JPS63182623A - Projector - Google Patents

Projector

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Publication number
JPS63182623A
JPS63182623A JP1396787A JP1396787A JPS63182623A JP S63182623 A JPS63182623 A JP S63182623A JP 1396787 A JP1396787 A JP 1396787A JP 1396787 A JP1396787 A JP 1396787A JP S63182623 A JPS63182623 A JP S63182623A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
projector
light
optical
emitting element
Prior art date
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Pending
Application number
JP1396787A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigeru Aoyama
茂 青山
Yasumasa Sakai
酒井 泰誠
Shiro Ogata
司郎 緒方
Maki Yamashita
山下 牧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Tateisi Electronics Co filed Critical Omron Tateisi Electronics Co
Priority to JP1396787A priority Critical patent/JPS63182623A/en
Publication of JPS63182623A publication Critical patent/JPS63182623A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To vary the beam diameter of a projection light beam optionally and to facilitate optical-axis adjusting operation, etc., by arranging two cylindrical lenses in front of a light emitting element so that their optical axes are aligned with the optical axis of the light emitting element, and allowing one cylindrical lens to rotate on its optical axis. CONSTITUTION:A semiconductor laser 12 as the light emitting element is arranged in the case 11 of a projector 10 and the two plane cylindrical lenses 1 and 2 are provided in front of the laser so that the optical axes are aligned; and the cylindrical lenses 1 and 2 are supported on the case 11 rotatably on their optical axes. Thus, the lens 2 is rotated, to the projection light beam of the projector 10 is deformed from a collimated beam to a diverged beam or vice versa and its diameter is varied optionally. Consequently, the beam diameter of the projection light beam is increased to perform positioning and then the beam diameter is reduced gradually to make a highly accurate adjustment, thereby facilitating the operation.

Description

【発明の詳細な説明】 発明の要約 光電スイッチ等の投光器の光学系を2枚の平板シリンド
リカル・レンズで構成し、少なくとも一方のシリンドリ
カル・レンズを光軸を中心に回転できるようにした。こ
れにより出射ビーム・パターンを任意の大きさに変化さ
せることができ。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Summary of the Invention The optical system of a light projector such as a photoelectric switch is composed of two flat cylindrical lenses, and at least one of the cylindrical lenses is rotatable around an optical axis. This allows the output beam pattern to be changed to any size.

投、受光器のセツティング時の光軸調整が容易になった
Optical axis adjustment is now easier when setting up the emitter and receiver.

技術分野 この発明は投光器に関し、たとえば光電スイッチの投光
器に関する。
TECHNICAL FIELD This invention relates to a light projector, such as a light projector for a photoelectric switch.

従来技術とその問題点 光電スイッチは被検出物体から離れた位置において非接
触で被検出物体の有無等を検出できるために、各種の生
産ライン、製造工程において広範囲に利用されている。
Prior Art and Its Problems Photoelectric switches are widely used in various production lines and manufacturing processes because they can detect the presence or absence of an object to be detected in a non-contact manner at a location away from the object to be detected.

最近、被検出物体の微小化、検出距離の長距離化の要求
をンZたすために。
In order to meet the recent demands for miniaturization of detected objects and longer detection distances.

光源として半導体レーザを用いる光電スイッチが出現し
てきた。
Photoelectric switches that use semiconductor lasers as light sources have appeared.

しかしながら、光源に半導体レーザを用いた光電スイッ
チ、とくに投光器と受光器が対向配置される透過形の光
電スイッチであって投光器の光源に半導体レーザが用い
られたものにおいては、半導体レーザの出射光ビームの
径か小さくかつその広がり角も小さいので、投光器と受
光器を設置するときの光軸調整が非常に困難で手間がか
かるという問題かあった。
However, in a photoelectric switch that uses a semiconductor laser as a light source, especially a transmission-type photoelectric switch in which an emitter and a receiver are arranged facing each other and a semiconductor laser is used as the light source of the emitter, the output light beam of the semiconductor laser Since the diameter of the beam is small and its spread angle is also small, it is very difficult and time-consuming to adjust the optical axis when installing the emitter and receiver.

発明の目的 この発明は、出射光ビームのビーム径を任意に変えるこ
とのできる投光器を提供し、上記の光軸調整等を容易化
することを目的とする。
OBJECTS OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a projector that can arbitrarily change the beam diameter of an emitted light beam, and to facilitate the above-mentioned optical axis adjustment.

発明の構成と効果 この発明による投光器は、光源としての発光素子の前方
において、2枚のシリンドリカル・レンズが、それらの
光軸が発光素子の光軸と一致するようにそれぞれ配置さ
れ、少なくとも一方のシリンドリカル・レンズが光軸を
中心に回転自在であることを特徴とする。光源としての
発光素子には半導体レーザのみならず発光ダイオード等
も用いることができる。
Structure and Effect of the Invention In the projector according to the present invention, two cylindrical lenses are arranged in front of a light emitting element as a light source so that their optical axes coincide with the optical axis of the light emitting element, and at least one of the cylindrical lenses is arranged in front of a light emitting element as a light source. It is characterized by a cylindrical lens that is rotatable around the optical axis. As a light emitting element as a light source, not only a semiconductor laser but also a light emitting diode or the like can be used.

この発明によると、少なくとも一方のシリンドリカル・
レンズを回転させることによって、投光器の出射光ビ〒
ムをコリメート拳ビームから発散ビームにまたはこの逆
に変形してその径を任意に変えることが可能である。し
たがって光軸調整時には、まず出射光ビームのビーム径
を大きくしておいて大体の位置決めをし、ビーム径を次
第、に縮小していくことにより精度の高い調整が行なえ
るようになり、この作業が容易となる。また、この発明
の投光器を光電スイッチに応用した場合に。
According to this invention, at least one cylindrical
By rotating the lens, the beam of light emitted from the projector can be adjusted.
It is possible to change the diameter arbitrarily by transforming the beam from a collimated fist beam to a diverging beam or vice versa. Therefore, when adjusting the optical axis, first increase the beam diameter of the emitted light beam, determine the approximate position, and then gradually reduce the beam diameter to achieve highly accurate adjustment. becomes easier. Also, when the floodlight of this invention is applied to a photoelectric switch.

被検出物体の大きさや検出距離に応じて最適ビーム・パ
ターンを選択できるので便利である。
This is convenient because the optimum beam pattern can be selected depending on the size of the object to be detected and the detection distance.

実施例の説明 まずこの発明で用いられるシリンドリカル・レンズにつ
いて説明する。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS First, a cylindrical lens used in the present invention will be explained.

第1図(A)は、いわゆる平板シリンドリカル・レンズ
といわれるもので、フレネル・レンズの一種である。第
1図(A)の破線で示す方形部分aと等価な通常のシリ
ンドリカル・レンズが第1図(B)に示されている。こ
の明細書においては、第1図(A) (B)に矢印で示
すように光の集光作用を生じさせない方向をレンズの方
向と定義する。第1図(^)に示す平板シリンドリカル
・レンズの外形は円形である。これは後述するようにこ
のレンズを回転させるために好適な形状としたためであ
り、レンズの外形形状は方形でも、その他の形でもよい
FIG. 1A shows what is called a flat cylindrical lens, which is a type of Fresnel lens. A conventional cylindrical lens equivalent to the rectangular portion a shown in broken lines in FIG. 1(A) is shown in FIG. 1(B). In this specification, the direction in which no light condensing action occurs, as shown by the arrows in FIGS. 1(A) and 1(B), is defined as the direction of the lens. The outer shape of the flat cylindrical lens shown in FIG. 1 (^) is circular. This is because the lens has a shape suitable for rotation as will be described later, and the outer shape of the lens may be rectangular or other shapes.

第1図(A)は平板シリンドリカル・レンズを模式的に
示しているが、方形部分aの形状をやや誇張して描いた
ものが第2図に示されている。この図からも分るように
平板シリンドリカル・レンズは一方向に連なる直線状凹
凸パターンから構成されている。凹凸パターンにはブレ
ーズ化されたものが示されているが、ステップ状のもの
を用いてもよい。凹凸の深さはたとえば通常1μm程度
である。このような凹凸パターンによって入射光がフレ
ネル回折される結果、光は一直線状スポットを形成する
ように集光される。この−直線状スポットの長手方向が
第2図にも矢印で示すシリンドリカルやレンズの方向と
一致する。
Although FIG. 1A schematically shows a flat cylindrical lens, FIG. 2 shows a slightly exaggerated shape of the rectangular portion a. As can be seen from this figure, the flat cylindrical lens is composed of a linear concavo-convex pattern that extends in one direction. Although a blazed uneven pattern is shown, a stepped pattern may also be used. The depth of the unevenness is, for example, usually about 1 μm. As a result of Fresnel diffraction of the incident light by such a concavo-convex pattern, the light is focused to form a linear spot. The longitudinal direction of this linear spot coincides with the direction of the cylindrical or lens indicated by the arrow in FIG. 2 as well.

上記のような平板シリンドリカル・レンズは射出成形そ
の他のやり方によって透明樹脂で一体成形することがで
きる。
The flat cylindrical lens as described above can be integrally molded from transparent resin by injection molding or other methods.

この樹脂成形のための平板シリンドリカル・レンズの雌
型は種々のやり方でこれをつくることができるが、たと
えば次のようにして作製すればよい。
The female mold of the flat cylindrical lens for resin molding can be made in various ways, for example, as follows.

所定の基板上に電子線レジストを塗布し、電子線描画法
によりレジスト上に平板シリンドリカル・レンズ・パタ
ーンを描画し、その後、このレジストを現像する。そし
て、基板上の残膜レジスト・パターンをドライΦエツチ
ングによって基板に転写する。この基板が雌型となる(
特願昭81−3419参照)。
An electron beam resist is applied onto a predetermined substrate, a flat cylindrical lens pattern is drawn on the resist by electron beam lithography, and then this resist is developed. Then, the remaining resist pattern on the substrate is transferred to the substrate by dry Φ etching. This board becomes the female mold (
(See patent application No. 81-3419).

または、上記の残膜レジスト・パターンを雄型として電
鋳法によって雌型を形成する。すなわち、残膜レジスト
・パターンに金属をめっきし。
Alternatively, a female mold is formed by electroforming using the above residual film resist pattern as a male mold. That is, the remaining resist pattern is plated with metal.

その後、残膜パターンおよび基板を有機溶剤等で溶解す
ることにより、金属めっき部分のみを残す(特願昭Bl
−3420参照)。
After that, by dissolving the remaining film pattern and the substrate with an organic solvent, only the metal plating part is left (patent application Sho Bl.
-3420).

第3図はこの発明の実施例を示している。投光器10の
ケース11内には発光素子としての半導体レーザ12と
、その前方に配置された2つの平板シリンドリカル・レ
ンズ1.2とが設けられている。半導体レーザ12およ
びレンズ1と2の光軸は相互に一致している。シリンド
リカル・レンズ1はケースIIに固定され、レンズ2は
ケースIfにその光軸を中心として回転自在に支持され
ている。
FIG. 3 shows an embodiment of the invention. A semiconductor laser 12 as a light emitting element and two flat cylindrical lenses 1.2 arranged in front of the semiconductor laser 12 are provided in a case 11 of the projector 10. The optical axes of the semiconductor laser 12 and lenses 1 and 2 coincide with each other. Cylindrical lens 1 is fixed to case II, and lens 2 is supported by case If so as to be rotatable about its optical axis.

レンズ2を直接にケース11に支持させても、レンズ2
を保持部材に固定し、この保持部材をケース。
Even if the lens 2 is directly supported by the case 11, the lens 2
is fixed to the holding member, and this holding member is attached to the case.

11に回転自在に設けるようにしてもよい。レンズ2ま
たはその保持部材には後述するように光軸調整等のため
にレンズ2を回転させるためのつまみ2aが設けられて
いる。レンズ2は手動回転ではなく、モータ等によって
回転させるようにすることももちろん可能である。
11 so as to be rotatable. The lens 2 or its holding member is provided with a knob 2a for rotating the lens 2 for purposes such as optical axis adjustment, as will be described later. It is of course possible to rotate the lens 2 not by manual rotation but by a motor or the like.

第3図においては2つの平板シリンドリカル・レンズl
と2の方向は直交している。このことによって後述する
ようにほぼ真円のコリメート光が得られる。
In Figure 3, two flat cylindrical lenses l
The directions of and 2 are orthogonal. As a result, almost perfectly circular collimated light can be obtained as described later.

第5図は第3図に示す光学系を分析的に表わすものであ
り、第4図は第5図で用いられる座標系を示している。
FIG. 5 is an analytical representation of the optical system shown in FIG. 3, and FIG. 4 shows the coordinate system used in FIG.

半導体レーザ■2の光軸すなわち出射レーザ・ビームの
伝播方向をZ軸とする。よく知られているように半導体
レーザの出射光の広がり角は横方向と縦方向とでは異な
っている。そこで、レーザ出射光の広がり角が最大値を
示す方向(最大角をβとする)をY軸方向にとる。X軸
方向では出射光の広がり角は最小になる(最小法がり角
をαとする)。第5図(A) (B)においては、平板
シリンドリカル・レンズ1.2はより分りやすくするた
めに凸面を有する従来のシリンドリカル・レンズとして
描かれている。
The optical axis of the semiconductor laser 2, ie, the propagation direction of the emitted laser beam, is the Z-axis. As is well known, the spread angle of the emitted light from a semiconductor laser is different in the horizontal direction and the vertical direction. Therefore, the direction in which the spread angle of the laser emitted light shows the maximum value (the maximum angle is assumed to be β) is taken as the Y-axis direction. In the X-axis direction, the spread angle of the emitted light is the minimum (the minimum subnormal angle is α). In FIGS. 5A and 5B, the flat cylindrical lens 1.2 is depicted as a conventional cylindrical lens with a convex surface for better clarity.

第5図(A)はY−Z平面を示している。このY−Z平
面内において、半導体レーザ12のY方向に発散する出
射光成分(広がり角β)が第1のシリンドリカル・レン
ズ1によってコリメートされるように、レンズ1の焦点
距離およびレンズ1とレーザ12との間隔が決定される
。第1のレンズ1によってコリメートされた光は、第2
のレンズ2によって全く影響を受けない。
FIG. 5(A) shows the Y-Z plane. In this Y-Z plane, the focal length of the lens 1 and the distance between the lens 1 and the laser are adjusted so that the emitted light component (spread angle β) of the semiconductor laser 12 that diverges in the Y direction is collimated by the first cylindrical lens 1. 12 is determined. The light collimated by the first lens 1 is
is not affected at all by lens 2.

第5図(B)はX−Z平面を示している。この平面内に
おいて、半導体し〜ザI2のX方向に広がりながら出射
する光成分(広がり角α)が第2のレンズ2によってコ
リメートされるように、第2のレンズ2の焦点距離、レ
ンズ2とレーザ12との間の距離等が定められる。この
X−Z平面内においては、半導体レーザ12の出射光は
第1のレンズ1によって全く影響を受けない。
FIG. 5(B) shows the X-Z plane. In this plane, the focal length of the second lens 2 is adjusted so that the light component (spread angle α) emitted from the semiconductor while spreading in the X direction of the semiconductor I2 is collimated by the second lens 2. The distance to the laser 12, etc. are determined. Within this XZ plane, the light emitted from the semiconductor laser 12 is not affected by the first lens 1 at all.

第5図(C)は第5図(B)のC−C線断面を示してい
る。上述のように半導体レーザの出射光はそれぞれY方
向、X方向においてコリメートされるので、コリメート
光の断面は真円となる。
FIG. 5(C) shows a cross section taken along line CC in FIG. 5(B). As described above, the emitted light from the semiconductor laser is collimated in the Y direction and the X direction, respectively, so the cross section of the collimated light becomes a perfect circle.

第6図は第2の平板シリンドリカル・レンズ2を90°
回転させ、そのレンズの方向を第1のレンズ1のそれと
同方向にした状態を示している。第7図は第6図の光学
系を分析的に示すものである。
Figure 6 shows the second flat cylindrical lens 2 at 90°.
A state in which the lens is rotated so that the direction of the lens is the same as that of the first lens 1 is shown. FIG. 7 shows analytically the optical system of FIG.

第7図(A)において、第1のレンズ1によってコリメ
ートされた光成分は第2のレンズ2によって点Pに集光
され、それ以降では発散光となる。
In FIG. 7(A), the light component collimated by the first lens 1 is focused at a point P by the second lens 2, and thereafter becomes diverging light.

第7図(B)において、半導体レーザ12の出射光のX
方向成分は2つのレンズ1,2のいずれによっても全く
影響を受けずに広がり角αで発散しながら伝播していく
。したがって1点Pよりも遠い地点すなわち第7図(B
)のC−C線断面では、光ビーム断面は第7図(C)に
示すようにかなり太きな楕円形となる。
In FIG. 7(B), X of the emitted light from the semiconductor laser 12 is
The directional component is completely unaffected by either of the two lenses 1 and 2 and propagates while diverging at a spread angle α. Therefore, a point farther than one point P, that is, FIG. 7 (B
), the light beam cross section becomes a fairly thick ellipse as shown in FIG. 7(C).

第2の平板状シリンドリカル・レンズ2のみならず第1
の組板状シリンドリカル・レンズ1もまた回転自在とし
てもよい。これらのレンズ1,2を適当に回転調整する
ことによって、焦点Pの位置1点P以降において発散す
るレーザ光のX、Y方向における発散角を任意に変化さ
せることが可能となる。
Not only the second flat cylindrical lens 2 but also the first
The assembled plate-like cylindrical lens 1 may also be rotatable. By suitably adjusting the rotation of these lenses 1 and 2, it is possible to arbitrarily change the divergence angle in the X and Y directions of the laser beam that diverges after the position P of the focal point P.

以」二のように、少なくともいずれか一方のシリンドリ
カル・レンズを回転させることによって。
By rotating at least one of the cylindrical lenses as described above.

投光器10の出射光ビームをコリメート・ビームにする
ことも発散ビームとすることもできるし2発散角を任意
に変えることもできる。したがって。
The light beam emitted from the projector 10 can be a collimated beam or a diverging beam, and the two divergence angles can be changed arbitrarily. therefore.

この投光器10を透過形光型スイッチの投光器として用
いた場合には光軸調整が容易となる。
When this projector 10 is used as a projector for a transmission type optical switch, optical axis adjustment becomes easy.

光軸:A整の様子が第8図に示されている。まず第8図
(A)に示すように、投光器10の投射光ビームの広が
り角を大きくしておいて、投光器と受光器の光軸をおお
よその範囲で一致させ1次に第8図(B)に示すように
、投射光ビームの広がり角を次第に小さくしながら、よ
り正確な光軸合せを行なっていき、i&後に第8図(C
)に示すようにほぼ完全なコリメート光として最終的に
両器の光軸を一致させる。
Optical axis: A state of alignment is shown in FIG. First, as shown in FIG. 8(A), the spread angle of the projected light beam of the projector 10 is increased, and the optical axes of the projector and receiver are aligned within a rough range. ), the divergence angle of the projected light beam is gradually reduced to achieve more accurate optical axis alignment, and after i &
), the optical axes of both instruments are finally aligned to create almost completely collimated light.

この発明による投光器は光電スイッチ以外にも種々応用
できるが、各種応用のすべてにおいて投光器から得られ
る投射光ビームを最終的にコリメート・ビームにする必
要がないときもある。透過形9反射形の光電スイッチに
おいても、被検出物体の位置、大きさ、検出能力等によ
って9投射光ビームをやや発散ぎみの光にして使用する
ことも可能であり、そのようにした方が好ましい場合も
ある。
Although the projector according to the present invention can be used in a variety of applications other than photoelectric switches, there may be cases in which it is not necessary to ultimately convert the projected light beam obtained from the projector into a collimated beam in all of the various applications. Even with a transmissive type 9 reflective photoelectric switch, it is possible to use the 9 projected light beam with a slightly divergent light depending on the position, size, detection ability, etc. of the object to be detected, and it is better to do so. In some cases it may be preferable.

上記実施例ではシリンドリカル・レンズとして平板シリ
ンドリカル・レンズが用いられている。
In the above embodiment, a flat cylindrical lens is used as the cylindrical lens.

この平板シリンドリカル・レンズは上述のようにプラス
チックで作製することができるので、従来の凸面をもつ
光学シリンドリカル・レンズに比べて小型、軽量化を図
ることができ、そのために投光器の光学系をコンパクト
にまとめることが、可能となる。
Since this flat cylindrical lens can be made of plastic as mentioned above, it can be made smaller and lighter than conventional optical cylindrical lenses with convex surfaces, making the optical system of the projector more compact. It is possible to summarize.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はシリンドリカル・レンズを説明するためのもの
で、第1図(A)は平板シリンドリカル・レンズを模式
的に、第1図(B)は従来の凸面を有するシリンドリカ
ル・レンズを斜視的にそれぞれ示し、第2図は第1図(
A)に示された平板シリンドリカル・レンズの一部の形
状を拡大して示す斜視図である。 第3図から第7図はこの発明の実施例を示し。 第3図は投光器の構成を示す斜視図であって2つのシリ
ンドリカルゆレンズの方向が直交している場合を示し、
第4図は光学系の座標系を示し、第5図は第3図の光学
系を分析的に示すもので、第5図(A)はy−z平面を
、第5図(B)はX−Z平面を、第5図(C)は第5図
(B)のC−C線断面をそれぞれ示し、第6図は2つの
シリンドリカル・レンズの方向が平行な場合の投光器の
内部構成を示す斜視図、第7図は第6図の光学系を分析
的に示し、第7図(A)はY−Z平面を、第7図(B)
はX−Z平面を、第7図(C)は第7図(B)のC−C
線断面をそれぞれ示している。 第8図(A) 、 (B) 、 (C)は光軸調整時に
投光器の出射光ビームの広がり角を順次小さくしていく
様子を示すものである。 1.2・・・平板シリンドリカル・レンズ。 10・・・投光器、11・・・ケース。 12・・・半導体レーザ。 以  上
Figure 1 is for explaining a cylindrical lens. Figure 1 (A) is a schematic diagram of a flat cylindrical lens, and Figure 1 (B) is a perspective view of a conventional cylindrical lens with a convex surface. Figure 2 is shown in Figure 1 (
It is a perspective view which expands and shows the shape of a part of flat cylindrical lens shown in A). 3 to 7 show embodiments of the invention. FIG. 3 is a perspective view showing the structure of the projector, showing the case where the directions of the two cylindrical lenses are orthogonal;
Figure 4 shows the coordinate system of the optical system, and Figure 5 shows the optical system in Figure 3 analytically, with Figure 5 (A) showing the y-z plane, and Figure 5 (B) showing the y-z plane. Figure 5(C) shows the cross section along the line C-C of Figure 5(B), and Figure 6 shows the internal configuration of the projector when the directions of the two cylindrical lenses are parallel. 7 shows the optical system of FIG. 6 analytically, FIG. 7(A) shows the Y-Z plane, and FIG. 7(B) shows the optical system shown in FIG.
is the X-Z plane, and Figure 7 (C) is the C-C plane of Figure 7 (B).
Each line cross section is shown. FIGS. 8(A), 8(B), and 8(C) show how the spread angle of the light beam emitted from the projector is gradually reduced during optical axis adjustment. 1.2... Flat cylindrical lens. 10... Floodlight, 11... Case. 12... Semiconductor laser. that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 発光素子の前方において、2枚のシリンドリカル・レン
ズが、それらの光軸が発光素子の光軸と一致するように
それぞれ配置され、少なくとも一方のシリンドリカル・
レンズは光軸を中心に回転自在に支持されている投光器
In front of the light emitting element, two cylindrical lenses are arranged so that their optical axes coincide with the optical axis of the light emitting element, and at least one of the cylindrical lenses
The lens is a floodlight that is supported rotatably around the optical axis.
JP1396787A 1987-01-26 1987-01-26 Projector Pending JPS63182623A (en)

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JP1396787A JPS63182623A (en) 1987-01-26 1987-01-26 Projector

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JP (1) JPS63182623A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02111033U (en) * 1989-02-23 1990-09-05
JP2004071366A (en) * 2002-08-07 2004-03-04 Omron Corp Photoelectric sensor
US7208714B2 (en) 2003-09-09 2007-04-24 Minebea Co., Ltd. Optical displacement sensor and external force detecting device
JP2010237167A (en) * 2009-03-31 2010-10-21 Sunx Ltd Photoelectric sensor

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