JPH0255235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0255235U JPH0255235U JP13380788U JP13380788U JPH0255235U JP H0255235 U JPH0255235 U JP H0255235U JP 13380788 U JP13380788 U JP 13380788U JP 13380788 U JP13380788 U JP 13380788U JP H0255235 U JPH0255235 U JP H0255235U
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- JP
- Japan
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- plate
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- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Description
第1図は、本考案を用いたレチクルのパターン
上に透明板を密着させたレチクルの断面図である
。第2図は、従来のレチクルの断面図である。第
3図は、従来のレチクルで、パターンの上に透明
膜を貼付したものの断面図である。 1……レチクル、2……接着剤、3……パター
ン、4……透明板、5……ゴミ、6……透明薄膜
。
上に透明板を密着させたレチクルの断面図である
。第2図は、従来のレチクルの断面図である。第
3図は、従来のレチクルで、パターンの上に透明
膜を貼付したものの断面図である。 1……レチクル、2……接着剤、3……パター
ン、4……透明板、5……ゴミ、6……透明薄膜
。
Claims (1)
- 露光用原版の表面に、透明板を密着させたこと
を特徴とする露光用原版。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13380788U JPH0255235U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13380788U JPH0255235U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0255235U true JPH0255235U (ja) | 1990-04-20 |
Family
ID=31392013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13380788U Pending JPH0255235U (ja) | 1988-10-13 | 1988-10-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0255235U (ja) |
-
1988
- 1988-10-13 JP JP13380788U patent/JPH0255235U/ja active Pending