JPS63167307U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63167307U JPS63167307U JP6113587U JP6113587U JPS63167307U JP S63167307 U JPS63167307 U JP S63167307U JP 6113587 U JP6113587 U JP 6113587U JP 6113587 U JP6113587 U JP 6113587U JP S63167307 U JPS63167307 U JP S63167307U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- rail
- air
- moves
- magnetic attraction
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の構成を示す断面
図、第２図は従来の空気浮上式スライダの構成を
示す斜視図、第３図は従来のスライダの構成図で
ある。 ５ａ…Ｖ字状レール、５ｂ…平レール、６…リ
ニアパルスモータの２次ユニツト、７…ステージ
、８…リニアパルスモータの１次ユニツト、１０
ａ，１０ｂ…永久磁石、２０ａ，２０ｂ…鉄片。
図、第２図は従来の空気浮上式スライダの構成を
示す斜視図、第３図は従来のスライダの構成図で
ある。 ５ａ…Ｖ字状レール、５ｂ…平レール、６…リ
ニアパルスモータの２次ユニツト、７…ステージ
、８…リニアパルスモータの１次ユニツト、１０
ａ，１０ｂ…永久磁石、２０ａ，２０ｂ…鉄片。
Claims (1)
- レールに案内されて移動するステージと、空気
を噴射して前記ステージを前記レールから浮上さ
せる空気噴射手段と、前記ステージを無接触に高
速移動させる無接触移動手段とを有する空気浮上
式スライダにおいて、前記ステージと前記レール
との間に磁気吸引力を作用させる磁気吸引手段を
設けてなる空気浮上式スライダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113587U JPS63167307U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6113587U JPS63167307U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167307U true JPS63167307U (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=30894192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6113587U Pending JPS63167307U (ja) | 1987-04-22 | 1987-04-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167307U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6237514A (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-18 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧軸受装置 |
-
1987
- 1987-04-22 JP JP6113587U patent/JPS63167307U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6237514A (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-18 | Omron Tateisi Electronics Co | 静圧軸受装置 |