JPS63147638U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63147638U JPS63147638U JP3884987U JP3884987U JPS63147638U JP S63147638 U JPS63147638 U JP S63147638U JP 3884987 U JP3884987 U JP 3884987U JP 3884987 U JP3884987 U JP 3884987U JP S63147638 U JPS63147638 U JP S63147638U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- booth
- clean room
- ceiling
- fan
- air chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は、本考案に係るクリーンルームの正面
概略図、第２図は、同側面概略図、第３図は、同
平面概略図である。 Ｃ・Ｒ……クリーンルーム、１……天井、２…
…ブース、３……フアン、４……フイルターユニ
ツト、４１……高性能フイルター、５……還気チ
ヤンバー、６，６ｆ，６ｓ……カーテン、７……
清浄室。
概略図、第２図は、同側面概略図、第３図は、同
平面概略図である。 Ｃ・Ｒ……クリーンルーム、１……天井、２…
…ブース、３……フアン、４……フイルターユニ
ツト、４１……高性能フイルター、５……還気チ
ヤンバー、６，６ｆ，６ｓ……カーテン、７……
清浄室。
Claims (1)
- 建物の天井にフアンとフイルターユニツトを内
蔵したブースを吊設し、該ブースの一側面下方に
立設した還気チヤンバーと、他の側面から垂下し
たカーテンとにより該ブースの下部を間仕切つて
清浄室を形成したことを特徴とするクリーンルー
ム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3884987U JPS63147638U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3884987U JPS63147638U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63147638U true JPS63147638U (ja) | 1988-09-29 |
Family
ID=30851482
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3884987U Pending JPS63147638U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63147638U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552261U (ja) * | 1978-10-02 | 1980-04-07 | ||
| JPS565945B2 (ja) * | 1972-09-08 | 1981-02-07 |
-
1987
- 1987-03-17 JP JP3884987U patent/JPS63147638U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS565945B2 (ja) * | 1972-09-08 | 1981-02-07 | ||
| JPS5552261U (ja) * | 1978-10-02 | 1980-04-07 |