JPS63229377A - Waveguide type light/sound spectrum analyzer - Google Patents

Waveguide type light/sound spectrum analyzer

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JPS63229377A
JPS63229377A JP6118787A JP6118787A JPS63229377A JP S63229377 A JPS63229377 A JP S63229377A JP 6118787 A JP6118787 A JP 6118787A JP 6118787 A JP6118787 A JP 6118787A JP S63229377 A JPS63229377 A JP S63229377A
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light
wavelength
waveguide
face
spectrum analyzer
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JP6118787A
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Inventor
Yutaka Nishimoto
裕 西本
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NEC Corp
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NEC Corp
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Abstract

PURPOSE:To achieve a higher dynamic range, by providing a wavelength filter on a light waveguide before non-deflected light is removed therefrom. CONSTITUTION:An unnecessary wavelength component of a light beam which is incident into a light waveguide 11 and a removal end face 23 from a light source 12 is removed with a wavelength filter 25 using a diffraction grating. As the filter 25 transmits a specified wavelength component, a wavelength component of light propagating after passing through the filter 25 is limited to that used for a waveguide type AO spectrum analyzer. Therefore, the wavelength of light incident into the end face 23 gives a single wavelength, which allows the removal of non-deflected light 17 into the air from a light waveguide 11 eliminating non-deflected light which may be reflected on the end face 23. Deflected light 16a also gives a single wavelength thereby eliminating the need for detecting errors of intensity spectrum and an error signal in a detection signal of an array photodetector 22. This can realize a higher dynamic range.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、導波型光・音響(以下導波型AOという)ス
ペクトラムアナライザに関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a waveguide type optical/acoustic (hereinafter referred to as waveguide type AO) spectrum analyzer.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

弾性表面波による光の偏向を利用した導波型AOスペク
トラムアナライザは、信号の周波数分析を瞬時に行うも
のである。
A waveguide type AO spectrum analyzer that utilizes the deflection of light by surface acoustic waves instantly analyzes the frequency of a signal.

この導波型AOスペクトラムアナライザとは、誘電体基
板またはSi等半導体基板表面に形成された平面光導波
路を伝搬するコリメート光を弾性表面波により、光の波
長λ1弾性表面波の励振周波数f、伝搬速度V3.平面
光導波路の屈折率nを用いて次式で決まるプラグ角θ8
の2倍の角(20B)で偏向し、この偏向光を平面レン
ズで集光しアレイ状の光検出器で検出するものである。
This waveguide type AO spectrum analyzer uses a surface acoustic wave to convert collimated light propagating through a planar optical waveguide formed on the surface of a dielectric substrate or a semiconductor substrate such as Si to Speed V3. The plug angle θ8 is determined by the following formula using the refractive index n of the planar optical waveguide.
The polarized light is deflected at an angle twice as large as (20B), and this deflected light is focused by a plane lens and detected by an array of photodetectors.

θ、=s in−’ (fλ/2nVs)すなわち、こ
の偏向角の203は弾性表面波の励振周波数fに比例す
るため、弾性表面波の励振周波数fの差異により偏向光
の集光位置も異なる。
θ, = sin-' (fλ/2nVs) That is, this deflection angle 203 is proportional to the excitation frequency f of the surface acoustic wave, so the focusing position of the polarized light also differs depending on the difference in the excitation frequency f of the surface acoustic wave. .

従って、この偏向光の集光位置の差異をアレイ状の光検
出器で検出することにより、弾性表面波に印加された信
号の周波数成分を分析することができる。
Therefore, by detecting the difference in the focusing position of this polarized light using an array of photodetectors, it is possible to analyze the frequency components of the signal applied to the surface acoustic wave.

この導波型AOスペクトラムアナライザの性能の1つに
ダイナミックレンジがあるが、このダイナミックレンジ
の向上のために、特願昭60−54645号明細書によ
れば、非偏向光をコリメート用レンズとフーリエ変換用
レンズの間で光導波路より除去する構造のものが発明さ
れている。
One of the performances of this waveguide type AO spectrum analyzer is the dynamic range, and in order to improve this dynamic range, according to the specification of Japanese Patent Application No. 60-54645, unpolarized light is collimated with a Fourier lens. A structure has been invented in which the light is removed from the optical waveguide between the conversion lenses.

第2図が前述した導波型AOスペクトラムアナライザの
構造を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing the structure of the waveguide type AO spectrum analyzer described above.

誘電体表面、またはSi等半導体基板表面に設けた平面
光導波路11に、その端面より光源12から放射された
拡がり角を有する光が導波され、拡がり角を有する光1
4は平面レンズ(コリメート用レンズ)13によりコリ
メート光15に変換される。平面光導波路11は基板が
LiNb0.の場合は、Tiを基板表面に熱拡散して形
成し、基板がSiの場合には、例えばAs25.、を堆
積して形成する。
Light having a divergence angle emitted from a light source 12 is guided through the end face of the planar optical waveguide 11 provided on the surface of a dielectric material or the surface of a semiconductor substrate such as Si, and the light having a divergence angle 1
4 is converted into collimated light 15 by a plane lens (collimating lens) 13. The planar optical waveguide 11 has a substrate made of LiNb0. In this case, Ti is formed by thermally diffusing onto the substrate surface, and when the substrate is Si, for example, As25. , is formed by depositing.

また、平面レンズ13.26はフレネルレンズ、ジオデ
シックレンズ等からなる。
Further, the plane lenses 13 and 26 are made of a Fresnel lens, a geodesic lens, or the like.

コリメート光15は、弾性表面波発生用電極18より発
生する弾性表面波19により偏向され、偏向光16aが
生ずるとともに、偏向されない非偏向光17も残る。こ
の非偏向光17は導波型AOスペクトラムアナライザに
とっては必要ないものである。
The collimated light 15 is deflected by the surface acoustic wave 19 generated by the surface acoustic wave generation electrode 18, producing polarized light 16a and also leaving unpolarized light 17. This unpolarized light 17 is not necessary for the waveguide type AO spectrum analyzer.

このとき、偏向光16aと非偏向光17は、光の波長(
λ)、弾性表面波の励振周波数(f)及び伝搬速度(V
、)と平面光導波路の屈折率(n)で決まるプラグ角(
θ、)の2倍の角(20B)をなして伝搬し、非偏向光
を除去するために平面光導波路11に形成した非偏向光
除去平面光導波路端面(以後、除去端面と呼ぶ)23に
達する。
At this time, the polarized light 16a and the unpolarized light 17 have a wavelength (
λ), surface acoustic wave excitation frequency (f) and propagation velocity (V
, ) and the refractive index (n) of the planar optical waveguide.
The unpolarized light is propagated at an angle (20B) twice that of reach

除去端面23は、偏向光16aの光軸に対しては、はぼ
全反射角(θd)を、非偏向光17の光軸に対してほぼ
透過するような角(θ、)をなすように形成する。この
場合、除去端面23は研磨等により鏡面にする。従って
、非偏向光17はここで外部に除去され、偏向光16a
は全反射し、除去端面23に入射後は平面光導波路11
には主に偏向光16bが伝搬し、偏向光16bは平面レ
ンズ(フーリエ変換用レンズ)26により集光されアレ
イ状光検出器22により検出される。
The removal end surface 23 forms an almost total reflection angle (θd) with respect to the optical axis of the polarized light 16a, and an angle (θ, ) that almost transmits the unpolarized light 17 with respect to the optical axis thereof. Form. In this case, the removed end surface 23 is made into a mirror surface by polishing or the like. Therefore, the unpolarized light 17 is removed to the outside, and the polarized light 16a
is totally reflected, and after entering the removed end face 23, the plane optical waveguide 11
Mainly, the polarized light 16b propagates, and the polarized light 16b is collected by a plane lens (Fourier transform lens) 26 and detected by an array photodetector 22.

従って、平面レンズ13で発生する散乱損失、及び、除
去端面23に光が到達するまでに発生する伝搬損失は、
アレイ状光検出器22がコリメート光15の光軸に面し
ていないためほとんどアレイ状光検出器で検出されない
。また、平面レンズ26で発生する散乱損失は、偏向光
のみから生じるため、従来構造に比べ大幅に減少する。
Therefore, the scattering loss that occurs in the plane lens 13 and the propagation loss that occurs until the light reaches the removal end surface 23 are as follows:
Since the arrayed photodetector 22 does not face the optical axis of the collimated light 15, the collimated light 15 is hardly detected by the arrayed photodetector. Further, since the scattering loss generated by the plane lens 26 is caused only by the polarized light, it is significantly reduced compared to the conventional structure.

例えば、偏向効率を10%とすれば、損失は10分の1
に減少する。従って、アレイ状光検出器22で検出する
ノイズ信号は従来構造に比べ大幅に減少し、ダイナミッ
クレンジが向上する。
For example, if the deflection efficiency is 10%, the loss is 1/10
decreases to Therefore, the noise signal detected by the arrayed photodetector 22 is significantly reduced compared to the conventional structure, and the dynamic range is improved.

ここで、全反射された偏向光16bが再び弾性表面波と
相互作用しないために、シリコンゴム等を塗布し弾性表
面波吸収領域24を設ける。
Here, in order to prevent the totally reflected polarized light 16b from interacting with the surface acoustic waves again, a surface acoustic wave absorbing region 24 is provided by applying silicone rubber or the like.

光源12を波長0.89μmの半導体レーザとして平面
光導波路11をLiNbO3基板にTiを熱拡散して形
成したものとすると、平面光導波路11の屈折率は約2
.2である。このとき、除去端面23における臨界角は
約27°、ブリュースタ角は約24.4゜である。
Assuming that the light source 12 is a semiconductor laser with a wavelength of 0.89 μm and the planar optical waveguide 11 is formed by thermally diffusing Ti onto a LiNbO3 substrate, the refractive index of the planar optical waveguide 11 is approximately 2.
.. It is 2. At this time, the critical angle at the removed end face 23 is about 27°, and the Brewster's angle is about 24.4°.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

第2図の導波型AOスペクトラムアナライザでは、光導
波路を伝搬する光すなわち拡がり角を有する光14.コ
リメート光15等の波長の分散がダイナミックレンジの
向上、及び、周波数分析の動作に対して重要な要因とな
る。
In the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. 2, light propagating through an optical waveguide, that is, light having a divergence angle 14. The wavelength dispersion of the collimated light 15 and the like is an important factor for improving the dynamic range and frequency analysis operation.

ダイナミックレンジの向上については、光導波路11に
種々の波長の光が伝搬すると、各波長で実効屈折率が異
なり、従って除去端面23での非偏向光17の透過率が
各波長で異なるため、設定波長で得られる非偏向光17
の透過率に比べ小さくなり、それだけ除去端面23で反
射する非偏向光17の反射成分が増加し、ダイナミック
レンジの向上する度合は劣化する。
In order to improve the dynamic range, when light of various wavelengths propagates through the optical waveguide 11, the effective refractive index differs for each wavelength, and therefore the transmittance of the unpolarized light 17 at the removal end face 23 differs for each wavelength. Unpolarized light obtained at wavelength 17
The transmittance becomes smaller than the transmittance of the unpolarized light 17, and the reflected component of the unpolarized light 17 reflected by the removed end face 23 increases accordingly, and the degree of improvement in the dynamic range deteriorates.

周波数分析の動作については、前述した理由と同様に偏
向光16aの除去端面での反射率が各波長で異なるため
、アレイ状光ネ★出器22で得られる強度スペクトルの
誤差が増大するとともに、反射角も除去端面23でのブ
ースヘンセンシフトが各波長で異なるため異なり、各波
長成分の偏向光16bが平面レンズ(フーリエ変換用レ
ンズ)26で集光されプレイ状光検出器22に収束する
点が異なり、周波数分析の動作の誤動作が発生する。
Regarding the operation of frequency analysis, since the reflectance of the removed end face of the polarized light 16a differs for each wavelength for the same reason as described above, the error in the intensity spectrum obtained by the arrayed light beam emitter 22 increases, and The reflection angle also differs because the Booth-Hensen shift at the removed end face 23 differs for each wavelength, and the polarized light 16b of each wavelength component is focused by a plane lens (Fourier transform lens) 26 and converged on the play-shaped photodetector 22. The difference is that malfunctions occur in the frequency analysis operation.

光導波路11に種々の波長の光が伝搬する要因は、光源
12に半導体レーザを用いた場合には、自然放出成分の
波長分散、及び、誘導放出成分における波長のマルチ発
振などがある。
Factors causing light of various wavelengths to propagate in the optical waveguide 11 include wavelength dispersion of spontaneous emission components and multi-wavelength oscillation in stimulated emission components when a semiconductor laser is used as the light source 12.

本発明の目的は、非偏向光をコリメート用レンズとフー
リエ変換用レンズの間で光導波路より除去する構造の導
波型光・音響スペクトラムアナライザにおいて、光導波
路に入射する光に波長分散があってもダイナミックレン
ジの向上の劣化、及び、周波数分析の誤動作を生じるこ
となく、ダイナミックレンジの向上、正確な周波数分析
を実現できる導波型光・音響スペクトラムアナライザを
提供することにある。
An object of the present invention is to provide a waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer having a structure in which unpolarized light is removed from an optical waveguide between a collimating lens and a Fourier transform lens, in which the light incident on the optical waveguide has wavelength dispersion. Another object of the present invention is to provide a waveguide optical/acoustic spectrum analyzer that can improve the dynamic range and perform accurate frequency analysis without deteriorating the dynamic range improvement or causing malfunctions in frequency analysis.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、非偏向光をコリメート用レンズとフーリエ変
換用レンズの間で光導波路より除去する構造の導波型光
・音響スペクトラムアナライザにおいて、非偏向光を光
導波路より除去する前の光導波路上に波長フィルタを具
備せしめたことを特徴としている。
The present invention relates to a waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer having a structure in which unpolarized light is removed from an optical waveguide between a collimating lens and a Fourier transform lens. It is characterized by being equipped with a wavelength filter.

〔作用〕[Effect]

前述したように、光源から光導波路に入射し、除去端面
に入射する光ビームに種々の波長成分が混在すると、単
一波長成分の伝搬に比べ、ダイナミックレンジの向上の
劣化、及び、周波数分析の誤動作が生じる。従って、除
去端面に光ビームが到達する前に不要な波長成分を除去
すれば、前述した問題が解決される。
As mentioned above, when various wavelength components coexist in the light beam that enters the optical waveguide from the light source and enters the removal end face, the improvement of the dynamic range deteriorates and the frequency analysis deteriorates compared to the propagation of a single wavelength component. A malfunction will occur. Therefore, the above-mentioned problem can be solved by removing unnecessary wavelength components before the light beam reaches the removal end face.

波長フィルタは特定の波長成分のみを透過させる作用を
有するため、波長フィルタを通過後に伝搬する光の波長
成分は導波型AOスペクトラムアナライザで使用するも
のに限定される。従って、除去端面に入射する光の波長
は単一波長となり非偏向光の光導波路から空中への除去
は目的通り行われる。その結果、除去端面で反射する非
偏向光はなくなり、ダイナミックレンジの向上の劣化は
消滅する。
Since the wavelength filter has the function of transmitting only specific wavelength components, the wavelength components of the light that propagates after passing through the wavelength filter are limited to those used in the waveguide type AO spectrum analyzer. Therefore, the wavelength of the light incident on the removal end face becomes a single wavelength, and removal of unpolarized light from the optical waveguide into the air is performed as intended. As a result, no unpolarized light is reflected at the removed end face, and the deterioration in dynamic range improvement disappears.

また、除去端面で反射された偏向光も単一波長となるた
め、アレイ状光検出器における検出信号において、強度
スペクトルの誤差、及び、誤信号の検出はなくなる。
Further, since the polarized light reflected by the removed end face also has a single wavelength, errors in the intensity spectrum and detection of false signals are eliminated in the detection signals of the arrayed photodetector.

〔実施例〕〔Example〕

次に図面を用いて本発明の詳細な説明する。 Next, the present invention will be explained in detail using the drawings.

第1図は本発明による導波型AOスペクトラムアナライ
ザの一実施例の平面図である。この導波型AOスペクト
ラムアナライザは、第2図に示した導波型AOスペクト
ラムアナライザにおいて、光導波路11上であって、コ
リメート用レンズ13とコリメート光15が弾性表面波
19で偏向される位置との間に波長フィルタ25を設置
したものであり、その他の構成は第2図と導波型AOス
ペクトラムアナライザと同じである。従って、第1図に
おいて第2図と同一の要素には同一の番号を付して示し
ている。なお、波長フィルタ25としての回折格子は、
使用波長の2分の1.4分の1,8分の1等のピッチで
格子を形成したものであり、回折格子内のブラッグ反射
を利用して使用波長のみを取り出すものである。この回
折格子は、光導波路11にイオンビーム法、リアクティ
ブイオンビーム法。
FIG. 1 is a plan view of an embodiment of a waveguide type AO spectrum analyzer according to the present invention. In the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. A wavelength filter 25 is installed between them, and the other configuration is the same as that of the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. Therefore, in FIG. 1, the same elements as in FIG. 2 are designated by the same numbers. Note that the diffraction grating as the wavelength filter 25 is
A grating is formed with a pitch of 1/2, 1/4, 1/8, etc. of the wavelength to be used, and only the wavelength to be used is extracted by utilizing Bragg reflection within the diffraction grating. This diffraction grating can be fabricated using an ion beam method or a reactive ion beam method in the optical waveguide 11.

リアクティブイオン法等のエツチング方法で溝を掘って
形成する方法や、光導波路ll上に回折格子を堆積して
形成する方法などがある。
There are a method of forming a groove by digging a groove using an etching method such as a reactive ion method, and a method of forming a diffraction grating by depositing it on the optical waveguide 11.

本実施例によれば、光源12から光導波路11に入射し
、除去端面23に入射する光ビームに種々の波長成分が
存在すると、単一波長成分の伝搬に比ベダイナミックレ
ンジの向上の劣化、及び、周波数分析の誤動作が生じる
。従って、除去端面23に光ビームが到達する前に不要
な波長成分を波長フィルタ25により除去すれば前述し
た問題が解決される。本実施例では波長フィルタ25と
して回折格子を用いている。波長フィルタ25は特定の
波長成分のみを透過させる作用を有するため、波長フィ
ルタ25を通過後に伝搬する光の波長成分は導波型AO
スペクトラムアナライザで使用するものに限定される。
According to this embodiment, if there are various wavelength components in the light beam that enters the optical waveguide 11 from the light source 12 and enters the removal end face 23, the improvement in the dynamic range deteriorates compared to the propagation of a single wavelength component. And malfunction of frequency analysis occurs. Therefore, if unnecessary wavelength components are removed by the wavelength filter 25 before the light beam reaches the removal end face 23, the above-mentioned problem can be solved. In this embodiment, a diffraction grating is used as the wavelength filter 25. Since the wavelength filter 25 has the function of transmitting only a specific wavelength component, the wavelength component of the light that propagates after passing through the wavelength filter 25 is transmitted through the waveguide type AO.
Limited to those used with spectrum analyzers.

従って、除去端面23に入射する光の波長は単一波長と
なり非偏向光17の光導波路11から空中への除去は目
的通り行われる。従って、除去端面23で反射する非偏
向光はなくなり、ダイナミックレンジの向上の劣化は消
滅する。
Therefore, the wavelength of the light incident on the removal end face 23 becomes a single wavelength, and the removal of the unpolarized light 17 from the optical waveguide 11 into the air is performed as intended. Therefore, no unpolarized light is reflected by the removed end face 23, and the deterioration of the dynamic range improvement disappears.

また、偏向光16aも単一波長となるため、アレイ状光
検出器22における検出信号において、強度スペクトル
の誤差、及び、誤信号の検出はなくなる。
Further, since the polarized light 16a also has a single wavelength, errors in the intensity spectrum and detection of false signals are eliminated in the detection signals of the arrayed photodetector 22.

以上の実施例では、波長フィルタ25の設置位置は、コ
リメート用レンズ13とコリメート光15が弾性表面波
19で偏向される位置との間にしているが、この位置は
弾性表面波19の伝搬部分を除いた部分が望ましく、光
源12と除去端面23の間の光導波路上ならどこでもよ
い。
In the above embodiment, the wavelength filter 25 is installed between the collimating lens 13 and the position where the collimated light 15 is deflected by the surface acoustic wave 19. It is preferable to use a portion other than , and any part on the optical waveguide between the light source 12 and the removed end surface 23 may be used.

また、波長フィルタ25は回折格子に限定されるもので
なく、光導波路上のエタロンの形成、波長選択性を有す
る材料の使用等、波長選択性を有するものならどのよう
なものでもよい。
Furthermore, the wavelength filter 25 is not limited to a diffraction grating, and may be any type of filter that has wavelength selectivity, such as the formation of an etalon on an optical waveguide, or the use of a material that has wavelength selectivity.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明は以上説明したように、ダイナミックレンジを向
上させるために弾性表面波によって非偏向光をコリメー
ト用レンズとフーリエ変換用レンズの間で光導波路より
空中へ除去する構造の導波型光・音響スペクトラムアナ
ライザにおいて、光導波路を伝搬する光ビームに種々の
波長成分が混在する場合、ダイナミックレンジの向上の
劣化要因、及び、周波数分析の誤動作の要因となる導波
型光・音響スペクトラムアナライザが必要としない波長
成分を取り除き、必要とする波長のみを取り出す波長フ
ィルタを光導波路に設置することにより、目的通りの非
偏向光の除去によるダイナミックレンジの向上、及び、
定常的な周波数分析の正常動作を実現することができる
As explained above, the present invention provides a waveguide type optical/acoustic structure that uses surface acoustic waves to remove unpolarized light from an optical waveguide into the air between a collimating lens and a Fourier transform lens in order to improve the dynamic range. In a spectrum analyzer, when various wavelength components coexist in the optical beam propagating through an optical waveguide, a waveguide optical/acoustic spectrum analyzer is required, which can cause deterioration in dynamic range improvement and malfunction in frequency analysis. By installing a wavelength filter in the optical waveguide that removes unnecessary wavelength components and extracts only the necessary wavelengths, it is possible to improve the dynamic range by removing unpolarized light as desired, and
Normal operation of steady frequency analysis can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の平面図、 第2図は従来例における導波型AOスペクトラムアナラ
イザの平面図である。 11・・・・・光導波路 12・・・・・光源 13.26  ・・・平面レンズ 14・・・・・拡がり角を有する光 15・・・・・コリメート光 16a、 16b ・偏向光 17・・・・・非偏向光 18・・・・・弾性表面波発生用電極 19・・・・・弾性表面波 22・・・・・アレイ状光検出器 23・・・・・非偏向光除去平面光導波路端面24・・
・・・弾性表面波吸収領域 25・・・・・波長フィルタ
FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a conventional waveguide type AO spectrum analyzer. 11... Optical waveguide 12... Light source 13.26... Plane lens 14... Light with a divergence angle 15... Collimated light 16a, 16b ・Polarized light 17. ...Unpolarized light 18 ...Surface acoustic wave generation electrode 19 ...Surface acoustic wave 22 ...Array photodetector 23 ...Unpolarized light removal plane Optical waveguide end face 24...
...Surface acoustic wave absorption region 25...Wavelength filter

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)非偏向光をコリメート用レンズとフーリエ変換用
レンズの間で光導波路より除去する構造の導波型光・音
響スペクトラムアナライザにおいて、非偏向光を光導波
路より除去する前の光導波路上に波長フィルタを具備せ
しめたことを特徴とする導波型光・音響スペクトラムア
ナライザ。
(1) In a waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer that has a structure in which unpolarized light is removed from the optical waveguide between a collimating lens and a Fourier transform lens, the unpolarized light is removed from the optical waveguide before being removed from the optical waveguide. A waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer characterized by being equipped with a wavelength filter.
JP6118787A 1987-03-18 1987-03-18 Waveguide type light/sound spectrum analyzer Pending JPS63229377A (en)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58113903A (en) * 1981-12-26 1983-07-07 Fujitsu Ltd Waveguide type optical wavelength filter
JPS61215533A (en) * 1985-03-20 1986-09-25 Nec Corp Waveguide type optoacoustic spectrum analyzer

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