JPS63145357U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63145357U JPS63145357U JP3587387U JP3587387U JPS63145357U JP S63145357 U JPS63145357 U JP S63145357U JP 3587387 U JP3587387 U JP 3587387U JP 3587387 U JP3587387 U JP 3587387U JP S63145357 U JPS63145357 U JP S63145357U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- piezoelectric actuator
- electrode
- fixed
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
第1図は本考案の圧電アクチユエータの一実施
例を示す平面図、第2図は第1図の正面断面図、
第3図〜第5図は本考案の他の実施例を示す平面
図、第6図は更に本考案の別の実施例を示す正面
断面図である。 10,20,30,40,50……振動板、1
2,22,32,42,52……圧電板、13,
23,33,43,53……貫通孔。
例を示す平面図、第2図は第1図の正面断面図、
第3図〜第5図は本考案の他の実施例を示す平面
図、第6図は更に本考案の別の実施例を示す正面
断面図である。 10,20,30,40,50……振動板、1
2,22,32,42,52……圧電板、13,
23,33,43,53……貫通孔。
Claims (1)
- 電極を具えた圧電素子を振動板に固着し、該電
極に印加する電界によつて生する該圧電素子の歪
みによつて該振動板を振動させて変位を得る圧電
アクチユエータにおいて、該振動板の両端または
周囲が支持部材に固着されるとともに該振動板の
一部分に貫通孔が形成されたことを特徴とする圧
電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3587387U JPS63145357U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3587387U JPS63145357U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63145357U true JPS63145357U (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=30845758
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3587387U Pending JPS63145357U (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63145357U (ja) |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP3587387U patent/JPS63145357U/ja active Pending