JPS63157749U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63157749U JPS63157749U JP1987050366U JP5036687U JPS63157749U JP S63157749 U JPS63157749 U JP S63157749U JP 1987050366 U JP1987050366 U JP 1987050366U JP 5036687 U JP5036687 U JP 5036687U JP S63157749 U JPS63157749 U JP S63157749U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- dust
- release liner
- pellicle
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 3
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係るペリクルの縦断面図、第
２図は同ペリクルの平面図、第３図は他の実施例
の縦断面図である。 １……ペリクル枠、３……ペリクル膜、４……
接着剤、５……離型用ライナー、６……接着剤、
７……全面ライナー、８……耳片、９……離型紙
、１２……接着剤層、１３……両面粘着テープ、
１４……離型紙。
２図は同ペリクルの平面図、第３図は他の実施例
の縦断面図である。 １……ペリクル枠、３……ペリクル膜、４……
接着剤、５……離型用ライナー、６……接着剤、
７……全面ライナー、８……耳片、９……離型紙
、１２……接着剤層、１３……両面粘着テープ、
１４……離型紙。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ペリクル枠と、該枠の一側面に張設させる
ペリクル膜と、マスクへの貼着用として上記枠の
他側端面に設けられる第一の接着剤層と、片面に
第二の接着剤層を形成し、該第二の接着剤層をペ
リクル膜と対向するように内向きにして離型用ラ
イナーを介し、上記第一の接着剤層に剥離可能に
貼着される全面ライナーとを有するペリクルにお
いて、上記第一の接着剤層と離型用ライナーとの
界面接着力を離型用ライナーと第二の接着剤層と
の界面接着力よりも弱くしたことを特徴とする無
発塵性防塵膜。 (2) 第一の接着剤層は両面粘着テープを使用す
ることにより形成される登録請求の範囲第１項記
載の無発塵性防塵膜。 (3) 第一の接着剤層は離型用ライナーとの界面
接着力がペリクル枠との界面接着力よりも弱くさ
れる登録請求の範囲第１項記載の無発塵性防塵膜
。 (4) 離型用ライナー若くは全面ライナーには摘
み用の耳片が設けられる登録請求の範囲第１項記
載の無発塵性防塵膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987050366U JPS63157749U (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987050366U JPS63157749U (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157749U true JPS63157749U (ja) | 1988-10-17 |
Family
ID=30873665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987050366U Pending JPS63157749U (ja) | 1987-04-01 | 1987-04-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63157749U (ja) |
-
1987
- 1987-04-01 JP JP1987050366U patent/JPS63157749U/ja active Pending
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