JPS63170261A - Dielectric green tape - Google Patents
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Landscapes
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- Ceramic Capacitors (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、誘電体組成物、特に低焼成温度誘電体組成物
に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to dielectric compositions, particularly low firing temperature dielectric compositions.
高い容量効率でおること、従って大きさが小さいという
理由により、多層セラミックコンデンサー(MLC)は
、セラミックコンデンサーの最も広く使用される形態で
ある。これらのコンデンサーは、適当な電極の・ぞター
ンがプリントされているセラミック誘電体のうすいシー
トを積み重ね、共焼成するととKよって加工される。Due to their high capacitive efficiency and therefore small size, multilayer ceramic capacitors (MLCs) are the most widely used form of ceramic capacitors. These capacitors are fabricated by stacking and co-firing thin sheets of ceramic dielectric material printed with appropriate electrode turns.
電極層が組立物の各末端において露出されているように
、各ノでターン型層は、隣接層からオフセットされてい
る。電極パターンの露出された縁は、構造物のすべての
層を電気的に連結する、電導性材料で被覆されておシ、
かくして積層構造内に平行に連結されたコンデンサーの
群を形成する。At each node the turn-shaped layer is offset from the adjacent layer so that the electrode layer is exposed at each end of the assembly. The exposed edges of the electrode pattern are coated with a conductive material that electrically connects all layers of the structure.
This forms a group of parallel connected capacitors within the stack.
MLCの加工のために使用されるセラミック誘電体のう
すいシートは、普通「グリーンテープ」(未焼成のテー
プ)といわれ、有機重合体材料によって結合されている
微細な誘電体粒子のうすい層よυなる。焼成していない
グリーンテープは、重合体、可塑剤中そしてポリプロピ
レン、フイ5− (Mylar)■ポ、工27 )v
ツイヤ、えはステンレススチールのような担体上に分散
されている誘電体粒子のスラリを流込み成型し、次に成
型スラリをドクターブレードに下に通すことによって成
型フィルムの厚さを調節することによって製造される。The thin sheets of ceramic dielectric used for processing MLCs, commonly referred to as "green tape" (unfired tape), are thin layers of microscopic dielectric particles held together by organic polymeric materials. Become. The unfired green tape contains polymers, plasticizers, and polypropylene.
By casting a slurry of dielectric particles dispersed on a carrier such as stainless steel and then controlling the thickness of the cast film by passing the cast slurry down through a doctor blade. Manufactured.
多層コンデンサーのために電導体を得る際有用な金属化
は、普通不活性液体媒体中微細な金属粒子の分散液の形
態でこのような粒子をグリーンテープに施用することよ
りなる。上述した「グリーンテープ」法は、比較的広く
使用されているが、それKもかかわらず本発明の誘電体
組成物を使用してMLCをつくることができる他の操作
がある。1つの技術は、いわゆる「湿式法」である。1
面においては、これは、平らな基質を誘電体スリップの
落下シートに1回又はそれ以上通して誘電体層を形成さ
せることよシなっていてよい()・−レー等、米国特許
第3.71ス487号参照)。「湿式法」を実施する他
の1方法は、ある数の誘電体スリップのうすい層を基質
上にブラシ処理して厚い誘電体層を組み立てることであ
る(パーン、米国特許第4,283,753号参照)。Metallization useful in obtaining electrical conductors for multilayer capacitors usually consists of applying such particles to the green tape in the form of a dispersion of fine metal particles in an inert liquid medium. Although the "green tape" method described above is relatively widely used, there are nevertheless other operations in which MLCs can be made using the dielectric compositions of the present invention. One technique is the so-called "wet method." 1
In terms of aspects, this may consist of passing a flat substrate through a falling sheet of dielectric slip one or more times to form a dielectric layer (see )-Leh et al., U.S. Pat. (See 71st No. 487). One other way to implement the "wet method" is to brush a number of thin layers of dielectric slip onto a substrate to assemble a thick dielectric layer (Pern, U.S. Pat. No. 4,283,753). (see issue).
MLCをつくる他の1方法は、誘電体材料のイーストを
形成させ、次に誘電体及び金属層を、設計された構造が
完了するまで乾燥工程をはさんで交互にスクリーンプリ
ンナイングすることよシなる。次に、誘電体層の上に第
2の電極層をプリントし、全組立物を共焼成する。Another method of making MLCs is to form a yeast of dielectric material and then screen print the dielectric and metal layers alternately with drying steps until the designed structure is completed. Yes. A second electrode layer is then printed on top of the dielectric layer and the entire assembly is co-fired.
モノリシック多層コンデンサーは、典型的には、酸化雰
囲気中1200〜1400℃の温度においてチタン酸バ
リウムベース型処方及び電導性電極材料を共焼成するこ
とによって製造される。Monolithic multilayer capacitors are typically manufactured by co-firing barium titanate-based formulations and conductive electrode materials at temperatures of 1200-1400° C. in an oxidizing atmosphere.
この方法により、高い誘電率(例えば1000よ多大き
い)をもつ、耐久性の、よく焼結されたコンデンサーが
得られる。しかし、これらの条件下の焼成は、高い融点
、高温において良好な酸化抵抗、電極の熟成温度におけ
る焼結性、並びに焼結温度における誘電体と相互作用す
る傾向をもつ電極材料を必要とする。これらの要件は、
著通電極材料の選択を貴金属白金及びノミラジウムに、
或いは白金、/!!ラジウム及び金の合金に限定する。This method results in durable, well-sintered capacitors with high dielectric constants (eg, greater than 1000). However, firing under these conditions requires electrode materials with high melting points, good oxidation resistance at elevated temperatures, sinterability at electrode ripening temperatures, and a tendency to interact with dielectrics at sintering temperatures. These requirements are:
The selection of electrode materials is based on the precious metals platinum and noradium.
Or platinum, /! ! Limited to alloys of radium and gold.
これKついてはモノリシック多層コンデンサーの製造に
向けられている。T、 L。This is intended for the production of monolithic multilayer capacitors. T, L.
シエアードに対する米国特許3,872,360も参照
されたい。See also US Pat. No. 3,872,360 to Seaard.
誘電体材料を改変して(1)電極としてベース金属を使
用することができるように、還元雰囲気中で焼成して後
良好な誘電性(高い誘電率及び低い散逸率)が得られ、
そして(又は)(2)銀(これは、他の貴金属よシかな
シコストが低いが、低い融点(962℃)を有する)を
電極形成の際使用することができるように、950℃又
は、それよシ低い温度において焼結することができるな
らば、電極のコストのかなシの節約を実現することがで
きる。The dielectric material has been modified to (1) have good dielectric properties (high dielectric constant and low dissipation factor) after firing in a reducing atmosphere so that the base metal can be used as an electrode;
and (or) (2) silver (which has a lower melting point (962°C) than other precious metals) at 950°C or higher, so that it can be used in electrode formation. If it is possible to sinter at much lower temperatures, savings in electrode cost can be realized.
チタン酸バリウムセラミックを還元性(例えば水素)又
は不活性(例えばアルゴン、窒素)雰囲気中で焼成する
ことができるようにそれらを改変する試みがなされてい
る。常用の空気焼成型組成物に比して、電気的性質、例
えば、誘電率、散逸率、キャパシタンスの温度係IH%
が中間的になるという点で、このアプローチの使用はい
くらか限定される。その外、不活性又は還元性雰囲気の
維持は、空気中の焼成に比して生産コストが追加される
。このアプローチの例は、(−ス金属電極(例えば、N
i、Co、 Fe)及び修飾チタン酸バリウム(MnO
2、Fe 20 B、COO2、CaZrO3)の、不
活性雰囲気巾約1300℃で焼成されるコンデンサー(
3欄、33〜34行)を開示するビューラーの米国特許
第3,75ス177号である。Attempts have been made to modify barium titanate ceramics so that they can be fired in reducing (eg hydrogen) or inert (eg argon, nitrogen) atmospheres. Temperature coefficient IH% of electrical properties such as dielectric constant, dissipation factor, and capacitance compared to conventional air-fired compositions.
The use of this approach is somewhat limited in that it is intermediate. Additionally, maintaining an inert or reducing atmosphere adds production costs compared to firing in air. An example of this approach is the (-) metal electrode (e.g., N
i, Co, Fe) and modified barium titanate (MnO
2, Fe 20 B, COO2, CaZrO3), which is fired in an inert atmosphere width of about 1300°C (
No. 3,75 S. 177 to Buehler, which discloses (column 3, lines 33-34).
高温強誘電体相(チタン酸、ジルコン酸等)を比較的低
温において熟成するガラス類と混合することによって誘
電体の熟成温度を低下させるいくつかの試みがなされて
いる。このアプローチの例は、マーアーの米国特許第3
,619,220号、パーンの米国特許第3,638.
084号、マーアーの米国特許第3,682,766号
及びマー7−の米国特許第3,811.937号に示さ
れている。この技術の欠点は、ガラスの希釈効果がしば
しば混合物の誘電率を比較的低くすることである。Some attempts have been made to lower the ripening temperature of dielectrics by mixing high temperature ferroelectric phases (titanic acid, zirconic acid, etc.) with glasses that ripen at relatively low temperatures. An example of this approach is Maher's U.S. Pat.
, 619,220, Pern U.S. Pat. No. 3,638.
No. 084, Maher, US Pat. No. 3,682,766, and Maher, US Pat. No. 3,811.937. A disadvantage of this technique is that the dilution effect of the glass often results in a relatively low dielectric constant of the mixture.
チタン酸ベース型誘電体の焼結温度を低下させる他の1
技術は、「焼結助剤」の使用による。Another method for lowering the sintering temperature of titanate-based dielectrics
The technique relies on the use of "sintering aids".
チタン酸バリウムへの酸化ビスマス又はベントナイトの
添加は、熟成温度を約1200℃まで低下させる(ネル
ソンら、米国特許第2,908,579号)。ターナフ
ァーらの米国特許第2,626,220号に記載されて
いるとおシ、チタン酸への燐酸の添加によって1200
〜1290℃の熟成温度を得ることができる。しかし、
これらの場合の各各において、熟成温度の低下は、共焼
成銀電極を使用することができるには充分でなく、誘電
性は損なわれることが多い。Addition of bismuth oxide or bentonite to barium titanate reduces the ripening temperature to about 1200° C. (Nelson et al., US Pat. No. 2,908,579). As described in U.S. Pat. No. 2,626,220 to Turnafer et al., the addition of phosphoric acid to titanic acid
A ripening temperature of ~1290°C can be obtained. but,
In each of these cases, the reduction in ripening temperature is not sufficient to allow the use of co-fired silver electrodes, and dielectric properties are often compromised.
高誘電率(例えば、1000又はそれ以上)及び低散逸
率(例えば、5%、好適には2%より小さい)が得られ
、かつ空気中低温(例えば、1000℃以下)において
焼結する組成物が必要とされている。このことにより、
銀又はパラジウム/銀電極との共焼成が可能となシ、そ
の故に高誘電率多層コンデンサーのコストを大いに低下
させることになる。Compositions that provide a high dielectric constant (e.g., 1000 or more) and a low dissipation factor (e.g., 5%, preferably less than 2%), and which sinter in air at low temperatures (e.g., below 1000°C). is needed. Due to this,
Co-firing with silver or palladium/silver electrodes is possible, thus greatly reducing the cost of high dielectric constant multilayer capacitors.
N、 N、クレイニクら(5oviet Physic
s−3olidState2.63〜65.1960)
は、なかんずく、pb’rio3及びPbMgO15W
0.503の間の固溶液を報告している。明らかに、0
〜80%のpb’rio3をもつ広い範囲の組成物が研
究された(第2図参照)。N., N., Krejnik et al.
s-3olidState2.63~65.1960)
are, inter alia, pb'rio3 and PbMgO15W
Solid solutions between 0.503 and 0.503 are reported. Obviously, 0
A wide range of compositions with ~80% pb'rio3 were investigated (see Figure 2).
多層コンデンサーの製造については示唆がされていない
。同じ実験室からの第2の論文においては、G、 A、
スモレンスキーら(Soviet Physics−8
olid 5tate 5.714.1961)は、ク
ライニクらのものを含む、いくつかの固溶液の研究を報
告している。焼成は、PbO蒸気中で同様に行なわれた
。相転移が論じられている。明らかにこの系列の第3の
論文であるもの、A、 1.ザスラフスキーら(5ov
iet Physics−Crystallograp
hy7.577.1963)において、X線構造研究が
報告されている。No suggestion is made of the manufacture of multilayer capacitors. In a second paper from the same laboratory, G, A,
Smolensky et al. (Soviet Physics-8
5.714.1961) have reported several solid solution studies, including those of Kleinik et al. Calcination was similarly carried out in PbO vapor. Phase transitions are discussed. What is clearly the third paper in this series, A.1. Zaslavsky et al. (5ov
iet Physics-Crystallograp
X-ray structural studies are reported in hy7.577.1963).
プリクスナーの米国特許第3,472,777は、2段
焼成法による強誘電体セラミックディスクの製造を開示
している。各焼成工程は、空気中800°〜1200℃
の範囲においておこると教示されている。唯一の例にお
いて、焼成は1050℃においてであった。プリクスナ
ーは、PbMgV3T1v3W1/3o3及びY含有組
成物のような種種の誘電体組成物を開示している。Prixner US Pat. No. 3,472,777 discloses the production of ferroelectric ceramic disks by a two-stage firing process. Each firing process is performed at 800° to 1200°C in air.
It is taught that this occurs within the range of In the only example, calcination was at 1050°C. Prixner discloses various dielectric compositions, such as PbMgV3T1v3W1/3o3 and Y-containing compositions.
更に最近、ブチヤードは、ZSU型コンデンサー中で使
用するための低い焼成温度及び6000のような高誘電
率を有する誘電体組成物を得る問題解決へ成功裡に近づ
いた。これらの置換チタン酸鉛組成物は、次の式:
(SrxPb、−、Ti05)&(PbMgOW05)
1.、 (式中、X=0〜0.3、r =0.45〜
0.55、a=0.35〜0.5、s=0.55〜0.
45.1)=0.5〜0.65、Σ(r+5)=1そし
てΣ(a+b)=1である)
このような材料は、米国特許4,048,546.4.
063,341及び4,228,482(すべてブチヤ
ードに対する)中間子されている。更に最近、英国特許
出願2,115.40OAは、式PbT11−x−yM
gxWy○3(式中X及びyは、0.25〜0.35の
範囲である)に対応する低焼結温度を有する非常に似た
組成物を開示している。これらの材料は、対応する金属
酸化物を混合し、この混合物を700〜750℃におい
て燻焼することによってつくられる。これらの材料は、
銀の融点より低い800〜950℃において焼結される
。この英国出願の組成物のうち若干は、ブチヤードのも
のと組成が同一であり、従って同じ性質を有することが
期待される。More recently, Bouchiard has successfully approached the solution of the problem of obtaining dielectric compositions with low firing temperatures and high dielectric constants such as 6000 for use in ZSU type capacitors. These substituted lead titanate compositions have the following formula: (SrxPb,-,Ti05)&(PbMgOW05)
1. , (wherein, X=0~0.3, r=0.45~
0.55, a=0.35-0.5, s=0.55-0.
45.1) = 0.5-0.65, Σ(r+5) = 1 and Σ(a+b) = 1) Such materials are described in U.S. Pat. No. 4,048,546.4.
063,341 and 4,228,482 (all to Butiard) have been intermediated. More recently, British patent application 2,115.40OA has the formula PbT11-x-yM
A very similar composition is disclosed that has a low sintering temperature corresponding to gxWy○3, where X and y range from 0.25 to 0.35. These materials are made by mixing the corresponding metal oxides and smoldering this mixture at 700-750°C. These materials are
It is sintered at 800-950°C, which is lower than the melting point of silver. Some of the compositions of this British application are identical in composition to those of Bouchiard and are therefore expected to have the same properties.
高誘電率を得る際の実質的な進歩にもかかわらず、電子
工業は、8000のオーダー、それを越える更に高い誘
電率(K)を有し、それにもかかわらず85/15及び
70/30ノぞラジウム/銀電極のような常用の銀含有
電極と共に使用することができる誘電体組成物が必要で
あることを予期している。Despite substantial advances in obtaining high dielectric constants, the electronics industry is still struggling with even higher dielectric constants (K) of the order of 8,000 and even higher than 85/15 and 70/30. It is anticipated that there will be a need for dielectric compositions that can be used with conventional silver-containing electrodes, such as radium/silver electrodes.
改良されたテープ誘電体のための電子工業の着実に次第
にきびしくなる要件に鑑みて、本発明は、8000、更
にそれよシ高い誘電率を有するZSU型サービスに適し
ているチタン酸鉛ペース型誘電体組成物に向けられる。In view of the electronic industry's steadily increasing requirements for improved tape dielectrics, the present invention provides a lead titanate based dielectric suitable for ZSU type service with a dielectric constant of 8000 and even higher. Directed to body composition.
更に詳細には、本発明は、その第1の局面において本質
的に次の成分よりなる微細粒子の混合物から構成される
、低い焼成温度において稠密化された誘電性物体を形成
させるだめの組成物に向けられる。More particularly, the present invention, in a first aspect thereof, provides a composition for forming a densified dielectric body at low firing temperatures, consisting of a mixture of fine particles consisting essentially of: directed towards.
(a)式: (5rxPb 1 +xTi O3)a
(PbMg rWsO5)b(式中、x;0〜0.3
、r=0.45〜0.55、a=0.45′ 〜0.6
、s=0.55〜α45そしてb=t55〜0.4、そ
してΣ(r+5)=1並びにΣ(a+b)==1に対す
るモル比の、金属酸化物、金属酸化物プレカーサー又は
その多元酸化物反応生成物の混合物95,5〜994重
量%
(b)本質的に(1) Co、N1、Cr、 Mn及び
それらの混合物よシなる群から選択される遷移金属の2
元酸化物0.1〜1.0重量%、(2)チタン酸Cd、
チタン酸Zn又はそれらの混合物0.25〜1.5重量
%、並びに(3)ジルコン酸Cd、ジルコン酸Zn、す
ず酸Cd、すず酸Zn及びそれらの混合物よシなる群か
ら選択される多元酸化物0.25〜2.0重量%よシな
る金属酸化物又はそのプレカーサーの混合物4.5〜0
.6重量%(実質的にすべての粒子は、最大寸法が10
μmより小さい)。(a) Formula: (5rxPb 1 +xTiO3)a
(PbMg rWsO5)b (where x; 0 to 0.3
, r=0.45~0.55, a=0.45'~0.6
, s=0.55 to α45 and b=t55 to 0.4, and the metal oxide, metal oxide precursor or its multi-element oxide in molar ratio to Σ(r+5)=1 and Σ(a+b)==1. 95.5 to 994% by weight of a mixture of reaction products (b) consisting essentially of (1) 2 of a transition metal selected from the group consisting of Co, N1, Cr, Mn and mixtures thereof;
Original oxide 0.1 to 1.0% by weight, (2) Cd titanate,
0.25-1.5% by weight of Zn titanate or mixtures thereof; and (3) a multi-component oxidation selected from the group consisting of Cd zirconate, Zn zirconate, Cd stannate, Zn stannate and mixtures thereof. 0.25-2.0% by weight of a mixture of metal oxides or their precursors 4.5-0
.. 6% by weight (substantially all particles have a largest dimension of 10
(smaller than μm).
第2の局面においては、本発明は、揮発性非水性溶媒中
結合剤重合体の溶液中に分散されている上述した誘電体
組成物より々るテープ注型組成物に向けられる。In a second aspect, the present invention is directed to a tape casting composition comprising a dielectric composition as described above dispersed in a solution of a binder polymer in a volatile non-aqueous solvent.
第3の局面においては、本発明は、スチールベルト又は
重合体フィルムのような、可撓性の基質上に上述した分
散液を注型し、そして注型層を加熱してそれから揮発性
溶媒を除去することによるグリーンテープの形成法に向
けられる。In a third aspect, the invention provides for casting the dispersion described above onto a flexible substrate, such as a steel belt or a polymeric film, and heating the cast layer to remove the volatile solvent. Directed to a method of forming green tape by removing.
第4の局面においては、本発明は、交互の層からプリン
トされた電極の縁が積層構造の反対の末端において露出
され、パターン型電極の露出末端がその上の電導性被膜
によって各々電気的に連結されるようにオフセット方式
で適盛な電極、oターンがプリントされている、複数の
上述したグリーンテープ層を積層及び共焼成することに
よってつくられるコンデンサーに向けられる。In a fourth aspect, the invention provides that the edges of the electrodes printed from alternating layers are exposed at opposite ends of the laminated structure, and the exposed ends of the patterned electrodes are each electrically connected by a conductive coating thereon. It is directed to a capacitor made by laminating and co-firing a plurality of the green tape layers described above, which are printed with suitable electrodes, o-turns, in an offset manner so as to be connected.
第5の局面においては、本発明は、有機媒質中に分散さ
れた上述した誘電体組成物よシなるスクリーン−プリン
ト可能な厚いフィルム組成物に向けられる。In a fifth aspect, the invention is directed to screen-printable thick film compositions such as the dielectric compositions described above dispersed in an organic medium.
A、無機成分
前記の弐によって示唆されるように1本発明の組成物が
焼成される時、(a)の成分が少量の(b)の遷移金属
酸化物及びジルコン酸及びすず酸とドープされている実
質的に固体の溶液になる。A. Inorganic Component As suggested by Part 2 above, when the composition of the present invention is fired, component (a) is doped with small amounts of (b) transition metal oxide and zirconic acid and stannic acid. resulting in a substantially solid solution.
しかし、焼成の前には、これら組成物は、成分が受けて
いる燻焼の程度にょシ、別々の酸化物より、又は2種又
はそれ以上の酸化物の固溶液又は化合物よシなっていて
よい。However, prior to firing, these compositions may differ from separate oxides, or from solid solutions or compounds of two or more oxides, depending on the degree of smoldering to which the components have been subjected. good.
■焼は絶対必須ではないが、焼成の際の収縮を最小にす
ることができるように、上述した粒子の混合物の少なく
とも大部分を空気中で■焼することははるかに好適であ
ることが認められる。しかし、燻焼の程度は、特定の応
用に、又焼結された誘電体の形成を行なう焼成の程度に
よる。明らかに、比較的きびしい焼成は、存在する相の
数を減少させる傾向があシ、組成物は、単一の固溶液状
態に近ずく。少なくとも(a)の成分を空気中燻焼する
ことが好適である。適当な燻焼条件は、1000〜15
00’F (513〜816℃)1%そして特に150
0〜1500″F (704〜816℃)である。■焼
時間は、少なくとも0.5時間、そして好適には少々く
とも1.0時間であるべきである。2時間の■焼時間は
適当であることが見出されているが、それよシ長い時間
を使用してよ、い。Although calcination is not absolutely necessary, it is recognized that it is much more preferable to calcinate at least a large portion of the mixture of particles described above in air so that shrinkage during calcination can be minimized. It will be done. However, the extent of smoldering will depend on the particular application and the extent of firing to effect the formation of the sintered dielectric. Obviously, relatively severe calcinations tend to reduce the number of phases present and the composition approaches a single solid solution state. It is preferable to smolder at least component (a) in air. Appropriate smoking conditions are 1000-15
00'F (513-816C) 1% and especially 150
0-1500"F (704-816C). Baking time should be at least 0.5 hour, and preferably at least 1.0 hour. Baking time of 2 hours is suitable. It has been found that it is possible to use it for a long time.
成分は、金属酸化物、金属酸化物のプレカーサー及び(
又は)上に示した金属の金属酸化物の反応生成物の形態
であってよい。用語「金属酸化物のプレカーサー」とは
、燻焼又は焼成の際金属酸化物に変換される化合物を意
味する。Ingredients include metal oxides, metal oxide precursors and (
or) may be in the form of a reaction product of a metal oxide of the metals indicated above. The term "metal oxide precursor" means a compound that is converted to a metal oxide upon smoldering or calcination.
これらは、炭酸塩、水酸化物及び硝酸塩を包含する。例
えば、燻焼の際MgCO3はMgOに変換され、かくし
てMgCO3はMgOのプレカーサーである。用語「反
応生成物」とは、金属酸化物から生成させることができ
る金属酸化物の化合物又は固溶液を意味する。例えば、
多元酸化物Rへ03は、焼成によってpbo及びTi
O2から生成させることができる。かくして、Pb及び
T1成分は、別々にpbo及びTiO2としてか、又は
既に生成したpb’rio3として組成物忙添加するこ
とができる。These include carbonates, hydroxides and nitrates. For example, during smoking MgCO3 is converted to MgO, thus MgCO3 is a precursor of MgO. The term "reaction product" means a compound or solid solution of a metal oxide that can be produced from a metal oxide. for example,
Multi-component oxide R03 is converted into pbo and Ti by calcination.
It can be generated from O2. Thus, the Pb and T1 components can be added to the composition either separately as pbo and TiO2 or as already formed pb'rio3.
一般に、組成物は次の工程によってつくられる:
(1)分散液の湿式ミル処理(混合)
(2)水の除去(乾燥)
(3) 造粒
(4)■焼
(5) 造粒
(6)湿式ミル処理(粒子径調節)
しかし、これらの工程は、各成分について必らずしも同
じ順序ではない。例えば、遷移金属酸化物をPbTiO
3のような(50の単一成分(これが工程(1)ないし
く5)を受ける)とプレミックスさせることが好適であ
ることがある。次にこのプレミックスを(a)の他の成
分(これが工程(1)々いしく6)プラス乾燥及び造粒
を受ける)に添加する。得られた顆粒化混合物に(b)
の成分の残余を添加し最終混合物をミル処理、乾燥及び
造粒する。この操作(これは、すべての成分の一層均一
な混合物を得慝ように設計されている)においては、遷
移金属成分は2回燻焼されるが、多元酸化物は全くされ
ない。どの図式の混合が使用されても、すべての成分の
全く均一な分布が必須であシ、燻焼を要する程度は、混
合物が焼成される時許容される収縮の程度によって決定
される。Generally, the composition is made by the following steps: (1) Wet milling of the dispersion (mixing) (2) Removal of water (drying) (3) Granulation (4) Baking (5) Granulation (6 ) Wet milling (particle size control) However, these steps are not necessarily in the same order for each component. For example, the transition metal oxide is PbTiO
It may be preferable to premix with 50 single components such as 3 (which undergo steps (1) to 5). This premix is then added to the other ingredients of (a) which undergo step (1) first step 6) plus drying and granulation. To the resulting granulated mixture (b)
Add the remainder of the ingredients and mill, dry and granulate the final mixture. In this operation, which is designed to obtain a more homogeneous mixture of all components, the transition metal components are smoked twice, but the multi-element oxides are not smoked at all. Whichever scheme of mixing is used, a completely uniform distribution of all ingredients is essential, and the degree of smoldering required is determined by the degree of shrinkage allowed when the mixture is fired.
本発明中上に使用された場合、用語「造粒」とは、振動
性のスクリーンを使用して集塊になつた粒子を分散させ
ることをいう。As used above in this invention, the term "granulation" refers to the use of a vibrating screen to disperse agglomerated particles.
更に良好な焼切れ及び焼結特性を得るために、誘電体粒
子の表面積は少なくともo、5m2/g、そして好適に
は5 m2/Iであることが好適である。In order to obtain even better burnout and sintering properties, it is preferred that the surface area of the dielectric particles is at least 0,5 m2/g and preferably 5 m2/I.
尚一層高い表面積、例えば、1orIL2/Ii又はそ
れ以上を使用することができるが、それらの利点は、あ
る分散粘度を得るために表面積の大きい粒子稚蚕くの有
機媒質を必要とするという事実に対してバランスされな
ければならない。その外、実質的にすべての粒子は、そ
れらの最大寸法が10μmよシ小さくあるべきである。Still higher surface areas, e.g. 1 or IL2/Ii or higher, can be used, but their advantage lies in the fact that they require an organic medium of large surface area particles to obtain a certain dispersion viscosity. must be balanced against. Additionally, substantially all particles should be smaller than 10 μm in their largest dimension.
B、グリーンテープ注型溶液
上述したように、本発明の誘電体組成物のグリーンテー
プは、スチールベルト又は重合体フィルムのような、可
撓性基質上に重合体結合剤及び揮発性有機溶媒の溶液中
誘電体材料の分散液を注型し、次に注型層を加熱してそ
れから揮発性溶媒を除去することによってつくられる。B. Green Tape Casting Solution As mentioned above, the green tape of the dielectric composition of the present invention is formed by casting a polymeric binder and a volatile organic solvent onto a flexible substrate, such as a steel belt or a polymeric film. It is made by casting a dispersion of dielectric material in solution and then heating the cast layer to remove the volatile solvent therefrom.
セラミック固体が分散されている有機媒質は、揮発性有
機溶媒、そして随意には、可塑剤、離型剤、分散剤、剥
離剤、防汚剤及び湿潤剤のような他の溶解されている材
料に溶解される重合体結合剤よりなる。The organic medium in which the ceramic solid is dispersed includes a volatile organic solvent and optionally other dissolved materials such as plasticizers, mold release agents, dispersants, stripping agents, antifouling agents and wetting agents. consisting of a polymeric binder dissolved in
より良好な結合効率を得るために、90容量係のセラミ
ック固体に対して少くとも5容量チの重合体結合剤を使
用することが好適である。In order to obtain better bonding efficiency, it is preferred to use at least 5 volumes of polymeric binder to 90 volumes of ceramic solid.
しかし、80容量チのセラミック固体中20容量チ以下
の重合体結合剤を使用することが更に好適である。これ
らの限界内では、熱分解によって除去されなければなら
ない有機物の量を減少させるために、固体に対して最小
の可能な量の結合剤を使用することが望ましい。However, it is more preferred to use less than 20 volumes of polymeric binder in 80 volumes of ceramic solid. Within these limits, it is desirable to use the smallest possible amount of binder to solids in order to reduce the amount of organics that must be removed by pyrolysis.
過去においては、種々の重合体材料、例えば、ポリ(ビ
ニルブチラール)、ポリ(酢酸ビニ→、ポリ(ビニルア
ルコール)、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒ
ドロキシエチルセルロース、メチルヒドロキシエチルセ
ルロースのようなセルロース系重合体、アタクチックの
ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ(メチルシロキサ
ン)、ポリ(メチルフェニルシロキサン)のようなシリ
コン重合体、ポリスチレン、ブタジェン/スチレン共重
合体、ポリスチレン、ポリ(ビニルピロリドン)、ポリ
アミド類、高分子量ポリエーテル類、酸化エチレン及び
酸化プロピレンの共重合体、ポリアクリルアミド類、並
びにポリアクリル酸ナトリウム、ポリ(アクリル酸低級
アルキル)、ポリ(メタクリル酸低級アルキル)及びア
クリル酸及びメタクリル酸低級アルキルの種々の共重合
体及び多元重合体のような種々のアクリル系重合体が、
グリーンテープに対する結合剤として用いられている。In the past, various polymeric materials have been used, such as poly(vinyl butyral), poly(vinyl acetate), poly(vinyl alcohol), cellulosic polymers such as methylcellulose, ethylcellulose, hydroxyethylcellulose, methylhydroxyethylcellulose, atactic Silicone polymers such as polypropylene, polyethylene, poly(methylsiloxane), poly(methylphenylsiloxane), polystyrene, butadiene/styrene copolymers, polystyrene, poly(vinylpyrrolidone), polyamides, high molecular weight polyethers, oxidized Copolymers of ethylene and propylene oxide, polyacrylamides, and various copolymers and polymers of sodium polyacrylate, poly(lower alkyl acrylate), poly(lower alkyl methacrylate), and acrylic acid and lower alkyl methacrylate. Various acrylic polymers such as
Used as a binder for green tape.
メタクリル酸エチル及びアクリル酸メチルの共重合体及
びアクリル酸エチル、メタクリル酸メチル及びメタクリ
ル酸の3元重合体が、流込み注型材料に対する結合剤と
して前に使用されている。Copolymers of ethyl methacrylate and methyl acrylate and terpolymers of ethyl acrylate, methyl methacrylate and methacrylic acid have been used previously as binders for pour casting materials.
更に最近、1983年6月7日出願の米国特許出願5N
501,978中ウスラは、0〜100重量%のメタク
リル酸01〜8アルキル、100〜01量−のアクリル
酸01〜8アルキル及び0〜5重量%のエチレン系不飽
和カルボレ酸又はアミンの配合可能な多元重合体の混合
物である有機結合剤を開示している。重合体は、最小量
の結合剤及び最大量の誘電体固体の使用を可能にするの
で、本発明の誘電体組成物の場合それらを使用すること
が好適である。この理由から、上に引用したウスラの特
許出願を参考文献としてここに組み入れておく。More recently, U.S. Patent Application 5N filed June 7, 1983
Usura in 501,978 can contain 0-100% by weight of 01-8 alkyl methacrylate, 100-01% by weight of 01-8 alkyl acrylate, and 0-5% by weight of ethylenically unsaturated carboleic acid or amine. discloses an organic binder that is a mixture of polypolymers. Polymers are preferred for use in the dielectric compositions of the invention since they allow the use of a minimum amount of binder and a maximum amount of dielectric solids. For this reason, the Usula patent application cited above is incorporated herein by reference.
注型溶液の溶媒成分は、重合体の完全な溶液及び大気圧
下比較的低い水準の加熱の施用によって分散液から溶媒
が蒸発することができるだけの高い揮発性を得るように
選択される。その外、溶媒は、有機媒質中台まれるいず
れの他の添加剤の沸点及び分解点よシも充分低い沸点を
有しなければならない。かくして、150℃よシ低い大
気圧沸点を有する溶媒が、最も頻繁に使用される。この
ような溶媒は、(ンゼン、アセトン、キシレン、メタノ
ール、エタノール、メチルエチルケトン、1.Ll −
トリクロロエタン、テトラクロロエチレン、酢酸アミル
、インタンジオール−1,3−モノイソ酪酸2,2.4
− )リエチル、トルエン及び塩化メチレンを包含する
。The solvent components of the casting solution are selected to obtain complete solution of the polymer and high volatility such that the solvent can be evaporated from the dispersion by application of relatively low levels of heat at atmospheric pressure. In addition, the solvent must have a boiling point sufficiently lower than the boiling point and decomposition point of any other additives present in the organic medium. Thus, solvents with atmospheric pressure boiling points below 150°C are most often used. Such solvents include (benzene, acetone, xylene, methanol, ethanol, methyl ethyl ketone, 1.Ll-
Trichloroethane, tetrachloroethylene, amyl acetate, intanediol-1,3-monoisobutyric acid 2,2.4
-) Includes ethyl, toluene and methylene chloride.
しばしば、有機媒質は、結合剤重合体に比して少量の、
可塑剤も含み、これは、結合剤重合体のガラス転移温度
(Tg)を低下させるのに役立つ。しかし、このような
材料の使用は、有機材料から注型されたフィルムを焼成
する時、除去しなければならない有機材料の量を減少さ
せるため、最小にされるべきである。勿論、可塑剤の選
択は、第1に、改変されなければならない重合体によっ
て決定される。種々の結合剤系中で使用されている可塑
剤の中には、フタル酸ジエチル、7タル酸ジブチル、7
タル酸オクチル、7タル酸ブチルベンジル、燐酸アルキ
ル類、ポリアルキレングリコール類、グリセロール、ポ
リ(酸化エチレン)類、ヒドロキシエチル化アルキルフ
ェノール、ジアルキルジチオホスフェート及びポリ(イ
ソブチレン)がおる。勿論、フタル酸プチルズンジルは
、それが比較的低濃度において有効に使用することがで
きるので、アクリル系重合体系中で最もしば・しば使用
される。Often, the organic medium is present in a small amount relative to the binder polymer.
It also contains a plasticizer, which helps lower the glass transition temperature (Tg) of the binder polymer. However, the use of such materials should be minimized to reduce the amount of organic material that must be removed when firing films cast from organic materials. Of course, the choice of plasticizer is determined primarily by the polymer that has to be modified. Among the plasticizers used in various binder systems are diethyl phthalate, dibutyl 7thalate, 7
These include octyl tarate, butylbenzyl heptatarate, alkyl phosphates, polyalkylene glycols, glycerol, poly(ethylene oxide)s, hydroxyethylated alkylphenols, dialkyldithiophosphates, and poly(isobutylene). Of course, butyldundyl phthalate is most often used in acrylic polymer systems because it can be used effectively at relatively low concentrations.
C0厚型フイルムぼ−スト
しばしば、スクリーンプリンティングのような技術によ
って原型フィルムイーストとして本発明の組成物を施用
することが望ましいことがある。分散液を厚いフィルム
イーストとして施用するべき時には、適当なレオロジー
調節及び低揮発性溶媒を用いて常用の浮型フィルム有機
媒質を使用することができる。この際には、組成物は、
それらがスクリーンを容易に通ることができるように、
適当な粘度を有さなければならない。その外、それらは
、それらがスクリーンされて後早く硬化し、それによっ
て良好な分解を得るために、チクソトロピークであるべ
きである。レオロジーの性質が第1に重要なものである
が、有機媒質は又、固体及び溶媒の適当なぬれ、良好な
乾燥速度、あらい取扱いに耐えるだけの乾燥フィルム強
度及び良好な焼成性を与えるように処方されるのが好適
である。C0 Thick Film Casting It may often be desirable to apply the composition of the present invention as a master film yeast by techniques such as screen printing. When the dispersion is to be applied as a thick film yeast, conventional floating film organic media can be used with appropriate rheology adjustment and low volatility solvents. In this case, the composition is
so that they can easily pass through the screen,
It must have a suitable viscosity. Besides, they should be thixotropic in order to cure quickly after they are screened and thereby obtain good resolution. Although rheological properties are of primary importance, the organic medium also provides adequate wetting of solids and solvents, good drying rates, dry film strength to withstand rough handling, and good sinterability. Preferably, it is prescribed.
これらの規準のすべてに鑑みて、有機媒質として広範囲
の不活性液体を使用することができる。最も厚いフィル
ム組成物に対する有機媒質は、典型的には溶媒中樹脂の
溶液、しばしば樹脂及びチクソトロピー剤を、共に含有
する溶媒溶液である。溶媒は、通常130〜350℃の
範囲内の沸点を有する。In view of all these criteria, a wide variety of inert liquids can be used as the organic medium. The organic medium for most thick film compositions is typically a solution of a resin in a solvent, often a solvent solution containing both the resin and a thixotropic agent. The solvent usually has a boiling point within the range of 130-350°C.
この目的に特に適当な樹脂は、低級アルコールのポリメ
タクリレート類及びエチレングリコールモノアセテート
のモツプチルエーテルである。Particularly suitable resins for this purpose are polymethacrylates of lower alcohols and mottyl ether of ethylene glycol monoacetate.
浮型フィルムでの適用のために最も広く使用される溶媒
は、ケロセン、フタル酸ジプチル、ブチルカルピトール
、ブチルカルピトールアセテート、ヘキシレングリコー
ル及び高沸点アルコール類及びアルコールエステル類の
ような他の溶媒と共に、アルファー又はベーターテルピ
ネオール又はそれらの混合物のようなチルRン類である
。これら及び他の溶媒の種々の組合せを処方して、各々
の適用における所望の粘度及び揮発性要件を得る。The most widely used solvents for applications in floating films are kerosene, diptyl phthalate, butyl carpitol, butyl carpitol acetate, hexylene glycol and other solvents such as high boiling alcohols and alcohol esters. and thiols such as alpha or beta terpineol or mixtures thereof. Various combinations of these and other solvents are formulated to obtain the desired viscosity and volatility requirements for each application.
普通使用されるチクソトロピー剤の中には、水素添加ヒ
マシ油及びそれらの誘導体がある。Among the commonly used thixotropic agents are hydrogenated castor oil and their derivatives.
勿論、いずれの懸濁液にも固有であるずシ減粘(5he
ar t、hinning )と組み合わせた溶媒/樹
脂の性質がそれだけでこの点で適当であることがあるの
で、チクソトロピー剤を組み入れることは常には必要で
はない。Of course, no viscosity reduction (5he) is inherent in any suspension.
It is not always necessary to incorporate a thixotropic agent, as the properties of the solvent/resin in combination with art, hinning) may alone be suitable in this regard.
分散液中有機媒質対無機固体の比は、かなシ変ることが
でき、分散剤が施用されるべき方式及び使用される有機
媒質の種類によっている。The ratio of organic medium to inorganic solids in the dispersion can vary widely and depends on the manner in which the dispersant is to be applied and the type of organic medium used.
普通、良好な適用範囲を達成するためには、分散液は、
相補的に重量で60〜90%の固体及び40〜10%の
有機媒質を含有する。このような分散液は、通常半固体
の粘稠性のものであシ、普通「R−スト」といわれる。Usually, to achieve good coverage, the dispersion is
Complementarily contains 60-90% solids and 40-10% organic medium by weight. Such dispersions are usually semi-solid in consistency and are commonly referred to as "R-st."
イーストは、30−ル型ミル上製造されるのが便利であ
厄。イーストの粘度は、典型的には、低、中及び高ずシ
速度においてブルックフィールド粘度計上室温において
測定される時次の範囲内にある:
0.2 100〜5000−300〜200
0好適
600〜1500最も好適
440−400:
100〜25゛0 好適
140〜200 最も好適
584 7〜4〇 −10〜25
好適
12〜18 最も好適
利用される有機媒質(媒体)の量及び型は、主に、最終
の所望の処方粘度及びプリント厚さによっている。Yeast is conveniently produced in a 30-mill type mill. The viscosity of yeast is typically within the following ranges as measured at room temperature on a Brookfield viscometer at low, medium and high speeds: 0.2 100-5000 - 300-200
0 preferred 600-1500 most preferred 440-400: 100-25゛0 preferred 140-200 most preferred 584 7-40 -10-25
Preferences 12-18 The amount and type of organic medium most preferably utilized depends primarily on the final desired formulation viscosity and print thickness.
D、キャパシティー処理
上述したように、多くの多層コンデンサーは、グリーン
テープである誘電体基質上所望のパターンの電極金属化
についてプリントすることによって加工される。プリン
ト型誘電体基質は、積み重ねられ、積層され、そして切
断されて所i1 ノwンデンサー構造物を形成する。グ
リーン誘電体材料は、次に焼成されて電極材料から有機
媒質、並びに誘電体材料から有機結合剤の除去が行なわ
れる。これらの材料の除去は、焼成操作の間蒸発及び熱
分解によって実施される。D. Capacity Processing As mentioned above, many multilayer capacitors are fabricated by printing a desired pattern of electrode metallization onto a dielectric substrate that is green tape. The printed dielectric substrates are stacked, laminated, and cut to form the i1 capacitor structure. The green dielectric material is then fired to remove the organic medium from the electrode material as well as the organic binder from the dielectric material. Removal of these materials is carried out by evaporation and pyrolysis during the calcination operation.
若干の場合には、焼成の前に予備乾燥も挿入することが
望ましいことがある。未焼成のグリーンテープの厚さは
、典型的には約12〜t3ミルであシ、焼成すると厚さ
は、約0.9〜1.0ミルとなる。In some cases it may be desirable to also insert a pre-drying period before firing. The green tape typically has a thickness of about 12 to 3 mils, and when fired has a thickness of about 0.9 to 1.0 mils.
上述したコンデンサー組立物を焼成する時、組立物をゆ
つくり100〜550℃に加熱する第1工程(これは、
積層型組立物に対する傷害なしに有機材料のすべてを除
去するのに有効である)を用いることが好適である。典
型的には、この有機焼切シ期間は、有機物の除去を確実
にするように18〜24時間である。これが完了した時
、次に組立物を比較的早く所望の焼結温度まで加熱する
。When firing the capacitor assembly described above, the first step is to slowly heat the assembly to 100-550°C (this is
It is preferred to use a method that is effective in removing all of the organic material without damage to the laminate assembly. Typically, this organic burnout period is 18-24 hours to ensure removal of organics. When this is completed, the assembly is then heated relatively quickly to the desired sintering temperature.
所望の焼結温度は、誘電体材料の物理的及び化学的特性
によって決定される。通常焼結温度は、誘電体材料の最
大の緻密化を得るように選択される。本発明の誘電体組
成物の場合には、この温度は、900〜1050℃の範
囲である。しかし、最大緻密化は常には必要ではないこ
とがコンデンサー加工技術熟練者によって認められる。The desired sintering temperature is determined by the physical and chemical properties of the dielectric material. Usually the sintering temperature is selected to obtain maximum densification of the dielectric material. In the case of the dielectric composition of the invention, this temperature ranges from 900 to 1050<0>C. However, it is recognized by those skilled in the art of capacitor fabrication that maximum densification is not always necessary.
従って、用語「焼結温度」は、特定のコンデンサーの応
用のために所望される程度の誘電体材料の緻密化を得る
温度(並びに時間の量も含まれる意味)をいう。焼結時
間も、誘電体組成物によって変るが、通常この焼結温度
において2時間程度の時間が好適である。Accordingly, the term "sintering temperature" refers to the temperature (as well as the amount of time) that achieves the degree of densification of the dielectric material desired for a particular capacitor application. Although the sintering time also varies depending on the dielectric composition, a time of about 2 hours is usually suitable at this sintering temperature.
焼結が完了すると、外温まで冷却する速度は、熱ショッ
クに対する成分の抵抗に応じて注意深くコントロールさ
れる。Once sintering is complete, the rate of cooling to external temperature is carefully controlled depending on the component's resistance to thermal shock.
あるコンデンサーが正しく機能するのに関係する次の性
質が、実施例中挙げられている。The following properties that are relevant to the proper functioning of a given capacitor are listed in the examples.
E、キャパジタンス
キヤ、oシタンスは、数学的にC=KAN割るt(ただ
しKは誘電率、Aは電極の面積の重なりに等しく、Nは
誘電体層の数であシ、そしてtは誘電体層の厚さである
)と表わされる、材料が電荷を蓄積する能力の尺度であ
る。E, capacitance scatter, o capacitance is calculated mathematically as C=KAN divided by t, where K is the dielectric constant, A is the area overlap of the electrodes, N is the number of dielectric layers, and t is the dielectric constant. is a measure of the ability of a material to store charge, expressed as body layer thickness.
キャパシタンスの単位は、ファラド又はミクロ7アラド
(10−’ファラド)、ナノファラド(10−’ファラ
ド)又はピクロファラド(1(1−12フアラド)のよ
うなその分数である。The units of capacitance are farads or fractions thereof, such as microfarads (10-' farads), nanofarads (10-' farads), or picrofarads (1-12 farads).
F、散逸率
散逸″*(DF)は、電圧及び電流の間の相差異の尺度
である。完全なコンデンサーにおいては、相差異は90
°である。しかし、実際の誘電体系においては、もれ及
び衰退損失のために量σだけ90°より小さい。特に、
DFは角σの正接アある。F, dissipation factor Dissipation''* (DF) is a measure of the phase difference between voltage and current. In a perfect capacitor, the phase difference is 90
°. However, in practical dielectric systems, the amount σ is less than 90° due to leakage and decay losses. especially,
DF is the tangent of the angle σ.
G、絶縁抵抗
絶縁抵抗(IR)は、DC電流中もれに抵抗する荷電コ
ンデンサーの能力の尺度である。絶縁抵抗は、キャパシ
タンスと無関係にいずれのある誘電体系についても一定
である。G, Insulation Resistance Insulation resistance (IR) is a measure of a charged capacitor's ability to resist leakage during DC current. Insulation resistance is constant for any given dielectric system regardless of capacitance.
次の実施例及び比較表示は、本発明の利点を例示するた
めに示される。実施例及び明細書及び特許請求の範囲中
地のところにおいて、例示し々いかぎり、すべての部、
百分率、割合等は重量による。The following examples and comparative displays are presented to illustrate the advantages of the present invention. In the examples, the specification, and the claims, all parts, as far as examples are concerned,
Percentages, proportions, etc. are by weight.
実施例
例1〜5
次の順序の処理工程により、a対すの比が0、4010
.60及び0.5010.50である2種の量の低焼成
誘電体組成物をつくった。Examples 1 to 5 The following processing steps resulted in a ratio of 0 to 4010
.. Two quantities of low firing dielectric compositions were made: 60 and 0.5010.50.
(1)1大ミル処理
(2)乾燥
(3)造粒
(4)燗焼
(5)造粒
(6)樹脂ミル処理
用語「樹脂ミル処理」とは、水の代シに有機分散媒質を
使用して実施されるミル処理をいう。(1) 1 large mill treatment (2) drying (3) granulation (4) roasting (5) granulation (6) resin mill treatment Refers to the milling process carried out using
有機媒質は、有機溶媒中結合剤重合体の溶液である。The organic medium is a solution of binder polymer in an organic solvent.
適当な割合の2種の上述した材料をブレンドすることに
よって、中間のψ比を有する、更に3種の量の誘電体組
成物を製造した。次に、得られた5種の組成物を上述し
た方式で使用してグリーンテープを形成させ、次にこれ
を使用して、使用される誘電体材料のみが異なる多層コ
ンデンサーを加工した。それらから形成されたコンデン
サーの性質を下の表1に示す:表 1
PbO63,163,463,864,364,7Mg
CO58,17,87,57,26,9’rio2 9
.19.810.411.011.6WO319,71
9,018,317,516,8(モル1
PbTi05 3B、6 41.0 43.5
45.9 48.5Pb(MgW)03 57.
7 55.4 55.0 50.7 48.3Mg0
3.7 3.6 5.5 5.4
5.4焼成温度℃1038103810381058
1038焼成誘電体性質
K(25℃におい一’Q5437 6140 7004
7(5105790TCC’、%a0.10℃
+、a、o +2.8 −10.9 −16.4
−25.535℃ −4,6−2,8+2.0
+15.5 +31.950′C−13,0−9,9
−4,1+24.7”+71.385℃ −50,2
−23,7−24,1+12.7 +131.3(υ
%、DF(IVAル) 1.07 1.74 5.5
6 ’ 6.91 4.90x −111
11
a O,400,4250,450,4
750,50b O,600,5750
,550,5250,50(1)つ5.c及びTCC8
5,:を基にして、潜在性には13,000である。Three additional quantities of dielectric compositions with intermediate ψ ratios were prepared by blending appropriate proportions of the two above-mentioned materials. The resulting five compositions were then used in the manner described above to form green tapes, which were then used to fabricate multilayer capacitors that differed only in the dielectric material used. The properties of the capacitors formed from them are shown in Table 1 below: Table 1 PbO63,163,463,864,364,7Mg
CO58,17,87,57,26,9'rio2 9
.. 19.810.411.011.6WO319,71
9,018,317,516,8 (mol 1 PbTi05 3B, 6 41.0 43.5
45.9 48.5Pb(MgW)03 57.
7 55.4 55.0 50.7 48.3Mg0
3.7 3.6 5.5 5.4
5.4 Firing temperature ℃ 1038103810381058
1038 Sintered dielectric properties K (25℃ odor) Q5437 6140 7004
7 (5105790TCC', %a0.10℃
+, a, o +2.8 -10.9 -16.4
-25.535℃ -4,6-2,8+2.0
+15.5 +31.950'C-13,0-9,9
-4,1+24.7"+71.385℃ -50,2
−23,7−24,1+12.7 +131.3(υ
%, DF (IVA) 1.07 1.74 5.5
6' 6.91 4.90x -111
11 a O, 400, 4250, 450, 4
750,50b O,600,5750
,550,5250,50(1)5. c and TCC8
Based on 5,:, the potential is 13,000.
前記のデータは、試験された性質のすべてに対して実質
的な効果が得られたことを示す。め比の増大と共に、キ
ュリーピークは高温の方に移るので、室温におけるK及
びDFの値は、驚くことではないが、増大する。これら
のデータは、本発明によって非常に高い潜在性室温に値
を得ることができることを示す。The above data show that substantial effects were obtained on all of the properties tested. With increasing ratio, the Curie peak shifts towards higher temperatures, so the values of K and DF at room temperature increase, not surprisingly. These data show that very high latent room temperature values can be obtained with the present invention.
例6〜B
ZnTi03の量が0及び1.0重量%である2種の量
の低焼成誘電体組成物を製造した。Example 6-B Two amounts of low firing dielectric compositions were prepared in which the amount of ZnTi03 was 0 and 1.0% by weight.
第1に、55%の水中成分をボールミル処理することに
より、MnO2、Coo及びPbTiO3のプレ混合物
を製造した。ボールミル処理した混合物は、次に450
℃において12時間乾燥し、40メツシユのスクリーン
を通して造粒し、1550℃において2時間燻焼し、次
に再び1回造粒した。次に次の順序によって残余の成分
を製造した:
(1)湿式ミル処理
(2)乾燥
(3)造粒
(4) 燻焼
(5)造粒
(6)樹脂ミル処理
ZnTiO3を含有及び含有しない混合物を製造し、そ
の1部をブレンドして中間量のZnTiO3を有する混
合物を形成させた。。First, a premix of MnO2, Coo, and PbTiO3 was prepared by ball milling a 55% water component. The ball milled mixture was then heated to 450
It was dried for 12 hours at 0.degree. C., granulated through a 40 mesh screen, smoked for 2 hours at 1550.degree. C., and then granulated once again. The remaining ingredients were then prepared by the following order: (1) Wet milling (2) Drying (3) Granulation (4) Smoking (5) Granulation (6) Resin milling with and without ZnTiO3 A mixture was prepared and portions thereof were blended to form a mixture with an intermediate amount of ZnTiO3. .
次に、アクリル系重合体溶液中組成物固体のミル処理し
た分散液を使用してグリーンテープを成型し、これから
上述した方式で多層コンデンサーを製造した。これらか
ら形成されたコンデンサーの電気的性質を下の表2に示
す。The milled dispersion of the composition solids in the acrylic polymer solution was then used to mold green tape, from which multilayer capacitors were manufactured in the manner described above. The electrical properties of capacitors formed from these are shown in Table 2 below.
表 2
ZnTi03添加の焼成範囲に対する効果側屈
□ □ □
誘電体組成 ・(重量s>
PbO64,36五9 63.6
MgCO37,17,07,0
Ti02 11.1 1t1 1tOw
o3 17.2 17.2 17.1C
oO0,20,20,2
Mn0 O,I Q、1 0.1
ZnTi05 − 0.5 1.0使用
可能焼結
1038℃において なし あり あり10
10℃において なし あシ あり982℃
において なし なし あり表2中のデー
タは、全く少量のZnTiO3の添加が、少なくとも5
0℃だけ誘電体組成物の焼結温度を低下させるので有効
であったことを示す。Table 2 Effect of ZnTi03 addition on firing range on side bending
□ □ □ Dielectric composition ・(Weight s> PbO64,3659 63.6 MgCO37,17,07,0 Ti02 11.1 1t1 1tOw
o3 17.2 17.2 17.1C
oO0,20,20,2 Mn0 O,I Q,1 0.1
ZnTi05 - 0.5 1.0 usable sintering at 1038℃ None Yes Yes 10
At 10℃ Without Reeds With 982℃
In No None Yes The data in Table 2 shows that the addition of very small amounts of ZnTiO3
This shows that it was effective because it lowered the sintering temperature of the dielectric composition by 0°C.
例9〜16
本発明の組成物に種々の量及び種類のドーピング剤を添
加して1連の8種の組成物を製造し、焼成された誘電体
の性質、特に散逸率(DF )に対するそれらの効果を
観察した。Examples 9-16 A series of eight compositions were prepared by adding various amounts and types of doping agents to the compositions of the present invention, and their effects on the properties of the fired dielectrics, particularly the dissipation factor (DF). observed the effect of
例9〜11及び16の場合には、■焼操作に続いて5r
Ti03及び(又は) ZnTiO3を混合物に添加し
たことの外は、次の順序の工程に1つて組成物を製造し
た。In the case of Examples 9 to 11 and 16, the baking operation was followed by 5 r.
The compositions were prepared in one step in the following sequence, except that TiO3 and/or ZnTiO3 were added to the mixture.
(1)湿式ミル処理
(2)乾燥
(3)造粒
(4) 燻焼
(5)造粒
(6)樹脂ミル処理
次に1アクリル系重合体の溶液中組成物固体の樹脂ミル
処理分散液を使用してグリーンテープを注型し、これか
ら上述した方式で多層コンデンサーを製造した。これら
から形成されたコンデンサーの電気的性質を下の表3に
示す。(1) Wet milling (2) Drying (3) Granulation (4) Smoking (5) Granulation (6) Resin milling Then 1 Resin milling dispersion of composition solids in solution of acrylic polymer A green tape was cast using a green tape, and a multilayer capacitor was manufactured from it using the method described above. The electrical properties of capacitors formed from these are shown in Table 3 below.
例9及び10を比較すると、Coo及びMnO2が、共
同してDFを低下させるのに有効であることが示される
。同様に、COo単独の添加(例14)の結果、全く低
いDF値が生じた。例11〜13は、MnO2、CeO
2及びNiOの添加が、各々DFを低下させるのに有効
であることを示す。しかし、例15を対照例16と比較
すると、Fer205がDF’を低下させず、上昇させ
たことが示される。A comparison of Examples 9 and 10 shows that Coo and MnO2 are jointly effective in lowering DF. Similarly, addition of COo alone (Example 14) resulted in quite low DF values. Examples 11 to 13 are MnO2, CeO
2 and NiO are each shown to be effective in lowering DF. However, comparing Example 15 to Control Example 16 shows that Fer205 did not reduce DF', but increased it.
例17〜20
2種の対の組成物を製造して、寿命の実績に対するCd
SnO3添加の効果を観察した。5rT103を用いて
出発し、ZnTiO3及びCd5f103は、工程(4
)の燻焼生成物に添加されたことの外は、次の順序の工
程によって組成物を製造した:
(1)湿式ミル処理
(2)乾燥
(3)造粒
(4)燻焼
(5)造粒
(6)湿式ミル処理
(力 乾燥
・8)造粒
(9) 樹脂ミル処理
次に、アクリル系重合体の溶液中組成物固体の樹脂ミル
処理分散液を使用してグリーンテープを注型し、これか
ら上述した方式で多層コンデンサーを製造した。これら
から形成されたコンデンサーの電気的性質を下の表4に
示す:表 4
誘電体組成 (重量%)PbO62,
061,462,061,4MgCO36,56,46
,56,4
Ti02 11.4 11.3 11.4
11.!1wo3 15.8 15.6
15.8 15.6Coo O,2
0,20,20,2Mn02 0.1
0.1 0.1 0.l5rTi03
3.5 3.5 3.5 5.5ZnTi03
0.5 0.5 0.5 0.5C
dSn05 − 1.0 − 1
.0粉末性質
粒子径μm
10チ <0.95 <0.92 <
0.95 <0.9250% <1.80
<1.60 <1.80 <1.6090%
<5.45 <2.70 <3.45
<2.70表面積 m2g 50.7(リ
6.7(2) −5,76,7(2)焼成温度 C
968968968968(1)ミル処理16時間
(2)ミル処理32時間
(3)48時間、100V、125℃
前記の寿命試験のデータは、CdZnO3が、コンデン
サー欠落の数を実質的に減少させることによって寿命試
験の結果を改良するのに有効であったことを示す。Examples 17-20 Two paired compositions were prepared to provide Cd for lifetime performance.
The effect of adding SnO3 was observed. Starting with 5rT103, ZnTiO3 and Cd5f103 were added in step (4).
) was added to the smoldering product, the composition was prepared by the following sequence of steps: (1) wet milling (2) drying (3) granulation (4) smoldering (5) Granulation (6) Wet milling (force drying/8) Granulation (9) Resin milling Next, resin milling dispersion of the composition solid in solution of the acrylic polymer is used to cast green tape. From this, a multilayer capacitor was manufactured using the method described above. The electrical properties of capacitors formed from these are shown in Table 4 below: Table 4 Dielectric composition (wt%) PbO62,
061,462,061,4MgCO36,56,46
,56,4 Ti02 11.4 11.3 11.4
11. ! 1wo3 15.8 15.6
15.8 15.6Coo O,2
0,20,20,2Mn02 0.1
0.1 0.1 0. l5rTi03
3.5 3.5 3.5 5.5ZnTi03
0.5 0.5 0.5 0.5C
dSn05-1.0-1
.. 0 Powder properties Particle diameter μm 10 inches <0.95 <0.92 <
0.95 <0.9250% <1.80
<1.60 <1.80 <1.6090%
<5.45 <2.70 <3.45
<2.70 Surface area m2g 50.7 (Li 6.7(2) -5,76,7(2) Firing temperature C
968968968968 (1) 16 hours of milling (2) 32 hours of milling (3) 48 hours, 100V, 125°C This shows that it was effective in improving the results.
例21〜30
更に2種の系列の組成物を製造し、それらにおいて焼成
誘電体の性質に対する種々のドープ剤濃度の効果を観察
した。第1の系列(例21〜25)においては、Mn0
2の量を0.1から0.5まで上げ、第2の系列(例2
6〜30)においては、C00の量を0.1から0.5
まで上げた。両系列の組成物共、例9〜16と同様にし
て製造、評価した。これらからつくられた■、Cの性質
を下の表5に示す:
例31〜39
向夏に1連の9種の組成物を製造し、それらにおいては
WO2、MgCO3、pbo及び’rio2の量の多少
の変更を行なった。特に、上記の4成分の各々が過剰又
は不足で存在している2種の組成物を製造した。組成物
の各々及び対照を使用し、996℃及び1024℃の焼
成温度を使用して上述した方式でMLCを製造した。誘
電体組成及びこれらからつくられたMLCの性質を下の
表6に示す。Examples 21-30 Two further series of compositions were prepared in which the effect of various dopant concentrations on fired dielectric properties was observed. In the first series (Examples 21-25), Mn0
2 from 0.1 to 0.5 and the second series (Example 2
6 to 30), the amount of C00 is 0.1 to 0.5
I raised it to Both series of compositions were produced and evaluated in the same manner as in Examples 9-16. The properties of ■, C made from these are shown in Table 5 below: Examples 31-39 A series of nine compositions were prepared in early summer, in which the amounts of WO2, MgCO3, pbo and 'rio2 were prepared. Made some changes. In particular, two compositions were prepared in which each of the four components listed above was present in excess or deficiency. MLCs were prepared in the manner described above using each of the compositions and a control using calcination temperatures of 996°C and 1024°C. The dielectric compositions and properties of MLCs made from them are shown in Table 6 below.
表 6
例A 37
誘電体組成
PbO62,1
Mgcog 44
’r1o2 10.9
WOs 15.6
TMO” 1,5
ZnTi05 0.5
SrTi05 5.0
条件 pbo 過剰
焼成温度t: 9961024K(25℃にお
いて) 7465 8078% DF(IV/ミル
) α74 2.0035℃ −
4,4+6.3
50℃ −12,8−t5
25℃ eD3.3に
85℃ &4K &4に
−X−TMO−重量で5俤のMnO2,15%の1を含
有する遷移金属酸化物。Table 6 Example A 37 Dielectric composition PbO62,1 Mgcog 44 'r1o2 10.9 WOs 15.6 TMO" 1,5 ZnTi05 0.5 SrTi05 5.0 Conditions pbo Excess firing temperature t: 9961024K (at 25°C) 7465 8078 % DF (IV/mil) α74 2.0035℃ −
4,4+6.3 50°C -12,8-t5 25°C eD3.3 to 85°C &4K &4 to -X-TMO-Transition metal oxide containing 5 tons of MnO2, 15% of 1 by weight.
(つづき)
(重量%)
62.0 6α7
6.66.5
I Q、3 12.0
16.3 15.8
1.5 t5
0.5 Q、5
3.0 5.0
’rtoz不足 ’rio2過剰
5699 6B50 951 10240.26 t
oo 122 4.52+6.6 −α4 −7.4
−5.2−7.6 −5.2 今5.9 +s、
。(Continued) (Weight%) 62.0 6α7 6.66.5 I Q, 3 12.0 16.3 15.8 1.5 t5 0.5 Q, 5 3.0 5.0 'rtoz deficiency 'rio2 Excess 5699 6B50 951 10240.26 t
oo 122 4.52+6.6 -α4 -7.4
-5.2-7.6 -5.2 Now 5.9 +s,
.
−169−16,4+15.9 +12.7−37.1
−39.1 +52.0 +55.1g1″10.
9 K a。-169-16,4+15.9 +12.7-37.1
-39.1 +52.0 +55.1g1″10.
9 K a.
” 2.8K 2.9K 0.6にフoO及び
80%のPbTi05
上のデータは、少量の金属酸化物が、ベース材料系のD
F特性を低下させるのにきわめて有益な効果を有するこ
とができることを示す。” 2.8K 2.9K 0.6 FoO and 80% PbTi05 The above data indicate that small amounts of metal oxides are
It shows that it can have a very beneficial effect in reducing the F characteristics.
特許出願人 イー・アイ・デュポン・ド・ネモアース
・アンド・コンパニー
外2名Patent applicant: 2 people other than E.I. du Pont de Nemoers & Compagnie
Claims (1)
a(PbMg_rW_sO_3)_b(式中x=0〜0
.3、r=0.45〜0.55、a=0.45〜0.6
、s=0.55〜0.45、b=1.55〜0.4そし
てΣ(r+s)=1またはΣ(a+b)=1である)に
対応するモル比の、金属酸化物、金属酸化物プレカーサ
ー又はその多元酸化物反応生成物の混合物95.5〜9
9.4重量%、及び(b)本質的に(1)Co、Ni、
Cr、Mn及びそれらの混合物よりなる群から選択され
る遷移金属の二元酸化物0.1〜1.0重量%、(2)
チタン酸Cd、チタン酸Zn又はそれらの混合物0.2
5〜1.5重量%、並びに(3)ジルコン酸Cd、ジル
コン酸Zn、すず酸Cd、すず酸Zn及びそれらの混合
物よりなる群から選択される多元酸化物0.25〜2.
0重量%よりなる金属酸化物又はそのプレカーサーの混
合物4.5〜0.6重量%(実質的にすべての粒子は、
最大寸法が10μmより小さく、少なくとも0.5m^
2/gの表面積を有する)の成分よりなる微細粒子の混
合物が、有機溶媒中に溶解された重合体結合剤よりなる
有機媒質中に分散されている、低い焼成温度において稠
密化された誘電性物体を形成させるための組成物から有
機溶媒を除去した組成物の層よりなる誘電体グリーンテ
ープ。 2)有機溶媒が揮発性非水性溶媒であり、分散液が成型
可能な粘稠性をもつ特許請求の範囲第1項記載のグリー
ンテープ。 3)(1)本質的に (a)式:(Sr_xPb_1_−_xTiO_3)_
a(PbMg_rW_sO_3)_b(式中x=0〜0
.3、r=0.45〜0.55、a=0.45〜0.6
、s=0.55〜0.45、b=1.55〜0.4そし
てΣ(r+s)=1またはΣ(a+b)=1である)に
対応するモル比の、金属酸化物、金属酸化物プレカーサ
ー又はその多元酸化物反応生成物の混合物95.5〜9
9.4重量%、及び(b)本質的に (1)Co、Ni、Cr、Mn及びそれらの混合物より
なる群から選択される遷移金属の二元酸化物0.1〜1
.0重量%、 (2)チタン酸Cd、チタン酸Zn又はそれらの混合物
0.25〜1.5重量%、並びに(3)ジルコン酸Cd
、ジルコン酸Zn、すず酸Cd、すず酸Zn及びそれら
の混合物よりなる群から選択される多元酸化物0.25
〜2.0重量%よりなる金属酸化物又はそのプレカーサ
ーの混合物4.5〜0.6重量%(実質的にすべての粒
子は、最大寸法が10μmより小さく、少なくとも0.
5m^2/gの表面積を有する) の成分よりなる微細粒子の混合物が、有機溶媒中に溶解
された重合体結合剤よりなる有機媒質中に分散されてい
る、低い焼成温度において稠密化された誘電性物体を形
成させるための組成物から有機溶媒を除去した組成物の
層よりなる誘導体グリーンテープの複数の層の各々に、
有機媒質中に分散された電導性電極材料の層を施し、 (2)この電極層を施した未焼成テープの複数個を積層
して、グリーンテープ及び電極材料の交互の層の組立物
を形成させ、そして (3)工程(2)の組立物を900〜1050℃におい
て焼成して有機媒質及び有機結合剤を除去しかつ電導性
電極材料及び誘電体材料を焼結させる、 逐次工程よりなるモノリシック集積コンデンサーの形成
法。[Claims] 1) Essentially formula (a): (Sr_xPb_1_-_xTiO_3)_
a(PbMg_rW_sO_3)_b (in the formula x=0 to 0
.. 3, r=0.45-0.55, a=0.45-0.6
, s=0.55-0.45, b=1.55-0.4 and Σ(r+s)=1 or Σ(a+b)=1). 95.5-9
9.4% by weight, and (b) essentially (1) Co, Ni,
0.1-1.0% by weight of a binary oxide of a transition metal selected from the group consisting of Cr, Mn and mixtures thereof, (2)
Cd titanate, Zn titanate or mixture thereof 0.2
and (3) 0.25 to 2.5% by weight of a multi-element oxide selected from the group consisting of Cd zirconate, Zn zirconate, Cd stannate, Zn stannate and mixtures thereof.
0% by weight of a mixture of metal oxides or their precursors (substantially all particles are
Maximum dimension is less than 10 μm and at least 0.5 m^
2/g) is dispersed in an organic medium consisting of a polymeric binder dissolved in an organic solvent. A dielectric green tape consisting of a layer of a composition obtained by removing an organic solvent from a composition for forming an object. 2) The green tape according to claim 1, wherein the organic solvent is a volatile non-aqueous solvent and the dispersion has a viscosity that allows molding. 3) (1) Essentially formula (a): (Sr_xPb_1_-_xTiO_3)_
a(PbMg_rW_sO_3)_b (in the formula x=0 to 0
.. 3, r=0.45-0.55, a=0.45-0.6
, s=0.55-0.45, b=1.55-0.4 and Σ(r+s)=1 or Σ(a+b)=1). 95.5-9
9.4% by weight, and (b) 0.1 to 1 binary oxide of a transition metal selected from the group consisting essentially of (1) Co, Ni, Cr, Mn and mixtures thereof;
.. 0% by weight, (2) 0.25-1.5% by weight of Cd titanate, Zn titanate or a mixture thereof, and (3) Cd zirconate.
, Zn zirconate, Cd stannate, Zn stannate and mixtures thereof 0.25
-2.0% by weight of a mixture of metal oxides or their precursors (substantially all particles have a largest dimension of less than 10 μm and at least 0.6% by weight)
A mixture of fine particles consisting of components (having a surface area of 5 m^2/g) is densified at a low calcination temperature, where the mixture is dispersed in an organic medium consisting of a polymeric binder dissolved in an organic solvent. Each of the plurality of layers of the dielectric green tape comprises a layer of a composition obtained by removing the organic solvent from the composition for forming a dielectric object.
applying a layer of conductive electrode material dispersed in an organic medium; (2) stacking a plurality of green tapes bearing the electrode layer to form an assembly of alternating layers of green tape and electrode material; and (3) firing the assembly of step (2) at 900-1050°C to remove the organic medium and organic binder and sinter the conductive electrode material and dielectric material. How to form integrated capacitors.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US62814684A | 1984-07-05 | 1984-07-05 | |
US628146 | 1984-07-05 | ||
US713099 | 1985-03-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63170261A true JPS63170261A (en) | 1988-07-14 |
JPH0255392B2 JPH0255392B2 (en) | 1990-11-27 |
Family
ID=24517674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61158113A Granted JPS63170261A (en) | 1984-07-05 | 1986-07-07 | Dielectric green tape |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63170261A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1603845B2 (en) † | 2003-04-14 | 2010-01-20 | Rheinkalk GmbH | Calcining device and method for burning limestone or dolomite |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6121967A (en) * | 1984-07-05 | 1986-01-30 | イー・アイ・デユポン・ド・ネモアース・アンド・コンパニー | Dielectric composition |
-
1986
- 1986-07-07 JP JP61158113A patent/JPS63170261A/en active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6121967A (en) * | 1984-07-05 | 1986-01-30 | イー・アイ・デユポン・ド・ネモアース・アンド・コンパニー | Dielectric composition |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1603845B2 (en) † | 2003-04-14 | 2010-01-20 | Rheinkalk GmbH | Calcining device and method for burning limestone or dolomite |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0255392B2 (en) | 1990-11-27 |
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