JPS63167683A - 圧電モ−タ - Google Patents

圧電モ−タ

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Publication number
JPS63167683A
JPS63167683A JP61314242A JP31424286A JPS63167683A JP S63167683 A JPS63167683 A JP S63167683A JP 61314242 A JP61314242 A JP 61314242A JP 31424286 A JP31424286 A JP 31424286A JP S63167683 A JPS63167683 A JP S63167683A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrating body
oscillating body
bending plate
piezoelectric
piezoelectric motor
Prior art date
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Pending
Application number
JP61314242A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsumi Fujimoto
克己 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP61314242A priority Critical patent/JPS63167683A/ja
Publication of JPS63167683A publication Critical patent/JPS63167683A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は圧電モータに関し、特に超音波帯の固体共振
に基づく進行波を利用する圧電モータに関する。
(従来技術) この種の従来の圧電モータでは、面外撓み振動、伸縮振
動および面内撓み振動などの振動を利用して、断面四角
形のリング状の振動体の表面に進行波が励振され、この
進行波によって、振動体に圧接されたロータに回転力が
与えられる。
(発明が解決しようとする問題点) 従来の圧電モータでは、ロータに回転力を与えるための
進行波力j1各種振動による定在波を重ね合わせること
によって得られる。このような進行波は、定在波のノー
ド点が時間とともに移動するものと捉えることができる
ので、いずれの振動モードを利用した従°来の圧電モー
タにも、固定ノード点が存在しない、そのため、従来の
圧電モータでは、振動体の支持される部分で振動がダン
ピングされ、進行波の発生効率が低下し、したがって、
エネルギの損失が大きかった。
さらに、従来の圧電モータでは、d31方向の圧電トル
クを利用するため、d3!方向の圧電トルクを利用する
ものに比べて圧電モータのトルクが小さかった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、エネルギ損失が
小さくかつトルクが大きい、圧電モータを提供すること
である。
(問題点を解決するための手段) この発明は、その一端面が幅狭に形成されたリング状の
振動体と、この振動体の一端面に形成されるベンディン
グ板と、振動体の他端面に形成され、厚み縦振動モード
で振動され、ベンディング板に進行波を発生させるため
の圧電振動子と、振動体をそのノード点で支持するため
の支持台と、ベンディング板に圧接されるロータとを含
む、圧電モータである。
(作用) リング状の振動体に、固定ノード点が現れ、振動体がそ
の固定ノード点で支持される。
厚み縦振動モードによって進行波が発生されるため、圧
電モータのトルクとしてd13方向の圧電トルクが利用
される。
(発明の効果) この発明によれば、振動体の固定ノード点を支持するの
で定在波がダンピングされず、そのため、エネルギ損失
を小さくすることができる。しかも、(113方向の圧
電トルクを利用するので、d31方向の圧電トルクを利
用した従来の圧電モータに比べて、大きなトルクを得る
ことができる。
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
(実施例) 第1図はこの発明の一実施例を示す断面図であ′ る。
第2図は第1図実施例の斜視図である。この圧電モータ
lOは支持台12を含む。支持台12は、円板状の台座
12aを含み、台座12aの中央から、円柱状の軸12
bが上方に延びて形成される。さらに、台座12aの上
面には、軸12bを中心にして円筒状の支持体12cが
形成される。
支持体12Cには、たとえば金属などからなる振動体1
4が支持される。振動体14は、たとえば断面台形のリ
ング状に形成され、その内側面には、鍔状の支持部16
が形成される。そして、この支持部16が支持体12c
上に配置される。
振動体14の上面には、リング状のベンディング板18
が形成される。このベンディング板18は、その内外周
縁部分が振動体14の上面の内外側に配置されるように
、振動体14と一体的に形成される。
さらに、振動体14の下面には、圧電振動子20が取り
付けられる。この圧電振動子20は、それを厚み縦振動
モードで励振することによって、ベンディング板18の
表面に進行波を励振するためのものであるが、後で詳細
に説明する。
一方、支持台12の軸12bには、リング状の接触部2
2aを有するロータ22が回転可能に支持される。この
場合、ロータ22は、その接触部22aの下面がベンデ
ィング板18の上面に接触するように、配置される。す
なわち、ロータ22には、接触部22aの内縁端から下
方に向かって筒状体22bが形成され、さらに、筒状体
22bの底部22cには孔22dが形成されていて、こ
の孔22dに支持台12の軸12bが挿通される。
さらに、この軸12bには、軸受24およびスプリング
26が挿通され、軸12bの上端には固定部材28が設
けられる。したがって、スプリング26などによって、
ロータ22が下方に付勢されその接触部22aがベンデ
ィング板18に圧接される。
圧電振動子20は、第3図に示すように、分極処理され
た複数の領域30a〜30d、30f〜30iおよび未
分極の領域30e、30jを有する。分極された各領域
においては分極方向はすべて厚み方向であるが、互いに
隣接する領域は逆方向に分極処理されている。第3図に
示す圧電振動子20において、(+)の領域は上面から
下面方向へ分極され、(−)の領域は下面から上面方向
へ分極されている。この場合、分極領域30a〜30d
、30f〜30iの中心角をθとしたとき、未分極領域
30jの中心角はθ/2であり、未分極領域30eの中
心角は3θ/2である。よって、第1励振源を構成する
分極領域30a〜30dと、第2励振源を構成する分極
領域30f〜30iとに、位相を90”ずらした駆動信
号を与えれば、発生する波yは、 y= (x、t) = cos (ωt) sin kx+ cos Cω
t+9Q”)  ・5in(kx+π/4) = cos ((alt)  ・sin kx+  s
in  (alt)  ・oskx = sin (ωt+kx) で表され、進行波となる。したがって、振動体14を通
してベンディング板18の表面に進行波が伝達され、こ
の進行波によってロータ22に回転力が与えられる。
この場合、この圧電モータIOでは、その振動体14.
によびベンディング!&1Bが、第4図の1点鎖線に示
すように変位する。第4図かられかるように、この圧電
モータ10では、ベンディング板18の外周部および内
周部が大きく変位し、振動体14の側面にまったく振動
しないノード点が現れる。そして、この圧電モータ10
では、振動体14のノード点に支持部16が形成され、
その部分で振動体14が支持されている。したがって、
この圧電モータlOでは、振動がダンピングされず、エ
ネルギ損失が少ない。しかも、この圧電モータlOでは
、d33方向の圧電トルクを利用するので、d!1方向
の圧電トルクを利用した従来の圧電モータに比べて、そ
のトルクが大きい。
なお、ロータ22の接触部22aの下面には溝23が形
成される。この溝23は、ロータ22をベンディング板
18の変位の小さな領域すなわち中央部に接触しないよ
うにするためのものである。
そのため、ロータ22の接触部22aは、ベンディング
板18の変位の大きな領域、すなわち内周縁および外周
縁で接触する。したがって、ベンディング板18の変位
をより効果的にロータ22の回転力に変換することがで
きる。
なお、振動体14は、第1図実施例では断面台形に形成
されているが、第5図に示すように、上端部分の厚みを
薄くした断面ホーン状に形成されてもよい。振動体14
をこのような形状に形成しても、振動体14の側面に固
定ノード点が現れる。
この固定ノード点で振動体14を支持することによって
振動がダンピングされず、それによってエネルギ損失を
小さくすることができる。
また第1図における円環の支持部16は、環の中央に向
かって形成されているが、外に向かっていてもよく、ま
た、その両方に形成して支持することも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図である。 第2図は第1図実施例の斜視図である。 第3図は圧電振動子の分極方向を示す図解図である。 第4図は振動体のFEM解析図である。 第5図は振動体の変形例を示す断面図である。 図において、10は圧電モータ、12は支持台、14は
振動体、18はベンディング板、20は圧電振動子、2
2はロータを示す。 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 岡 1) 全 啓 (ばか1名) 第1図 世 第2図 第5日 [

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 その一端面が幅狭に形成されたリング状の振動体、 前記振動体の前記一端面に形成されるベンディング板、 前記振動体の他端面に形成され、厚み縦振動モードで振
    動され、前記ベンディング板に進行波を発生させるため
    の圧電振動子、 前記振動体をそのノード点で支持するための支持台、お
    よび 前記ベンディング板に圧接されるロータを含む、圧電モ
    ータ。 2 前記振動体はその断面が台形に形成される、特許請
    求の範囲第1項記載の圧電モータ。 3 前記振動体はその断面がホーン状に形成される、特
    許請求の範囲第1項記載の圧電モータ。
JP61314242A 1986-12-26 1986-12-26 圧電モ−タ Pending JPS63167683A (ja)

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JP61314242A JPS63167683A (ja) 1986-12-26 1986-12-26 圧電モ−タ

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JP61314242A JPS63167683A (ja) 1986-12-26 1986-12-26 圧電モ−タ

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004064170A2 (de) * 2003-01-08 2004-07-29 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Verfahren zum betreiben eines piezoelektrischen motors sowie piezoelektrischer motor mit einem stator in form eines hohlzylindrischen oszillators

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004064170A2 (de) * 2003-01-08 2004-07-29 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Verfahren zum betreiben eines piezoelektrischen motors sowie piezoelektrischer motor mit einem stator in form eines hohlzylindrischen oszillators
WO2004064170A3 (de) * 2003-01-08 2004-11-25 Physik Instr Pi Gmbh & Co Kg Verfahren zum betreiben eines piezoelektrischen motors sowie piezoelektrischer motor mit einem stator in form eines hohlzylindrischen oszillators
US7218031B2 (en) 2003-01-08 2007-05-15 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Method for operating a piezoelectric motor, and piezoelectric motor comprising a stator in the form of a hollow-cylindrical oscillator

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