JPS6314169U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6314169U JPS6314169U JP10851886U JP10851886U JPS6314169U JP S6314169 U JPS6314169 U JP S6314169U JP 10851886 U JP10851886 U JP 10851886U JP 10851886 U JP10851886 U JP 10851886U JP S6314169 U JPS6314169 U JP S6314169U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring needle
- measuring
- needle
- insulator
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す全体構成図
、第2図はその要部拡大断面図、第3図は第2図
の―線における拡大断面図、第4図は接触状
態を示す拡大側面図、第5図は従来装置の全体構
成図である。 図中、7は第1の測定針、8は第2の測定針、
9は絶縁体、10は弾性体である。各図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
、第2図はその要部拡大断面図、第3図は第2図
の―線における拡大断面図、第4図は接触状
態を示す拡大側面図、第5図は従来装置の全体構
成図である。 図中、7は第1の測定針、8は第2の測定針、
9は絶縁体、10は弾性体である。各図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- ウエハ状態でチツプの電気的特性を測定する半
導体ウエハ測定針において、筒状の第1の測定針
と、この第1の測定針部内に間隙を介して配置さ
れる第2の測定針部と、この第2の測定針部と上
記第1の測定針部間を電気的に絶縁する絶縁物と
、上記第1の測定針部内に配置されて上記第2の
測定針部を突出方向へ弾力を与える弾性体を備え
、上記第1の測定針部と上記第2の測定針部のう
ち一方を入力用とすると共に他方を検出用とした
ことを特徴とする半導体ウエハ測定針。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10851886U JPS6314169U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10851886U JPS6314169U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6314169U true JPS6314169U (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=30985791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10851886U Pending JPS6314169U (ja) | 1986-07-14 | 1986-07-14 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6314169U (ja) |
-
1986
- 1986-07-14 JP JP10851886U patent/JPS6314169U/ja active Pending