JPS63191660U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63191660U JPS63191660U JP8259487U JP8259487U JPS63191660U JP S63191660 U JPS63191660 U JP S63191660U JP 8259487 U JP8259487 U JP 8259487U JP 8259487 U JP8259487 U JP 8259487U JP S63191660 U JPS63191660 U JP S63191660U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical window
- excimer laser
- laser oscillator
- passing
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の構成を示す構成図
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す構成
図である。 主要部分の符号の説明、１……ガスチエンバ、
５，６……光学窓、９，１０……薄膜ヒータ、１
１……ヒータ電源、１２，１３……フランジ。
、第２図は本考案の他の実施例の構成を示す構成
図である。 主要部分の符号の説明、１……ガスチエンバ、
５，６……光学窓、９，１０……薄膜ヒータ、１
１……ヒータ電源、１２，１３……フランジ。
Claims (1)
- レーザビームを通過させるための光学窓が設けら
れたガスチエンバを有するエキシマレーザ発振器
であつて、前記光学窓を外部から加熱する手段を
設けたことを特徴とするエキシマレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8259487U JPS63191660U (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8259487U JPS63191660U (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63191660U true JPS63191660U (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=30935381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8259487U Pending JPS63191660U (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63191660U (ja) |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP8259487U patent/JPS63191660U/ja active Pending