JPS63225707A - Pneumatic actuator - Google Patents

Pneumatic actuator

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Publication number
JPS63225707A
JPS63225707A JP5649587A JP5649587A JPS63225707A JP S63225707 A JPS63225707 A JP S63225707A JP 5649587 A JP5649587 A JP 5649587A JP 5649587 A JP5649587 A JP 5649587A JP S63225707 A JPS63225707 A JP S63225707A
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JP
Japan
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pneumatic actuator
bellows body
bellows
body part
rubber
Prior art date
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Pending
Application number
JP5649587A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Sugano
秀則 菅野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Seiki KK
Original Assignee
Fuji Seiki KK
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve the durability of a pneumatic actuator by forming it with an elastic body part made of rubber and a coiled spring. CONSTITUTION:The bellows body part 2 of a pneumatic actuator 1 whose contacted part is spirally shaped, is formed of a flexible thin film layer made of rubber or synthetic resin. A coil spring 7 for recovery, whose both ends are fixed to end members 3, 4, is joined with the contacted part of the bellows body part 2 in conformity with its spiral form. When air is fed under pressure from an air supply port 6 so that the bellows body part 2 is extended, the radial expansion is prevented by means of the coil spring 7, and thereby only the longitudinal extension is generated.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、比較的大きな内部圧力の変化に対しても耐え
るとともに、規則的なベロー波形を保持しつつ柔軟に伸
縮し得るエア式アクチュエータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a pneumatic actuator that can withstand relatively large changes in internal pressure and can flexibly expand and contract while maintaining a regular bellows waveform. .

〈従来例および問題点〉 一般に、ゴム等の柔軟素材で製造されたベローズは一定
肉厚の波形胴部を持ち、その中心軸方向に対する伸縮性
を有している。
<Conventional Example and Problems> In general, bellows manufactured from a flexible material such as rubber has a corrugated body portion with a constant thickness, and has elasticity in the direction of its central axis.

ところが、この伸縮性を利用して、例えばクリーンルー
ムにおける所定の機器をレシプロ作動させるため等のエ
ア式アクチュエータとして用いる場合には、胴部の両端
を閉成して密閉状態で伸縮させる必要がある。このとき
、内部の流体圧が変化するので理想の胴部波形すなわち
均一な波形で伸縮することができず、胴部に異形屈曲部
分を生じることが多い。
However, when using this elasticity as an air actuator for reciprocally operating a predetermined device in a clean room, for example, it is necessary to close both ends of the body and expand and contract in a sealed state. At this time, since the internal fluid pressure changes, it is not possible to expand and contract with an ideal torso waveform, that is, a uniform waveform, and irregularly bent portions often occur in the torso.

このような状態で伸縮を繰り返すと異形屈曲部分におけ
る材質疲労が進行し、耐久性が著しく低下するものであ
る。
If expansion and contraction are repeated in such a state, material fatigue will progress in the irregularly bent portions, resulting in a significant decrease in durability.

また、密閉状態でベロー胴部への内圧作用が加わるため
、柔軟な胴部が外周方向へ膨張してしまって、所定長の
作動ストローク及び作動力を取り出せないものとなって
いた。
Further, since internal pressure is applied to the bellows body in a sealed state, the flexible body expands in the outer circumferential direction, making it impossible to obtain a predetermined operating stroke and operating force.

く問題点を解決するための手段〉 本発明は、上記のような欠点を除去するために提案され
たものであり、 その目的は、密閉したままで伸縮する胴部の波形が常に
均一・規則的な形状を維持する機能と、エア圧を脱気モ
ードとした際のベロー胴部な迅速かつ確実に元位置に収
縮復帰させる機能とを1つのコイルスプリングで達成す
ることのできるエア式アクチュエータを提供することに
ある。
Means for Solving the Problems> The present invention was proposed to eliminate the above-mentioned drawbacks, and its purpose is to ensure that the waveform of the body that expands and contracts while being sealed is always uniform and regular. A pneumatic actuator that uses a single coil spring to maintain the shape of the bellows, and to quickly and reliably contract and return the bellows body to its original position when the air pressure is set to degassing mode. It is about providing.

本発明の他の目的は、柔軟なベロー胴部としつつ、所定
長の作動ストローク及び作動力を取り出すことのできる
エア式アクチュエータを提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a pneumatic actuator that has a flexible bellows body and can provide a predetermined length of actuation stroke and actuation force.

而して、上記本発明の目的は、「ゴム又は合成樹脂の薄
膜層により螺旋状ベローズに形成した弾性胴部と、該胴
部の波形頂部及び/又は谷部に一致するように密着又は
着脱可能に固定されたコイル状の復帰用スプリングと、
該胴部の両端部に気密に固定された端部材と、からなる
エア式アクチュエータ」によって達成される。
Therefore, the object of the present invention is to provide an elastic body formed into a spiral bellows by a thin film layer of rubber or synthetic resin, and an elastic body that is attached or detached so as to correspond to the corrugated peaks and/or troughs of the body. a coiled return spring that is fixed in place;
and end members airtightly fixed to both ends of the body.

〈実施例〉 次に、本発明を第1〜4図に示された実施例に従って、
更に詳しく説明することとする。
<Example> Next, the present invention was carried out according to the example shown in FIGS.
This will be explained in more detail.

第1図には本発明に係るエア式アクチュエータ(1)の
収縮時すなわち脱気モードの状態が示されている。(2
)はくびれ部を螺旋状に形成したベローズ胴部であり、
ゴム製又は合成樹脂製の柔軟な薄膜層で形成されている
FIG. 1 shows the pneumatic actuator (1) according to the present invention when it is contracted, that is, in a degassing mode. (2
) is a bellows body with a spiral constriction,
It is made of a flexible thin film layer made of rubber or synthetic resin.

(])、(4)は該ベロー胴部(2)の両端に気密に固
定された端部材であり、一方の端部材(3)にはワーク
等への連結部(5)が設けられている。また他方の端部
材(4)には第3図に示すように、コンプレッサ等の供
給機構(図示せず)に接続するためのエア供給口が設け
られている。
(]) and (4) are end members airtightly fixed to both ends of the bellows body (2), and one end member (3) is provided with a connecting part (5) to a workpiece, etc. There is. Further, as shown in FIG. 3, the other end member (4) is provided with an air supply port for connection to a supply mechanism (not shown) such as a compressor.

(7)は復帰用のコイルスプリングであり、上記ベロー
胴部(2)のくびれ部の螺旋形状に一致して沿うように
密着配設され、その両端は端部材(3)(4)に固定さ
れている。
(7) is a return coil spring, which is arranged in close contact with the spiral shape of the constriction of the bellows body (2), and its both ends are fixed to the end members (3) and (4). has been done.

而して、このコイルスプリング(7)のピッチを設定す
ることにより、脱気モードにおける両端部材(3) (
4)を任意の間隔で保持することができるものである。
By setting the pitch of this coil spring (7), both end members (3) (
4) can be held at arbitrary intervals.

第2.3図には、エア供給口(6)からエアを圧送して
ベロー胴部(2)を伸張させた状態が示されている。こ
のとき、ベロー胴部(2)は直径方向への内圧を受けて
、径方向に膨張しようとするが、コイルスプリング(7
)か1飼部(2)の外周な抱持しながら伸張するため、
その膨張は阻止されて均一・規則的なベロー波形を保持
しつつ縦軸方向への伸張のみが生じるものである。
FIG. 2.3 shows a state in which the bellows body (2) is expanded by feeding air under pressure from the air supply port (6). At this time, the bellows body (2) receives internal pressure in the diametrical direction and tries to expand in the radial direction, but the coil spring (7)
) or 1 to stretch while holding the outer circumference of the feed section (2).
The expansion is prevented, and only expansion in the vertical axis direction occurs while maintaining a uniform and regular bellows waveform.

一方、エア供給口(6)からエアを減圧脱気モードにす
ると、コイルスプリング(7)の復帰力により、ベロー
胴部(2)は速やかに第1図の元位置に復帰せしめられ
るものである。
On the other hand, when air is supplied from the air supply port (6) to decompression mode, the bellow body (2) is quickly returned to its original position as shown in Fig. 1 by the return force of the coil spring (7). .

従って、コイルスプリング(7)はベロー胴部(2)の
伸縮全体を通じて径方向への内圧に対する補強および規
則的な波形保持の作用と、内圧減少時における復帰作用
との二つの機能を有するものである。
Therefore, the coil spring (7) has two functions: reinforcing the internal pressure in the radial direction and maintaining a regular waveform throughout the expansion and contraction of the bellows body (2), and restoring the function when the internal pressure decreases. be.

第4図には、他の実施例が示されている。Another embodiment is shown in FIG.

(81)〜(84)はスライド式の伸縮自在軸(8)を
構成する軸部材であり、軸部材(旧)および軸部材(8
4)をそれぞれ端部材(4)および端部材(3)の対向
面に固定している。而して、例えばアクチュエータを横
向きに設置した場合にも、ベロー胴部(2)のたわみ等
によりアクチュエータ(1)の伸縮方向にズレな生じる
ことなく、伸縮自在軸(8)に案内されて中心軸方向に
右いて確実に伸縮作動し得るものである。
(81) to (84) are shaft members constituting the sliding telescoping shaft (8), including the shaft member (old) and the shaft member (8).
4) are fixed to the opposing surfaces of the end member (4) and the end member (3), respectively. Therefore, even if the actuator is installed horizontally, for example, the actuator (1) will not shift in the direction of expansion and contraction due to the bending of the bellows body (2), and will be guided by the telescoping shaft (8) and centered. It is axially right and can reliably expand and contract.

ここで用いられるベロー胴部(2)の素材は、は次の実
施例により製造されたものとするのが好ましい。
The material of the bellows body (2) used here is preferably one manufactured according to the following example.

すなわち、外周面を滑らかな螺旋状凹凸とした芯型を用
意し、これを所定濃度のラテックスゴム液等のゴム液槽
又は合成樹脂液槽(図示せず)内に浸漬後引き上げるこ
とにより外面に薄膜層を塗布形成する。この薄膜層が乾
燥しないうちにその上端部付近を若干幅だけ洗浄除去す
る。
That is, a core mold with smooth spiral irregularities on the outer peripheral surface is prepared, and the core mold is immersed in a rubber liquid tank such as a latex rubber liquid of a predetermined concentration or a synthetic resin liquid tank (not shown) and then pulled up. A thin film layer is applied and formed. Before this thin film layer dries, the vicinity of its upper end is cleaned and removed by a small width.

次いで、上記の浸漬工程から洗浄処理工程までを縁り返
すことにより、第1の薄膜層の外側に第2の薄膜層を一
体的に密着積層せしめる。なお、必要であれば更にこの
工程な繰り返して、所望の肉厚となるまで順次外側に薄
膜層を一体的に積層し、最後に芯材を脱型してベロー胴
部(2)を得るものである。
Next, the second thin film layer is integrally laminated on the outside of the first thin film layer by reversing the steps from the above-mentioned dipping step to the washing treatment step. In addition, if necessary, repeat this process further to integrally laminate thin film layers on the outside until the desired thickness is achieved, and finally remove the core material to obtain the bellows body (2). It is.

このようにして製造されたベロー胴部(2)の肉厚は、
塗布液の濃度と芯型の引き上げ速度によって異なるが、
一層当りの肉厚は数ミクロン単位で調製することができ
る。従って、極薄の柔軟なベローズ胴部に形成する際に
も、数層〜数十層に形成して屈曲強度の大きいベロー胴
部(2) とすることができるものである。
The wall thickness of the bellows body (2) manufactured in this way is:
It varies depending on the concentration of the coating liquid and the pulling speed of the core mold, but
The thickness of each layer can be adjusted to several microns. Therefore, even when forming an extremely thin and flexible bellows body, it is possible to form a bellows body (2) with high bending strength by forming several to several tens of layers.

なお、浸漬工程を一回だけとして必要な胴部肉厚を形成
することも本発明に含まれる実施例である。
Note that it is also an embodiment included in the present invention to form the necessary thickness of the body by performing the dipping step only once.

かかるベロー胴部(2)は、肉厚が薄いので屈曲柔軟性
に富むと同時に、カーボン等の異物を含有することがな
いので部分な強度と均質性な持つものである。
The bellows body (2) has a thin wall thickness, so it has excellent bending flexibility, and at the same time, it does not contain foreign substances such as carbon, so it has partial strength and uniformity.

また、複数のゴム層間に繊維や不織布を積層した状態で
浸漬工程を行うことにより、内圧に対する強度を大きく
することとしてもよい。
Alternatively, the strength against internal pressure may be increased by performing the dipping step with fibers or nonwoven fabric laminated between a plurality of rubber layers.

而して、このベロー胴部(2)の端部開口部に端部材(
3)(4)を接着等により気密に固定してアクチュエー
タ(1)に組立てるものであるく効 果〉 本発明に係るエア式アクチュエータによれば、密閉した
ままで伸縮するベロー胴部の波形を常に均一・規則的な
形状に維持することができるので、異形屈曲部分の発生
による部分的な材質劣化の心配がなく、耐久性に富むも
のである。
The end member (
3) Effects of assembling (4) into the actuator (1) by airtightly fixing it with adhesive or the like> According to the pneumatic actuator of the present invention, the waveform of the bellows body that expands and contracts while being sealed is Since it can always maintain a uniform and regular shape, there is no concern about local material deterioration due to the occurrence of irregularly bent parts, and it is highly durable.

また、柔軟なベロー胴部としながらも、所定長の作動ス
トローク及び作動力を持つものである。
Although the bellows body is flexible, it has a predetermined operating stroke and operating force.

さらに、エア圧を脱気モードとした際に、ベロー胴部が
迅速かつ確実に元位置に収縮して自己復帰する機能を併
せ持つことができる。
Furthermore, when the air pressure is set to the degassing mode, the bellows body can quickly and reliably contract to its original position and return to its original position.

而して、内部のエアがベローJU部外に放出されること
がないので、例えばクリーンルームのように厳しい塵芥
規制を要する場所における機器をレシプロ作動させるた
めのアクチュエータとして最適のものである。
Since the internal air is not released to the outside of the bellows JU, it is ideal as an actuator for reciprocally operating equipment in a place where strict dust regulations are required, such as a clean room.

更に、ベロー胴部の製造工程も、−=例の芯型を用いた
繰返しディッピング方式による複数層の一体膜形成であ
るので、ピンホールの発生を完全に防止することができ
るとともに、組立工程も簡単で安価なコストで製造する
ことができるものである。
Furthermore, since the manufacturing process for the bellows body is a multi-layer integral film formation using the repeated dipping method using the core mold as in the example, pinholes can be completely prevented and the assembly process can be simplified. It can be manufactured easily and at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図〜第2図は本発明に係るエア式アクチュエータの
一実施例を示す正面図、第3図は第2図における中央縦
断面図、第4図は他の実施例を示す中央縦断面図、であ
る。 (1)−−−−アクチュエータ、 (2) −一−ベロー胴部、 (3)−−−一 端部材、 (4)−一 端部材、 (6)−−−一 エア供給口、 (7) −m−復帰用スプリング、 (8)−−−一 伸縮軸。
1 to 2 are front views showing one embodiment of the pneumatic actuator according to the present invention, FIG. 3 is a central vertical sectional view in FIG. 2, and FIG. 4 is a central longitudinal sectional view showing another embodiment. Figure. (1)---actuator, (2)---one bellow body, (3)---one end member, (4)---one end member, (6)---one air supply port, (7 ) -m-Returning spring, (8)----1 Telescopic shaft.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 ゴム又は合成樹脂により螺旋状のベロー ズに形成した弾性胴部と、該胴部の波形頂部及び/又は
谷部に一致するように密着又は着脱可能に固定された コイル状の復帰用スプリングと、 該胴部の両端部に気密に固定された端部 材と、 からなるエア式アクチュエータ。 2、対面する端部材間に伸縮可能な芯軸が介在固定され
てなる前記特許請求の範囲第 1項記載のエア式アクチュエータ。
[Scope of Claims] An elastic body made of rubber or synthetic resin in the form of a spiral bellows, and a coil-shaped elastic body that is tightly or removably fixed to match the corrugated peaks and/or troughs of the body. A pneumatic actuator comprising: a return spring; and end members airtightly fixed to both ends of the body. 2. The pneumatic actuator according to claim 1, wherein an extensible core shaft is interposed and fixed between the facing end members.
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