JPS63157486A - 高周波放電励起レ−ザ装置 - Google Patents
高周波放電励起レ−ザ装置Info
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- JPS63157486A JPS63157486A JP30577386A JP30577386A JPS63157486A JP S63157486 A JPS63157486 A JP S63157486A JP 30577386 A JP30577386 A JP 30577386A JP 30577386 A JP30577386 A JP 30577386A JP S63157486 A JPS63157486 A JP S63157486A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
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- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ管にレーザ媒質ガスを循環させてレーザ
発振器を構成する高周波放電励起レーザ装置に関し、特
に高周波インバータ等を光共振器部と直接結合すること
により、同軸ケーブル等を不要にした高周波放電励起レ
ーザ装置に関する。
発振器を構成する高周波放電励起レーザ装置に関し、特
に高周波インバータ等を光共振器部と直接結合すること
により、同軸ケーブル等を不要にした高周波放電励起レ
ーザ装置に関する。
レーザ出力の効率を向上を図るために、高周波放電励起
レーザ装置が使用されるようになり、このような高周波
放電励起レーザ装置の第３図に示すような高周波放電励
起レーザ装置がある。
レーザ装置が使用されるようになり、このような高周波
放電励起レーザ装置の第３図に示すような高周波放電励
起レーザ装置がある。
図において、１はＤＣ電源であり、３相の交流入力を直
流に整流し、必要におうじて直流電圧の電圧を一定値に
保つための安定化回路を内蔵している。２は高周波イン
バータであり、直流入力をインバータによって高周波の
交流に変換する。この場合の周波数は１〜数ＭＨｚであ
る。３はマツチング回路であり、この例ではπ型回路を
使用しており、高周波インバータ２の出力と後述の同軸
ケーブルとのインピーダンスマツチングをとるための回
路である。４は同軸ケーブルであり、高周波インバータ
２からの高周波電力を伝送する。５はレーザ管であり、
両端に電極６ａ及び６ｂを有し、内部にはレーザ媒質ガ
スを循環させている。
流に整流し、必要におうじて直流電圧の電圧を一定値に
保つための安定化回路を内蔵している。２は高周波イン
バータであり、直流入力をインバータによって高周波の
交流に変換する。この場合の周波数は１〜数ＭＨｚであ
る。３はマツチング回路であり、この例ではπ型回路を
使用しており、高周波インバータ２の出力と後述の同軸
ケーブルとのインピーダンスマツチングをとるための回
路である。４は同軸ケーブルであり、高周波インバータ
２からの高周波電力を伝送する。５はレーザ管であり、
両端に電極６ａ及び６ｂを有し、内部にはレーザ媒質ガ
スを循環させている。
電極６ａ及び６ｂに高周波電力を加えることにより、放
電を励起させ軸方向のレーザ光を発振増幅させる。この
場合マツチング回路３及びレーザ管５は高周波インバー
タ３等から相当離れた距離に置かれている。
電を励起させ軸方向のレーザ光を発振増幅させる。この
場合マツチング回路３及びレーザ管５は高周波インバー
タ３等から相当離れた距離に置かれている。
しかし、このような同軸ケーブルを使用した場合、同軸
ケーブルのインピーダンスが通常５ｏΩであり、高周波
インバータ及びレーザ管とのマツチング特性が悪く、自
動追尾等マツチング部分が複雑高価となる。また、同軸
ケーブルでの高周波損失が大きい。さらに、同軸ケーブ
ルはもともと大電力を伝送するようなものが少なく、ま
た高価であり、レーザヘッドを高周波インバータが内蔵
されているキャビネットから離すときに、その距離が制
限されてしまう。そのうえ、電波障害等の対策のための
シールドを同軸ケーブルの両側で行わなければならない
等の問題点がある。
ケーブルのインピーダンスが通常５ｏΩであり、高周波
インバータ及びレーザ管とのマツチング特性が悪く、自
動追尾等マツチング部分が複雑高価となる。また、同軸
ケーブルでの高周波損失が大きい。さらに、同軸ケーブ
ルはもともと大電力を伝送するようなものが少なく、ま
た高価であり、レーザヘッドを高周波インバータが内蔵
されているキャビネットから離すときに、その距離が制
限されてしまう。そのうえ、電波障害等の対策のための
シールドを同軸ケーブルの両側で行わなければならない
等の問題点がある。
本発明の目的は上記問題点を解決し、高周波インバータ
等を光共振器部と直接結合することにより、同軸ケーブ
ル等を不要にした制御性が良く、信頼性の高い高周波放
電励起レーザ装置を提供することにある。
等を光共振器部と直接結合することにより、同軸ケーブ
ル等を不要にした制御性が良く、信頼性の高い高周波放
電励起レーザ装置を提供することにある。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１図に示
すように、 レーザ管（５）にレーザ媒質ガスを循環させてレーザ発
振器を構成する高周波放電励起レーザ装置において、 ＡＣ入力を整流し、ＤＣ電圧を出力するＤＣ電源（１）
と、 前記レーザ管（５）に高周波電源を供給する高周波イン
バータ（２）と、 前記高周波インバータ（２）と前記レーザ管（５）のイ
ンピーダンス整合をとるマツチング回路（３）とを有し
、 前記高周波インバータ（２）及び前記マツチング回路（
３）が前記レーザ管（５）を含む光共振器部（７）に直
接結合されていることを特徴とする高周波放電励起レー
ザ装置が、 提供される。
すように、 レーザ管（５）にレーザ媒質ガスを循環させてレーザ発
振器を構成する高周波放電励起レーザ装置において、 ＡＣ入力を整流し、ＤＣ電圧を出力するＤＣ電源（１）
と、 前記レーザ管（５）に高周波電源を供給する高周波イン
バータ（２）と、 前記高周波インバータ（２）と前記レーザ管（５）のイ
ンピーダンス整合をとるマツチング回路（３）とを有し
、 前記高周波インバータ（２）及び前記マツチング回路（
３）が前記レーザ管（５）を含む光共振器部（７）に直
接結合されていることを特徴とする高周波放電励起レー
ザ装置が、 提供される。
［作用〕
高周波インバータ及びマツチング回路が光共振器部と同
一場所に置かれるので、同軸ケーブルが不要となり、同
軸ケーブルとのインピーダンスマツチングを考慮する必
要がなく、マツチング回路も簡単で安価となる。
一場所に置かれるので、同軸ケーブルが不要となり、同
軸ケーブルとのインピーダンスマツチングを考慮する必
要がなく、マツチング回路も簡単で安価となる。
以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。図に
おいて、第３図と同一の要素には同一の符号が付しであ
る。
おいて、第３図と同一の要素には同一の符号が付しであ
る。
ｌはＤＣ電源であり、３相の交流入力を直流に整流し、
必要におうじて直流電圧の電圧を一定値に保つための安
定化回路を内蔵している。２は高周波インバータであり
、直流入力をインバータによって高周波の交流に変換す
る。この場合の周波数は１〜数ＭＨｚである。３はマツ
チング回路であり、この例ではπ型回路を使用しており
、高周波インバータ２の出力と後述のレーザ管とのイン
ピーダンスマツチングをとるための回路である。
必要におうじて直流電圧の電圧を一定値に保つための安
定化回路を内蔵している。２は高周波インバータであり
、直流入力をインバータによって高周波の交流に変換す
る。この場合の周波数は１〜数ＭＨｚである。３はマツ
チング回路であり、この例ではπ型回路を使用しており
、高周波インバータ２の出力と後述のレーザ管とのイン
ピーダンスマツチングをとるための回路である。
５はレーザ管であり、両端に電極６ａ及び６ｂを有し、
内部にはレーザ媒質ガスを循環させている。
内部にはレーザ媒質ガスを循環させている。
電極６ａ及び６ｂに高周波電力を加えることにより、放
電を励起させ軸方向のレーザ光を発振増幅させる。この
場合高周波インバータ２及びマツチング回路３はレーザ
管５と同一の場所に置かれており、この為マツチング回
路３とレーザ管５の間の距離は小さく、同軸ケーブルを
必要とせず、インピーダンスマツチングは高周波インバ
ータ２とレーザ管５とのインピーダンスを考慮すればよ
く、マツチング回路３の構成を容易に設計することがで
きる。また、電波障害をなくすためのシールドもマツチ
ング回路３とレーザ管５を含めて一括しておこなえばよ
く、簡単になる。
電を励起させ軸方向のレーザ光を発振増幅させる。この
場合高周波インバータ２及びマツチング回路３はレーザ
管５と同一の場所に置かれており、この為マツチング回
路３とレーザ管５の間の距離は小さく、同軸ケーブルを
必要とせず、インピーダンスマツチングは高周波インバ
ータ２とレーザ管５とのインピーダンスを考慮すればよ
く、マツチング回路３の構成を容易に設計することがで
きる。また、電波障害をなくすためのシールドもマツチ
ング回路３とレーザ管５を含めて一括しておこなえばよ
く、簡単になる。
第２図はこのような、高周波放電励起レーザ装置の概略
を示した図であり、高周波インバータ２とマツチング回
路３をレーザ管５を含む光共振器部７の上部に設置して
いる。図のように、マツチング回路３と光共振器部７の
距離は極めて小さく、同軸ケーブルを使う必要がなく、
形状も第２図に示すように、レーザ発振器に比較して充
分な大きさで作成することができる。８はレーザ光の出
力である。
を示した図であり、高周波インバータ２とマツチング回
路３をレーザ管５を含む光共振器部７の上部に設置して
いる。図のように、マツチング回路３と光共振器部７の
距離は極めて小さく、同軸ケーブルを使う必要がなく、
形状も第２図に示すように、レーザ発振器に比較して充
分な大きさで作成することができる。８はレーザ光の出
力である。
このような、装置をレーザ加工機のヘッド、ロボットの
アームの先端に設置することにより、簡単な構成の高周
波放電励起レーザ装置を構成することができる。
アームの先端に設置することにより、簡単な構成の高周
波放電励起レーザ装置を構成することができる。
以上説明したように本発明では、高周波インバータとマ
ツチング回路を光共振器部の近くに設置することにより
、同軸ケーブルを不要とし、その結果、インピーダンス
マツチングが容易となり、電波障害防止のためのシール
ド処理も簡単になる。
ツチング回路を光共振器部の近くに設置することにより
、同軸ケーブルを不要とし、その結果、インピーダンス
マツチングが容易となり、電波障害防止のためのシール
ド処理も簡単になる。
第１図は本発明の一実施例のブロフク図、第２図は本発
明の一実施例の外観図、 第３図は同軸ケーブルを使用した高周波放電励起レーザ
装置の例を示す図である。 １−−−−−−一・−−−−−−−Ｄ Ｃ電源２−−−
−−−−−−−−−・−高周波インバータ３・−・−・
−・−・−マツチング回路４・・−・−・−一−−−−
同軸ケーブル５−−−−−−−−−−−−−−・−レー
ザ管７−−−−−−−−−−−−−−一・光共振器部８
−・−一−−−−−・−レーザ光 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
明の一実施例の外観図、 第３図は同軸ケーブルを使用した高周波放電励起レーザ
装置の例を示す図である。 １−−−−−−一・−−−−−−−Ｄ Ｃ電源２−−−
−−−−−−−−−・−高周波インバータ３・−・−・
−・−・−マツチング回路４・・−・−・−一−−−−
同軸ケーブル５−−−−−−−−−−−−−−・−レー
ザ管７−−−−−−−−−−−−−−一・光共振器部８
−・−一−−−−−・−レーザ光 特許出願人 ファナック株式会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図
Claims (2)
- （１）レーザ管にレーザ媒質ガスを循環させてレーザ発
振器を構成する高周波放電励起レーザ装置において、 ＡＣ入力を整流し、ＤＣ電圧を出力するＤＣ電源と、 前記レーザ管に高周波電源を供給する高周波インバータ
と、 前記高周波インバータと前記レーザ管のインピーダンス
整合をとるマッチング回路とを有し、前記高周波インバ
ータ及び前記マッチング回路が前記レーザ管を含む光共
振器部に直接結合されていることを特徴とする高周波放
電励起レーザ装置。 - （２）前記高周波インバータと前記マッチング回路は前
記光共振器部の上部に設けられていることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の高周波放電励起レーザ装置
。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61305773A JPH088383B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高周波放電励起レ−ザ装置 |
| EP88900109A EP0294488B1 (en) | 1986-12-22 | 1987-12-15 | High-frequency discharge-excited laser unit |
| DE8888900109T DE3785028T2 (de) | 1986-12-22 | 1987-12-15 | Lasereinheit, angeregt durch hf-entladung. |
| PCT/JP1987/000983 WO1988004848A1 (en) | 1986-12-22 | 1987-12-15 | High-frequency discharge-excited laser unit |
| US07/519,308 US4974229A (en) | 1986-12-22 | 1990-05-08 | High-frequency discharge-exciting laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61305773A JPH088383B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高周波放電励起レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157486A true JPS63157486A (ja) | 1988-06-30 |
| JPH088383B2 JPH088383B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=17949171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61305773A Expired - Fee Related JPH088383B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高周波放電励起レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088383B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517325U (ja) * | 1978-07-18 | 1980-02-04 |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP61305773A patent/JPH088383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5517325U (ja) * | 1978-07-18 | 1980-02-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH088383B2 (ja) | 1996-01-29 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |