JPS6315231A - Electrochromic display element - Google Patents

Electrochromic display element

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Publication number
JPS6315231A
JPS6315231A JP61160411A JP16041186A JPS6315231A JP S6315231 A JPS6315231 A JP S6315231A JP 61160411 A JP61160411 A JP 61160411A JP 16041186 A JP16041186 A JP 16041186A JP S6315231 A JPS6315231 A JP S6315231A
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JP
Japan
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electrode layer
display
transparent electrode
electrochromic
display element
Prior art date
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Pending
Application number
JP61160411A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Wada
秀一 和田
Tsunemi Oiwa
大岩 恒美
Akira Kawakami
章 川上
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Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Maxell Ltd filed Critical Hitachi Maxell Ltd
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Publication of JPS6315231A publication Critical patent/JPS6315231A/en
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  • Electrochromic Elements, Electrophoresis, Or Variable Reflection Or Absorption Elements (AREA)

Abstract

PURPOSE:To considerably simplify a production process by constituting a transparent electrode layer of a display electrode of a thin indium-tin compound oxide film (ITO film) having a specific etching characteristic. CONSTITUTION:Tungsten oxide is used as an electrochromic material 3, activated carbon fibers are used as a counter electrode material 7 and a PC-LiClO4-H2 O electrolytic soln. is used as an electrolytic soln. 9. The transparent electrode layer 2 is constituted of the ITO film which consists of a hydrochloric acid-nitric acid soln. mixture composed of HCl:HNO3:H2O at 50:8:42 volumetric ratio and has <=450Angstrom /min, more preferably about 300-400Angstrom /min etching rate at 45 deg.C. The electric decomposition is, therefore, hardly generated and the dissolution of the transparent electrode layer 2 in the electrolytic soln. 9 and the deterioration thereof are prevented even if said electrode layer is in a contact state with the electrolytic soln. 9. The formation of the conventional insulating protective film is thereby omitted and the considerable simplification and manpower saving of the production process as well as the shortened time and reduced cost thereof are attained.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、酸化タングステンからなるエレクトロクロ
ミンク物質の電気化学的反応による色変化を利用して各
種ディスプレイ装置の表示を行うエレクトロクロミック
表示素子に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] This invention relates to an electrochromic display element that performs display on various display devices by utilizing color change caused by an electrochemical reaction of an electrochromic substance made of tungsten oxide. .

[従来の技術] 一般に、エレクトロクロミック表示素子は、たとえば第
2図で示すように、透光性である表示側基板1の内面に
透明電極層2を介してエレクトロクロミック物質3を設
けて所要パターンを構成するセグメントに分画された表
示極4とし、対向側基板5の内面に電極層6を介して対
極物質7を設けて対向極8とし、側基板1,5を両極4
,8が向かい合う形で対向配置し、両極4,8間に電解
液9を封入した構造を備えている。なお、10は側基板
1.5の周辺部間に介在するスペーサ、11は表示極4
と対向極8との間に介在された背景材、12はリード端
子、13は電極層6と対向側のリード端子12とを電気
的に接続する導電層である。
[Prior Art] In general, an electrochromic display element, as shown in FIG. 2, includes an electrochromic substance 3 provided on the inner surface of a transparent display substrate 1 via a transparent electrode layer 2 to form a desired pattern. A display electrode 4 is divided into segments constituting a display electrode 4, a counter electrode material 7 is provided on the inner surface of the opposite substrate 5 via an electrode layer 6 to form a counter electrode 8, and the side substrates 1 and 5 are used as both electrodes 4.
, 8 are arranged facing each other, and an electrolytic solution 9 is sealed between the electrodes 4 and 8. In addition, 10 is a spacer interposed between the peripheral parts of the side substrate 1.5, and 11 is a display electrode 4.
12 is a lead terminal, and 13 is a conductive layer that electrically connects the electrode layer 6 and the lead terminal 12 on the opposing side.

上記構成の表示素子では、対向極8を共通電極として所
要の表示極4に電圧を印加することにより、エレクトロ
クロミック物質3と対極物質7との電解液9を介した反
応にて着色変化し、所要パターンの表示がなされる。こ
の着色変化は、たとえばエレクトロクロミンク物質3が
酸化タングステンで電解液9の電解質がリチウム塩であ
るとき、次式で示される。
In the display element having the above configuration, by applying a voltage to the required display electrodes 4 using the counter electrode 8 as a common electrode, coloring changes due to a reaction between the electrochromic substance 3 and the counter electrode substance 7 via the electrolyte 9, The required pattern is displayed. This color change is expressed by the following equation when, for example, the electrochromic material 3 is tungsten oxide and the electrolyte 9 is a lithium salt.

WO3+ nL+  +  ne  、LinWO3(
透明)           (青 色)ところで、こ
の種の表示素子は、エレクトロクロミック物質3に応じ
て使用する対極物質7および電解液9の種類によって注
入電気量や応答特性などの性能が大きく左右され、また
これらの組み合わせによって駆動条件もほぼ定まる。そ
こで、従来よりこれらの組み合わせについて種々検討さ
れているが、中でもエレクトロクロミック物質3が最も
汎用される酸化タングステンである場合、とくに対極物
質7として活性炭素繊維を使用するとともに電解液とし
てプロピレンカーボネート−過塩素酸リチウム−水系(
以下、P C−L i ClO4−H2O系という)電
解液を使用した表示素子は注入電気量が高く応答特性に
すぐれるものとして知られており、これは通常±1.3
v以下、0.6秒以下の方形波電圧の印加によって駆動
される。
WO3+ nL+ + ne, LinWO3(
(transparent) (blue) By the way, the performance of this type of display element, such as the amount of electricity injected and the response characteristics, is greatly influenced by the type of counter electrode material 7 and electrolyte 9 used depending on the electrochromic material 3, and these The driving conditions are also almost determined by the combination of. Therefore, various combinations of these have been studied in the past, but among them, when the electrochromic material 3 is tungsten oxide, which is the most widely used, activated carbon fiber is used as the counter electrode material 7, and propylene carbonate-permeate is used as the electrolyte. Lithium chlorate-water system (
Display elements using an electrolyte (hereinafter referred to as P C-Li ClO4-H2O system) are known to have a high amount of injected electricity and excellent response characteristics, and this is usually ±1.3.
It is driven by applying a square wave voltage of less than v and less than 0.6 seconds.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかるに、上述のようにエレクトロクロミック物質3が
酸化タングステンであって活性炭素繊維からなる対極物
質7とPC−L i ClO4−H2O系電解液9を用
いる従来の表示素子では、その駆動時に、表示極4の透
明電極層2として一般に使用されているインジウム−ス
ズ複合酸化物薄膜(以下、ITO膜という)が上記電解
液9と接触していると、電気的分解を生じて電解液に溶
解して劣化しサイクル寿命の低下をきたすことから、第
2図で示すように透明電極層2のエレクトロクロミック
物質3で覆われない表面部をSiO□などからなる絶縁
性保護膜14にて被覆する必要があった。
However, as described above, in the conventional display element in which the electrochromic substance 3 is tungsten oxide, the counter electrode material 7 made of activated carbon fiber, and the PC-Li ClO4-H2O electrolyte 9, the display electrode When the indium-tin composite oxide thin film (hereinafter referred to as ITO film) commonly used as the transparent electrode layer 2 in No. 4 comes into contact with the electrolytic solution 9, electrolysis occurs and it dissolves in the electrolytic solution. To avoid this, it is necessary to cover the surface portion of the transparent electrode layer 2 that is not covered with the electrochromic material 3 with an insulating protective film 14 made of SiO□, etc., as shown in FIG. there were.

したがって、上記従来の表示素子は、その製造に際し、
上記絶縁性保護膜14の蒸着形成およびエツチングによ
るパターン化のために非常に複雑な工程が必要になり、
多大の労力および時間が費され、またコスト高になると
いう問題があった。
Therefore, when manufacturing the above-mentioned conventional display element,
A very complicated process is required to form the insulating protective film 14 by vapor deposition and patterning by etching.
There is a problem that a great deal of labor and time is required, and the cost is high.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

この発明者らは、上記従来の問題点を解決すべく鋭意検
討を重ねた結果、エレクトロクロミンク物質が酸化タン
グステンで活性炭素繊維からなる対極物質とPC−Li
CrO,−H20系電解液を用いる表示素子において、
表示極の透明電極層として特定のITO膜を使用した場
合、駆動下で該ITO膜が電解液と接触しても電気的分
解による劣化を生じにくくサイクル寿命の低下が防止さ
れ、したがって従来の如き絶縁性保護膜の形成を省略し
て製造工程の大幅な簡略化とこれによる省力化、時間短
縮およびコスト低減を図りうろことを見い出し、この発
明をなすに至った。
As a result of intensive studies to solve the above-mentioned conventional problems, the inventors discovered that the electrochromic material is tungsten oxide, a counter electrode material made of activated carbon fiber, and PC-Li.
In a display element using a CrO, -H20-based electrolyte,
When a specific ITO film is used as the transparent electrode layer of the display electrode, even if the ITO film comes into contact with an electrolyte during operation, it is unlikely to deteriorate due to electrolysis, and the cycle life will not be shortened. The inventors have discovered that it is possible to omit the formation of an insulating protective film to greatly simplify the manufacturing process, thereby saving labor, time, and cost, and have come up with this invention.

すなわち、この発明は、少なくとも表示側が透光性であ
る一対の基板が対向配置され、表示側基板の内面に透明
電極層を介して酸化タングステンからなるエレクトロク
ロミック物質を設けてなる表示極が形成され、対向側基
板の内面に電極層を介して対極物質を設けてなる対向極
が形成され、上記両極間に電解液が封入されてなるエレ
クトロクロミック表示素子において、上記対極物質が活
性炭素繊維からなり、上記電解液がPC−LiCeO。
That is, in the present invention, a pair of substrates whose at least the display side is translucent are disposed facing each other, and a display electrode is formed by providing an electrochromic substance made of tungsten oxide on the inner surface of the display side substrate via a transparent electrode layer. , an electrochromic display element in which a counter electrode is formed by providing a counter electrode material on the inner surface of a counter substrate via an electrode layer, and an electrolytic solution is sealed between the two electrodes, wherein the counter electrode material is made of activated carbon fiber. , the electrolyte is PC-LiCeO.

−H20系電解液からなり、かつ上記透明電極層として
HCl:HNO3:H2Oの体積比が50 :8 : 
42の塩酸−硝酸混液による45℃でのエツチング速度
が450Å/分以下であるITO膜が用いられているこ
とを特徴とするエレクトロクロミンク表示素子に係る。
-H20-based electrolyte, and the transparent electrode layer has a volume ratio of HCl:HNO3:H2O of 50:8:
The present invention relates to an electrochromic display element characterized in that an ITO film having an etching rate of 450 Å/min or less at 45° C. with a hydrochloric acid-nitric acid mixture of No. 42 is used.

(発明の構成・作用) 第1図はこの発明に係るエレクトロクロミック表示素子
の構造例を示すものであり、図中の各構成部分は第2図
の従来構造における同一符号の構成部分と同様であるが
、上記従来構造に比較して透明電極層2のエレクトロク
ロミック物質3で覆われない表面部が絶縁性保護膜(第
2図の14)で被覆されておらず電解液9と接触状態に
ある点で異なっている。
(Structure and operation of the invention) FIG. 1 shows an example of the structure of an electrochromic display element according to the present invention, and each component in the figure is the same as the component with the same reference numeral in the conventional structure shown in FIG. However, compared to the conventional structure described above, the surface portion of the transparent electrode layer 2 that is not covered with the electrochromic substance 3 is not covered with the insulating protective film (14 in FIG. 2) and is in contact with the electrolyte 9. They are different in some respects.

すなわち、この発明の表示素子は、エレクトロクロミッ
ク物質3として酸化タングステン、対極物質7として活
性炭素繊維、電解液9としてPC−L i ClO4−
H2O系電解液を使用することによって注入電気量が大
きく応答特性にすぐれるという利点を有するものであり
、±1.3v以下、06秒以下の方形波電圧の印加によ
って駆動されるものであるが、透明電極層2が上述のよ
うにHCl:HNO3:Hi!0の体積比が50:8:
42の塩酸−硝酸混液による45℃でのエツチング速度
が45OA/分以下、とくに好ましくは300〜400
Å/分程度のITO膜からなるものであるため、その駆
動時に透明電極層2が電解液9と接触状態にあっても電
気的分解を生じにくく、これによって電解液9に溶解し
て劣化することが防止される。
That is, the display element of the present invention uses tungsten oxide as the electrochromic material 3, activated carbon fiber as the counter electrode material 7, and PC-LiClO4- as the electrolyte 9.
It has the advantage that the amount of electricity injected is large and the response characteristics are excellent by using an H2O-based electrolyte, and it is driven by applying a square wave voltage of ±1.3 V or less and 0.6 seconds or less. , the transparent electrode layer 2 is HCl:HNO3:Hi! as described above. The volume ratio of 0 is 50:8:
The etching rate at 45°C with a hydrochloric acid-nitric acid mixture of No. 42 is 45 OA/min or less, particularly preferably 300 to 400 OA/min.
Since it is made of an ITO film with a thickness of about Å/min, even if the transparent electrode layer 2 is in contact with the electrolytic solution 9 during driving, it is difficult to cause electrolytic decomposition, and as a result, it dissolves in the electrolytic solution 9 and deteriorates. This will be prevented.

この理由については、明確ではないが、従来のこの種の
表示素子の透明電極層2に使用されるITO膜の上記エ
ツチング速度が一般に600〜700^/分程度である
のに対し、この発明の表示素子の上記ITO膜は、同エ
ツチング速度が非常に低いという特性を有することから
、膜の緻密性に極めてすぐれており駆動電圧下でも上記
特定の電解液に対する電気化学的安定性が大きくなるも
のと推測される。
The reason for this is not clear, but while the etching rate of the ITO film used for the transparent electrode layer 2 of conventional display elements of this type is generally about 600 to 700^/min, the etching rate of the present invention is not clear. The above-mentioned ITO film of the display element has a characteristic that the etching rate is very low, so the film has extremely high density and has high electrochemical stability with respect to the above-mentioned specific electrolyte even under driving voltage. It is assumed that.

この発明における上記エツチング特性を有するITO膜
の形成には、各種真空蒸着法、スパック法など高真空下
で成膜する既存の種々の薄膜形成方法を採用可能であり
、採用する方法に応じて基板温度、成膜速度、真空度な
どの諸条件を適宜選択すればよいが、とくに電子ビーム
蒸着法が好適である。
To form the ITO film having the above-mentioned etching characteristics in this invention, it is possible to employ various existing thin film forming methods such as various vacuum evaporation methods and spackling methods that form films under high vacuum, and depending on the method used, the substrate may be Although various conditions such as temperature, film formation rate, degree of vacuum, etc. may be selected as appropriate, electron beam evaporation is particularly suitable.

上記電子ビーム蒸着法を採用する場合、その各種条件の
組み合わせによって形成されるITO膜のエツチング特
性が変化するが、通常、基板温度を400〜500℃程
度と比較的高温とし、成膜速度を60〜120λ/分程
度と比較的小さくすることが望ましく、また蒸発源とし
てITOを用い、真空度は1×10〜5X10  To
rr程度とするのがよい。
When employing the above electron beam evaporation method, the etching characteristics of the ITO film formed vary depending on the combination of various conditions, but usually the substrate temperature is set to a relatively high temperature of about 400 to 500°C, and the film formation rate is set to 60°C. It is desirable that the evaporation rate is relatively small, about 120λ/min, and ITO is used as the evaporation source, and the degree of vacuum is 1×10 to 5×10 To
It is preferable to set it to about rr.

かくして形成されるITO膜は既述の如く前記塩酸−硝
酸混液による45℃での工゛ンチング速度が450^/
分以下、好ましくは300〜400Å/分程度のものと
するが、該エツチング速度が今gO^/分より大きいも
のでは駆動劣化を生じて表示素子のサイクル寿命の低下
を招来し、また該エツチング速度が小さすぎると透明電
極層としてパターン化するためのエツチングが困難にな
る。
As mentioned above, the ITO film thus formed has a processing speed of 450^/cm at 45°C using the hydrochloric acid-nitric acid mixture.
The etching rate should be less than 300 Å/min, preferably about 300 to 400 Å/min; however, if the etching rate is higher than gO^/min, drive deterioration will occur and the cycle life of the display element will be shortened; If it is too small, etching for patterning the transparent electrode layer becomes difficult.

なお、上記ITO膜からなる透明電極層2の厚みは2,
000〜2,500λ程度とするのがよい。
The thickness of the transparent electrode layer 2 made of the above-mentioned ITO film is 2,
It is preferable to set it to about 000 to 2,500λ.

酸化タングステンからなるエレクトロクロミック物質3
は、表示側基板1の内面に上記ITO膜からなる透明電
極層2をパターン化したのち、該透明電極層2上に電子
ビーム蒸着法の如き各種真空蒸着法、スパッタ法、イオ
ンブレーティング法などの既存の薄膜形成方法によって
所要パターンで3,000〜7,0OOA程度に形成さ
れる。
Electrochromic material made of tungsten oxide 3
After patterning the transparent electrode layer 2 made of the above-mentioned ITO film on the inner surface of the display side substrate 1, various vacuum evaporation methods such as electron beam evaporation, sputtering, ion blating, etc. are applied onto the transparent electrode layer 2. The required pattern is formed using the existing thin film forming method of about 3,000 to 7,000 OOA.

対向極8の電極層6は、表示極4の透明電極層2と同様
のITO膜あるいは従来と同様のITO膜を各種薄膜形
成方法によって被着するか、もしくは金、白金などから
なる箔状物の圧着または接着によって、対向側基板5の
内面に形成される。
The electrode layer 6 of the counter electrode 8 is formed by depositing an ITO film similar to the transparent electrode layer 2 of the display electrode 4 or a conventional ITO film using various thin film forming methods, or by depositing a foil-like material made of gold, platinum, etc. is formed on the inner surface of the opposing substrate 5 by pressure bonding or adhesion.

対極物質7は、既述のように活性炭素繊維からなるが、
通常ではその厚さ400〜1,0OOp程度としたクロ
スをカーボンペーストにて上記電極層6上に貼着して形
成される。
The counter electrode material 7 is made of activated carbon fiber as described above,
Usually, it is formed by pasting a cloth with a thickness of about 400 to 1,000 p on the electrode layer 6 using carbon paste.

電解液9は既述のようにPC−L 1CIO,−H2O
系のものであり、エレクトロクロミック物質3が酸化タ
ングステンからなる場合にこの電解液9と活性炭素繊維
からなる対極物質7との組み合わせによって注入電気量
が大きく応答特性にすぐれる表示素子が得られる。この
電解液9の具体的組成としては、L i CI O4を
05〜1.5モル/77程度の濃度で溶解したPCにH
2Oを0.3〜1体積%程度添加したものが好適である
The electrolyte 9 is PC-L 1CIO, -H2O as described above.
When the electrochromic material 3 is made of tungsten oxide, the combination of this electrolytic solution 9 and the counter electrode material 7 made of activated carbon fibers provides a display element with a large amount of injected electricity and excellent response characteristics. The specific composition of this electrolytic solution 9 is that H
It is preferable to add about 0.3 to 1% by volume of 2O.

背景材11は、対向極8を隠蔽してそれ自身の色調を表
示の背景とするもので、二酸化チタンなどの顔料とポリ
テトラフルオロエチレン粉末との混合物のシート状成形
物を対向極8上に貼着するか、あるいは顔料と電解液と
のゲル体をスクリーン印刷法などで塗着することによっ
て形成される。
The background material 11 hides the counter electrode 8 and uses its own color tone as the background of the display, and is made by placing a sheet-shaped molded mixture of a pigment such as titanium dioxide and polytetrafluoroethylene powder on the counter electrode 8. It can be formed by pasting or by applying a gel of pigment and electrolyte using screen printing or the like.

さらに、表示側基板1としてはガラスなどの透光性材料
が使用され、対向側基板5としては同様の透光性材料ま
たは非透光性材料が使用される。またスペーサ10には
ガラスやポリエステル樹脂が、導W1層13には銀ペー
ストが、それぞれ用いられる。
Furthermore, a light-transmitting material such as glass is used as the display-side substrate 1, and a similar light-transmitting material or a non-light-transmitting material is used as the opposite-side substrate 5. Glass or polyester resin is used for the spacer 10, and silver paste is used for the conductive W1 layer 13.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

この発明に係るエレクトロクロミック表示素子は、エレ
クトロクロミック物質が酸化タングステンからなり、か
つ活性炭素繊維からなる対極物質とPC−L 1ClO
4−H,O系電解液を利用するものにおいて、表示極の
透明電極層が特定のエツチング特性を有するITO膜に
て構成されていることから、素子の駆動時にこの透明電
極層が上記電解液と接触状態にあっても劣化しにくく、
この劣化によるサイクル寿命の低下が防止されるため、
従来のこの種表示素子の如き透明電極層の露呈表面部を
被覆する絶縁性保護膜が不要であり、素子製造に際し、
上記絶縁性保護膜の蒸着形成およびパターン化のための
複雑な工程を省略でき、工程の大幅な簡略化とこれによ
る省力化、時間短縮および゛コスト低減が果たされ、ま
た上記対極物質と電解液の組み合わせに基づいて注入電
気量が大きく応答特性にすぐれるという利点がある。
In the electrochromic display element according to the present invention, the electrochromic material is made of tungsten oxide, and the counter electrode material is made of activated carbon fiber and PC-L 1ClO.
In devices that use a 4-H,O-based electrolyte, the transparent electrode layer of the display electrode is composed of an ITO film with specific etching characteristics. Resistant to deterioration even when in contact with
This prevents the cycle life from decreasing due to this deterioration.
There is no need for an insulating protective film to cover the exposed surface of the transparent electrode layer as in conventional display elements of this type, and when manufacturing the element,
The complicated process for vapor deposition and patterning of the above-mentioned insulating protective film can be omitted, which greatly simplifies the process and thereby saves labor, time, and costs. It has the advantage that the amount of electricity injected is large based on the combination of liquids and the response characteristics are excellent.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の実施例を記載して具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.

なお、各実施例および比較例で用いた表示側ITO基板
A−Dは、縦127am、横127m。
Note that the display-side ITO substrates A to D used in each example and comparative example have a length of 127 am and a width of 127 m.

厚さ1.1鱈のガラス板からなる基板の表面に、電子ビ
ーム蒸着法により、蒸発源としてインジウム−スズ複合
酸化物を用い、真空度3X10  Torrにおいて、
基板温度と成膜速度とを種々調整して厚さ2.500A
のITO膜を形成して透明電極層としたものである。各
ITO基板の透明電極層をHC/ :HNO3:H2O
の体積比が50:8:42で45℃の塩酸−硝酸混液に
てエツチングしたときのエツチング速度は下記第1表の
とおりである。
On the surface of a substrate made of a glass plate with a thickness of 1.1 mm, using an indium-tin composite oxide as an evaporation source by electron beam evaporation, at a vacuum degree of 3 x 10 Torr,
A thickness of 2.500A was obtained by variously adjusting the substrate temperature and film formation rate.
An ITO film was formed to form a transparent electrode layer. The transparent electrode layer of each ITO substrate was HC/ :HNO3:H2O
The etching rate when etching was performed with a hydrochloric acid-nitric acid mixture at 45 DEG C. in a volume ratio of 50:8:42 is shown in Table 1 below.

第   1   表 実施例1 表示側ITO基板Aの透明電極層をフォトエツチングの
手法にて所定パターンとしたのち、この上に酸化タング
ステンを電子ビーム蒸着法にてマスク蒸着し、厚さ5,
0OOAの所定パターンのエレクトロクロミック物質層
を形成して表示極とした。
Table 1 Example 1 After forming the transparent electrode layer of the display-side ITO substrate A into a predetermined pattern by photo-etching, tungsten oxide was deposited on the transparent electrode layer using an electron beam evaporation method using a mask to a thickness of 5.
An electrochromic material layer with a predetermined pattern of 0OOA was formed to serve as a display electrode.

一方、−面側に予め厚さ4. OOOAのITO膜から
なる電極層を電子ビーム蒸着によって形成した対向側基
板(縦127fl、横127fl、厚さ1.1fl)の
上記電極層上に、厚さ0.5Bの活性炭素繊維クロス(
クラレ社製の商品名CH−20)をカーボンペースト(
他力社製の商品名PR−10)により全面貼り合わせる
ことにより対極物質層を形成して対向極とした。
On the other hand, the thickness is 4. An activated carbon fiber cloth with a thickness of 0.5B (
Carbon paste (product name: CH-20) manufactured by Kuraray Co., Ltd.
A counter electrode material layer was formed by bonding the entire surface together using a product (trade name: PR-10, manufactured by Taikisha) to form a counter electrode.

そして、上記側基板を表示極と対向極とが向かい合う形
で、両極間に二酸化チタン顔料とポリテトラフルオロエ
チレン粉末との混合物のシート状成形物からなる背景材
を介在させ、かつ周辺部に厚す500mmのポリエステ
ル樹脂製環状スペーサを介して対向配置して接着封止す
るとともに、内部に1モル//の過塩素酸リチウムを溶
解させたプロピレンカーボネート溶液に1体積%の純水
を添加してなる電解液4−を封入し、最後にリード端子
の取付けと銀ペースト塗布による導電層の形成を行い、
第1図で示す構成のエレクトロクロミック表示素子を作
製した。
Then, the above-mentioned side substrate is arranged such that the display electrode and the counter electrode face each other, and a background material made of a sheet-shaped molded mixture of titanium dioxide pigment and polytetrafluoroethylene powder is interposed between the two electrodes. They were placed facing each other with a 500 mm annular spacer made of polyester resin and sealed with adhesive, and 1% by volume of pure water was added to a propylene carbonate solution in which 1 mole of lithium perchlorate was dissolved. Finally, lead terminals are attached and a conductive layer is formed by applying silver paste.
An electrochromic display element having the configuration shown in FIG. 1 was manufactured.

実施例2 表示側ITO基板Aに代えてBを使用した以外は実施例
1と同様にしてエレクトロクロミック表示素子を作製し
た。
Example 2 An electrochromic display element was produced in the same manner as in Example 1 except that display side ITO substrate A was replaced with B.

比較例1 表示側ITO基板Aに代えてCを使用した以外は実施例
1と同様にしてエレクトロクロミック表示素子を作艮し
た。
Comparative Example 1 An electrochromic display element was prepared in the same manner as in Example 1 except that C was used instead of the display side ITO substrate A.

比較例2 表示側ITO基板Aに代えてDを使用した以外は実施例
1と同様にしてエレクトロクロミック表示素子を作製し
た。
Comparative Example 2 An electrochromic display element was produced in the same manner as in Example 1, except that display side ITO substrate A was replaced with D.

上記実施例および比較例の各表示素子について、表示極
と対向極との間に±1.2V、0.6秒の方形波電圧を
印加して発消色を繰り返す反復駆動を行い、初期および
100万回駆動後の注入電気量を測定した。また、上記
駆動を継続し、表示極の透明電極層を構成するITO膜
に肉眼上識別できる溶解が認められるまでの駆動回数を
測定するとともに、150万回駆動後に表示素子を分解
して上記ITO膜の実際の膜厚を測定した。これらの結
果を第2表に示す。なお、上記溶解の有無は駆動セグメ
ントのITO膜の色を非駆動セグメントのITO膜の色
と対比して溶解による色変化が肉眼で識別されるか否か
で判定した。
For each of the display elements of the above Examples and Comparative Examples, a square wave voltage of ±1.2V for 0.6 seconds was applied between the display electrode and the opposite electrode, and repeated driving was performed to repeat color development and disappearance. The amount of electricity injected after driving 1 million times was measured. In addition, the above driving was continued and the number of driving times until visible dissolution was observed in the ITO film constituting the transparent electrode layer of the display electrode was measured, and the display element was disassembled after 1.5 million times of driving and the ITO film was removed. The actual thickness of the membrane was measured. These results are shown in Table 2. The presence or absence of the above-mentioned dissolution was determined by comparing the color of the ITO film of the driven segment with the color of the ITO film of the non-driven segment, and whether or not a color change due to dissolution was discernible with the naked eye.

第   2   表 上記第2表の結果から、表示極の透明電極層が前記塩酸
−硝酸混液によるエツチング速度が450A/分以下の
ITO膜からなるこの発明の表示素子(実施例1,2)
では、駆動回数が非常に多くなっても該ITO膜の溶解
を生じにくく、注入電気量も高く、サイクル寿命にすぐ
れることが明らかである。これに対し、表示極の透明電
極層が前記エツチング速度よりも大きいITO膜からな
る表示素子(比較例1,2)では、駆動回数がある程度
に達すると該ITO膜の溶解を生じ、さらに駆動回数の
増大に伴って溶解が著しくなり、注入電気量も低下し、
サイクル寿命に劣ることが判る。
Table 2 From the results in Table 2 above, the display element of the present invention (Examples 1 and 2) in which the transparent electrode layer of the display electrode is made of an ITO film whose etching rate with the hydrochloric acid-nitric acid mixture is 450 A/min or less
It is clear that even if the number of times of driving becomes very large, the ITO film is unlikely to dissolve, the amount of electricity injected is high, and the cycle life is excellent. On the other hand, in display elements (Comparative Examples 1 and 2) in which the transparent electrode layer of the display electrode is made of an ITO film that is higher than the etching rate, the ITO film dissolves when the number of drives reaches a certain level, and the number of drives increases further. As the amount increases, the dissolution becomes significant and the amount of electricity injected also decreases.
It can be seen that the cycle life is inferior.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明に係るエレクトロクロミック表示素子
の構造例を示す縦断面図、第2図は従来のエレクトロク
ロミック表示素子の構造例を示す縦断面図である。 1・・・表示側基板、2・・・透明電極層、3・・・エ
レクトロクロミック物質、4・・・表示極、5・・・対
向側基板、6・・・電極層、7・・・対極物質、8・・
・対向極、9・・・電解液 特許出願人  日立マクセル株式会社 第1図 ム 第2図 ム
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of the structure of an electrochromic display element according to the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing an example of the structure of a conventional electrochromic display element. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Display side substrate, 2... Transparent electrode layer, 3... Electrochromic substance, 4... Display electrode, 5... Opposite side substrate, 6... Electrode layer, 7... Counterpole material, 8...
・Counter electrode, 9... Electrolyte patent applicant Hitachi Maxell Ltd. Figure 1m Figure 2m

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)少なくとも表示側が透光性である一対の基板が対
向配置され、表示側基板の内面に透明電極層を介して酸
化タングステンからなるエレクトロクロミック物質を設
けてなる表示極が形成され、対向側基板の内面に電極層
を介して対極物質を設けてなる対向極が形成され、上記
両極間に電解液が封入されてなるエレクトロクロミック
表示素子において、上記対極物質が活性炭素繊維からな
り、上記電解液がプロピレンカーボネート−過塩素酸リ
チウム−水系電解液からなり、かつ上記透明電極層とし
てHCl:HNO_3:H_2Oの体積比が50:8:
42の塩酸−硝酸混液による45℃でのエッチング速度
が450Å/分以下であるインジウム−スズ複合酸化物
薄膜が用いられていることを特徴とするエレクトロクロ
ミック表示素子。
(1) A pair of substrates whose display sides are translucent are arranged opposite each other, a display electrode is formed by providing an electrochromic substance made of tungsten oxide on the inner surface of the display side substrates via a transparent electrode layer, and In an electrochromic display element in which a counter electrode is formed by providing a counter electrode material on the inner surface of a substrate through an electrode layer, and an electrolytic solution is sealed between the two electrodes, the counter electrode material is made of activated carbon fiber, The liquid is composed of a propylene carbonate-lithium perchlorate-aqueous electrolyte, and the transparent electrode layer has a volume ratio of HCl:HNO_3:H_2O of 50:8:
1. An electrochromic display element characterized in that an indium-tin composite oxide thin film having an etching rate of 450 Å/min or less at 45° C. with a hydrochloric acid-nitric acid mixture of No. 42 is used.
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