JPS63156634A - 工作機械の摺動部材 - Google Patents

工作機械の摺動部材

Info

Publication number
JPS63156634A
JPS63156634A JP30501286A JP30501286A JPS63156634A JP S63156634 A JPS63156634 A JP S63156634A JP 30501286 A JP30501286 A JP 30501286A JP 30501286 A JP30501286 A JP 30501286A JP S63156634 A JPS63156634 A JP S63156634A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
sputtered
layer
ceramic layer
ceramics
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30501286A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Uejima
上島 雅博
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EGURO TEKKOSHO KK
Original Assignee
EGURO TEKKOSHO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EGURO TEKKOSHO KK filed Critical EGURO TEKKOSHO KK
Priority to JP30501286A priority Critical patent/JPS63156634A/ja
Publication of JPS63156634A publication Critical patent/JPS63156634A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Sliding-Contact Bearings (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は工作機械の摺動部に係り、特に超精密工作機械
の摺動部分のセラミックス摺接部材に係る。
〔従来の技術〕
最近、セラミックスは耐摩耗性、耐熱性、耐熱膨張性、
耐薬品性があるので、工作機械の摺動部、例えば軸支部
と回転軸および超精密旋盤のベッド。
往復台等の接触部をファインセラミックスで形成し、鏡
面仕上げして使用される傾向にある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかるに、接触面が耐摩耗性を有することは必要である
が、摺動部材の固定部材と摺接部材とを共にセラミック
スで形成すると、セラミックスは耐破壊力が小さいので
、衝撃を受けた場合に破壊し破片が飛び散って危険であ
る。また、鏡面仕上げによる接触面を対面させて摺動さ
せるため、接触面に潤滑油膜、蒸気膜が形成されると高
速摺動において、両接触面の貼り付き現像が生じ、高熱
を発し、焼き付き、カジリ現像を起す。また、この現像
は正確迅速な位置決め、及び微少移動を困難とすること
は言う迄もない。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記問題点の解決のためになされたもので、工
作機械の摺動部材を形成する固定部材と摺動部材のうち
、何れか一方をセラミックスで形成し、残りの他方を所
定深さの凹凸状の低膨張合金地金で形成し、この凹凸状
表面に沿ってセラミックスの溶射層が凹凸面となるよう
に被覆し、この被覆層を上記セラミックスより硬度の低
い金属で溶射し、この溶射された金属表面が研削されて
金属溶射被層面中にセラミックス凸部が散在的に表出さ
れて構成される。
〔作用〕
上記構成の低膨張合金材は熱膨張特性がセラミックスに
適合しているので、機械加工性において、鋼材と同等で
あって、セラミックスで不可能な複雑な形状に設計でき
る。さらに、固定、可動の両部材の一方の少くとも外表
面をセラミックスで形成し、他方の部材には硬さの低い
金属面にセラミックス凸部を散在させたので、セラミッ
クスの溶射層は剥離し難くなる外に、摺接面に敗在して
いる溶射セラミックスの剛性と摺動素材の溶射層との相
乗効果によって摩耗を除き長時間の使用に堪える。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。第1
図は本発明を工作機械の主軸と軸受とに適用した本発明
第1実施例の構成図である。同図は主軸と軸受との関連
が押金型式のもので、主軸1を主軸台5.7上に設けた
前軸受3と後軸受2とに取付け、抜は防止のために、ス
ラスト座8を介装してダブルナツト9a、9bからなる
押金9を用いて主軸1の軸方向の移動を止めている。
主軸1はニッケル系合金やチタン系合金などの低膨張合
金10で形成し、この主軸の摺動面は第2図、第3図に
示すように、セラミックス溶射層11を形成し表面を鏡
面加工する。軸受2,3は主軸1と同様にニッケル系合
金やチタン系合金等の低膨張合金10aで形成すると共
に軸受の内側面を第4図(A)、第4図(B)に示すよ
うに格子12a状の0.5 tri深さの溝12を形成
する。この格子状溝12を形成した低膨張合金]、 O
aの内側面を格子状溝12に沿わせて厚さ0.2〜0.
5鶴のセラミックス溶射層13で被覆する。このセラミ
ックス溶射層13の内側にセラミックスより硬度の低い
例えばアルミナブロンズ系複合材からなる摺動素材の溶
射層14を設ける。次に、この溶射層14を研削して、
仕上面15にセラミックス溶射層13の表出部分が全面
積に対し10%〜15%の面積を散在するように形成す
る。
第1実施例は上記構成によって、主軸1.軸受2.3を
形成したニッケル系合金やチタン系合金やチタン系合金
の低膨張合金10の熱膨張特性がセラミックに適合し、
機械加工において鋼材と同等であって、セラミックスで
は不可能な形状の作成ができる。また、セラミックスの
溶射層13の凹凸の深さは、低熱膨張合金10aの溝1
2の深さ0.5 mよりは溶射工程のために、幾分低下
するとはいえ、従来の001mmよりは深い。従って、
研削の仕上げ面15に10〜15%のセラミックスが摺
動部材の接触面に敗在し、このためにセラミックス溶射
層13が低熱膨張合金10aより剥離することがなく、
またセラミックスで形成された主軸1との摺動によって
も、軸受接触面に散在している溶射セラミックス13の
剛性と摺動素材の溶射層14との相乗効果によって耐摩
耗性が低下しない外に、カジリ現像も生じない。
なお、本実施例では、軸受2.3の低膨張合金102の
表面に形成した溝12は格子状であったが、これに限定
されるものではなく適宜形状の突起であればよい。
次に、本発明を工作機械のベッドや刃物台21の摺接面
に適用した第2実施例を第5図1第6図を参照して説明
する。同図において、ベッドまたは刃物台21はニッケ
ル系合金やチタン系合金などの低膨張合金22で形成し
その外側面には第1実施例と同様に、深さ0.5鶴の格
子状溝12を形成する。この格子状溝12を形成した低
膨張合金22の外側面を格子状溝12に沿って厚さ0.
2〜0.5 n+のセラミックス溶射層23で被覆する
。このセラミックス溶射JW23の外側にセラミックス
より硬度の低いアルミナブロンズ系複合材からなる摺動
素材の溶射層24を設ける。次に、この溶射層を研削し
て仕上面25にセラミックス溶射層23の突起部が全面
積に対し10〜15%の面積を散在するように鏡面仕上
げする。
上記構成によって、第2実施例では、ベッドや刃物台2
1の作成において、低膨張合金22の熱膨張特性がセラ
ミックスに適合し、機械加工において鋼材と同等なので
、特に困難がない。また、第1実施例で説明したのと同
じ理由によって、セラミックス溶射層23が剥離するこ
とがなく、耐摩耗性が大きい。さらに、ベッドや刃物台
21に対する摺動部材をセラミックスで形成しても摺動
時にカジリを生じることがない。
〔発明の効果〕
以上説明のように、本発明は摺動部材を形成する固定部
材と摺接部材のうち、何れか一方の少くとも外表面をセ
ラミックスで形成し、残りの他方を摺動素材の溶射被層
中にセラミックスの表出部が散在的に表出させて構成し
たので、下記の効果を生じる。
(11摺接面が、セラミックスとセラミックスとの場合
のように、超硬度であって、耐摩耗性があり、しかも衝
撃に対して耐破壊力がある外に、焼き付き、カジリ現像
を生しない。
(2)接触面における摺動素材とセラミックスとの剥離
を生じない。
(3)セラミックスを用いているのに、固定、可動の各
部材が複雑な形状でも製作が困難でない。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は本発明第1実施例に係り、第1図
、第2図、第3図は工作機械等の主軸と軸受との関連構
造を示し、第1図は主軸と軸受との軸方向断面図、第2
図(A)は主軸と軸受との軸径方向の断面図、第2図(
B)は第2図(A)の細線部分100の拡大図、第4図
(八)は金属表面に形成する格子状の溝を示し、第4図
(B)は第4図(八)のrV−rV線断面図、第5図、
第6図く八)、(B)は本発明第2実施例に係り、第5
図は刃物台の一部斜視図で摺接面にセラミックス被膜層
をコーティングした一例を示す図、第6図(A)は第5
図のvr−■線に沿う断面図、第6図(B)は第6図(
A)の細線部分200の拡大図である。 1・・・主軸 11・・・セラミックス溶射層 2・・・後軸受      3・・・前軸受10・・・
主軸の低膨張合金 10a・・・軸受の低膨張合金 12′・・・格子状の溝 13・・・セラミックスの溶射層 14・・・摺動素材の溶射層 15・・・仕上面21・
・・ベッドまたは刃物台 21A、21B・・・摺接面 22・・・刃物台の低膨張合金 23・・・セラミックス溶射層 24・・・摺動素材の溶射層 25・・・仕上げ面特許
出願人  株式会社 江黒鉄工所 代理人 弁理士  磯 野 道 造 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 工作機械の摺動部材を形成する固定部材と摺動部材のう
    ち何れか一方の少くとも外表面をセラミックスで形成し
    、残りの他方を所定深さの凹凸状の低膨張合金地金で形
    成すると共にこの凹凸面に沿ってセラミックスの溶射層
    が凹凸面となるように被覆し、この被覆層を上記セラミ
    ックスより硬度の低い金属で溶射し、この溶射された金
    属表面を研削して金属溶射被層面中に前記セラミックス
    凸部を散在的に表出させて構成したことを特徴とする工
    作機械の摺動部材。
JP30501286A 1986-12-19 1986-12-19 工作機械の摺動部材 Pending JPS63156634A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30501286A JPS63156634A (ja) 1986-12-19 1986-12-19 工作機械の摺動部材

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30501286A JPS63156634A (ja) 1986-12-19 1986-12-19 工作機械の摺動部材

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63156634A true JPS63156634A (ja) 1988-06-29

Family

ID=17940024

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30501286A Pending JPS63156634A (ja) 1986-12-19 1986-12-19 工作機械の摺動部材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63156634A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4997324A (en) * 1988-04-21 1991-03-05 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Spindle structure for machine tool
JP2006002942A (ja) * 2004-06-16 2006-01-05 Daimler Chrysler Ag ハイブリッド材料から作られた軸受シェル及び軸受シェルを製造する方法
KR100575624B1 (ko) * 1998-09-25 2006-09-20 엘지전자 주식회사 양방향 회전형 격자무늬 그루브베어링을 구비한 스핀들모터

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4997324A (en) * 1988-04-21 1991-03-05 Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha Spindle structure for machine tool
KR100575624B1 (ko) * 1998-09-25 2006-09-20 엘지전자 주식회사 양방향 회전형 격자무늬 그루브베어링을 구비한 스핀들모터
JP2006002942A (ja) * 2004-06-16 2006-01-05 Daimler Chrysler Ag ハイブリッド材料から作られた軸受シェル及び軸受シェルを製造する方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Yamaguchi et al. Internal finishing process for alumina ceramic components by a magnetic field assisted finishing process
US5067826A (en) Ball and roller bearings and bearing components
CN100378352C (zh) 金属对金属的球形轴承及其制造方法
JP4873617B2 (ja) 低摩擦特性と耐剥離性を有する硬質膜の被覆部材
US5333954A (en) Rolling/sliding part
Podgornik et al. Tribology of thin films and their use in the field of machine elements
JPS63156634A (ja) 工作機械の摺動部材
Liu et al. Single-step superfinishing using hard machining resulting in superior surface integrity
WO2001038748A3 (en) Sliding bearing having multilayer lead-free overplate and method of manufacture
US11773904B2 (en) Ball bearing and method for manufacturing same
WO2003036107A2 (en) Macrocomposite guideway and rail produced therefrom
Hiraoka et al. Effect of discontinuous hard under-coating on the life of solid film lubricant under extreme contact pressure
JPH01112026A (ja) ベアリング
US6960022B2 (en) Macrocomposite guideway and gib produced therefrom
Smith et al. Measurement and Machine Tools—An Introduction
JPS62209222A (ja) 工作機械等の主軸および軸受構造
Maeda Development of high precision silicon nitride ceramic balls
JP2005271102A (ja) 焼結歯車とその歯車の製造方法
JPH0276925A (ja) 耐摩耗性摺動部材
JPH0348013A (ja) 軸受装置
JP2000061706A (ja) センタ
Furuno et al. Effect of ground surface roughness of tool on adhesion characteristics of PVD coating
JPS6144170A (ja) 摺動部材の表面加工法
JP2566426Y2 (ja) セラミック製軌道輪
JP2008151264A (ja) 転がり軸受用保持器