JPS63144601A - Dielectric filter and its manufacture - Google Patents
Dielectric filter and its manufactureInfo
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- JPS63144601A JPS63144601A JP29221686A JP29221686A JPS63144601A JP S63144601 A JPS63144601 A JP S63144601A JP 29221686 A JP29221686 A JP 29221686A JP 29221686 A JP29221686 A JP 29221686A JP S63144601 A JPS63144601 A JP S63144601A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 68
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 53
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 abstract description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
° この発明は誘電体フィルタおよびその製造方法に関
し、特に、ストリップ導体を有する誘電体フィルタおよ
びその製造方法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial Application Field) The present invention relates to a dielectric filter and a method of manufacturing the same, and particularly relates to a dielectric filter having a strip conductor and a method of manufacturing the same.
（従来技術）
この発明の背景となる従来の誘電体フィルタの一例が、
たとえば特開昭６１−１６１８０４号公報に開示されて
いる。このような誘電体フィルタでは、誘電体基板の溝
の内面にストリップ導体が形成される。この誘電体フィ
ルタでは、そのストリップ導体が、電極材料をたとえば
塗布することや印刷することなどにより形成される。あ
るいは、この誘電体フィルタでは、溝を有する誘電体基
板の全面に電極膜を形成し、誘電体基板の溝を有する主
面上の溝の内面以外の電極膜を削ることによりストリッ
プ導体が形成される。(Prior Art) An example of a conventional dielectric filter that forms the background of this invention is
For example, it is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 161804/1983. In such a dielectric filter, a strip conductor is formed on the inner surface of a groove in a dielectric substrate. In this dielectric filter, the strip conductor is formed by, for example, coating or printing an electrode material. Alternatively, in this dielectric filter, a strip conductor is formed by forming an electrode film on the entire surface of a dielectric substrate having grooves, and cutting off the electrode film on the main surface of the dielectric substrate other than the inner surface of the grooves. Ru.
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、このような従来の誘電体フィルタでは、
溝の内面にストリップ導体が形成されるため、電極材料
の塗布や印刷などによって部分的にストリップ導体を形
成することが困難である。(Problems to be solved by the invention) However, in such conventional dielectric filters,
Since the strip conductor is formed on the inner surface of the groove, it is difficult to partially form the strip conductor by coating or printing an electrode material.
また、溝を有する誘電体基板の全面に電極膜を形成し、
その不要部分を削ってストリップ導体を形成する場合に
は、不要な電極膜だけを除去することが難しい。つまり
、不要な電極膜を削るときに誘電体基板の一部を削って
しまう場合がある。そのような場合、ストリップ４体間
の誘電体の量が変化する。そのため、ストリップ導体間
の誘電率が大きく変動し、誘電体フィルタのフィルタ特
性にばらつきを生じる。In addition, an electrode film is formed on the entire surface of the dielectric substrate having grooves,
When forming a strip conductor by cutting off the unnecessary portion, it is difficult to remove only the unnecessary electrode film. In other words, when removing an unnecessary electrode film, a part of the dielectric substrate may be removed. In such a case, the amount of dielectric between the strips will vary. Therefore, the dielectric constant between the strip conductors varies greatly, causing variations in the filter characteristics of the dielectric filter.
それゆえに、この発明の主たる目的は、その製造を容易
に行うことができ、かつそのフィルタ特性にばらつきを
生じない形状の誘電体フィルタを提供することである。Therefore, the main object of the present invention is to provide a dielectric filter that can be easily manufactured and has a shape that does not cause variations in filter characteristics.
この発明の他の目的は、このような誘電体フィルタを効
率よく製造することができる誘電体フィルタの製造方法
を提供することである。Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a dielectric filter that can efficiently manufacture such a dielectric filter.
（問題点を解決するための手段）
第１の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、この誘電体基板の一方主面上の一端から他端
に向かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方
主面上に形成されるストリップ導体とを含む、誘電体フ
ィルタである。(Means for solving the problem) The first invention includes a dielectric substrate having a flat surface on at least one main surface, and a dielectric substrate formed on one main surface of the dielectric substrate from one end toward the other end. The present invention is a dielectric filter including a groove and a strip conductor formed on one main surface of a dielectric substrate excluding the groove.
第２の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向
かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方主面
上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタの
製造方法であって、誘電体基板を準備する工程と、誘電
体基板の全面に電極膜を形成する工程と、電極膜の上面
に、ストリップ導体を含む形状にマスクを形成する工程
と、マスク形成面以外の電極膜をエツチングにより除去
することによってストリップ導体を形成する工程と、誘
電体基板の電極膜除去部分をエツチングにより除去する
ことによって溝を形成する工程とを含む、誘電体フィル
タの製造方法である。A second invention provides a dielectric substrate having a flat surface on at least one main surface, a groove formed from one end to the other end on one main surface of the dielectric substrate, and one side of the dielectric substrate other than the groove. A method for manufacturing a dielectric filter including a strip conductor formed on a main surface, the method comprising: preparing a dielectric substrate; forming an electrode film on the entire surface of the dielectric substrate; A step of forming a mask in a shape including a strip conductor, a step of forming a strip conductor by removing the electrode film other than the mask forming surface by etching, and a step of removing the part of the dielectric substrate from which the electrode film has been removed by etching. This is a method for manufacturing a dielectric filter, including a step of forming a groove.
第３の発明は、少なくとも一方主面に平面を備えた誘電
体基板と、誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向
かって形成される溝と、誘電体基板の溝を除く一方主面
上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタの
製造方法であって、一方主面上の一端から他端に向かっ
て溝が形成された誘電体基板を準備する工程と、誘電体
基板の全面に電極膜を形成する工程と、電極膜の上面の
溝を除く部分に、ストリップ導体を含む形状にマスクを
形成する工程と、マスク形成面以外の電極膜をエツチン
グにより除去することによってストリップ導体を形成す
る工程とを含む、誘電体フィルタの製造方法である。A third invention provides a dielectric substrate having a flat surface on at least one main surface, a groove formed from one end to the other end on one main surface of the dielectric substrate, and one side of the dielectric substrate other than the groove. A method for manufacturing a dielectric filter including a strip conductor formed on a main surface, the method comprising: preparing a dielectric substrate in which a groove is formed from one end of the main surface toward the other end; A process of forming an electrode film on the entire surface of the electrode film, a process of forming a mask in a shape including the strip conductor on the upper surface of the electrode film except for the grooves, and a process of removing the electrode film other than the mask forming surface by etching. A method of manufacturing a dielectric filter includes a step of forming a conductor.
（発明の作用・効果）
この発明によれば、ストリップ導体が溝の内面に形成さ
れず、平面上に形成されるため、電極材料の塗布や、印
刷によるストリップ導体の形成が容易である。さらに、
ストリップ導体間は溝であるため、誘電体フィルタの製
造過程におけるストリ・７プ導体間の誘電率の変動を小
さくすることができる。したがって、誘電体フィルタの
フィルタ特性のばらつきを抑えることができる。(Operations and Effects of the Invention) According to the present invention, since the strip conductor is not formed on the inner surface of the groove but on a flat surface, it is easy to apply an electrode material or form the strip conductor by printing. moreover,
Since there are grooves between the strip conductors, variations in dielectric constant between the strip conductors and the seven conductors during the manufacturing process of the dielectric filter can be reduced. Therefore, variations in filter characteristics of the dielectric filter can be suppressed.
さらに、エツチングによって誘電体フィルタを製造する
場合、平面上に簡単にマスクを形成することができる。Furthermore, when manufacturing a dielectric filter by etching, a mask can be easily formed on a flat surface.
したがって、複雑な形状の誘電体フィルタを効率よく製
造することができる。Therefore, a dielectric filter having a complicated shape can be manufactured efficiently.
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から一
層明らかとなろう。The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.
（実施例）
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。この
誘電体フィルタｌＯは誘電体基板１２を含む。誘電体基
板１２の一方主面には、複数の溝１４．１４． ・・
・が相互に間隔を隔てて形成される。これらの溝１４．
１４． ・・・は、誘電体基板１２の一方主面１２ａ
の一端から他端に向かって形成される。さらに、誘電体
基板１２の一方主面１２ａの上面にはストリップ導体１
６．１６、・・・が形成される。したがって、溝１４の
内面には導体が形成されていない。(Embodiment) FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention. This dielectric filter IO includes a dielectric substrate 12. On one main surface of the dielectric substrate 12, a plurality of grooves 14, 14.・・・
・are formed at intervals from each other. These grooves14.
14. ... is one main surface 12a of the dielectric substrate 12
formed from one end to the other. Furthermore, a strip conductor 1 is provided on the upper surface of one principal surface 12a of the dielectric substrate 12.
6.16, . . . are formed. Therefore, no conductor is formed on the inner surface of the groove 14.
誘電体基板１２の他方主面１２ｂには、その全面にアー
ス導体１８が形成される。さらに、誘電体基板１２の一
方側面１２ｃには、接続導体２０が形成される。この接
続導体２０によって、ストリップ導体１６の他端および
アース導体１８の他端が接続される。A ground conductor 18 is formed on the entire surface of the other main surface 12b of the dielectric substrate 12. Furthermore, a connection conductor 20 is formed on one side 12c of the dielectric substrate 12. This connecting conductor 20 connects the other end of the strip conductor 16 and the other end of the ground conductor 18 .
これらのストリップ導体１６．アース導体１８および接
続導体２０は、銀ペーストなどの電極材料を塗布して形
成されてもよいし、印刷などによって形成されてもよい
。These strip conductors 16. The ground conductor 18 and the connection conductor 20 may be formed by applying an electrode material such as silver paste, or may be formed by printing or the like.
第１図実施例の誘電体フィルタ１０では、溝１４の内面
にストリップ導体１６が形成されず、平面上に形成され
ている。そのため、ストリップ導体１６は、電極材料の
塗布や印刷によってもＰ１単に形成することができる。In the dielectric filter 10 of the embodiment shown in FIG. 1, the strip conductor 16 is not formed on the inner surface of the groove 14, but is formed on a flat surface. Therefore, the strip conductor 16 can be formed simply by coating or printing an electrode material.
さらに、第１図実施例の誘電体フィルタｌＯでは、スト
リップ導体１６．１６．・・・の間が溝１４．１４．
・・・であり、高誘電率を有する誘電体で満たされて
いない。Furthermore, in the dielectric filter lO of the embodiment shown in FIG. 1, strip conductors 16, 16 . There is a groove between 14.14.
...and is not filled with a dielectric material having a high dielectric constant.
したがって、その製造過程において、誘電体の量の変化
によるストリップ導体１６．１６． ・・・間の誘電
率の変動が小さい。そのため、誘電体フィルタ１０のフ
ィルタ特性のばらつきを抑えることができる。Therefore, during its manufacturing process, the strip conductor 16.16. due to the change in the amount of dielectric. ...The variation in dielectric constant between the two is small. Therefore, variations in filter characteristics of the dielectric filter 10 can be suppressed.
次に、第１図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する方
法の一例について説明する。Next, an example of a method for manufacturing the dielectric filter 10 of the embodiment shown in FIG. 1 will be described.
まず、第２Ａ図に示されるように、誘電体基板１２が準
備される。そして、この誘電体基板１２の全面に電極膜
２２が形成される。First, as shown in FIG. 2A, the dielectric substrate 12 is prepared. Then, an electrode film 22 is formed on the entire surface of this dielectric substrate 12.
次に、第２Ｂ図に示されるように、電極膜２２の上面に
マスク２４が形成される。マスク２４は、たとえばエツ
チングレジスト材などで、ストリップ導体１６．アース
導体１８および接続導体２０の形状に形成される。−
そして、マスク２４が形成された誘電体基板１２がエツ
チング液に浸される。こうすることにより、マスク２４
形成面以外の電極膜２２が除去される。さらに、エツチ
ングによって、溝１４部分の誘電体が除去される。スト
リップ導体１６．アース導体１８．接続導体２０および
溝１４を形成した後、エツチングレジスト材が洗い流さ
れる。Next, as shown in FIG. 2B, a mask 24 is formed on the upper surface of the electrode film 22. The mask 24 is, for example, an etching resist material or the like, and the strip conductor 16. It is formed in the shape of the ground conductor 18 and the connection conductor 20. - Then, the dielectric substrate 12 on which the mask 24 is formed is immersed in an etching solution. By doing this, the mask 24
The electrode film 22 other than the formation surface is removed. Furthermore, the dielectric material in the groove 14 portion is removed by etching. Strip conductor 16. Earth conductor 18. After forming the connecting conductor 20 and groove 14, the etching resist material is washed away.
このようにして、第１図に示される誘電体フィルタ１０
が形成される。In this way, the dielectric filter 10 shown in FIG.
is formed.
この方法によれば、溝１４．ストリップ導体１６、アー
ス導体１８および接続導体２ｏを形成するときに機械的
な加工を必要とせず、複雑な形状の誘電体フィルタｌＯ
を簡単に製造することができる。According to this method, groove 14. A dielectric filter lO that does not require mechanical processing when forming the strip conductor 16, the ground conductor 18, and the connection conductor 2o, and has a complex shape.
can be easily manufactured.
さらに、第１図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する
方法の他の例について説明する。Furthermore, another example of the method for manufacturing the dielectric filter 10 of the embodiment shown in FIG. 1 will be described.
まず、第３Ａ図に示されるように、誘電体基板１２が準
備される。この誘電体基板１２の一方主面上には、その
一端から他端に向かって溝１４゜１４、・・・が形成さ
れている。そして、この誘電体基板１２の全面に電極膜
２２が形成される。First, as shown in FIG. 3A, the dielectric substrate 12 is prepared. Grooves 14° 14, . . . are formed on one main surface of the dielectric substrate 12 from one end to the other end. Then, an electrode film 22 is formed on the entire surface of this dielectric substrate 12.
そして、第３Ｂ図に示されるように、電極膜２２の上面
にマスク２４が形成される。マスク２４は、たとえばエ
ツチングレジスト材などで、ストリップ導体１６．アー
ス導体１８および接続導体２０の形状に形成される。た
だし、溝１４，１４、・・・の内面には、マスク２４は
形成されない。Then, as shown in FIG. 3B, a mask 24 is formed on the upper surface of the electrode film 22. The mask 24 is, for example, an etching resist material or the like, and the strip conductor 16. It is formed in the shape of the ground conductor 18 and the connection conductor 20. However, the mask 24 is not formed on the inner surfaces of the grooves 14, 14, .
このマスク２４が形成された誘電体基板１２がエツチン
グ液に浸される。こうすることにより、マスク２４形成
面以外の電極膜２２が除去される。The dielectric substrate 12 on which the mask 24 is formed is immersed in an etching solution. By doing so, the electrode film 22 other than the surface on which the mask 24 is formed is removed.
このとき、溝１４，１４． ・・・の内面の電極膜２
２も除去される。そして、不要な電極膜２２が除去され
た後、エツチングレジスト材が洗い流される。このよう
にして、第１図に示される誘電体フィルタ１０が形成さ
れる。At this time, the grooves 14, 14. Electrode film 2 on the inner surface of...
2 is also removed. After unnecessary electrode film 22 is removed, the etching resist material is washed away. In this way, the dielectric filter 10 shown in FIG. 1 is formed.
この方法によれば、機械的な加工では困難な溝１４．１
４． ・・・の内面の電極膜を節単に除去することが
できる。According to this method, the groove 14.1, which is difficult to process mechanically, can be
4. The electrode film on the inner surface of ... can be easily removed.
第４図はこの発明の他の実施例を示す斜視図である。こ
の誘電体フィルタ１０では、溝１４が誘電体基板１２の
一方主面１２ａの一端から他端にまで延びるように形成
されている。そして、誘電体基板１２の一方側面１２ｃ
には、接続導体２０が形成されている。しかしながら、
この接続導体２０は形成されなくてもよい。FIG. 4 is a perspective view showing another embodiment of the invention. In this dielectric filter 10, the groove 14 is formed so as to extend from one end of one main surface 12a of the dielectric substrate 12 to the other end. One side surface 12c of the dielectric substrate 12
A connecting conductor 20 is formed therein. however,
This connection conductor 20 may not be formed.
第４図実施例の誘電体フィルタ１０を製造する際にも、
上述の製造方法が適用可能である。つまり、１つの製造
方法は、エツチングによって平板状の誘電体基板１２に
溝１４およびストリップ導体１６を形成する方法である
。そして、もう１つの製造方法は、予め溝１４の形成さ
れた誘電体基板１２にエツチングによってストリップ導
体１６を形成する方法である。When manufacturing the dielectric filter 10 of the embodiment shown in FIG.
The manufacturing method described above is applicable. That is, one manufacturing method is to form the grooves 14 and the strip conductors 16 in the flat dielectric substrate 12 by etching. Another manufacturing method is to form the strip conductor 16 by etching on the dielectric substrate 12 in which the groove 14 has been formed in advance.
なお、第１図実施例および第４図実施例では、誘電体基
板１２に複数の溝１４が形成されている。In the embodiment shown in FIG. 1 and the embodiment shown in FIG. 4, a plurality of grooves 14 are formed in the dielectric substrate 12.
しかし、溝１４は１つだけ形成されてもよい。その場合
、゛ストリップ導体１６は、溝１４の両側に形成される
。However, only one groove 14 may be formed. In that case, the strip conductors 16 are formed on both sides of the groove 14.
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図である。
第２Ａ図および第２Ｂ図は、第１の発明による誘電体フ
ィルタの製造過程の一例を示す斜視図である。
第３Ａ図および第３Ｂ図は、第２の発明による誘電体フ
ィルタの製造過程の一例を示す斜視図である。
第４図はこの発明の他の実施例を示す斜視図である。
図において、１０は誘電体フィルタ、１２は誘電体基板
、１４は溝、１６はストリップ導体を示す。
特許出願人 株式会社 村田製作所
代理人 弁理士 岡 １） 全 啓
（ほか１名）
第２Ａ］
１２”’FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B are perspective views showing an example of the manufacturing process of the dielectric filter according to the first invention. FIGS. 3A and 3B are perspective views showing an example of the manufacturing process of the dielectric filter according to the second invention. FIG. 4 is a perspective view showing another embodiment of the invention. In the figure, 10 is a dielectric filter, 12 is a dielectric substrate, 14 is a groove, and 16 is a strip conductor. Patent Applicant Murata Manufacturing Co., Ltd. Agent Patent Attorney Oka 1) Kei Zen (and 1 other person) 2A] 12”'
Claims (1)
形成される溝、および 前記誘電体基板の前記溝を除く一方主面上に形成される
ストリップ導体を含む、誘電体フィルタ。 ２ 少なくとも一方主面に平面を備えた誘電体基板と、
前記誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向かって
形成される溝と、前記誘電体基板の前記溝を除く一方主
面上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタ
の製造方法であって、板状の誘電体基板を準備する工程
、 前記誘電体基板の全面に電極膜を形成する工程、前記電
極膜の上面に、前記ストリップ導体を含む形状にマスク
を形成する工程、 前記マスク形成面以外の前記電極膜をエッチングにより
除去することによって前記ストリップ導体を形成する工
程、および 前記誘電体基板の前記電極膜除去部分をエッチングによ
り除去することによって溝を形成する工程を含む、誘電
体フィルタの製造方法。 ３ 少なくとも一方主面に平面を備えた誘電体基板と、
前記誘電体基板の一方主面上の一端から他端に向かって
形成される溝と、前記誘電体基板の前記溝を除く一方主
面上に形成されるストリップ導体を含む誘電体フィルタ
の製造方法であって、一方主面上の一端から他端に向か
って溝が形成された誘電体基板を準備する工程、 前記誘電体基板の全面に電極膜を形成する工程、前記電
極膜の上面の前記溝を除く部分に、前記ストリップ導体
を含む形状にマスクを形成する工程、および 前記マスク形成面以外の前記電極膜をエッチングにより
除去することによって前記ストリップ導体を形成する工
程を含む、誘電体フィルタの製造方法。[Scope of Claims] 1. A dielectric substrate having a flat surface on at least one main surface, a groove formed from one end to the other end on one main surface of the dielectric substrate, and the groove of the dielectric substrate. A dielectric filter that includes a strip conductor formed on one major surface except for a dielectric filter. 2. A dielectric substrate with at least one main surface having a flat surface;
A method for manufacturing a dielectric filter including a groove formed on one main surface of the dielectric substrate from one end to the other end, and a strip conductor formed on one main surface of the dielectric substrate excluding the groove. a step of preparing a plate-shaped dielectric substrate; a step of forming an electrode film on the entire surface of the dielectric substrate; a step of forming a mask in a shape including the strip conductor on the upper surface of the electrode film; a step of forming the strip conductor by removing the electrode film other than the mask forming surface by etching; and a step of forming a groove by removing the electrode film removed portion of the dielectric substrate by etching. Method for manufacturing a body filter. 3 a dielectric substrate with a flat surface on at least one main surface;
A method for manufacturing a dielectric filter including a groove formed on one main surface of the dielectric substrate from one end to the other end, and a strip conductor formed on one main surface of the dielectric substrate excluding the groove. A step of preparing a dielectric substrate in which a groove is formed from one end to the other end on one main surface, a step of forming an electrode film on the entire surface of the dielectric substrate, and a step of forming an electrode film on the upper surface of the electrode film. A dielectric filter comprising the steps of forming a mask in a shape including the strip conductor in a portion excluding the groove, and forming the strip conductor by removing the electrode film other than the mask forming surface by etching. Production method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29221686A JPS63144601A (en) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | Dielectric filter and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29221686A JPS63144601A (en) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | Dielectric filter and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63144601A true JPS63144601A (en) | 1988-06-16 |
Family
ID=17779014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29221686A Pending JPS63144601A (en) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | Dielectric filter and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63144601A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0595202A (en) * | 1991-04-24 | 1993-04-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Dielectric filter |
| US5760665A (en) * | 1993-11-01 | 1998-06-02 | Adc Solitra Oy | Stripline resonator structure formed on upper and lateral surfaces of substrate projections |
| WO2019153449A1 (en) * | 2018-02-08 | 2019-08-15 | 深圳市太赫兹科技创新研究院 | Metamaterial-based band-pass filter unit and band-pass filter |
-
1986
- 1986-12-08 JP JP29221686A patent/JPS63144601A/en active Pending
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