JPS63216354A - 半導体装置の外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の外観検査装置に関するものである
。

〔従来の技術〕

半導体装置の製造工程中には、その外観を検査して良品
と不良品とに選別する外観検査装置が設けられている。

第２図は従来におけるこの種の外観検査装置の斜視図で
あってこれを同図に基づいて説明すると、傾斜台１上に
は、検査対象物としての半導体装置２を滑走させるガイ
ドレール３が＃１ソ全長にわたって敷設されており、そ
の始端部には、各一対の分離ローラ４と加速ローラ５と
からなり半導体装置２を一定間隔で送り出す送り出し機
構６が設けられている。半導体装置２の滑走径路内には
、半導体装置２の通過を検出して信号を発するセ／す７
が、画像処理ユニット８との間を電気接続されて設けら
れており、また、センナＴの上方には、画像処理ユニッ
ト８を介してセンサ７と電気接続され通過する半導体装
置２を瞬時照明する閃光装置９が設けられている。１０
はセンサ７の上方にあって画像処理ユニット８との間を
電気接続されたテレビカメラであって、閃光装置で照明
された半導体装置２を撮影してその瞬時ｌＩ！ＩＩ像を
画像処理ユニット８へ送るように構成されている。ガイ
ドレール３の終端部には、良品用のレール１１と不良品
用のレール１２とが平行して敷設されておシ、ガイドレ
ール３の終端とレール１１ｉ２の始端との間には、揺動
によってガイドレール３をレール１１側とレール１２側
とへ選択的に連結させる選別機構としての切替レール１
３が設けられている。そしてこの切替レールは、前記画
浄処理ユニット８に接続された制御装置１４に電気接続
されておシ、この制御装置１４からの指令で揺動して切
替えられるように構成されている。

以上のように構成されていることにより、ガイドレール
３に供給された半導体装置２は、分離ローラ４で挾持さ
れて分離されたのち、加速ローラ５で加速されて一定間
隔でガイドレール３上へ送り出されて滑走する。この半
導体装置２がセンサＴの位置を通過しようとすると、セ
ンサ７がこれを検出して１ｄ号を発し、閃光装置９がこ
れを瞬時照明し、テレビカメラ１０が撮影してその瞬時
画像を画像処理ユニット８へ送る。一方、切替レール１
３は通常、図の鎖線位置にろり、半導体装置２はレール
１１へ送９込まれて集積される。そして、センサ７を通
過する半導体装置２の外観が不良の場合には、テレビカ
メラ１０が撮影したこの不良品の瞬時画像を画像処理ユ
ニット８が検出して制御装置１４へ信号を送るので、制
御装置からの信号で切替レール１３が図の実線位置へ切
替わり、半導体装置２はレール１２へ送り込まれて不良
品として集積される。

〔発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、このような従来の外観検査装置において
は、不良品が到看するまでに切替レール１３が完全に切
替っていないと事故になるので、コノ動作の遅い切替レ
ール１３に合わせて全体の滑走速度を設定していた。し
たがって不良品の発生率が通常１％未満と低いにもかか
わらず良品の場合も不良品に合わせた上記の低速度で運
転することＫなり、処理能力が低下すると言う問題があ
った。

本発明は以上のような点に鑑みなされた本ので、選別機
構の動作時間に制約されることなく全体的な処理能力の
向上を可能にした半導体装置の外観検査装置を提供する
ことを目的としている。。

〔問題点を解決するための手段」 このような目的全達成するために本発明では、選別機構
の上流側に、画像処理ユニット側からの不良品検出信号
により作動してガイドレール滑走中の半導体装置を減速
ないしは停止させる減速機構を設けるとともに、滑走径
路始端の半導体装直送υ出し機構には、減速機構に同期
して送り出し速度を減速ないしは停止させる減速手段を
設けた。

〔作用〕

平時は減速機構が解放されていて選別機構が良品排出側
へ切替えられているので、半導体装置は減速機構を通過
して排出される。不良品が送り出嘔れてくるとテレビカ
メラがこれを撮影して画像処理ユニットへこの画像を送
るので、選別機構が不良品排出側へ切替わる。これと同
時に減速機構が作動して不良品を選別機構の手前で一旦
減速ないしは停止させるので、選別機構は充分の余裕を
もって動作できる。またこれと同時にガイドレール始端
の送り出し機構も減速ないしは停止されるので、送り出
し間隔が一時的に拡が９、ガイドレール内で半導体装置
の滑走が渋滞することがない。

半導体装置の処理速度は選別機構の作動速度と関係なく
設定できる。

〔実施例〕

第１図は本発明に係る半導体装置の外観検査装置の実施
例を示す斜視図であって、図において第２図に示す従来
の装置と同構成の部材にはこれと同符号を付してその説
明を省略する。本装置においては、選別機構としての切
替レール１３の上流側に近接して減速機構２０が設けら
れている。この減速機構２０ば、ガイドレール３を挾ん
でその両側に一対ずつ前後２組配置された減速ローラ２
１．２２を備えており、この減速ローラ２１゜２２には
図示しない増減速装置が付設されている。

そして、減速ローラ２１．２２は、制御装置１４との間
を電気接続されており、平時は増速されて半導体装置２
を走行駆動しているが、不良品通過時には制御装置１４
からの指令で減速ないしは係止されて半導体装置２を減
速ないしは停止させるようにイ、η成されている。一方
、？ｓｉｌ記送り出し機構６も制御装置１４との間を電
気接続されており、不良品発生時には、減速機構２０へ
と同時に送り出し機構にも制御装置１４から信号が送ら
れ、送り出し速度が減速ないしは停止されるように構成
されている。

以上のように構成された外観検査装置の動作を説明する
。平時には切替レール１３が図に鎖線で示すようにレー
ル１１側に切替わっているとともに、減速ローラ２１，
２２が増速されている。モして半導体装置２を供給する
と、分離ロー２４で分離され、加速ローラ５で加速され
て一定間隔でガイドレール３上へ送り出されて滑走する
。この半導体装置２は前述したようにして検査され、良
品の場合には、増速されている減速ロー２２１゜２２で
走行駆動されたのち、良品用のレール１１へ送り込まれ
て集積される。また、不良品が送り出されてきてセンサ
７の前を通過すると、テレビカメラ１０がこれを撮影し
て画像処理ユニット８へこの瞬間画像ケ送るので、制御
装置１４を介して切替レール１３に信号が送られ、切替
レール１３が図の実線位置へ回動して不良品側へ切替わ
るとともに、これと同時に減速機構２０へも信号が送ら
れ、減速ローラ２１，２２が減速ないしは停止される。

この結果、不良の半導体装置２は、減速ローラ２１，２
２により滑走を減速ないしは停止されるので、この間に
充分な余裕をもって切替レール１３が切替わシ、完全に
切替わってから減速ローラ２１，２２で送り出された″
Ｐ４体装型装置２良品側のレール１２へ送９込まれて集
積される。

さらに、減速機構２０へ信号が送られると同時に送り出
し機構６へも信号が送られ、分離ロー２４と加速ローラ
５とが減速ないしは停止されて、半導体装置２の送り出
し間隔が拡がるので、上記切替動作に時間がかかつても
、ガイド３内で半導体装ｆ２の滑走が渋滞することがな
い。そして、上記不良品発生時における切替動作時間を
含むサイクルタイムは、良品の場合のサイクルタイムの
数倍かかるが、不良品の発生率が通常１％未満であるこ
とから、装置の処理能力にほとんど影響を与えない。す
なわち動作時間の遅い切替動作に関係なく滑走速度を設
定できるので、切替時間に合わせて滑走速度を設定して
いた従来と比軟して処理能力が大幅に増大する。

なお、本実施例では、良品、不良品の切替機構として、
切替レール１３を例示したが、収納機構を有する回転テ
ーブルやベルト式シフトンータ等の機構でもよいことは
言うまでもない。またガイドレールは傾斜レールでなく
垂直レールや水平レールでもよい。さらに本実施例では
減速ローラを２ｍ設けた例を示したが、半導体装置同士
が衝突に耐えられれば、１組でもよい。また、本実施例
では減速ローラ２１，２２を増減速ないしは停止可能に
形成した例を示したが、これを低速回転または停止状態
にして平時はガイドレール３から離間させ、不良品発生
時には信号によりガイドレール３に近接させて半導体装
置２を減速ないしは停止させるようにしてもよい。

〔発明の効果〕

以上の説明により明らかなように本発明によれば、選別
機構の上流側に、画像処理ユニット側からの不良品検出
信号により作動してカイトレールに滑走中の半導体装置
を減速ないしは停止させる減速機構を設けるとともに、
滑走径路始端の半導体装置送り出し機構には、減速機構
に同期して送り出し速度を減速ないしは停止させる減速
手段を設けたことにより、通常発生率が１％未満の不良
品発生時にのみ動作時間が延長するだけであって、大半
を占める良品処理時間は延長せず、不良品切替動作と関
係なく半導体装置の滑走速度を設定できるので、切替動
作時間を基準にしていた従来と比較して処理能力が大幅
に向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る半導体装置の外観検査装置の実施
例を示す斜視図、第２図は従来の半導体装置の外観検査
装置の斜視図である。 ２°・Φ・半導体装置、３・・・Φガイドレール、４・
・拳・分１＠ローラ、５＠・・・加速ローラ、６・・・
・送り出し機構、８・・・・画像処理ユニット、９・・
・・閃光装置、１０・・・・テレビカメラ、１１．１２
・・・轡レール、１３・・・・切替レール、１４・・・
・制御装置、２０・・・・減速機構、２１．２２・・・
・減速ローラ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 送り出し機構により一定間隔で送り出された半導体装置
   を滑走させるガイドレールと、このガイドレール上を滑
   走中の半導体装置を閃光照明と同期して撮影するテレビ
   カメラと、このテレビカメラによる瞬間画像により前記
   半導体装置の外観検査を行う画像処理ユニットと、この
   画像処理ユニットによる検査結果により作動し前記ガイ
   ドレール上を滑走する半導体装置を良品と不良品とに選
   別して別径路へ送り込む選別機構とを備えた半導体装置
   の外観検査装置において、前記画像処理ユニット側から
   の不良品検出信号により作動してガイドレール滑走中の
   半導体装置を減速ないしは停止させる減速機構を、前記
   テレビカメラによる撮影箇所と前記選別機構との間に設
   けるとともに、前記送り出し機構に、前記減速機構の減
   速ないしは停止に同期してこの送り出し機構の送り出し
   速度を減速ないしは停止させる減速手段を付設したこと
   を特徴とする半導体装置の外観検査装置。