JPS61267035A - Waveguide type opto-acoustic spectrum analyzer - Google Patents

Waveguide type opto-acoustic spectrum analyzer

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JPS61267035A
JPS61267035A JP10863385A JP10863385A JPS61267035A JP S61267035 A JPS61267035 A JP S61267035A JP 10863385 A JP10863385 A JP 10863385A JP 10863385 A JP10863385 A JP 10863385A JP S61267035 A JPS61267035 A JP S61267035A
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JP
Japan
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light
surface acoustic
polarized light
deflected
plane
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Pending
Application number
JP10863385A
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Japanese (ja)
Inventor
Yutaka Nishimoto
裕 西本
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a high dynamic range and to reduce the size of a device by combining a plane waveguide end removing undeflected light which is not deflected with a surface acoustic wave while reflecting deflected light totally with a plane light guide end which reflects both deflected light and undeflected light totally. CONSTITUTION:Divergent light 16 emitted by a light source 11 provided at an end part of a plane light guide 22 is converted by a plane lens 12 into collimated light 17, which is defected with the surface acoustic wave generated by an electrode 20 for generating the surface acoustic wave to generate deflected light 18 while undeflected light 19 also remains. The majority of the undeflected light 19 is removed and the deflected light 18 is reflected totally, so that the deflected light 18 and remaining undeflected light 19 are propagated in the plane light guide 22. Then, the deflected light 18 and undeflected light 19 are incident on a plane lens 26 and propagated while converged to reach the light beam total reflecting plane light guide end 25 which reflects the light beams totally. Then, the deflected light 18 and undeflected light 19 are reflected totally by the total reflecting end 25 and detected by a photodetector 23 at their convergence point.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は導波型光・音響(AO)コリレータに関するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a waveguide optical-acoustic (AO) correlator.

(従来技術とその問題点) 弾性表面波による光の偏向を利用した導波型AOスペク
トラムアナライザは、弾性表面波発生用電極に入力した
信号の周波数分析を瞬時に打衣うものである。
(Prior art and its problems) A waveguide type AO spectrum analyzer that utilizes the deflection of light by surface acoustic waves instantly performs frequency analysis of a signal input to a surface acoustic wave generating electrode.

導波型AOスペクトラムアナライザとは、基板表面に形
成された平面光導波路の端面より入射し次拡がり角を有
する光を平面レンズによりコリメート光に変換し、この
コリメート光を弾性表面波により偏向させるとき、偏向
角は弾性表面波の励振周波数にほぼ比例するため偏向光
を平面レンズで集束させ光検出器で集束点を検出するこ
とにより、弾性表面波発生用電極に入力した信号の周波
数分析を行なうものである。
A waveguide type AO spectrum analyzer is a system that converts light that enters from the end face of a planar optical waveguide formed on the surface of a substrate and has a divergence angle into collimated light using a plane lens, and then deflects this collimated light using a surface acoustic wave. Since the deflection angle is approximately proportional to the excitation frequency of the surface acoustic wave, the frequency of the signal input to the surface acoustic wave generation electrode is analyzed by focusing the deflected light with a plane lens and detecting the focal point with a photodetector. It is something.

導波型AOスペクトラムアナライザの構造としては、ソ
サエティ オプ ホオト オプティカルインストウルメ
ント エンジニアース(spIa)321巻1982年
134〜140ページの文献、及び、フォース インタ
ーナシ讃ナル コンファレンスオン インチブレラティ
ド オプティカル アンド オプティカル ファイバ 
コミエニケーシ1ン(4th Conference 
100C)のテクニカル ダイジ晶スト1983年25
8〜259ページの文献等によれば、平面光導波路に2
個の平面レンズ、弾性表面波発生用電極、かつ、光検出
器を用いる方法が提案されている。第4図が、その原理
を示す平面図である。基板表面に設けた平面光導波路5
1に、その端面より光源52から放射された拡がり角を
有する光を導波し、拡がり角を有しながら伝搬する光5
9を平面レンズ53によりコリメート光55に変換する
。コリメート光55は弾性表面波発生用電極57より発
生する弾性表面波60により偏向される。偏向角は弾性
表面波60の励振周波数にほぼ比例し、偏向光61のパ
ワーは弾性表面波60の励振パワーにほぼ比例する。
The structure of the waveguide type AO spectrum analyzer is described in the literature of the Society of Optical Instrument Engineers (spIa), Vol. 321, 1982, pages 134-140, and the Force International Conference on Infrared Optical and Optical fiber
4th Conference
100C) Technical Daiji Crystal Strike 1983 25
According to the literature on pages 8 to 259, there are two
A method using two plane lenses, an electrode for generating surface acoustic waves, and a photodetector has been proposed. FIG. 4 is a plan view showing the principle. Planar optical waveguide 5 provided on the substrate surface
1, the light having a divergence angle emitted from the light source 52 is guided from the end face, and the light 5 propagates while having a divergence angle.
9 is converted into collimated light 55 by a plane lens 53. The collimated light 55 is deflected by a surface acoustic wave 60 generated by the surface acoustic wave generating electrode 57. The deflection angle is approximately proportional to the excitation frequency of the surface acoustic wave 60, and the power of the deflected light 61 is approximately proportional to the excitation power of the surface acoustic wave 60.

偏向光56を平面レンズ54により集光し、集光点の位
置、及び、偏向光56のパワーを光検出器58により検
出することにより弾性表面波発生用電極57への入力信
号の周波数スペクトルを検出することができる。
The polarized light 56 is focused by the plane lens 54, and the frequency spectrum of the input signal to the surface acoustic wave generation electrode 57 is determined by detecting the position of the focused point and the power of the deflected light 56 by the photodetector 58. can be detected.

光源52は半導体レーザ、または、発光ダイオードから
なり、平面光導波路51/fi例えば、ニオブ酸リチウ
ム(t、1Nbos)基板にヂタン(Tt )t−熱拡
散し形成された光平面導波路、また、8i基板に例えば
8i3N4やAs283等を堆積して形成さfL7j光
導波路からなり、また、平面レンズ53.54H例えば
フレネルレンズ、ジオデシツクレンズ等からなる。
The light source 52 is composed of a semiconductor laser or a light emitting diode, and the planar optical waveguide 51/fi is, for example, an optical planar waveguide formed by thermally diffusing titanium (Tt) onto a lithium niobate (t, 1Nbos) substrate. It consists of an fL7j optical waveguide formed by depositing, for example, 8i3N4 or As283 on an 8i substrate, and also consists of plane lenses 53 and 54H, such as a Fresnel lens or a geodesic lens.

しかし、第4図に示した構造の導波型AOスペクトラム
アナライザでは、導波型AOスペクトラムアナライザに
とっては不要信号である弾性表面波60により偏向され
ない光の成分である非偏向光61も光検出器58を設置
し定平面導波路端部62に伝搬してくる。導波型AOス
ペクトラムアナライザのダイナミックレンジの劣化の原
因は主に、平面光導波路51を伝搬する光の散乱による
伝搬損失と平面レンズ53.54における散乱による損
失により発生するノイズである。
However, in the waveguide type AO spectrum analyzer having the structure shown in FIG. 58 and propagates to the fixed plane waveguide end 62. The main causes of deterioration of the dynamic range of the waveguide type AO spectrum analyzer are noise generated by propagation loss due to scattering of light propagating through the planar optical waveguide 51 and loss due to scattering in the planar lenses 53 and 54.

従って、第4図に示した導波型AOスペクトラムアナラ
イザは不要信号である非偏向光61から生じるノイズも
ダイナミックレンジの劣化の原因と々っており、ソサエ
ティ オン ホオトーオプティカル インストウルメン
ト エンジニアース(8PIE)32)巻1982年1
34〜140ページの文献によれば、ダイナミックレン
ジFi30 dB程度とよくない。また、第4図に示し
た導波型AOスペクトラムアナライザにおいて光検出器
58は通常プレイ状のものを用いるが、目的の読み摩り
可能な周波数ステップを得るためには、アレイ状の光検
出器のアレイのピッチに適合して、平面レンズ54の焦
点距離fを決定する。す々わち、光検出器58上での弾
性表面波の励振周波数の差により生じる検出位置のずれ
は平面レンズ54の焦点距離/に比例するためである。
Therefore, in the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. 8PIE) Volume 32) 1982 1
According to the literature on pages 34 to 140, the dynamic range Fi is about 30 dB, which is not good. In addition, in the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. 4, the photodetector 58 is normally a play-shaped one, but in order to obtain the desired frequency step that can be read and abraded, it is necessary to use an array-shaped photodetector. The focal length f of the plane lens 54 is determined in accordance with the pitch of the array. That is, the shift in the detection position caused by the difference in the excitation frequency of the surface acoustic waves on the photodetector 58 is proportional to the focal length of the plane lens 54.

従って、読みをり可能な周波数ステップを小さくするた
めには、平面レンズ54の焦点距離を長くする必要があ
るが、第4図に示した導波型AOスペクトラムアナライ
ザにおいて、平面レンズ54の焦点距離/’に長くする
ことは装置の大型化につながる欠点がある。
Therefore, in order to reduce the frequency step that can be read, it is necessary to increase the focal length of the plane lens 54. However, in the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG. /' has the disadvantage of increasing the size of the device.

(発明の目的) 本発明の目的は、前述の欠点をなくして高いダイナミッ
クレンジを有し、かつ、小型で読み覗り可能々周波数差
が小さい導波型光・音響スペクトラムアナライザを提供
することKある。
(Objective of the Invention) An object of the present invention is to provide a waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer which eliminates the above-mentioned drawbacks, has a high dynamic range, is compact, allows reading and viewing, and has a small frequency difference. be.

(発明の構成) 本発明の導波型光−音響スペクトラムアナライザは、基
板表面に形成された平面光導波路と、前記平面光導波路
の1つの端面に入射し、前記平面光導波路を伝搬する拡
が9角を有する光ビームをコリメート光にする1つの平
面レンズと、平面レンズによりコリメートされ几光ビー
ム金偏向させる弾性表面波を発生する弾性表面波発生用
電極と、弾性表面波により偏向されない非偏向光を透過
せしめ、偏向光を反射せしめる1つまた複数の平面光導
波路端と、偏向光、非偏向を問わず全反射せしめる1つ
また複数の平面導波路端と、偏向光と非偏向光を集束さ
せる1つの平面レンズと、偏向光と非偏向光が出射する
平面光導波路端部に設置し几光検出器とを備えている構
成と々っている。
(Structure of the Invention) The waveguide type optical-acoustic spectrum analyzer of the present invention includes a planar optical waveguide formed on the surface of a substrate, and an expanded signal that is incident on one end face of the planar optical waveguide and propagates through the planar optical waveguide. One plane lens that converts a light beam having nine angles into collimated light, one surface acoustic wave generation electrode that generates a surface acoustic wave that is collimated by the plane lens and deflects the fluorescent beam, and a non-deflector that is not deflected by the surface acoustic wave. One or more planar waveguide ends that transmit light and reflect polarized light, one or more planar waveguide ends that allow total reflection of both polarized and unpolarized light, and one or more planar waveguide ends that transmit light and reflect polarized light. Many configurations include one plane lens for focusing and a photodetector installed at the end of a plane optical waveguide from which polarized light and non-polarized light are emitted.

(実施例) 次に図面を用いて本発明の詳細な説明する。(Example) Next, the present invention will be explained in detail using the drawings.

第1図は、本発明による導波型光・音響(AO)スペク
トラムアナライザの第1の実施例を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a waveguide optical/acoustic (AO) spectrum analyzer according to the present invention.

平面光導波路22の端部に設は次光源11より放射され
た拡がり角を有する光16は平面レンズ12によシコリ
メート光17Vc変換され、コリメート光17は弾性表
面波発生用電極20より発生する弾性表面波により偏向
され、偏向光18が生じるとともに1偏向されない非偏
向光19も残る。
The light 16 having a divergence angle emitted from the light source 11 provided at the end of the planar optical waveguide 22 is converted into scollimated light 17Vc by the plane lens 12, and the collimated light 17 is generated from the surface acoustic wave generation electrode 20. Polarized light 18 is generated by the surface acoustic wave, and unpolarized light 19 that is not polarized also remains.

このとき、偏向光18と非偏向光19II′i光の波長
(λop)、弾性表面波の励振周波数(ト)及び伝搬速
度(vs)と平面光導波路の屈折率(n)で決まるプラ
グ角(θB=sin″″1(λop−f/2nvs)の
2倍の角をなして伝搬し、非偏向光19を除去する念め
の非偏向光除去平光導波路端(今後除去端と呼ぶ)21
に達する。除去端21は、偏向光18の光軸に対してけ
、はぼ全反射角(θd)e、非偏向光19の光軸に対し
てほぼ透過するようが角(θI)をなすように形成し、
この時、除去端21は研磨等により鏡面にする。
At this time, the plug angle ( A planar optical waveguide end (hereinafter referred to as a removal end) 21 for unpolarized light that propagates at an angle twice as large as θB=sin″″1 (λop−f/2nvs) and removes the unpolarized light 19.
reach. The removal end 21 is formed so as to form an angle (θI) with respect to the optical axis of the polarized light 18 so as to have an approximately total reflection angle (θd)e and an angle (θI) with respect to the optical axis of the non-polarized light 19. ,
At this time, the removed end 21 is made into a mirror surface by polishing or the like.

従って、非偏向光19はここで大部分が除去され偏向光
18は全反射し、平面光導波路22には偏向光18と残
った非偏向光19が伝搬する。その後、偏向光18と非
偏向光19は平面レンズ26に入射し、収束しながら伝
搬し光ビームを全反射させるための光ビーム全反射平面
光導波路端(今後、全反射端と呼ぶ)25に達する。そ
こで偏向光18と非偏向光19は全反射端25で全反射
され集光点で光検出器23で検出される。また、偏向光
18、非偏向光19が再び弾性表面波と相互作用しない
ためにシリコンゴム等を塗布し弾性表面波吸収領域13
を設ける。第1図に示した構造により、非偏向光19よ
り生じるノイズは低減され、ダイナミックレンジが向上
するとともに、偏向光18及び非偏向光19を集光する
平面レンズ26の焦点距離が第4図で示した従来例の導
波型AOスペクトラムアナライザと同一のとき、平面レ
ンズ26と光検出器23間の距離は本発明による導波型
AOスペクトラムアナライザの方が短かく装置の小型化
が実現できる。
Therefore, most of the unpolarized light 19 is removed here, the polarized light 18 is totally reflected, and the polarized light 18 and the remaining unpolarized light 19 propagate in the plane optical waveguide 22 . Thereafter, the polarized light 18 and the unpolarized light 19 enter a plane lens 26, propagate while converging, and reach a total reflection plane optical waveguide end (hereinafter referred to as a total reflection end) 25 for total reflection of the light beam. reach Therefore, the polarized light 18 and the non-polarized light 19 are totally reflected at the total reflection end 25 and detected by the photodetector 23 at the condensing point. In order to prevent the polarized light 18 and unpolarized light 19 from interacting with the surface acoustic waves again, silicone rubber or the like is applied to the surface acoustic wave absorption region 13.
will be established. With the structure shown in FIG. 1, the noise generated by the unpolarized light 19 is reduced, the dynamic range is improved, and the focal length of the plane lens 26 that condenses the polarized light 18 and the unpolarized light 19 is as shown in FIG. When the distance between the plane lens 26 and the photodetector 23 is the same as that of the conventional waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG.

光源11を波長0.89μ簿の半導体レーザとして平面
光導波路f7I:LiNbO3基板にTi f熱拡散さ
せて形成すると、平面光導波路22の屈折率は約2.1
7である。このとき、除去端における臨界角は27.4
40.プリー−スタ角は24.74°である。
When the light source 11 is a semiconductor laser with a wavelength of 0.89μ and a planar optical waveguide f7I is formed by thermally diffusing Ti on a LiNbO3 substrate, the refractive index of the planar optical waveguide 22 is approximately 2.1.
It is 7. At this time, the critical angle at the removal end is 27.4
40. The Priest angle is 24.74°.

第2図は、上記条件下で、除去端21及び全反射端25
に対してP偏向を有する光ビームの除去端21及び全反
射端25でのエネルギー反射率の除去端21及び全反射
端25への光ビームの入射角依存性であり、本発明によ
る導波型AOスペクトラムアナライザが用いる原理の特
性図である。
FIG. 2 shows the removal end 21 and the total reflection end 25 under the above conditions.
This is the incident angle dependence of the energy reflectance at the removal end 21 and the total reflection end 25 of the light beam having P polarization relative to the removal end 21 and the total reflection end 25, and the waveguide type according to the present invention It is a characteristic diagram of the principle used by the AO spectrum analyzer.

第2図において、非偏向光19の除去端21への入射角
(θi)が26.5°以下なら非偏向光19Fi90%
以上空中に除去することができる。また、偏向光18の
除去端21への入射角(θd)が臨界角の27.440
以上なら偏向光18を全反射させる。
In FIG. 2, if the incident angle (θi) of the unpolarized light 19 to the removal end 21 is 26.5° or less, the unpolarized light 19Fi90%
More can be removed into the air. Also, the incident angle (θd) of the polarized light 18 to the removal end 21 is 27.440 which is the critical angle.
If it is more than that, the polarized light 18 is totally reflected.

ことができる。また、偏向光18及び非偏向光19の全
反射端25への入射角が27.44°以上なら偏向光1
8及び非偏向光19は全反射される。偏向光18と非偏
向光が彦す角(プラグ角の2倍の角(20B)) fl
、前述しt如く、20B−=sin−”(λOpf/n
vs)で与えられるため、/=150MHzとすると2
θB == 1.01’と々る。従って第1図において
、例えば除去端21を非偏向19の光軸に対して265
0傾けて形成し、かつ弾性表面波の励振周波数を150
MHzとすれば、偏向光18の除去端21への入射角(
θd)は27.5°と々す、偏向光18は除去端21で
全反射される。この時、弾性表面波の励振周波数は15
0MHz以上ならどのよう力周波数でもよい。ま几、θ
iと2倍のプラグ角(20B)の和で定まる偏向光18
の除去端21への入射角(θd)は27.44°以上な
らよく、導波型AOスペクトラムアナライザに用いる光
源の波長・弾性表面波の励振周波数は他の組合せでもよ
い。また、この時、平面レンズ26と光検出器23間の
距離は第4図で示し之従来構造の導波型AOスペクトラ
ムアナライザに比べ約20%短縮できる。
be able to. Further, if the angle of incidence of the polarized light 18 and the non-polarized light 19 on the total reflection end 25 is 27.44° or more, the polarized light 1
8 and unpolarized light 19 are totally reflected. Angle between polarized light 18 and non-polarized light (twice the plug angle (20B)) fl
, as mentioned above, 20B-=sin-”(λOpf/n
vs), so if /=150MHz then 2
θB == 1.01'. Therefore, in FIG.
0, and the excitation frequency of the surface acoustic wave is 150.
MHz, the angle of incidence of the polarized light 18 on the removal end 21 (
θd) is 27.5°, and the polarized light 18 is totally reflected at the removal end 21. At this time, the excitation frequency of the surface acoustic wave is 15
Any force frequency above 0 MHz may be used. Mako, θ
Polarized light 18 determined by the sum of i and twice the plug angle (20B)
The incident angle (θd) to the removal end 21 may be 27.44° or more, and the wavelength of the light source used in the waveguide type AO spectrum analyzer and the excitation frequency of the surface acoustic wave may be other combinations. Further, at this time, the distance between the plane lens 26 and the photodetector 23 can be reduced by about 20% compared to the conventional structure of the waveguide type AO spectrum analyzer shown in FIG.

本実施例では、光源11から放射され次光が平面光導波
路22に入射され、る平面導波路端と全反射端25は同
一であるが、同一である必要はなく、全反射端は平面光
導波路を伝搬する光ビームを全反射する働きをする平面
光導波路端であればどのような位置関係にあっても許さ
れる(例えば以下に示す第2の実施例の構造)。
In this embodiment, the light emitted from the light source 11 is incident on the planar optical waveguide 22, and the planar waveguide end and the total reflection end 25 are the same, but they do not need to be the same, and the total reflection end is the planar optical waveguide end. Any positional relationship is acceptable as long as the ends of the planar optical waveguide function to totally reflect the light beam propagating through the waveguide (for example, the structure of the second embodiment shown below).

ま友、平面光導波路を形成する基板はL 1NbOS基
板に限定されるものでは々く、例えば、Si基板、L 
i TaO3基板のように非偏向光を空中に除去し、偏
向光を全反射させる端面、及び、平面光導波路を伝搬す
る光ビームを全反射させる端面を形成でき得る本のなら
どのようなものでもよい。
Friend, the substrate that forms the planar optical waveguide is not limited to the L1NbOS substrate, for example, the Si substrate, the L1NbOS substrate, etc.
i Any material that can form an end surface that removes unpolarized light into the air and totally reflects polarized light, such as a TaO3 substrate, and an end surface that totally reflects a light beam propagating through a planar optical waveguide. good.

前述の如く、本発明による導波型AOスペクトラムアナ
ライザの構成を用いれば、従来例の導波型AOスペクト
ラムアナライザに比べ高いダイナミックレンジが得られ
るとともに、同一の読み職り周波数差を得るのに装量の
小型化が実現できる。
As mentioned above, by using the configuration of the waveguide type AO spectrum analyzer according to the present invention, a higher dynamic range can be obtained compared to the conventional waveguide type AO spectrum analyzer, and at the same time, it is possible to obtain the same reading frequency difference with less equipment. The amount can be reduced.

第3図は、本発明による導波型光・音響(AO)スペク
トラムアナライザの第2の実施例である。
FIG. 3 shows a second embodiment of a waveguide optical-acoustic (AO) spectrum analyzer according to the present invention.

光源31より放射され友拡がり角を有する光36は平面
レンズ32によりコリメート光37に変換され、コリメ
ート光37は弾性表面波発生電極40より発生する弾性
表面波により偏向され、偏向光38が生じるとともに、
偏向されない非偏向光39aも残る。この時、偏向光3
8と非偏向光39atjプラグ角の2倍の角(20B)
ft々し平面光導波路33を伝搬し、非偏向光除去平面
光導波路端(今後、除去端と呼ぶ)41に達する。
Light 36 emitted from the light source 31 and having a divergence angle is converted into collimated light 37 by the plane lens 32, and the collimated light 37 is deflected by the surface acoustic wave generated by the surface acoustic wave generating electrode 40, producing polarized light 38. ,
Unpolarized light 39a that is not deflected also remains. At this time, polarized light 3
8 and unpolarized light 39atj angle twice the plug angle (20B)
The unpolarized light propagates through the planar optical waveguide 33 and reaches a non-polarized light removal planar optical waveguide end (hereinafter referred to as removal end) 41.

除去端41には前述の如く、非偏向光39ai90以上
空中に除去し、偏向光38t−全反射するように形成す
る。非偏向光39j1の残り101弱のエネルギーは除
去端41で反射されているがこれは導波型AOスペクト
ラムアナライザにとっては不要なノイズの発生源である
。ここで、除去端41により反射された偏向光38と非
偏向光39bが再び弾性表面波と相互作用し力いためシ
リコンゴム等を塗布し弾性表面波吸収領域34を設ける
As described above, the removal end 41 is formed so that the unpolarized light 39ai90 or more is removed into the air, and the polarized light 38t is totally reflected. The remaining energy of just under 101 of the unpolarized light 39j1 is reflected by the removal end 41, which is a source of unnecessary noise for the waveguide type AO spectrum analyzer. Here, since the polarized light 38 and non-polarized light 39b reflected by the removal end 41 interact with the surface acoustic waves again and cause a force, a surface acoustic wave absorbing region 34 is provided by applying silicone rubber or the like.

前述した不要なノイズの発生源である非偏向光39bを
更に除去するために、除去端41と同一の作用を有する
除去端42に、非偏向光39bと偏向光38を入射させ
る。これにより、非偏向光39bは更に90’%以上空
中に除去され、除去端41.42を設けることにより非
偏向光は9996以上空中に除去される。
In order to further remove the non-polarized light 39b, which is the source of unnecessary noise mentioned above, the non-polarized light 39b and the polarized light 38 are made to enter a removal end 42 which has the same function as the removal end 41. As a result, more than 90'% of the unpolarized light 39b is removed into the air, and by providing the removal ends 41 and 42, more than 9996% of the unpolarized light is removed into the air.

その後、偏向光38と非偏向光は平面レンズ44に入射
し、収束し々がら伝搬し光ビームを全反射させる光ビー
ム全反射平面光導波路端45に入射し全反射され集光点
で光検出器43で検出される。
After that, the polarized light 38 and the non-polarized light enter a plane lens 44, propagate while converging, and totally reflect the light beam.The light beam enters a total reflection plane optical waveguide end 45, is totally reflected, and is detected at the condensing point. is detected by the device 43.

従って、第3図に示した構造の導波型AOスペクトラム
アナライザを用いれば更に高いダイナミックレンジが得
られるとともに、従来構造の導波型AOスペクトラムア
ナライザに比べ小型化されることは明らかである。
Therefore, it is clear that by using the waveguide type AO spectrum analyzer having the structure shown in FIG. 3, a higher dynamic range can be obtained and the size can be reduced compared to the waveguide type AO spectrum analyzer having the conventional structure.

前述した実施例は、端面に入射する光ビームが端面に対
しP偏向を有するものであるが、S偏向のものでもよい
。ただし、S偏向光ビームは臨界角以上の入射角で、エ
ネルギー反射率がP偏向忙比べ、原理的に劣る。例えば
、第2図に対応させると、入射角25’の時、P偏向の
エネルギー反射率は0.016.8偏向では0.44で
ある。従ってP偏向光ビームと同程度のダイナミックレ
ンを得るには、非偏向除去平面光導波路端の数を原理的
罠増やす必要があるが、第1図、及び、第2図において
S偏向の光ビームを用いても従来構造の導波型AOスペ
クトラムアナライザに比べ高いダイナミックレンジが得
られるのは明らかである。また、非偏向光除去平面光導
波路端、光ビーム全反射平面光導波路端の数、及び、組
み合わせは第11及び第2実施例に限定されるもので危
く、どのようが数、及び、組み合わせが許される。
In the embodiments described above, the light beam incident on the end face has a P polarization with respect to the end face, but it may have an S polarization. However, the energy reflectance of the S-polarized light beam is fundamentally inferior to that of the P-polarized light beam at an incident angle greater than the critical angle. For example, corresponding to FIG. 2, when the incident angle is 25', the energy reflectance for P polarization is 0.44 for 0.016.8 polarization. Therefore, in order to obtain a dynamic range comparable to that of a P-polarized light beam, it is necessary to increase the number of non-polarized planar optical waveguide ends in principle. It is clear that a higher dynamic range can be obtained by using the waveguide type AO spectrum analyzer compared to the conventional structure of the waveguide type AO spectrum analyzer. In addition, the number and combination of the non-polarized light removal planar optical waveguide end and the light beam total reflection planar optical waveguide end are limited to those in the 11th and 2nd embodiments, and the number and combination are limited. is allowed.

(発明の効果) 本発明は以上説明したように、導波型AOスペクトラム
アナライザにとって不必要である弾性表面波によって偏
向されない非偏向光−を空中に除去し、偏向光を全反射
するよう力千面光導波路端と、偏向光、非偏向光を問わ
ず全射するような平面光導波路端とを組み合わせて用い
ることにより、従来構造の導波型AOスペクトラムアナ
ライザに比べ高いダイナミックレンジが得られるととも
に、装置の小型化が可能と々る。
(Effects of the Invention) As explained above, the present invention removes unpolarized light that is not deflected by surface acoustic waves into the air, which is unnecessary for a waveguide type AO spectrum analyzer, and completely reflects the polarized light. By using a combination of a planar optical waveguide end and a planar optical waveguide end that allows polarized and non-polarized light to radiate, a higher dynamic range can be obtained compared to the conventional structured waveguide type AO spectrum analyzer. , it is possible to downsize the device.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の実施例の平面図、 第2図は、本発明による導波型AOスペクトラムアナラ
イザが用いる原理の特性図、 第3図は、本発明の他の実施例の平面図、第4図は、従
来例における導波型AOスペクトラムアナライザの平面
図である。 尚、図において 11.31,52・・・光源、12,26,32゜34
.53.54・−・平面レンズ、22.51・・・平面
光導波路、20,40.57・・・弾性表面波発生用電
極、16,36,59・・・拡がり角を有する光、17
.37.55・・・コリメート光、18,38゜56−
・・偏向光、19.39a、39b、61−非偏向光、
21,41,42・・・非偏向光を除去するために形成
された平面光導波路端、25.45・・・光ビームを全
反射するために形成された平面光導波路端、23,43
.58・・・光検出器、60・・・弾性表面波、13.
34・・・弾性表面波吸収領域、62・・・光検出器を
設置した平面光導波路端部′!P 2 図 ブリュースター角  臨界角 オ 3 図 手続補正書(自発)
FIG. 1 is a plan view of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a characteristic diagram of the principle used by the waveguide type AO spectrum analyzer according to the present invention. FIG. 3 is a plan view of another embodiment of the present invention. , FIG. 4 is a plan view of a conventional waveguide type AO spectrum analyzer. In addition, in the figure, 11.31,52...light source, 12,26,32°34
.. 53.54 --- Planar lens, 22.51 -- Planar optical waveguide, 20, 40.57 -- Electrode for surface acoustic wave generation, 16, 36, 59 -- Light having a divergence angle, 17
.. 37.55...Collimated light, 18,38°56-
...polarized light, 19.39a, 39b, 61-unpolarized light,
21, 41, 42... Planar optical waveguide end formed to remove unpolarized light, 25.45... Planar optical waveguide end formed to totally reflect the light beam, 23, 43
.. 58... Photodetector, 60... Surface acoustic wave, 13.
34...Surface acoustic wave absorption region, 62...Planar optical waveguide end where photodetector is installed'! P 2 Figure Brewster angle Critical angle O 3 Figure procedure amendment (voluntary)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 基板表面に形成された平面光導波路と、前記平面光導波
路の1つの端面に入射し、前記平面光導波路を伝搬する
拡がり角を有する光ビームをコリメート光にする1つの
平面レンズと、平面レンズによりコリメートされた光ビ
ームを偏向させる弾性表面波を発生する弾性表面波発生
用電極と、弾性表面波により偏向されない非偏向光を透
過せしめ、偏向光を反射せしめる1つまた複数の平面光
導波路端と、偏向光、非偏向光を問わず全反射せしめる
1つまた複数の平面光導波路端と、偏向光と非偏向光を
集束させる1つの平面レンズと、偏向光と非偏向光が出
射する平面光導波路端部に設置した光検出器とを備えて
いることを特徴とする導波型光・音響スペクトラムアナ
ライザ。
A planar optical waveguide formed on the surface of the substrate, one planar lens that collimates a light beam having a divergence angle that is incident on one end face of the planar optical waveguide and propagates through the planar optical waveguide, and the planar lens. a surface acoustic wave generating electrode that generates a surface acoustic wave that deflects a collimated light beam; one or more planar optical waveguide ends that transmit unpolarized light that is not deflected by the surface acoustic wave and reflect polarized light; , one or more planar optical waveguide ends that cause total reflection of both polarized and non-polarized light, one planar lens that focuses the polarized light and non-polarized light, and a planar light guide that outputs the polarized light and non-polarized light. A waveguide type optical/acoustic spectrum analyzer characterized by comprising a photodetector installed at the end of a waveguide.
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