JPS63142911U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63142911U JPS63142911U JP3380287U JP3380287U JPS63142911U JP S63142911 U JPS63142911 U JP S63142911U JP 3380287 U JP3380287 U JP 3380287U JP 3380287 U JP3380287 U JP 3380287U JP S63142911 U JPS63142911 U JP S63142911U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric
- electrodes
- substrate
- piezoelectric thin
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims 1
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- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第1図は本考案に係る薄膜圧電変換器の断面図
、第2図は2つの電極の平面的な関係を示す平面
図、第3図及び第4図はそれぞれ本考案の薄膜圧
電変換器の電界分布図及びインライン・フイール
ド・モデルを示す図である。 10……薄膜圧電変換器、12……基板、14
……圧電薄膜、16,18……電極。
、第2図は2つの電極の平面的な関係を示す平面
図、第3図及び第4図はそれぞれ本考案の薄膜圧
電変換器の電界分布図及びインライン・フイール
ド・モデルを示す図である。 10……薄膜圧電変換器、12……基板、14
……圧電薄膜、16,18……電極。
Claims (1)
- 基板と圧電薄膜と前記圧電薄膜に設けられた弾
性表面波励振用の2つの電極から成る薄膜圧電変
換器において、前記2つの電極の一方の電極は前
記基板と圧電薄膜との間に形成され、他方の電極
は圧電薄膜の上に形成されたことを特徴とする薄
膜圧電変換器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3380287U JPS63142911U (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3380287U JPS63142911U (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63142911U true JPS63142911U (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=30841748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3380287U Pending JPS63142911U (ja) | 1987-03-10 | 1987-03-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63142911U (ja) |
-
1987
- 1987-03-10 JP JP3380287U patent/JPS63142911U/ja active Pending