサ(2)を互いに直交す
る座標X 、Y 、Z軸の任意の位置に移動させるため
のセンサ駆動装置であり、x 、y 、z軸方向にそれ
ぞれ移動させるためのサーボモータ(31) 、(32
) 、(33)及び上記センサ(2)を2軸に平行な軸
(4)のまわりに回動させるためのサーボモータ(34
)を備えている。
FIG. 4 is a perspective view conceptually showing the configuration of a general mechanical system used in this type of measuring device, and in the figure (1)
is an object to be measured, and (2) is an optical sensor that uses a laser beam or the like to measure the shape or dimensions of the object to be measured (1), and the distance to the object (1) is measured by a height signal. Output as . (3) is a sensor drive device for moving the sensor (2) to any position on the coordinates X, Y, and Z axes that are perpendicular to each other, and a servo motor for moving the sensor (2) in the x, y, and z axes, respectively. (31) , (32
), (33) and a servo motor (34) for rotating the sensor (2) around an axis (4) parallel to the two axes.
).

また、第5図は上記センナ(2)の外観を拡大して示す
斜視図であり、図において(5)は上記軸(4)と中心
軸を一致させたセンサ(2)の取付部、(21)は上記
センサ(2)から被測定物(1)に向けて投射される投
射光、(22)は被測定物(1)からの反射光であり、
この反射光(22)はセンサ(2)内に設けられた図示
しない受光部に到達し、被測定物(1)とセンサ(2)
との距離を高さ信号りとして出力するものである。
FIG. 5 is an enlarged perspective view showing the external appearance of the sensor (2), and in the figure (5) is the mounting part of the sensor (2) whose central axis coincides with the axis (4); 21) is the projection light projected from the sensor (2) toward the object to be measured (1), and (22) is the reflected light from the object to be measured (1);
This reflected light (22) reaches a light receiving part (not shown) provided in the sensor (2), and the object to be measured (1) and the sensor (2)
This outputs the distance to the ground as a height signal.

なお、形状計測装置としては上記の外、センサ(2)の
計測経路を予め教示する手段、教示点を座標情報として
記憶する手段、上記記憶情報、センサ(2)からの高さ
信号h、及びセンサ(2)の位置情報などに基づいてセ
ンナ(2)を順次制御する手段及び測定された高さ信号
h、センナ(2)の位置座標から被測定物(1)の形状
または寸法を演算する手段、演算結果を記憶する手段な
どを備えているが、これらについては簡便のため図示を
省略する。
In addition to the above, the shape measuring device includes a means for teaching the measurement path of the sensor (2) in advance, a means for storing the teaching point as coordinate information, the above stored information, a height signal h from the sensor (2), and Means for sequentially controlling the senna (2) based on the position information of the sensor (2), etc., and calculating the shape or dimensions of the object to be measured (1) from the measured height signal h and the position coordinates of the senna (2). Although the apparatus includes means for storing calculation results, illustrations of these are omitted for the sake of simplicity.

上記のように構成された形状計測装置を用いて被測定物
の形状や寸法を測定するものの従来例としては、例えば
特開昭59−116011号公報に開示されたものなど
がある。
A conventional example of measuring the shape and dimensions of an object using the shape measuring device configured as described above is disclosed in Japanese Patent Application Laid-open No. 116011/1983, for example.

被測定物の形状や寸法を測定する場合、被測定物(1)
の表面に沿ってセンサ(2)の測定経路を予め図示しな
い記憶装置に教示し、計測を行うが、従来装置は、被測
定物が形状的に類似しているものであっても測定の都度
、教示を行う必要があった。また、上記公報に開示され
ているように、予定軌跡とのずれを求め、このずれに従
って予定軌跡を修正するものも知られているが、計測経
路全体を無条件にシフトするものであり、構成が複雑で
ある。
When measuring the shape and dimensions of an object to be measured, the object to be measured (1)
The measurement path of the sensor (2) is taught in advance to a storage device (not shown) along the surface of the object, and measurements are taken. , it was necessary to teach. Furthermore, as disclosed in the above-mentioned publication, a method is known in which the deviation from the planned trajectory is determined and the planned trajectory is corrected according to this deviation, but this method shifts the entire measurement path unconditionally, and the configuration is complicated.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

上記説明したとおり、従来装置においては測定の都度教
示を行ったり、計測経路全体を無条件にシフトするため
、構成が複雑であり、無駄もあるという問題があった。
As explained above, in the conventional device, teaching is performed each time a measurement is made, or the entire measurement path is shifted unconditionally, so the structure is complicated and there is a problem that there is waste.

この発明は上記のような従来の問題を解消するためにな
されたものであり、一部形状が共通な被測定試料につい
てまで測定の都度教示する必要がなく、簡単な構成で簡
便に寸法や形状を計測することのできる光学式計測装置
を得ることを目的としている。
This invention was made in order to solve the above-mentioned conventional problems, and it is not necessary to teach each time a measurement is made about a sample to be measured that has a partially common shape. The purpose of this study is to obtain an optical measuring device that can measure .

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明の光学式形状計測装置は、複数の教示点の内、
任意の教示点についてシフト情報を付加するシフト情報
付加装置と、記憶装置に教示された計測開始位置とセン
サにより計測された被測定物上の実際の計測開始位置の
ずれに基づいてシフト情報を付加した教示点の座標をシ
フトさせるシフト処理部とを備えたものである。
In the optical shape measuring device of the present invention, among the plurality of teaching points,
A shift information adding device that adds shift information about an arbitrary teaching point, and a shift information adding device that adds shift information based on the deviation between the measurement start position taught in the storage device and the actual measurement start position on the object measured by the sensor. and a shift processing section that shifts the coordinates of the taught point.

〔作用〕[Effect]

この発明における光学式形状計測装置においては、被測
定物の形状または寸法が変化することがはっきりしてい
る部分に対する教示点については、全てシフト情報を付
加しておくことにより、個々の被測定物の形状、寸法の
計測の段階では、センサが被測定物の測定開始点に対し
計測モードでアプローチしたときに教示された値と実際
の値のずれを検出し、このずれに応じてシフト情報を付
加した教示点の座標がシフトされる。
In the optical shape measuring device according to the present invention, shift information is added to all teaching points for portions where the shape or dimensions of the object to be measured clearly change. At the stage of measuring the shape and dimensions of the object, when the sensor approaches the measurement starting point of the object in measurement mode, it detects the deviation between the taught value and the actual value, and outputs shift information according to this deviation. The coordinates of the added teaching point are shifted.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

第1図はこの発明の一実施例の要部を機能的に示すブロ
ック図であり、図において(1)は被測定物、(2)は
センナ、(3)はセンナ駆動装置であり、これらは上記
第4図及び第5図に示すものと同様のものである。(4
)はNC制御部であり、ティーチプログラム記憶部(4
1)、ティーチプログラム解読処理部(42)、軌跡補
間処理部(43)、アプローチ演算処理部(44)、位
置制御処理部(45)を備えている。(5)は上記セン
サ(2)の計測開始位置を含む計測経路を複数の教示点
として記憶する記憶装置、(6)は上記複数の教示点の
内、任意の教示点についてシフト情報を付加するシフト
指令設定機能装置、(7)は上記センサ駆動装置(3)
に設けられたレゾルバ装置である。(8)は上記センサ
(2)の現在位置演算処理手段、(9)は上記ティーチ
プログラム解読処理部(42)からの計測指令(トリガ
信号)により被測定物(1)の形状または寸法を位置座
標として記憶する計測点位置座標記憶手段である。
FIG. 1 is a block diagram functionally showing the main parts of an embodiment of the present invention. In the figure, (1) is an object to be measured, (2) is a senna, and (3) is a senna drive device. is similar to that shown in FIGS. 4 and 5 above. (4
) is the NC control section, and the teach program storage section (4
1), a teach program decoding processing section (42), a trajectory interpolation processing section (43), an approach calculation processing section (44), and a position control processing section (45). (5) is a storage device that stores the measurement path including the measurement start position of the sensor (2) as a plurality of teaching points, and (6) is a storage device that adds shift information for any teaching point among the plurality of teaching points. Shift command setting function device (7) is the above sensor drive device (3)
This is a resolver device installed in (8) is the current position calculation processing means of the sensor (2), and (9) is the position of the shape or dimension of the object to be measured (1) based on the measurement command (trigger signal) from the teaching program decoding processing section (42). This is a measurement point position coordinate storage means for storing the measurement point position coordinates as coordinates.

第2図は、被測定物に対する教示点及びシフト点の例を
説明する平面図であり、図において(1)は例えば型鋼
などの被測定物であり、実線は教示の際に用いた図の左
右方向の長さがり、である型鋼、破線は測定対象として
セットされた上記長さがL2である型鋼を示す、 (1
0)、(11)、(12)は上記被測定物のセットビン
、P1〜P211は教示点である。なお、教示点の内、
P、〜P、及びP2□〜P21についてはシフト情報が
付加されている。
Fig. 2 is a plan view illustrating an example of teaching points and shift points for an object to be measured. The length in the left and right direction is L2, and the dashed line indicates the steel shape whose length is L2. (1
0), (11), and (12) are set bins for the objects to be measured, and P1 to P211 are teaching points. Of the teaching points,
Shift information is added to P, ~P, and P2□~P21.

第3図は上記本発明の実施例の動作を説明するフロー図
である。図において、ステップ(13)はセンサ(2)
を被測定物(1)の計測開始点へ向けて測定モードでア
プローチさせるプログラム、ステップ(14)は前記ア
プローチを終了させるかどうかの判定プログラム、ステ
ップ(15)は上記アプローチ終了時に当初の教示座標
と、実際の測定座標とのずれを算出するプログラム、(
16)はステップ(15)で求められたずれ量に基づい
てシフト情報の付加された教示点のみ座標をシフトさせ
るプログラム、ステップ(17)はシフト処理されたテ
ィーチプログラムで測定処理を行うプログラムである。
FIG. 3 is a flow diagram illustrating the operation of the embodiment of the present invention. In the figure, step (13) is sensor (2)
Step (14) is a program for determining whether or not to terminate the approach, and step (15) is a program for determining the initial taught coordinates at the end of the approach. A program that calculates the deviation between the actual measurement coordinates and the actual measurement coordinates (
16) is a program that shifts the coordinates of only the teaching point to which shift information has been added based on the shift amount obtained in step (15), and step (17) is a program that performs measurement processing using the shifted taught program. .

次に上記のように構成されたこの発明の一実施例につい
て動作を説明する。
Next, the operation of an embodiment of the present invention configured as described above will be described.

まず、第2図の如く被測定物(1)を試料載置テーブル
(図示せず)上のセットビン(10)、(11) 、(
12)に当接してセットする0次にセンサ(2)の測定
経路を第2図のP、〜P21のような点について教示す
る。各教示点P、〜P2゜の座標は記憶装置(5)に記
憶される。なお、P2はセンナ(2)の被測定物(1)
上の測定開始目標位置P、への測定モードでのアプロー
チ開始位置である0次に、上記教示点の内、P、〜P9
及び22□〜PH1の各教示点については、被測定物(
1)の形状または寸法が第2図の破線のように変化する
ものなので、シフト指令設定機能装置(6)によりシフ
ト情報を付加する。
First, as shown in Fig. 2, the object to be measured (1) is placed on the set bins (10), (11), (
12) The measurement path of the zero-order sensor (2), which is set in contact with the sensor (2), will be taught at points such as P and -P21 in FIG. The coordinates of each teaching point P, ~P2° are stored in the storage device (5). In addition, P2 is the object to be measured (1) of Senna (2)
The 0th order, which is the approach start position in the measurement mode to the measurement start target position P, above, is the teaching point P, ~P9 of the above teaching points.
For each teaching point from 22□ to PH1, the object to be measured (
Since the shape or dimensions of 1) change as shown by the broken line in FIG. 2, shift information is added by the shift command setting function device (6).

以上で準備作業は完了する。The preparation work is now complete.

次に被測定物(1)の寸法が、第2図の如く、教示に用
いたものとは一部寸法が異なる場合について説明する。
Next, a case where the dimensions of the object to be measured (1) are partially different from those used for teaching as shown in FIG. 2 will be described.

被測定物(1)を上記と同様にセットした後、測定を開
始すると、センサ(2)は教示点P1〜P2に移動した
後、ステップ(13)により、P2〜P、に向けて測定
モードで被測定物(1)にアプローチする。
After setting the object to be measured (1) in the same manner as above, when measurement is started, the sensor (2) moves to the teaching points P1 to P2, and then changes to the measurement mode toward P2 to P in step (13). approach the object to be measured (1).

この際、ティーチプログラム解読処理部(42)はティ
ーチプログラム記憶部(41)及び教示点記憶装置(5
)から必要な情報をとり込み、アプローチ演算処理部(
44)にアプローチ指令を出すと共に、位置制御処理部
(45)に対して軌跡補間処理部(43)を介してセン
サ(2)の移動方向及び目標座標信号を与える。位置制
御処理部(45)はこの信号を受けてセンサ駆動装置(
3)の各アクチュエータを駆動し、センサ(2)を計測
開始目標位置P、の方向へ移動させる。この際座標情報
はレゾルバ装置(7)から受け、またアプローチ演算処
理部(44)からの信号により測定モードに対応した速
度でセンサ(2)の移動が行われる。この間、センサ(
2)は被測定物(1)との距離に応じた高さ信号りをア
プローチ演算処理部(44)に与え、このアプローチ演
算処理部(44)はステップ(14)のプログラム、す
なわちアプローチ終了の判断を行っている。アプローチ
の終了は、上記センサ(2)の高さ信号りが、センサ(
2)自体の測定可能範囲のスタンドオフ距離h0にほぼ
等しくなった時点に定められる。ステップ(14)にお
いてアプローチ終了と判断されると、アプローチ演算処
理部(44)は、ステップ(15)において教示点P、
と、実際の測定値P、′とのずれ量を算出する。その後
、アプローチ演算処理部(44)は、アプローチ終了の
情報として上記ずれ量をシフト処理部(7)に送出する
At this time, the teach program decoding processing section (42) includes the teach program storage section (41) and the teaching point storage device (5).
) takes in the necessary information from the approach calculation processing unit (
44), and also provides the moving direction of the sensor (2) and a target coordinate signal to the position control processing section (45) via the trajectory interpolation processing section (43). The position control processing section (45) receives this signal and activates the sensor drive device (
3) each actuator is driven to move the sensor (2) in the direction of the measurement start target position P. At this time, coordinate information is received from the resolver device (7), and the sensor (2) is moved at a speed corresponding to the measurement mode based on a signal from the approach calculation processing section (44). During this time, the sensor (
2) gives a height signal corresponding to the distance to the object to be measured (1) to the approach calculation processing section (44), and this approach calculation processing section (44) executes the program of step (14), that is, the end of the approach. making decisions. At the end of the approach, the height signal of the sensor (2) is detected by the sensor (
2) It is determined at the time when the standoff distance h0 of its measurable range becomes approximately equal. When it is determined in step (14) that the approach is completed, the approach calculation processing unit (44) in step (15)
and the actual measured values P,' are calculated. Thereafter, the approach calculation processing section (44) sends the shift amount to the shift processing section (7) as approach completion information.

シフト処理部(7)は、ステップ(16)に基づいて記
憶装置(5)に記憶された教示点の内、シフト情報が付
加された教示点P、〜P、及びP2□〜P2.の座標を
上記ずれ量に応じてシフトし、P、′〜P9’及びP2
□′〜P28′としてティーチプログラム記憶部(41
)にデータを与える。ティーチプログラム解読処理部(
42)は、ステップ(17)に基づいて、シフトされた
データにより、センサ(2)をP、′〜P、′。
Of the teaching points stored in the storage device (5) based on step (16), the shift processing section (7) selects teaching points P, ~P, and P2□ ~P2. to which shift information has been added. Shift the coordinates of P,' to P9' and P2 according to the above deviation amount.
□' to P28' are the teach program storage section (41
). Teach program decoding processing unit (
42) shifts the sensor (2) from P,' to P,' according to the shifted data based on step (17).

P10〜P21・P22′〜P21’と移動させ、セン
ナ(2)によって計測された情報を現在位置演算処理手
段(8)を介して、計測点位置座標記憶手段(9)に記
憶させる。
The information measured by the senna (2) is stored in the measurement point position coordinate storage means (9) via the current position calculation processing means (8).

以上のように、第2図に示す型鋼の場合、図のLlの寸
法が如何ように変化しても、プログラムを変更せず当初
の一回の教示のみで寸法形状を測定できる。
As described above, in the case of the shaped steel shown in FIG. 2, no matter how the dimension Ll in the figure changes, the size and shape can be measured by only one initial teaching without changing the program.

なお、上記実施例ではこの発明を型鋼の寸法、形状を測
定する場合について説明したが、これに限定されるもの
でないことは明らかである。
In addition, although this invention was explained in the said Example about the case where the dimension and shape of shaped steel were measured, it is clear that it is not limited to this.

この他、本発明の思想の範囲内で種々の変更が可能であ
ることも言うまでもない。
It goes without saying that various other changes can be made within the scope of the idea of the present invention.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したとおり、この発明によれば複数の教示点の
内、任意の教示点についてシフト情報を付加するシフト
指令設定機能装置と、記憶装置に教示された計測開始位
置とセンサにより計測された被測定物上の実際の計測開
始位置とのずれに基づいてシフト情報を付加した教示点
の座標をシフトさせるシフト処理部とを備えるように構
成したので、一部の形状が共通である被測定物の形状や
寸法を簡単な構成でしかも同一のプログラムで教示を測
定毎に行わずに計測できるという効果がある。
As explained above, according to the present invention, there is provided a shift command setting function device that adds shift information for an arbitrary teach point among a plurality of teach points, and a shift command setting function device that adds shift information to an arbitrary teach point among a plurality of teach points, and a shift command setting function device that adds shift information to an arbitrary teach point among a plurality of teach points, and Since the structure includes a shift processing unit that shifts the coordinates of the teaching point to which shift information has been added based on the deviation from the actual measurement start position on the object to be measured, it is possible to This has the advantage that the shape and dimensions of the object can be measured with a simple configuration and without having to be taught using the same program for each measurement.

【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の一実施例の要部を示すブロック図、
第2図は上記実施例による教示及びシフトの具体例を示
す平面図、第3図は上記実施例の動作を説明するフロー
図、第4図は一般的な計測装置の機械系を概念的に示す
斜視図、第5図は光学的センサの一例を示す斜視図であ
る。 図において(1)は被測定物、(2)はセンサ、(3)
はセンサ駆動装置、(5)は記憶装置、(6)はシフト
指令設定機能装置、(7)はシフト処理部である。 なお、各図中同一符号は同一もしくは相当部分を示すも
のとする。 手続補正書 昭和62年10月22日
[BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS] FIG. 1 is a block diagram showing the main parts of an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a plan view showing a specific example of teaching and shifting according to the above embodiment, Fig. 3 is a flow diagram explaining the operation of the above embodiment, and Fig. 4 is a conceptual diagram of the mechanical system of a general measuring device. FIG. 5 is a perspective view showing an example of an optical sensor. In the figure, (1) is the object to be measured, (2) is the sensor, and (3)
(5) is a storage device, (6) is a shift command setting function device, and (7) is a shift processing section. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. Procedural amendment October 22, 1986

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 被測定物との距離に応じた信号を出力する光学式センサ
、このセンサを上記被測定物のまわりに沿って移動する
と共に、上記センサ自体を回動させ得るセンサ駆動装置
、上記センサの計測開始位置を含む計測経路を複数の教
示点として記憶する記憶装置、上記複数の教示点の内、
任意の教示点についてシフト情報を付加するシフト指令
設定機能装置、上記記憶装置に教示された計測開始位置
と上記センサにより計測された被測定物上の実際の計測
開始位置のずれに応じて、上記シフト情報を付加した教
示点の座標をシフトさせるシフト処理部を備え、上記被
測定物の形状または寸法を計測するようにした光学式形
状計測装置。
An optical sensor that outputs a signal according to the distance to the object to be measured, a sensor drive device that moves the sensor around the object to be measured and can rotate the sensor itself, and starts measurement of the sensor. A storage device that stores measurement paths including positions as a plurality of teaching points, among the plurality of teaching points,
A shift command setting function device that adds shift information for an arbitrary teaching point; An optical shape measuring device comprising a shift processing unit that shifts the coordinates of a teaching point to which shift information has been added, and measuring the shape or dimensions of the object to be measured.
JP8807487A 1987-04-10 1987-04-10 Optical shape measuring instrument Pending JPS63253208A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8807487A JPS63253208A (en) 1987-04-10 1987-04-10 Optical shape measuring instrument

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8807487A JPS63253208A (en) 1987-04-10 1987-04-10 Optical shape measuring instrument

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63253208A true JPS63253208A (en) 1988-10-20

Family

ID=13932710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8807487A Pending JPS63253208A (en) 1987-04-10 1987-04-10 Optical shape measuring instrument

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63253208A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0042960B1 (en) Method and apparatus for calibrating a robot
JP4504818B2 (en) Workpiece inspection method
JPS6398508A (en) Method of using analog measuring probe and positioning device
US6321139B1 (en) Operation line searching method and robot/sensor system having operation line searching function
JPH0816221A (en) Method for changing teaching route for robot using laser sensor
JP3171770B2 (en) NC machine tool moving position error correction method and moving position error correction confirmation method
JPS63253208A (en) Optical shape measuring instrument
JPH01153253A (en) Non-contact copy system
JPH0729257B2 (en) Digitizing device
JPH0621767B2 (en) Curved surface shape measuring method and apparatus
JPH07501412A (en) Inspection method for machining accuracy of NC machine tools
JPH0623928B2 (en) Robot hand trajectory correction method
JPH01147608A (en) Correction system for positioning error
JPH07332927A (en) Work-position detector
JP2758810B2 (en) Shape measurement method
JPH02157612A (en) Sensor moving method for shape measuring instrument
JPS6166915A (en) Noncontacting type automatic size measuring method
JPH09196622A (en) Method for detecting position
JPS5975112A (en) Size and shape measuring device by industrial robot
JPS63253206A (en) Shape measuring instrument
JPH1145107A (en) Measuring method for calculating virtual pin corner position at curved surface corner part
JPS63253207A (en) Optical shape measuring instrument
JPH03110087A (en) Follow-up control method for three-dimensional laser beam machine
JPH01240260A (en) Non-contact type digitizer
JP2504698B2 (en) Inspection method for machining accuracy of NC machine tools