JPS62204239A - Production of electrochromic display element - Google Patents

Production of electrochromic display element

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Publication number
JPS62204239A
JPS62204239A JP61047799A JP4779986A JPS62204239A JP S62204239 A JPS62204239 A JP S62204239A JP 61047799 A JP61047799 A JP 61047799A JP 4779986 A JP4779986 A JP 4779986A JP S62204239 A JPS62204239 A JP S62204239A
Authority
JP
Japan
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display
counter electrode
electrode
tungsten oxide
electrochromic
Prior art date
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Pending
Application number
JP61047799A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuichi Wada
秀一 和田
Tsunemi Oiwa
大岩 恒美
Akira Kawakami
章 川上
Toshikatsu Manabe
真辺 俊勝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Maxell Ltd
Original Assignee
Hitachi Maxell Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to JP61047799A priority Critical patent/JPS62204239A/en
Publication of JPS62204239A publication Critical patent/JPS62204239A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enable decoloring of the titled element by means of a shortcircuit driving system by forming a tungsten oxide coating film on a substrate by specific deposition means, using a specific counter electrode substance composed of an active carbon fiber and a specific electrolyte. CONSTITUTION:The titled element comprises a pair of substrates 1 and 2 which are transparent in at least the display side, a display electrode member 4 formed the electrochromic substance layer 4b made of tungsten oxide via the display electrode 4a on the inside of the display side substrate 1, and a counter electrode member 6 formed the counter electrode substance layer 6b composed of the active carbon fiber via the counter electrode 6a on the inside surface of the counter substrate 2. An electrolyte 10 dissolved lithium perchlorate in propylene carbonate is enclosed between the both electrode members 4 and 6. The electrochromic substance layer 4b is formed by vapor depositing tungsten oxide as a vaporing source on the display electrode in the oxygen atmosphere under a partial pressure of oxygen gas of >=5X10<-4> Torr. Thus, the decoloring of the titled element enables by means of the shortcircuit driving system.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はエレクトロクロミック物質として酸化タング
ステンを用いた各種ディスプレイなどに利用されるエレ
クトロクロミック表示素子に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an electrochromic display element used in various displays using tungsten oxide as an electrochromic substance.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

この種の表示素子の代表的なものとして、一対の透光性
基板の一方の内面側に透明電極膜からなる表示電極を介
してエレクトロクロミック物質層を形成して所要パター
ンを構成するセグメントに分画された表示極とし、他方
の基板の内面に対向電極を介して対極物質層を設けて対
向極とし、対向配置した側基板の上記両極間に電解液を
封入したものがある。これは、上記対向電極を共通電極
として所要のセグメントに対応する表示電極に電圧を印
加することにより、エレクトロクロミック物質と対極物
質との電解液を介した反応物質の着色変化で表示がなさ
れるものである。
As a typical display element of this type, an electrochromic material layer is formed on the inner surface of one of a pair of light-transmitting substrates via a display electrode made of a transparent electrode film, and the layer is divided into segments constituting a desired pattern. There is a display electrode in which a counter electrode material layer is provided on the inner surface of the other substrate via a counter electrode to serve as a counter electrode, and an electrolytic solution is sealed between the two electrodes of side substrates disposed opposite to each other. This is a display in which a voltage is applied to the display electrodes corresponding to the required segments using the above-mentioned counter electrode as a common electrode, and the color change of the reactant material via the electrolyte between the electrochromic material and the counter electrode material is used to display the display. It is.

そして、上記エレクトロクロミック物質とじては、青色
表示の場合、一般的に酸化タングステンが使用されてい
る。この場合の着色変化は、たとえば電解液としてリチ
ウム塩を非水系溶媒に溶解したものを用いたとき、つぎ
の反応に基づく。
As the electrochromic material, tungsten oxide is generally used for blue display. The color change in this case is based on the following reaction when, for example, a lithium salt dissolved in a non-aqueous solvent is used as the electrolyte.

ところで、上記反応を行わせるための従来の電圧駆動方
式としては、正負の双極性電源を用いて着消色時に正負
逆の電圧を印加する方法が一般的である。しかし、この
方式は上記高価な電源を必要とし、また消色時にも電圧
を印加しなければならないという点で必ずしも実用的と
はいえない。
By the way, as a conventional voltage driving method for carrying out the above reaction, a method is generally used in which a positive and negative bipolar power source is used to apply voltages of opposite polarity during coloring and decoloring. However, this method is not necessarily practical in that it requires the above-mentioned expensive power source, and voltage must also be applied during erasing.

そこで、一般の単極性電源を用いて着色表示のときだけ
電圧を印加し、消色時には表示極と対同極との間で短絡
(ショート)させて消色させる、つまり短絡駆動方式に
より消色させることが検討されている(文献不詳)。
Therefore, using a general unipolar power supply, voltage is applied only when displaying color, and when decoloring, a short circuit is made between the display electrode and the opposite electrode to erase the color. (Reference unknown)

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかるに、上記の短絡駆動方式により消色させる方法は
、少なくとも上記消色を可能とするために、表示極側と
対向極側との電位が適当な範囲に調整されていることが
必要で、表示極側の電位が高過ぎて着消色の起点となる
電圧、つまりしきい電圧がプラス側(酸化側)にずれる
と、消色のために短絡させても微小電流によって消色を
完全に行えないという弊害が生じる。このため、対向極
側の対極物質がカーボンブラック、二酸化マンガン、タ
ングステン酸鉄などの活物質と結合剤とから構成される
ものでは、上記活物質の種類や混合比率などを調整して
対向極側の電位を高め、これによって前記しきい電圧を
可能な限りマイナス側(還元側)にずらすという対策が
とられる。
However, the method of decoloring using the short-circuit drive method described above requires that the potentials of the display electrode side and the opposite electrode side be adjusted to an appropriate range in order to enable the above-mentioned decolorization. If the potential on the pole side is too high and the voltage that starts coloring/decoloring, that is, the threshold voltage, shifts to the positive side (oxidation side), even if a short circuit is made for decoloring, the color cannot be completely decolored by a minute current. The disadvantage is that there is no such thing. For this reason, if the counter electrode material on the counter electrode side is composed of an active material such as carbon black, manganese dioxide, or iron tungstate, and a binder, the type and mixing ratio of the above active materials must be adjusted. A countermeasure is taken to increase the potential of , thereby shifting the threshold voltage to the negative side (reduction side) as much as possible.

ところが、上記の対極物質に比し注入電気量の増大ひい
ては着色表示の応答特性の向上に寄与させることができ
る活性炭素繊維を対極物質として用いたときには、すな
わち通常活性炭素繊維クロスをカーボンペーストを用い
て対向電極上に貼り合わせて対極物質を構成させるよう
にしたときには、上述のような電位調整は行えず、この
ためエレクトロクロミック物質として前記酸化タングス
テンを用いた場合これより構成される表示極側の電位が
対同極側に比し高くなって、前記しきい電圧がプラス側
にずれ、結局短絡駆動方式では完全に消色することが難
しくなる。
However, when activated carbon fiber is used as a counter electrode material, which can contribute to an increase in the amount of injected electricity and an improvement in the response characteristics of colored display compared to the counter electrode materials described above, in other words, when activated carbon fiber cloth is used as a counter electrode material, it is difficult to use activated carbon fiber cloth with carbon paste. When tungsten oxide is used as an electrochromic material to form a counter electrode material, the potential cannot be adjusted as described above.For this reason, when tungsten oxide is used as an electrochromic material, The potential becomes higher than that of the opposite polarity, and the threshold voltage shifts to the positive side, making it difficult to completely erase the color using the short-circuit drive method.

したがって、この発明は、エレクトロクロミック物質と
して酸化タングステンを用いるとともに対極物質として
応答特性の向上に寄与する活性炭素繊維を用いる場合に
対向極側の電位調整を行う代わりに表示極側の電位を調
整してしきい電圧をマイナス側にずらし、これによって
短絡駆動方式によって消色することが可能なエレクトロ
クロミック表示素子を得ることを目的としている。
Therefore, this invention adjusts the potential on the display electrode side instead of adjusting the potential on the counter electrode side when tungsten oxide is used as an electrochromic material and activated carbon fiber, which contributes to improving response characteristics, is used as a counter electrode material. The object of the present invention is to shift the threshold voltage to the negative side, thereby obtaining an electrochromic display element that can erase color using a short-circuit drive method.

c問題点を解決するための手段〕 この発明者らは、上記の目的を達成するために鋭意検討
した結果、表示極と対向極との間に介在させる電解液と
してプロピレンカーボネートに過塩素酸リチウムを溶解
させてなる特定の電解液を用いる場合、表示極用のエレ
クトロクロミック物質層の形成にあたり、蒸発源として
の酸化タングステンを特定の条件下で真空蒸着させるよ
うにしたときには、対極物質として活性炭素繊維を用い
た対向極側に対して表示極側の電位を低下でき、これに
よりしきい電圧がマイナス側にずれて、短絡駆動方式に
よる消色が可能となることを知り、この発明を完成する
に至った。
c. Means for Solving Problems] As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors discovered that lithium perchlorate was added to propylene carbonate as an electrolyte to be interposed between the display electrode and the counter electrode. When using a specific electrolytic solution made by dissolving a This invention was completed after learning that the potential on the display electrode side using fibers could be lowered compared to the opposing electrode side, thereby shifting the threshold voltage to the negative side, making it possible to erase colors using the short-circuit drive method. reached.

すなわち、この発明は、少なくとも表示側が透光性であ
る一対の基板と、表示側基板の内面に表示電極を介して
酸化タングステンからなるエレクトロクロミック物質層
を形成してなる表示極と、対向側基板の内面に対向電極
を介して活性炭素繊維からなる対極物質層を形成してな
る対向極と、これら両極間に封入されたプロピレンカー
ボネートに過塩素酸リチウムを溶解させてなる電解液と
を有するエレクトロクロミック表示素子の製造方法にお
いて、上記エレクトロクロミック物質層を形成するに当
たり、蒸発源としての酸化タングステンを酸素ガス分圧
が5X10−4Torr以上となる酸素ガス雰囲気下で
表示電極上に真空蒸着させることにより、短絡駆動方式
により消色することが可能なエレクトロクロミック表示
素子を得ることを特徴とするエレクトロクロミック表示
素子の製造方法に係るものである。
That is, the present invention includes a pair of substrates whose display side is transparent, a display electrode formed by forming an electrochromic material layer made of tungsten oxide on the inner surface of the display side substrate via a display electrode, and a counter substrate. An electrolyte having a counter electrode formed by forming a counter electrode material layer made of activated carbon fiber on the inner surface of the electrode via a counter electrode, and an electrolytic solution made by dissolving lithium perchlorate in propylene carbonate sealed between these two electrodes. In the method for manufacturing a chromic display element, when forming the electrochromic material layer, tungsten oxide as an evaporation source is vacuum-deposited on the display electrode in an oxygen gas atmosphere with an oxygen gas partial pressure of 5 x 10 Torr or more. The present invention relates to a method of manufacturing an electrochromic display element, which is characterized by obtaining an electrochromic display element that can be erased by a short-circuit driving method.

〔発明の構成・作用〕[Structure and operation of the invention]

この発明においては、上述のとおり、対極物質として活
性炭素繊維を用いかつ電解液としてプロピレンカーボネ
ートに過塩素酸リチウムを溶解させてなるものを用いる
一方、エレクトロクロミック物質層としての酸化タング
ステン被膜の形成を、蒸発源としての酸化タングステン
を酸素ガス分圧が5X10−4Torr以上となる酸素
ガス雰囲気下で表示電極上に真空蒸着させるという方法
で行うことを最も大きな特徴としている。
In this invention, as described above, activated carbon fiber is used as the counter electrode material, and an electrolyte prepared by dissolving lithium perchlorate in propylene carbonate is used, while a tungsten oxide film is formed as the electrochromic material layer. The most significant feature is that tungsten oxide as an evaporation source is vacuum-deposited on the display electrode in an oxygen gas atmosphere with an oxygen gas partial pressure of 5×10 −4 Torr or more.

すなわち、対極物質として活性炭素繊維を用いかつ電解
液として前記特定のものを用いたときには、素子の注入
電気量が増大して着色表示の応答特性などの面で好結果
が得られるが、その反面素子のしきい電圧がプラス側に
ずれ、短絡駆動方式による消色を困難とする問題がある
。ところが、上記特定の対極物質および電解液の使用に
おいて、エレクトロクロミック物質層としての酸化タン
グステン被膜を前記特定の条件下で行わせるようにした
ときには、表示極側の電位が低下して、しきい電圧がマ
イナス側にずれ、これにより短絡駆動方式による消色が
可能となるという効果が得られる。
That is, when activated carbon fiber is used as the counter electrode material and the above-described specific electrolyte is used, the amount of electricity injected into the element increases and good results are obtained in terms of response characteristics of color display, etc., but on the other hand, There is a problem in that the threshold voltage of the element shifts to the positive side, making it difficult to erase the color using the short-circuit drive method. However, when the specific counter electrode material and electrolyte are used and the tungsten oxide coating as the electrochromic material layer is formed under the specific conditions, the potential on the display electrode side decreases and the threshold voltage decreases. is shifted to the negative side, thereby achieving the effect that color erasure can be achieved using the short-circuit drive method.

従来、真空蒸着法によりエレクトロクロミック物質層と
しての酸化タングステン被膜を形成することは公知であ
り、その際に真空系内に酸素ガスなどのガスを全く流通
させない高真空度とすることや、少量の酸素ガスなどを
流通させることについてもよく知られている。しかし、
この発明のように、特に酸素ガス雰囲気下で真空蒸着さ
せる場合に、その酸素ガス分圧を既述の如く設定したと
きに、前記特定の対極物質と電解液との組み合わせにお
いて、短絡駆動方式によって消色可能なエレクトロクロ
ミック表示素子が得られるということについては全く知
られていなかったことである。
Conventionally, it has been known to form a tungsten oxide film as an electrochromic material layer using a vacuum evaporation method. It is also well known to distribute oxygen gas and the like. but,
In particular, when performing vacuum evaporation under an oxygen gas atmosphere as in this invention, when the oxygen gas partial pressure is set as described above, in the combination of the specific counter electrode material and electrolyte, the short-circuit driving method is used. It was completely unknown that a color erasable electrochromic display element could be obtained.

このように、この発明においては、前記特定の手段を採
用したことにより、着色表示の応答特性が良好であるう
えに短絡駆動方式によっても消色することが可能なエレ
クトロクロミック表示素子を得ることができ、またしき
い電圧がマイナス側にずれる結果として素子の保管中に
僅かに着色するといった不都合などを回避できる利点も
ある。
As described above, in this invention, by employing the above-mentioned specific means, it is possible to obtain an electrochromic display element that not only has good response characteristics for colored display but also can be erased by a short-circuit drive method. This also has the advantage of avoiding inconveniences such as slight discoloration of the device during storage as a result of the threshold voltage shifting to the negative side.

この発明における上記酸化タングステン被膜の゛蒸着形
成は、具体的には、蒸着チャンバー内に、酸化タングス
テン粉末をディスク状に成形した蒸発源と、予め一面側
に表示電極を形成してその上に所要パターンのマスクを
施した表示側基板とをセットし、蒸着チャンバー内を所
定の真空度に維持しつつ酸素ガスを流通させた状態で、
上記蒸発源を電子ビーム照射法あるいは対向加熱法によ
り加熱蒸発させることにより行われる。
Specifically, in the evaporation formation of the tungsten oxide film in this invention, an evaporation source made of tungsten oxide powder formed into a disk shape is placed in a evaporation chamber, a display electrode is formed on one side in advance, and a display electrode is formed on one side as required. The display side substrate with a pattern mask is set, and while maintaining the predetermined degree of vacuum inside the deposition chamber, oxygen gas is circulated.
This is carried out by heating and evaporating the evaporation source using an electron beam irradiation method or a counter heating method.

このときの酸素ガスの分圧は5X10−4Torr以上
となるように設定されていることが肝要で、上記分圧よ
り小さくなると、つまり酸素ガス量が少なくなるとしき
い電圧をマイナス側にずらしにくく、したがって短絡駆
動方式による消色が難しくなる。なお、酸素ガス分圧が
あまりに大きくなりすぎると、すなわち酸素ガス量をあ
まりに多くしすぎると、蒸着形成される酸化タングステ
ン被膜がポーラスとなってその膜強度が低下するため、
一般にl0XIO−4Torrまでとするのが望ましい
It is important that the partial pressure of oxygen gas at this time is set to be 5X10-4 Torr or higher.If the partial pressure is lower than the above, that is, if the amount of oxygen gas is decreased, it will be difficult to shift the threshold voltage to the negative side. Therefore, erasing color using the short-circuit drive method becomes difficult. Note that if the partial pressure of oxygen gas becomes too large, that is, if the amount of oxygen gas is too large, the tungsten oxide film formed by vapor deposition becomes porous and its film strength decreases.
Generally, it is desirable to set it to 10XIO-4 Torr.

なおまた、蒸着チャンバー内には、上記の酸素ガスとと
もに必要に応じて窒素ガス、アルゴンガスなどの他のガ
スを一緒に流通させるようにしてもよい。この場合でも
酸素ガスの分圧は上記範囲内に設定される。
Furthermore, other gases such as nitrogen gas and argon gas may be allowed to flow together with the above-mentioned oxygen gas in the vapor deposition chamber as needed. Even in this case, the partial pressure of oxygen gas is set within the above range.

蒸着速度は、電子ビーム照射法を採用するかあるいは抵
抗加熱法を採用するかにより、適宜設定でき、たとえば
電子ビーム照射法では、通常1〜10人/秒程度とすれ
ばよい。また蒸着時に表示側基板を加熱することにより
、蒸着被膜の密着性の向上などの面で好ましい結果が得
られるから、一般に60℃以上、好適には140℃まで
の温度に上記基板を加熱しておくのが望ましい。
The deposition rate can be appropriately set depending on whether an electron beam irradiation method or a resistance heating method is employed. For example, in the case of an electron beam irradiation method, it is usually about 1 to 10 people/second. In addition, by heating the display side substrate during vapor deposition, favorable results can be obtained in terms of improving the adhesion of the vapor-deposited film, so the substrate is generally heated to a temperature of 60°C or higher, preferably up to 140°C. It is preferable to leave it there.

このようにして形成される酸化タングステン被膜からな
るエレクトロクロミック物質層の厚みは、通常2,00
0〜20.000人程度である。この厚みが薄くなりす
ぎると強度の低下や均一性に欠け、また厚くなりすぎる
と電気抵抗が増大するなどの問題が生じ、いずれも表示
特性上好ましい結果が得られない。
The thickness of the electrochromic material layer consisting of the tungsten oxide film formed in this way is usually 2,000 mm.
Approximately 0 to 20,000 people. If the thickness becomes too thin, problems such as a decrease in strength and lack of uniformity occur, and if it becomes too thick, problems such as increased electrical resistance occur, and in either case, favorable results in terms of display characteristics cannot be obtained.

図面はこの発明方法にて作製されるエレクトロクロミッ
ク表示素子の構造例を示す。
The drawings show an example of the structure of an electrochromic display element manufactured by the method of this invention.

図中、1はガラスなどの透光性材料からなる表示側基板
、2は同様の透光性材料または非透光性材料からなる対
向側基板、3は側基板1.2間の周辺部に介在させたガ
ラスやポリエステル樹脂などからなるスペーサ、4は表
示電極4aとこの上に既述した蒸着手段で形成された酸
化タングステンの蒸着膜からなるエレクトロクロミック
物質層4bとで構成される所要パターンの表示極、5は
表示電極4aの露呈表面を覆うS i O,などの保護
膜である。
In the figure, 1 is a display side substrate made of a light-transmitting material such as glass, 2 is a counter-side substrate made of a similar light-transmitting material or non-light-transmitting material, and 3 is a peripheral area between the side substrates 1 and 2. A spacer 4 made of glass, polyester resin, or the like is interposed, and numeral 4 indicates a desired pattern consisting of a display electrode 4a and an electrochromic material layer 4b made of a vapor-deposited film of tungsten oxide formed thereon by the vapor-deposition method described above. The display electrode 5 is a protective film such as SiO that covers the exposed surface of the display electrode 4a.

6は対向電極6aとこの上に活性炭素繊維クロスをカー
ボンペーストで貼り合わせてなる対極物質層6bとで構
成される対向極、7は対向極2と表示極4との間に設け
られた背景材層、8は表示側基板1の側縁部に固着され
たリード端子、9は対向極側のリード端子8と対向電極
6aとを電気的に接続する銀ペーストなどで形成した導
電層、10は内部に封入されたプロピレンカーボネート
に過塩素酸リチウムを溶解させてなる、また必要に応じ
てこれに少量の水を加えてなる電解液である。
Reference numeral 6 denotes a counter electrode composed of a counter electrode 6a and a counter electrode material layer 6b formed by bonding an activated carbon fiber cloth thereon with carbon paste; 7 a background provided between the counter electrode 2 and the display electrode 4; A material layer 8 is a lead terminal fixed to the side edge of the display substrate 1; 9 is a conductive layer formed of silver paste or the like to electrically connect the lead terminal 8 on the counter electrode side and the counter electrode 6a; 10 is an electrolytic solution made by dissolving lithium perchlorate in propylene carbonate sealed inside, and adding a small amount of water to this if necessary.

表示電極4aは、酸化インジウム、酸化スズ、インジウ
ム−スズ複合酸化物などの透明性導電材料を真空蒸着、
スパッタ法、イオンブレーティング法などの既存の薄膜
形成技術によって表示側基板1の内面に被着して形成さ
れる。また対向電極6aは、上記表示電極4aと同様に
透明性導電材料を被着させるか、あるいは金、白金など
の貴金属およびこれらと他の金属の合金などからなる箔
状物の圧着または接着により、対向側基板2の内面に被
着形成される。さらに背景材層7は、対向極6を隠蔽し
てそれ自身の色調を表示の背景とするもので、二酸化チ
タンなどの顔料とポリテトラフルオルエチレン粉末との
混合物のシート状成形物を貼着するか、あるいは顔料と
電解液とのゲル体をスクリーン印刷法などで塗着するこ
とによって形成される。
The display electrode 4a is made by vacuum-depositing a transparent conductive material such as indium oxide, tin oxide, or indium-tin composite oxide.
It is formed by adhering to the inner surface of the display side substrate 1 using existing thin film forming techniques such as sputtering and ion blating. Further, the counter electrode 6a is formed by applying a transparent conductive material in the same way as the display electrode 4a, or by compressing or adhering a foil-like material made of noble metals such as gold and platinum and alloys of these and other metals. It is adhered and formed on the inner surface of the opposing substrate 2. Furthermore, the background material layer 7 hides the counter electrode 6 and uses its own color tone as the background of the display, and is made of a sheet-shaped molded mixture of a pigment such as titanium dioxide and polytetrafluoroethylene powder. Alternatively, it can be formed by applying a gel body of pigment and electrolyte using a screen printing method or the like.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上のように、この発明においては、活性炭素繊維から
なる特定の対極物質とさらに特定の電解液とを用いる場
合に、エレクトロミック物質層としての酸化タングステ
ン被膜を特定の蒸着手段にて形成するようにしたことに
より、短絡駆動方式によって消色することが可能なエレ
クトロクロミック表示素子を得ることができる。
As described above, in the present invention, when using a specific counter electrode material made of activated carbon fibers and a specific electrolyte, a tungsten oxide film as an electromic material layer is formed by a specific vapor deposition method. By doing so, it is possible to obtain an electrochromic display element that can be decolored by a short-circuit driving method.

〔実施例〕〔Example〕

以下に、この発明の実施例を比較例と対比して説明する
Examples of the present invention will be described below in comparison with comparative examples.

実施例1 一面側に予め厚さ2.500人のインジウム−スズ複合
酸化物からなる所定パターンの表示電極と厚さ5,00
0人のSiO□保護膜をそれぞれ真空蒸着にて形成した
透明ガラス製の表示側基板(縦127fi、横127f
i、厚さ1.1fi、面抵抗7Ω/−)の上記−面側全
面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィーに
よって数字表示用の8字形パターンを形成し、このパタ
ーン部分の保護膜をエツチング除去して上記フォトレジ
ストによるマスクを形成した。
Example 1 A predetermined pattern of display electrodes made of indium-tin composite oxide with a thickness of 2.500 mm and a thickness of 5.00 mm on one side
Display side substrate made of transparent glass (vertical 127fi, horizontal 127f
A photoresist is applied to the entire surface of the above-mentioned negative side (i. A mask was formed using the photoresist.

つぎに、真空蒸着装置のチャンバー内に、上記の表示側
基板と酸化タングステン粉末の圧縮成形物からなる直径
20削、厚さ10鶴のディスク状の蒸発源とをセットし
、チャンバー内を排気してlXl0−4Torrの真空
度としたのち、これに酸素ガスの分圧が5X10−4T
orrとなるように酸素ガスを流通させ、基板温度12
0℃において加速電圧6KVの電子ビームを蒸発源に照
射し、蒸発速度5人/秒にて膜厚5,000人の酸化タ
ングステン被膜を蒸着形成した。しかるのち、表示パタ
ーン部分以外をリフトオフ法によって除去して表示パタ
ーン状のエレクトロクロミック物質層とすることにより
、表示極とした。
Next, the above display side substrate and a disk-shaped evaporation source made of a compression molded product of tungsten oxide powder with a diameter of 20 mm and a thickness of 10 mm are set in the chamber of a vacuum evaporation device, and the chamber is evacuated. After that, the partial pressure of oxygen gas was set to 5X10-4T.
Oxygen gas is circulated so that the substrate temperature is 12
The evaporation source was irradiated with an electron beam at an accelerating voltage of 6 KV at 0° C., and a tungsten oxide film with a thickness of 5,000 thick was formed by vapor deposition at an evaporation rate of 5 kV/sec. Thereafter, a portion other than the display pattern portion was removed by a lift-off method to obtain an electrochromic material layer in the display pattern, thereby forming a display electrode.

一方、−面側に予め厚さ5,000人のインジウム−ス
ズ複合酸化物からなる対向電極を形成した透明ガラス製
の対向側基板(縦127fi、横127NM、厚さ1.
1 m、面抵抗4Ω/cal)の対向電極上に活性炭素
繊維クロス(クラレ社製の商品名CH−20)をカーボ
ンペースト(徳力社製の商品名PR−10)により全面
貼り合わせることにより対極物質層を形成して対向極と
した。
On the other hand, an opposing substrate made of transparent glass (length 127fi, width 127NM, thickness 1.5mm) on which a counter electrode made of indium-tin composite oxide with a thickness of 5,000 mm was previously formed on the - side.
A counter electrode was formed by bonding activated carbon fiber cloth (trade name: CH-20, manufactured by Kuraray Co., Ltd.) over the entire surface of the counter electrode with a sheet resistance of 1 m and a sheet resistance of 4 Ω/cal using carbon paste (trade name: PR-10, manufactured by Tokuriki Co., Ltd.). A material layer was formed to serve as a counter electrode.

そして、上記側基板を表示極と対向極とが向かい合う形
で、両極間に二酸化チタン顔料とポリテトラフルオルエ
チレン粉末との混合物のシート状成形物からなる背景材
を介在させ、かつ周辺部に厚さ500μmのポリエステ
ル樹脂製環状スペーサを介して対向配置して接着封止す
るとともに、内部に1モル/βの過塩素酸リチウムを溶
解させたプロピレンカーボネート溶液に1重量%の純水
を添加してなる電解液を封入し、最後にリード端子の取
付けと銀ペースト塗布による導電層の形成を行い、図面
で示す構成のエレクトロクロミック表示素子を作製した
Then, the above-mentioned side substrate is arranged such that the display electrode and the counter electrode face each other, and a background material made of a sheet-shaped molded mixture of titanium dioxide pigment and polytetrafluoroethylene powder is interposed between the two electrodes, and the peripheral part is They were placed facing each other through a polyester resin annular spacer with a thickness of 500 μm and adhesively sealed, and 1% by weight of pure water was added to a propylene carbonate solution in which 1 mol/β lithium perchlorate was dissolved. Finally, lead terminals were attached and a conductive layer was formed by applying silver paste to produce an electrochromic display element having the structure shown in the drawing.

実施例2 酸化タングステン被膜を蒸着形成する際の酸素ガス分圧
を7X10−4Torrとした以外は、実施例1と同様
にしてエレクトロクロミック表示素子を得た。
Example 2 An electrochromic display element was obtained in the same manner as in Example 1, except that the oxygen gas partial pressure when forming the tungsten oxide film by vapor deposition was set to 7×10 −4 Torr.

実施例3 酸化タングステン被膜を蒸着形成する際の酸素ガス分圧
をIQXIO−4Torrとした以外は、実施例1と同
様にしてエレクトロクロミック表示素子を得た。
Example 3 An electrochromic display element was obtained in the same manner as in Example 1, except that the oxygen gas partial pressure when forming the tungsten oxide film by vapor deposition was set to IQXIO-4 Torr.

比較例1 酸化タングステン被膜を蒸着形成する際の酸素ガス分圧
を3X10−4Torrとした以外は、実施例1と同様
にしてエレクトロクロミック表示素子を作製した。
Comparative Example 1 An electrochromic display element was produced in the same manner as in Example 1, except that the oxygen gas partial pressure when forming the tungsten oxide film by vapor deposition was set to 3×10 −4 Torr.

比較例2 酸化タングステン被膜を蒸着形成する際にチャンバー内
に酸素ガスを流通させなかった以外は、実施例1と同様
にしてエレクトロクロミック表示素子を得た。
Comparative Example 2 An electrochromic display element was obtained in the same manner as in Example 1, except that oxygen gas was not passed through the chamber during vapor deposition of the tungsten oxide film.

以上の実施例および比較例に係る各素子につき、通常の
単極性電源を用いて着色駆動させ、そのときのしきい電
圧を測定した結果は、下記の表に示されるとおりであっ
た。また、上記電源により着色駆動したのち、表示極側
端子と対向極側端子とを短絡させて消色させたときの状
態を調べ、その結果を下記の表に併記した。
Each element according to the above Examples and Comparative Examples was colored and driven using a normal unipolar power source, and the threshold voltage at that time was measured. The results are as shown in the table below. In addition, after the coloring drive was performed using the above power source, the state when the display electrode side terminal and the counter electrode side terminal were short-circuited and the color was erased was investigated, and the results are also listed in the table below.

上記の結果から明らかなように、この発明の方法によれ
ば、しきい電圧がマイナス側にずれ、短絡駆動方式によ
っても完全に消色することが可能なエレクトロクロミッ
ク表示素子が得られるものであることが判る。
As is clear from the above results, according to the method of the present invention, it is possible to obtain an electrochromic display element in which the threshold voltage shifts to the negative side and can be completely erased even by a short-circuit drive method. I understand that.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面はこの発明方法にて得られるエレクトロクロミック
表示素子の構造例を示す縦断面図である。
The drawing is a longitudinal sectional view showing an example of the structure of an electrochromic display element obtained by the method of the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)少なくとも表示側が透光性である一対の基板と、
表示側基板の内面に表示電極を介して酸化タングステン
からなるエレクトロクロミック物質層を形成してなる表
示極と、対向側基板の内面に対向電極を介して活性炭素
繊維からなる対極物質層を形成してなる対向極と、これ
ら両極間に封入されたプロピレンカーボネートに過塩素
酸リチウムを溶解させてなる電解液とを有するエレクト
ロクロミック表示素子の製造方法において、上記エレク
トロクロミック物質層を形成するに当たり、蒸発源とし
ての酸化タングステンを酸素ガス分圧が5×10^−^
4Torr以上となる酸素ガス雰囲気下で表示電極上に
真空蒸着させることにより、短絡駆動方式により消色す
ることが可能なエレクトロクロミック表示素子を得るこ
とを特徴とするエレクトロクロミック表示素子の製造方
法。
(1) a pair of substrates whose display side is translucent;
A display electrode is formed by forming an electrochromic material layer made of tungsten oxide on the inner surface of the display side substrate via a display electrode, and a counter electrode material layer made of activated carbon fiber is formed on the inner surface of the opposing substrate via a counter electrode. In the method for manufacturing an electrochromic display element, the electrochromic display element has an electrolytic solution formed by dissolving lithium perchlorate in propylene carbonate sealed between the two electrodes. Oxygen gas partial pressure of tungsten oxide as a source is 5 × 10^-^
A method for manufacturing an electrochromic display element, characterized in that an electrochromic display element capable of erasing color by a short-circuit drive method is obtained by performing vacuum deposition on a display electrode in an oxygen gas atmosphere of 4 Torr or more.
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