JPS63175705A - Visual inspecting method for electronic component - Google Patents
Visual inspecting method for electronic componentInfo
- Publication number
- JPS63175705A JPS63175705A JP735987A JP735987A JPS63175705A JP S63175705 A JPS63175705 A JP S63175705A JP 735987 A JP735987 A JP 735987A JP 735987 A JP735987 A JP 735987A JP S63175705 A JPS63175705 A JP S63175705A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- light
- polarizer
- polarized light
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 title description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 8
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 13
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 7
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002932 luster Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は電子部品の外観検査方法に係り、特に、該電子
部品における外装部分の寸法不良を判定する方法に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a method for inspecting the appearance of an electronic component, and particularly to a method for determining dimensional defects in an exterior portion of the electronic component.
〈従来の技術〉
従来から、アキシャルリードタイプのような電子部品に
おいては、その製造工程における外装形成の際に、本体
部に付着すべき樹脂材料がリード線にまで余分に付着し
てその外装部分が基準形状よりも過大になってしまうこ
とがある。ところが、このような電子部品は外観が不良
なものとして商品価値が低減し、また、リード線に付着
した樹脂材料がスルーホールに引っ掛がって挿入しにく
いというような実装上の不都合が生じる。<Prior art> Conventionally, in electronic components such as axial lead type, when forming the exterior in the manufacturing process, resin material that should be attached to the main body is excessively attached to the lead wire and the exterior part is damaged. may become larger than the standard shape. However, the commercial value of such electronic components is reduced due to their poor appearance, and there are also mounting problems such as the resin material attached to the lead wires getting caught in the through holes and making it difficult to insert them. .
そのため、このような不都合を避けるためには上記のよ
うな外観不良、すなわち、外装部分が過大となった外観
不良品を検査工程で選別して除去する必要があり、検査
工程においてはこのような選別作業を作業者の目視によ
って行っている。ところが、このような目視による選別
作業には手間やコストがかかり、しかも、外観不良品の
見落としが生じる恐れがあるため、その作業の自動化が
強く要望されていた。Therefore, in order to avoid such inconveniences, it is necessary to sort out and remove products with the above-mentioned appearance defects, that is, appearance defects with excessively large exterior parts, during the inspection process. The sorting work is done visually by the worker. However, such visual sorting work is time-consuming and costly, and there is a risk that products with poor appearance may be overlooked, so there has been a strong demand for automation of this work.
このような要望に対して、つぎのような自動的な外観検
査方法が提案されている。この方法は、電子部品におけ
るリード線と外装部分との反射光量の差を利用すること
により電子部品の外観検査を行うものであって、外観を
検査すべき電子部品に光を照射し、その反射光をカメラ
で受光することによって電子部品の外観を画像化したう
えで、この画像から得られるデータと予め設定された一
定の基準データとを比較処理することにより電子部品に
おける外装部分の寸法不良を判定しようとするものであ
る。In response to such demands, the following automatic appearance inspection method has been proposed. This method performs visual inspection of electronic components by utilizing the difference in the amount of reflected light between the lead wire and the exterior part of the electronic component. The external appearance of electronic components is imaged by receiving light with a camera, and the data obtained from this image is compared with certain preset reference data to detect dimensional defects in the exterior parts of electronic components. This is what we are trying to judge.
〈発明が解決しようとする問題点シ
ところで、反射光量の差を利用する外観検査方法におい
ては、つぎのような問題点があった。すなわち、金属か
らなるリード線が銀色光沢を存し、かつ樹脂材料からな
る外装部分が黒色系であるような電子部品を検査する場
合には、両者の反射光量の差が大きいので画像における
明暗差（コントラスト ）も大きく現れることになり、
リード線と外装部分とを明確に区分することができる。<Problems to be Solved by the Invention> However, in the appearance inspection method that utilizes the difference in the amount of reflected light, there are the following problems. In other words, when inspecting an electronic component in which the lead wire made of metal has a silvery luster and the exterior part made of resin material is blackish, there is a large difference in the amount of reflected light between the two, so the difference in brightness and darkness in the image is (Contrast) will also appear greatly,
The lead wire and the exterior part can be clearly separated.
しかし、外装部分の着色が白色系に近い電子部品の場合
には、反射光量の差が小さくなって画像の明暗差が小さ
くなるので、リード線と外装部分とを明確に区分するこ
とが難しくなる。そのため、このような電子部品につい
ては、画像から必要なデータを得ることが困難となり、
外装部分の寸法不良の判定に誤りを生じることがある。However, in the case of electronic components whose exterior parts are colored close to white, the difference in the amount of reflected light becomes smaller and the difference in brightness of the image becomes smaller, making it difficult to clearly distinguish between the lead wire and the exterior part. . Therefore, it is difficult to obtain the necessary data from images for such electronic components.
Errors may occur in determining dimensional defects in the exterior part.
本発明はかかる従来の問題点に鑑み、外観不良品の選別
作業に要する手間やコストの低減を図り、かつ電子部品
の各部の反射光量の差が小さくても確実な判定ができる
自動的な電子部品の外観検査方法の提供を目的とする。In view of these conventional problems, the present invention aims to reduce the labor and cost required for sorting out products with poor appearance, and is an automatic electronic device that can make reliable judgments even when the difference in the amount of reflected light from each part of an electronic component is small. The purpose is to provide a method for inspecting the appearance of parts.
く問題点を解決するための手段〉
本発明は、このような目的を達成するために、外観を検
査すべき電子部品に偏光光を照射し、その反射光を前記
偏光光とは異なる方向の偏光軸を有する偏光子を通じて
カメラで受光する一方、前記電子部品に非偏光光を照射
し、その反射光を前記カメラで受光し、前記偏光光によ
る画像と前記非偏光光による画像とから前記電子部品に
おける外装部分に対応する画像データを得、該画像デー
タから前記外装部分の寸法不良を判定することを特徴と
するものである。Means for Solving the Problems> In order to achieve the above object, the present invention irradiates polarized light onto an electronic component whose appearance is to be inspected, and directs the reflected light in a direction different from the polarized light. While light is received by a camera through a polarizer having a polarization axis, non-polarized light is irradiated onto the electronic component, and the reflected light is received by the camera, and the electron The present invention is characterized in that image data corresponding to an exterior portion of a part is obtained, and a dimensional defect in the exterior portion is determined from the image data.
〈実施例〉
以下、本発明を図面に示す実施例に基づき詳細に説明す
る。<Example> Hereinafter, the present invention will be described in detail based on an example shown in the drawings.
第１図は本発明方法の実施に供する外観検査装置の概略
構成図であって、この図における符号１０は外観検査装
置である。この外観検査装置１０は、光を照射する照明
部１１と、その反射光を受光するカメラ１２と、これら
を制御し、かつカメラ１２からの画像データを処理する
制御部１３とから構成されている。なお、図における符
号１４は、外観検査すべき電子部品としてのリード付き
電子部品である。FIG. 1 is a schematic diagram of a visual inspection apparatus used for carrying out the method of the present invention, and reference numeral 10 in this figure indicates the visual inspection apparatus. This visual inspection device 10 includes an illumination section 11 that emits light, a camera 12 that receives the reflected light, and a control section 13 that controls these and processes image data from the camera 12. . Note that the reference numeral 14 in the figure is an electronic component with leads as an electronic component to be visually inspected.
照明部１１は、光源としてのランプ１５と、一対のハー
フミラ−１６，１７と、これらの間に配置された偏光子
１８とを備える一方、前記各ハーフミラ−１６゜Ｉ７に
それぞれ対向配置された一対のミラー１９．２０と、こ
れらのミラー１９．２０間に配置された電子シャッター
２１とを備えている。なお、電子シャッター２１におけ
る透光／遮光動作は、制御部１３によって制御されてい
る。The illumination unit 11 includes a lamp 15 as a light source, a pair of half mirrors 16 and 17, and a polarizer 18 disposed between them. mirrors 19 and 20, and an electronic shutter 21 disposed between these mirrors 19 and 20. Note that the light transmitting/light blocking operation of the electronic shutter 21 is controlled by the control unit 13.
カメラ１２は前記照明部１１からの照射による電子部品
１４の反射光を受ける位置に配置され、このカメラ１２
の手前側には前記偏光子１８の偏光軸１８ａと直交する
偏光軸２２ａを有する偏光子２２が配置されている。The camera 12 is arranged at a position where it receives the reflected light of the electronic component 14 due to the irradiation from the illumination section 11.
A polarizer 22 having a polarization axis 22a orthogonal to the polarization axis 18a of the polarizer 18 is arranged on the front side of the polarizer 18.
つぎに、本発明の外観検査方法について説明するが、ま
ず、この方法における制御部１３への画像データ採り込
みについて説明する。なお、この画像データ採り込みに
ついては、■照明部１１の電子シャッター２１が遮光動
作をしている場合と、■透光動作をしている場合とに分
けてそれぞれ説明する。Next, the appearance inspection method of the present invention will be explained, but first, the introduction of image data into the control section 13 in this method will be explained. Note that this image data acquisition will be explained separately for (1) the case where the electronic shutter 21 of the illumination section 11 is performing a light-shielding operation, and (2) the case where the electronic shutter 21 of the illumination section 11 is performing a light-transmitting operation.
■ シャッター２１が２ をしている”Ａ照明部
１１のランプ１５の光は前段のハーフミラ−１６で２分
割され、その一方の光はハーフミラ−１６から偏光子１
８を通過し、この通過の際に偏光光とされたうえで、後
段のハーフミラ−１７を通過する。■ The light from the lamp 15 of the A lighting unit 11 is split into two by the half mirror 16 in the front stage, and one of the lights is sent from the half mirror 16 to the polarizer 1.
8, and during this passage, it is converted into polarized light, and then passes through a half mirror 17 at the rear stage.
また、ハーフミラ−１６で反射された他方の光はミラー
１９で再反射され、電子シャッター２１に到達するが、
この電子シャッター２１が遮光動作をしているので、到
達した光は電子シャッター２１で遮断されてこれを通過
することができない。そのため、ハーフミラ−１７に到
達した偏光光のみが、照明部１１からリード付き電子部
品１４に対して照射される。Furthermore, the other light reflected by the half mirror 16 is re-reflected by the mirror 19 and reaches the electronic shutter 21;
Since this electronic shutter 21 performs a light blocking operation, the light that reaches the electronic shutter 21 is blocked and cannot pass through it. Therefore, only the polarized light that has reached the half mirror 17 is irradiated from the illumination section 11 to the electronic component 14 with leads.
このようにして照明部１１から照射された偏光光は電子
部品１４に到達するが、この偏光光の反射については電
子部品１４の各部分、すなわち、リード線１４ａ、１４
ａと外装部分１４ｂとによって、つぎのように異なる。The polarized light irradiated from the illumination unit 11 in this way reaches the electronic component 14, but the reflection of this polarized light is limited to each part of the electronic component 14, that is, the lead wires 14a, 14.
The difference is as follows depending on the exterior portion a and the exterior portion 14b.
つまり、金属からなるリード線１４ａ、１４ａの表面は
鏡面であるから到達した偏光光の有する振動方向（ベク
トル）を変化させることなくそのまま反射するのに対し
、樹脂材料からなる外装部分１４ｂの表面は粗面である
からこれに到達した偏光光を乱反射してしまう。したが
って、電子部品１４のリードｖＡ１４ａ、 １４ａから
の反射光は偏光子１８と直交する偏光軸２２ａを有する
偏光子２２を通過することができずに遮断されてしまう
が、外装部分１４ｂで乱反射された反射光のうち、偏光
子２２を通過し得る振動方向を有する反射光のみがこれ
を通過することになる。すなわち、カメラ１２において
は、外装部分１４ｂからの反射光のみが到達して受光さ
れることになる。そのため、このような反射光のみが、
例えば、第２図（ａ）に示すようなリード線１４ａ、１
４ａを除いた状態の形状としてカメラ１２により画像化
され、この画像信号により制御部１３において、外装部
分１４ｂの形状に対応する画像データが得られる。In other words, since the surfaces of the lead wires 14a and 14a made of metal are mirror-finished, they reflect the polarized light that arrives without changing its vibration direction (vector), whereas the surface of the exterior portion 14b made of resin material Because it is a rough surface, the polarized light that reaches it is reflected diffusely. Therefore, the reflected light from the leads vA14a, 14a of the electronic component 14 cannot pass through the polarizer 22, which has a polarization axis 22a perpendicular to the polarizer 18, and is blocked, but the light is diffusely reflected by the exterior portion 14b. Of the reflected light, only the reflected light having a vibration direction that can pass through the polarizer 22 will pass therethrough. That is, in the camera 12, only the reflected light from the exterior portion 14b reaches and is received. Therefore, only such reflected light
For example, lead wires 14a, 1 as shown in FIG.
The shape of the exterior portion 14b is imaged by the camera 12 as the shape excluding the outer portion 4a, and the control unit 13 obtains image data corresponding to the shape of the exterior portion 14b based on this image signal.
■−シャッター２１が゛ をしている Ａこの場合
における前記■と同様の動作については、説明を省略す
る。(2) - The shutter 21 is doing the following. A: In this case, the explanation of the same operation as (2) above will be omitted.
ハーフミラ−１６で２分割されたランプ１５の他方の光
は、ミラー１９で反射されて電子シャッター２１に到達
し、この電子シャッター２１をそのままで、すなわち、
偏光されない非偏光光のままで通過する。そして、この
非偏光光はミラー２０で再反射されてハーフミラ−１７
に到達し、偏光子１８を通過してきた前記■の場合の偏
光光と合成される。そのため、この場合には、偏光光と
非偏光光とから合成された光が、照明部１１からリード
付き電子部品１４に対して照射される。The other light from the lamp 15 divided into two by the half mirror 16 is reflected by the mirror 19 and reaches the electronic shutter 21, and the electronic shutter 21 is left as it is, that is,
It passes through as unpolarized light. Then, this non-polarized light is re-reflected by the mirror 20 and is reflected by the half mirror 17.
, and is combined with the polarized light in case (2) that has passed through the polarizer 18. Therefore, in this case, light combined from polarized light and non-polarized light is irradiated from the illumination unit 11 to the leaded electronic component 14 .
このようにして照明部１１から照射された光は電子部品
１４に到達し、電子部品１４によって反射される。とこ
ろが、この反射時には前記■の場合と異なり、照射され
た光に含まれている非偏光光が電子部品１４の外装部分
１４ｂだけでな（、そのリード線１４ａ、１４ａによっ
ても乱反射させられることになる。そのため、カメラ１
２においては、電子部品１４の全体、すなわち、そのリ
ード線１４ａ、１４ａと外装部分１４ｂとからの反射光
のうち、偏光子２２を通過し得る反射光のみが受光され
る。したがって、カメラ１２においては、電子部品１４
の全体に対応する反射光が、例えば、第２図（ｂ）に示
すような形状として画像化され、この画像信号により制
御部１３において、外装部分１４ｂの全体形状に対応す
る画像データが得られる。The light emitted from the illumination unit 11 in this manner reaches the electronic component 14 and is reflected by the electronic component 14. However, at the time of this reflection, unlike the case (2) above, the non-polarized light contained in the irradiated light is diffusely reflected not only by the exterior portion 14b of the electronic component 14 (but also by the lead wires 14a, 14a). Therefore, camera 1
2, only the reflected light that can pass through the polarizer 22 is received among the reflected light from the entire electronic component 14, that is, its lead wires 14a, 14a and the exterior portion 14b. Therefore, in the camera 12, the electronic component 14
The reflected light corresponding to the entire exterior portion 14b is imaged into a shape as shown in FIG. .
なお、この■の場合と前記■の場合におけるカメラ１２
の受光量は、ハーフミラ−１６，１７の透過率を適宜選
択することによって互いに等しくなるように調整されて
いる。また、以上の説明においては、照明部１１から電
子部品１４に対して偏光光を常時照射しつつ、これに非
偏光光を付加するものとして説明したが、これに限定さ
れることはなく、例えば、偏光光と非偏光光とを交互に
切り換えて照射するようにしてもよい。Note that the camera 12 in this case and in the case of
The amounts of light received are adjusted to be equal to each other by appropriately selecting the transmittance of the half mirrors 16 and 17. Furthermore, in the above description, it has been explained that polarized light is constantly irradiated from the illumination unit 11 to the electronic component 14, and non-polarized light is added thereto, but the invention is not limited to this, and for example, Alternatively, polarized light and non-polarized light may be alternately switched for irradiation.
このようにして、制御部１３においては、前記■の場合
における電子部品１４の外装部分１４ｂに対応した画像
と前記■の場合における電子部品１４の全体に対応した
画像（第２図参照）のデータが得られることになる。そ
のため、この制御部１３においては、これらの両画像デ
ータから電子部品１４のリード線１４ａ、１４ａと外装
部分１４ｂとの境界を明確に区分することができ、かつ
外装部分１４ｂのみに対応したデータを得ることができ
る。したがって、このデータと予め設定されている一定
の基準データとを比較処理することにより電子部品１４
の外観、すなわち、その外装部分１４ｂの寸法不良、例
えば、リード線１４ａ、 １４ａ’に付着した余分な樹
脂材料の有無を判定することが可能となる。In this way, in the control unit 13, the data of the image corresponding to the exterior part 14b of the electronic component 14 in the case (2) and the image corresponding to the entire electronic component 14 (see FIG. 2) in the case (2) are obtained. will be obtained. Therefore, in this control unit 13, the boundary between the lead wires 14a, 14a of the electronic component 14 and the exterior portion 14b can be clearly distinguished from both image data, and data corresponding only to the exterior portion 14b can be determined. Obtainable. Therefore, by comparing this data with certain reference data set in advance, the electronic component 14
In other words, it is possible to determine whether there is a dimensional defect in the exterior portion 14b, for example, the presence or absence of excess resin material adhering to the lead wires 14a, 14a'.
また、本発明によれば、外観を検査すべき同一の電子部
品１４における照明条件の異なる２つの画像を１台のカ
メラエ２によって得ることができるので、これらの画像
には位置ずれや光学倍率差などが生じることがなく、こ
れらの両画像から得られるデータによって当該電子部品
１４各部の特徴を容易、かつ正確に摘出することができ
る。そのため、従来は困難であった各種の検査項目を確
認することも可能となる。しかも、このことにより、電
子部品の外観検査の高速処理化および高精度化を図るこ
ともできる。Further, according to the present invention, two images of the same electronic component 14 whose appearance is to be inspected under different illumination conditions can be obtained by one camera 2, so these images are free from positional deviations and optical magnification differences. The characteristics of each part of the electronic component 14 can be easily and accurately extracted using the data obtained from these two images. Therefore, it becomes possible to check various inspection items that were previously difficult. In addition, this also makes it possible to increase the processing speed and accuracy of visual inspection of electronic components.
なお、以上の説明においては、本発明をアキシャルリー
ドタイプの電子部品に適用して説明したが、これに限定
されるものではなく、他のタイプのリード付き電子部品
についても適用できることはいうまでもない。In the above explanation, the present invention has been applied to an axial lead type electronic component, but it is not limited to this, and it goes without saying that the present invention can be applied to other types of leaded electronic components. do not have.
〈発明の効果〉
以上のように本発明方法によれば、外観を検査すべき電
子部品に対して偏光光と非偏光光とをそれぞれ照射し、
これらの反射光を画像化しているので、当該電子部品に
おけるリード線と外装部分との境界を明確に区分するこ
とができ、その外装部分の寸法不良を確実に判定するこ
とができる。<Effects of the Invention> As described above, according to the method of the present invention, an electronic component whose appearance is to be inspected is irradiated with polarized light and non-polarized light,
Since these reflected lights are imaged, the boundary between the lead wire and the exterior part of the electronic component can be clearly distinguished, and dimensional defects in the exterior part can be reliably determined.
そのため、従来の目視による外観検査作業における手間
やコストの低減を図ることができる。Therefore, it is possible to reduce the effort and cost involved in conventional visual inspection work.
また、同一の電子部品に対して照明条件の異なる２つの
画像を得ることができるので、当該電子部品各部の特徴
を明確に認識して、外観検査の高速処理化および高精度
化を図ることができるという効果もある。Additionally, since it is possible to obtain two images of the same electronic component under different illumination conditions, it is possible to clearly recognize the characteristics of each part of the electronic component, thereby increasing the speed and precision of visual inspection. There is also the effect that it can be done.
第１図は本発明方法の実施に供する検査装置の概略構成
図であり、第２図（ａＬ （ｂ）はそれぞれカメラにお
ける画像を示す説明図である。
１０・・・外観検査装置、
１１・・・照明部、
１２・・・カメラ、
１４・・・電子部品、
１４ｂ・・・電子部品の外装部分、
２２・・・偏光子。FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inspection device used to carry out the method of the present invention, and FIG. 2 (aL (b) is an explanatory diagram showing images taken by a camera. 10... Appearance inspection device; 11. ...Lighting section, 12...Camera, 14...Electronic component, 14b...Exterior part of electronic component, 22...Polarizer.
Claims (1)
の反射光を前記偏光光とは異なる方向の偏光軸を有する
偏光子を通じてカメラで受光する一方、前記電子部品に
非偏光光を照射し、その反射光を前記カメラで受光し、
前記偏光光による画像と前記非偏光光による画像とから
前記電子部品における外装部分に対応する画像データを
得、該画像データから前記外装部分の寸法不良を判定す
ることを特徴とする電子部品の外観検査方法。(1) Polarized light is irradiated onto the electronic component whose appearance is to be inspected, and the reflected light is received by a camera through a polarizer having a polarization axis in a direction different from that of the polarized light, while non-polarized light is irradiated onto the electronic component. irradiate and receive the reflected light with the camera,
An external appearance of an electronic component, characterized in that image data corresponding to an exterior portion of the electronic component is obtained from the image using the polarized light and the image using the non-polarized light, and a dimensional defect in the exterior portion is determined from the image data. Inspection method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP735987A JPS63175705A (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Visual inspecting method for electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP735987A JPS63175705A (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Visual inspecting method for electronic component |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63175705A true JPS63175705A (en) | 1988-07-20 |
Family
ID=11663763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP735987A Pending JPS63175705A (en) | 1987-01-14 | 1987-01-14 | Visual inspecting method for electronic component |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63175705A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019199663A (en) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | Juki株式会社 | Inspection device |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5886340A (en) * | 1982-10-25 | 1983-05-23 | Sanyo Electric Co Ltd | Closing and opening device of shutter |
-
1987
- 1987-01-14 JP JP735987A patent/JPS63175705A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5886340A (en) * | 1982-10-25 | 1983-05-23 | Sanyo Electric Co Ltd | Closing and opening device of shutter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019199663A (en) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | Juki株式会社 | Inspection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101612535B1 (en) | System and method for inspecting a wafer | |
| KR101638883B1 (en) | System and method for inspecting a wafer | |
| KR101646743B1 (en) | System and method for inspecting a wafer | |
| EP0501683B1 (en) | Technique for enhanced two-dimensional imaging | |
| US6184976B1 (en) | Apparatus and method for measuring an aerial image using transmitted light and reflected light | |
| US6346966B1 (en) | Image acquisition system for machine vision applications | |
| JPH05508702A (en) | Automatic monitoring method and device for three-dimensional shape data in semiconductor device manufacturing | |
| US20050025353A1 (en) | Inspection apparatus and inspection method | |
| JPH0437922B2 (en) | ||
| KR101203210B1 (en) | Apparatus for inspecting defects | |
| JP2000097873A (en) | Surface defect inspecting device | |
| JP2008064715A (en) | Defect inspection device and defect inspection method | |
| KR102433319B1 (en) | Vision inspection method of diffusing lens for led light source | |
| JPH0882602A (en) | Method and apparatus for inspecting fault of plate glass | |
| JPS63175705A (en) | Visual inspecting method for electronic component | |
| JP4216485B2 (en) | Pattern inspection method and apparatus | |
| CN110044932A (en) | A kind of detection method on bend glass surface and internal flaw | |
| JP2914967B2 (en) | Appearance inspection method | |
| GB2046433A (en) | Defect inspection system | |
| JPS6361601B2 (en) | ||
| JPH08233747A (en) | Method and apparatus for inspecting defect | |
| KR20040020721A (en) | The inspection method of surface by line type image sensor and the same apparatus | |
| JPS6232345A (en) | Defect detecting device | |
| US6046803A (en) | Two and a half dimension inspection system | |
| JPH06160065A (en) | Inspecting device for notch |