JPS63154926A - 圧覚センサ - Google Patents
圧覚センサInfo
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- JPS63154926A JPS63154926A JP61301183A JP30118386A JPS63154926A JP S63154926 A JPS63154926 A JP S63154926A JP 61301183 A JP61301183 A JP 61301183A JP 30118386 A JP30118386 A JP 30118386A JP S63154926 A JPS63154926 A JP S63154926A
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 16
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧覚センサに関し、詳しくは受圧板に侮用する
荷重が互いに直交する3方向の分力に分解して検出可能
な感圧モジュールの単位をアレイ状に配置した圧覚セン
サに関する。
荷重が互いに直交する3方向の分力に分解して検出可能
な感圧モジュールの単位をアレイ状に配置した圧覚セン
サに関する。
(従来技術とその問題点)
ロボットハンドに装着され、把持した物体から受ける力
の検出が可能な圧覚センサが広く一般に開発され、また
実用化されつつある。これらの圧覚センサは、例えは導
電性のゴムや圧電素子が使用され、その電気抵抗の変化
や電圧の変化などから荷重の大きさが検知されるように
したもので、他に、光の反射や磁石、ストレーンケージ
、マイクロスイッチなどを応用した視覚あるいは触覚セ
ンサも数多く開発されている。
の検出が可能な圧覚センサが広く一般に開発され、また
実用化されつつある。これらの圧覚センサは、例えは導
電性のゴムや圧電素子が使用され、その電気抵抗の変化
や電圧の変化などから荷重の大きさが検知されるように
したもので、他に、光の反射や磁石、ストレーンケージ
、マイクロスイッチなどを応用した視覚あるいは触覚セ
ンサも数多く開発されている。
しかし、上述の触覚ないし圧覚センサはいずれも受圧面
に垂直な方向の力を単に感知するのみで、受圧面に平行
な方向の力の検知か可能なものが無いといってもよく、
9れに受圧面に平行する力の検知が可能であれば、すべ
り荷重までも検知することのできる高感度のものとして
、ロボットハンドに高度の作業を実施させることが期待
できよう。
に垂直な方向の力を単に感知するのみで、受圧面に平行
な方向の力の検知か可能なものが無いといってもよく、
9れに受圧面に平行する力の検知が可能であれば、すべ
り荷重までも検知することのできる高感度のものとして
、ロボットハンドに高度の作業を実施させることが期待
できよう。
ちなみに、今日までにこのようなセンサの開発はいくつ
か試みられており、例えば、ハンドのセンサ部にローラ
を内設し、その回転によってすべりを感知させるように
したものや、ボールを内蔵し、その回転にともなう電気
抵抗の変化からすへりを検知させるようにしたものが提
案されている。しかし、これらのセンサもローラやボー
ルと接触していない状態ではすべり荷重を検知すること
ができず、また構造も複雑になる。
か試みられており、例えば、ハンドのセンサ部にローラ
を内設し、その回転によってすべりを感知させるように
したものや、ボールを内蔵し、その回転にともなう電気
抵抗の変化からすへりを検知させるようにしたものが提
案されている。しかし、これらのセンサもローラやボー
ルと接触していない状態ではすべり荷重を検知すること
ができず、また構造も複雑になる。
そこで、以上のような機能を具えるへく、互いに直交す
る3方向の荷重分力が検知可能な圧覚センサが提案され
てきた。第5図はこのような圧覚センサを構成するセン
サセルの一例を示し、ここで、1は受圧板、2はリング
状のセンサセル、3は基板であり、本例では対のセンサ
セル2が受圧板1と基板3との間に立設の状態で挾持さ
れている。かくして、受圧板1に加えられる水平方向荷
重F×、FYおよび垂直方向の荷重Fzを対のセンサセ
ル2に伝達することができる。
る3方向の荷重分力が検知可能な圧覚センサが提案され
てきた。第5図はこのような圧覚センサを構成するセン
サセルの一例を示し、ここで、1は受圧板、2はリング
状のセンサセル、3は基板であり、本例では対のセンサ
セル2が受圧板1と基板3との間に立設の状態で挾持さ
れている。かくして、受圧板1に加えられる水平方向荷
重F×、FYおよび垂直方向の荷重Fzを対のセンサセ
ル2に伝達することができる。
なお、セル2にはリング形状をなすその側面に図示しな
い複数の半導体ストレーンゲージが設けられており、更
にこれらのストレーンケージ間にはブリッジ回路が構成
されていて、セル2に伝達された荷重を更にストレーン
ゲージに伝達させることにより、そのピエゾ抵抗効果を
利用して上述の3方向の荷重分力を検出するもので、4
はセル2と基板3との接合部に設けられた端子群であり
、これらの端子群4を介してストレーンゲージへの通電
かなされ、また、ストレーンゲージに発生する抵抗値の
変化が取出される。
い複数の半導体ストレーンゲージが設けられており、更
にこれらのストレーンケージ間にはブリッジ回路が構成
されていて、セル2に伝達された荷重を更にストレーン
ゲージに伝達させることにより、そのピエゾ抵抗効果を
利用して上述の3方向の荷重分力を検出するもので、4
はセル2と基板3との接合部に設けられた端子群であり
、これらの端子群4を介してストレーンゲージへの通電
かなされ、また、ストレーンゲージに発生する抵抗値の
変化が取出される。
第6図は第5図に示すようなセンサセル2がマトリック
ス状に配列された圧覚センサを示す。すなわち、このよ
うな状態で基板3の側がロボットハンドに取付けられ、
受圧板1の表面には外部環境からの保護の目的で、人体
の皮膚に当るフィルムが接着されて、3方向の荷重分力
の検出が可能な圧覚センサを構成するものである。
ス状に配列された圧覚センサを示す。すなわち、このよ
うな状態で基板3の側がロボットハンドに取付けられ、
受圧板1の表面には外部環境からの保護の目的で、人体
の皮膚に当るフィルムが接着されて、3方向の荷重分力
の検出が可能な圧覚センサを構成するものである。
しかしながらこのような圧覚センサでの問題点は、セル
2がシリコンで形成されているため木質的には衝撃に弱
く、殊にセル2が大気中にさらされたままの状態では耐
環境性が問題で、例えば湿気かあったりすると絶縁性が
低下し、また塵埃が回路に付着して電気的特性に悪影響
をおよぼすなどの点かあった。
2がシリコンで形成されているため木質的には衝撃に弱
く、殊にセル2が大気中にさらされたままの状態では耐
環境性が問題で、例えば湿気かあったりすると絶縁性が
低下し、また塵埃が回路に付着して電気的特性に悪影響
をおよぼすなどの点かあった。
(発明の目的)
本発明の目的は、上述の問題点に着目し、その解決を図
るべく、十分な耐衝撃性や耐環境性、耐絶縁性等を持た
せることのできる圧覚センサを提イ共することにある。
るべく、十分な耐衝撃性や耐環境性、耐絶縁性等を持た
せることのできる圧覚センサを提イ共することにある。
(発明の要点)
かかる目的を達成するために、本発明は、複数のストレ
ーンゲージを具えた同型の圧覚セルを受圧板と基板との
間に複数並列に配置し、受圧板に加えられた荷重を互い
に直交する3方向の分力に分解して検出可能な圧覚セン
サにおいて、受圧板と基板との間の圧覚セルによって形
成される空間を高絶縁性の柔軟なモールド成形樹脂によ
って充填したことを特徴とするものであり、このように
構成することにより耐衝撃性や耐環境性を著しく向上さ
せることができ、実用的価値を躍進的に高めることがで
きる。
ーンゲージを具えた同型の圧覚セルを受圧板と基板との
間に複数並列に配置し、受圧板に加えられた荷重を互い
に直交する3方向の分力に分解して検出可能な圧覚セン
サにおいて、受圧板と基板との間の圧覚セルによって形
成される空間を高絶縁性の柔軟なモールド成形樹脂によ
って充填したことを特徴とするものであり、このように
構成することにより耐衝撃性や耐環境性を著しく向上さ
せることができ、実用的価値を躍進的に高めることがで
きる。
(発明の実施例)
以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細かつ具体
的に説明する。
的に説明する。
第1図は本発明の基本的構成を示すもので、ここで、5
はモールド成形によって得られた合成樹脂の充填体(以
下でモールド樹脂という)であり、柔軟性に冨み、かつ
絶縁性が高く更に好ましくは透明なものとすることによ
って、内部のセル2を透視することかでき、ストレーン
ケージや配線パターンおよび接続部の端子群4等におけ
る異常の有無が発見しやすくなる。
はモールド成形によって得られた合成樹脂の充填体(以
下でモールド樹脂という)であり、柔軟性に冨み、かつ
絶縁性が高く更に好ましくは透明なものとすることによ
って、内部のセル2を透視することかでき、ストレーン
ケージや配線パターンおよび接続部の端子群4等におけ
る異常の有無が発見しやすくなる。
樹脂の種類としてはシリコーン樹脂、紫外線硬1子。
含まれないように注意が必要なことはいうまでもない。
約24時間以上放置することにより硬化させることが可
能であり、また、紫外線硬化型アクリル樹脂であれば紫
外線照射により数十秒で硬化させることができる。
能であり、また、紫外線硬化型アクリル樹脂であれば紫
外線照射により数十秒で硬化させることができる。
本願人はこのようにしてモールド樹脂5により成形した
第1図のような単体に対し、第5図に示した3方自から
小型のシャルピー試験ハンマによる南軍試験を実施した
結果、いずれも、モールド成形前の単体に比べて約2倍
衝撃値の向上することが確認できた。なお、モールド樹
脂5の硬度を高めれば更に衝撃値が向上することが期待
できるが、センサとしての感度低下をもたらすので望ま
しくない。
第1図のような単体に対し、第5図に示した3方自から
小型のシャルピー試験ハンマによる南軍試験を実施した
結果、いずれも、モールド成形前の単体に比べて約2倍
衝撃値の向上することが確認できた。なお、モールド樹
脂5の硬度を高めれば更に衝撃値が向上することが期待
できるが、センサとしての感度低下をもたらすので望ま
しくない。
このようにして得られた単体のセンサユニットにおいて
は、セル2が完全に外気からしゃ断されているので、耐
環境性が従来に比して著しく改善されるのはいうまでも
なく、電気絶縁性もまた向上する。
は、セル2が完全に外気からしゃ断されているので、耐
環境性が従来に比して著しく改善されるのはいうまでも
なく、電気絶縁性もまた向上する。
第3図および第4図は実用の圧覚センサに適用する鋳型
およびその成品の一例をそれぞれ示す。
およびその成品の一例をそれぞれ示す。
この場合、アレイ状に組立てられた圧覚センサは第3図
に示すようにその受圧面1および基板3の面が側面とな
るよう全体を縦に保ち、更に個々のセル2が縦並びとな
るようになして鋳型7に嵌込まれ、このような状態で樹
脂を注入してモールド樹脂8をセンサセル2の間に充填
成形することかできる。
に示すようにその受圧面1および基板3の面が側面とな
るよう全体を縦に保ち、更に個々のセル2が縦並びとな
るようになして鋳型7に嵌込まれ、このような状態で樹
脂を注入してモールド樹脂8をセンサセル2の間に充填
成形することかできる。
この場合、隣接する受圧板1同士のすき間にも樹脂が入
り込み、互いに接合された形態となるが、樹脂に柔軟性
のあるものが使用されるのて、荷重の検出上大きく影響
の生じることはない。しかし、更に精密に荷重が検出さ
れるようにしたい場合は、受圧板1の間を個々にすき間
に沿って分離させてやるようにすればよい。なお、この
ように分離するか否かによってセンサ間の相互干渉の影
響に若干の差異が生じるが、いずれにせよ較正を行えば
よいので、また較正を行わなくても実用上はほとんど支
障がないといってよい。
り込み、互いに接合された形態となるが、樹脂に柔軟性
のあるものが使用されるのて、荷重の検出上大きく影響
の生じることはない。しかし、更に精密に荷重が検出さ
れるようにしたい場合は、受圧板1の間を個々にすき間
に沿って分離させてやるようにすればよい。なお、この
ように分離するか否かによってセンサ間の相互干渉の影
響に若干の差異が生じるが、いずれにせよ較正を行えば
よいので、また較正を行わなくても実用上はほとんど支
障がないといってよい。
また、分離した場合でも全体の耐環境性、耐衝撃性、耐
絶縁性などが損われることもない。
絶縁性などが損われることもない。
〔発明の効果]
以上説明してきたよう、本発明によれば、少なくともそ
のセル・が占める空間を絶縁性が高くかつまた、本来な
らば受圧板の表面に人間の皮膚に相当する皮膜を形成す
べきところ、樹脂系によって、これが形成可能である。
のセル・が占める空間を絶縁性が高くかつまた、本来な
らば受圧板の表面に人間の皮膚に相当する皮膜を形成す
べきところ、樹脂系によって、これが形成可能である。
以上のような利点によりロボットハントに装着して、ロ
ボットハンドの作業領域を一段と高めることができ、ロ
ボット産業に貢献するところ大なるものがある。
ボットハンドの作業領域を一段と高めることができ、ロ
ボット産業に貢献するところ大なるものがある。
第1図は本発明圧覚センサユニットの構成の一例を示す
斜視図、 第2図はそのモールド樹脂成形のため鋳型に収納した状
態を示す斜視図、 第3図は本発明圧覚センサのモールド樹脂成形のため鋳
型に全体を収納した状態を示す斜視図、第4図は本発明
圧覚センサの仕上がり状態を示す斜視図、 第5図は従来の3方向荷重検知型圧覚センサユニットの
構成の一例を示す斜視図、 第6図はそのユニットで構成された圧気センサの一例を
示す斜視図である。 1 ・・・ 受圧板、 2 ・・・ センサセル、 3 ・・・ 基板、 4 ・・・ 端子群、 5.8・・・ モールド樹脂、 6.7・・・ 鋳型。 第3図
斜視図、 第2図はそのモールド樹脂成形のため鋳型に収納した状
態を示す斜視図、 第3図は本発明圧覚センサのモールド樹脂成形のため鋳
型に全体を収納した状態を示す斜視図、第4図は本発明
圧覚センサの仕上がり状態を示す斜視図、 第5図は従来の3方向荷重検知型圧覚センサユニットの
構成の一例を示す斜視図、 第6図はそのユニットで構成された圧気センサの一例を
示す斜視図である。 1 ・・・ 受圧板、 2 ・・・ センサセル、 3 ・・・ 基板、 4 ・・・ 端子群、 5.8・・・ モールド樹脂、 6.7・・・ 鋳型。 第3図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数のストレーンゲージを具えた同型の圧覚セルを受圧
板と基板との間に複数並列に配置し、前記受圧板に加え
られた荷重を互いに直交する3方向の分力に分解して検
出可能な圧覚センサにおいて、 前記受圧板と基板との間の圧覚セルによって形成される
空間を高絶縁性の柔軟なモールド成形樹脂によって充填
したことを特徴とする圧覚セル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61301183A JPH0663881B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 圧覚センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61301183A JPH0663881B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 圧覚センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63154926A true JPS63154926A (ja) | 1988-06-28 |
JPH0663881B2 JPH0663881B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=17893776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61301183A Expired - Lifetime JPH0663881B2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 | 圧覚センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0663881B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02236131A (ja) * | 1989-03-08 | 1990-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型圧力分布センサ |
JP2005199336A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Amada Co Ltd | 金型及び同金型に使用する歪みセンサユニット |
JP2006208248A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Univ Of Tokyo | 触覚センサ及びその製造方法 |
JP2007064716A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hitachi Cable Ltd | 衝突検知センサ |
JP2009294140A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Advanced Telecommunication Research Institute International | 触覚センサアレイ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60153171A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 2セル型圧覚センサ |
JPS61132831A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Ishida Scales Mfg Co Ltd | ロ−ドセル |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP61301183A patent/JPH0663881B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60153171A (ja) * | 1984-01-20 | 1985-08-12 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 2セル型圧覚センサ |
JPS61132831A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Ishida Scales Mfg Co Ltd | ロ−ドセル |
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JP2005199336A (ja) * | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Amada Co Ltd | 金型及び同金型に使用する歪みセンサユニット |
JP4583767B2 (ja) * | 2004-01-19 | 2010-11-17 | 株式会社アマダ | 金型及び同金型に使用する歪みセンサユニット |
JP2006208248A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Univ Of Tokyo | 触覚センサ及びその製造方法 |
JP2007064716A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-15 | Hitachi Cable Ltd | 衝突検知センサ |
JP2009294140A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Advanced Telecommunication Research Institute International | 触覚センサアレイ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0663881B2 (ja) | 1994-08-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |