JPS63155034U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63155034U JPS63155034U JP4811387U JP4811387U JPS63155034U JP S63155034 U JPS63155034 U JP S63155034U JP 4811387 U JP4811387 U JP 4811387U JP 4811387 U JP4811387 U JP 4811387U JP S63155034 U JPS63155034 U JP S63155034U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheath
- temperature measuring
- measuring element
- section
- metal sheath
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
第１図は本考案素子の一実施例を示す断面図、
第２図は本考案素子を真空容器に適用し、温度測
定、制御器により温度測定、温度制御を行う場合
の例を示した説明図、第３図は従来の一例を部分
断面で示した図、第４図ａ，ｂはそれぞれ従来の
他例を示す斜視図及びその横断面図である。 １……金属製シース、２……測温素子（熱電対
）、３……熱伝導性のある絶縁物、４……信号線
、５……絶縁管。
第２図は本考案素子を真空容器に適用し、温度測
定、制御器により温度測定、温度制御を行う場合
の例を示した説明図、第３図は従来の一例を部分
断面で示した図、第４図ａ，ｂはそれぞれ従来の
他例を示す斜視図及びその横断面図である。 １……金属製シース、２……測温素子（熱電対
）、３……熱伝導性のある絶縁物、４……信号線
、５……絶縁管。
Claims (1)
- 金属製シース１内に測温素子２を収め、かつ金
属製シース１内の空間部を熱伝導性のある絶縁物
３で埋めると共に、測温素子２の信号線４を金属
製シース１の端部より引き出してなるシース型温
度測定素子において、上記金属製シース１を測温
側シース部分１ａと引き出し側シース部分１ｂに
分割し、両シース部分１ａ，１ｂ間を絶縁管５で
連結せしめてなるシース型温度測定素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4811387U JPS63155034U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4811387U JPS63155034U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155034U true JPS63155034U (ja) | 1988-10-12 |
Family
ID=30869346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4811387U Pending JPS63155034U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63155034U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008286777A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Daeyang Electric Co Ltd | 薄膜型温度センサーを利用する温度測定素子及びその製造方法 |
| JP2016018918A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP4811387U patent/JPS63155034U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008286777A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Daeyang Electric Co Ltd | 薄膜型温度センサーを利用する温度測定素子及びその製造方法 |
| JP2016018918A (ja) * | 2014-07-09 | 2016-02-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |