JPS63182560U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63182560U JPS63182560U JP7419587U JP7419587U JPS63182560U JP S63182560 U JPS63182560 U JP S63182560U JP 7419587 U JP7419587 U JP 7419587U JP 7419587 U JP7419587 U JP 7419587U JP S63182560 U JPS63182560 U JP S63182560U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- piezoelectric element
- ceramic actuator
- thickness
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例によるセラミツクア
クチユエータを示す側面図、第２図は第１図に示
すセラミツクアクチユエータの貼り合せ面の断面
を示す拡大図、第３図は従来のセラミツクアクチ
ユエータを示す側面図、第４図は第３図のセラミ
ツクアクチユエータの貼り合せ面の断面を示す拡
大図である。 １１……圧電素子、１２……薄金属板、１３…
…貼り合せ面の接着層。
クチユエータを示す側面図、第２図は第１図に示
すセラミツクアクチユエータの貼り合せ面の断面
を示す拡大図、第３図は従来のセラミツクアクチ
ユエータを示す側面図、第４図は第３図のセラミ
ツクアクチユエータの貼り合せ面の断面を示す拡
大図である。 １１……圧電素子、１２……薄金属板、１３…
…貼り合せ面の接着層。
Claims (1)
- 薄金属板とその金属板上に貼り合せた圧電素子
とからなり、上記の圧電素子の表面あらさを４〜
１０μｍとしたセラミツクアクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7419587U JPS63182560U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7419587U JPS63182560U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182560U true JPS63182560U (ja) | 1988-11-24 |
Family
ID=30919189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7419587U Pending JPS63182560U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63182560U (ja) |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP7419587U patent/JPS63182560U/ja active Pending