JPS63167166U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63167166U JPS63167166U JP6026487U JP6026487U JPS63167166U JP S63167166 U JPS63167166 U JP S63167166U JP 6026487 U JP6026487 U JP 6026487U JP 6026487 U JP6026487 U JP 6026487U JP S63167166 U JPS63167166 U JP S63167166U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- grooves
- large number
- sputtering target
- materials
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の第１実施例を示すスパツタリ
ング用ターゲツトの平面図、第２図は本考案の第
１実施例の断面図、第３図は本考案の第２実施例
の断面図、第４図は本考案の第３実施例の平面図
である。 １……バツキングプレート、２……スパツタリ
ング用ターゲツト本体、３……円柱形材料、４…
…止めネジ用穴、５……円錐台形材料、６……異
種材料Ａ、７……異種材料Ｂ。
ング用ターゲツトの平面図、第２図は本考案の第
１実施例の断面図、第３図は本考案の第２実施例
の断面図、第４図は本考案の第３実施例の平面図
である。 １……バツキングプレート、２……スパツタリ
ング用ターゲツト本体、３……円柱形材料、４…
…止めネジ用穴、５……円錐台形材料、６……異
種材料Ａ、７……異種材料Ｂ。
Claims (1)
- バツキングプレート上にその背面が固定された
ターゲツト本体に異種の材例を配した構成によつ
て複数のターゲツト材料成分になる膜の形成が可
能となるスパツタリング用ターゲツトにおいて、
前記ターゲツト本体が、その前面に開口部がある
多数の溝を有し、前記溝とほぼ同じ断面形状を有
する異種の材料を前記溝に多数埋設した構成を特
色とするスパツタリング用ターゲツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026487U JPS63167166U (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6026487U JPS63167166U (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167166U true JPS63167166U (ja) | 1988-10-31 |
Family
ID=30892525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6026487U Pending JPS63167166U (ja) | 1987-04-21 | 1987-04-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63167166U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016037617A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 富士電機株式会社 | スパッタリングターゲット並びにそれを用いたｐｖｄ膜の製造方法およびｐｖｄ膜中の不純物濃度の制御方法 |
-
1987
- 1987-04-21 JP JP6026487U patent/JPS63167166U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016037617A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 富士電機株式会社 | スパッタリングターゲット並びにそれを用いたｐｖｄ膜の製造方法およびｐｖｄ膜中の不純物濃度の制御方法 |