JPS63133007A - Mounting inspection equipment for chip part - Google Patents

Mounting inspection equipment for chip part

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Publication number
JPS63133007A
JPS63133007A JP61280078A JP28007886A JPS63133007A JP S63133007 A JPS63133007 A JP S63133007A JP 61280078 A JP61280078 A JP 61280078A JP 28007886 A JP28007886 A JP 28007886A JP S63133007 A JPS63133007 A JP S63133007A
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JP
Japan
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line
chip component
chip part
section
lines
Prior art date
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Pending
Application number
JP61280078A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Morihide Osaki
守英 大嵜
Sachikuni Takahashi
高橋 祐邦
Makoto Kishimoto
真 岸本
Nobuaki Kakimori
伸明 柿森
Shunei Morimoto
森本 俊英
Hitoshi Mochizuki
望月 仁史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Publication of JPS63133007A publication Critical patent/JPS63133007A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To judge the mounting state of a chip part instantaneously and accurately, by projecting three lines on the chip part to detect the position of the lines varying with the mounting condition of the chip part. CONSTITUTION:Lines projected on a chip part 3 to be inspected and a line pattern on a printed circuit board 4 are read out with a photographing section 5 set thereabove. An image signal thus obtained is subjected to an image processing, for example, mesh method and a line pattern alone is taken out by digital conversion with an A/D converting section 6. Then, computation is performed with a detection circuit section 7 based on a value of the position of a desired code existing in an assumed range from the line pattern to judge mounting state of the chip part 3. A signal is sent to a driving section of an X-Y table 9 from a control section 8 according to the processing state of the detection circuit section 7 to drive it. This shifts the inspection of mounting to the subsequent chip part 3.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野コ この発明は半導体装置の検査装置に関し、特にプリント
基板上に装着されるチップ部品の装着状況を判別する検
査装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a testing device for semiconductor devices, and more particularly to a testing device for determining the mounting status of chip components mounted on a printed circuit board.

[従来技術] 従来、プリント基板上に装着されたチップ部品の装着検
査は、作業者が拡大鏡を用いて個々のチップ部品ごとに
その装着状況を検査しているのが実情である。
[Prior Art] Conventionally, when inspecting the mounting of chip components mounted on a printed circuit board, the actual situation is that an operator uses a magnifying glass to inspect the mounting status of each chip component.

また、別な検査方法として、プリント基板面に斜め上方
から光を当ててチップ部品による影の状態で装着状況を
判別する方法も利用されている。
Another inspection method that is used is to shine light onto the printed circuit board surface diagonally from above and determine the mounting status based on the shadows caused by the chip components.

さらに、別な検査方法として開発されたもので、プリン
ト基板またはスリット光をアクチュエータにより、チッ
プ部品に対して縦方向および横方向に微動させることに
よってチップ部品のエツジ部を通過する際に生じるスリ
ット光の変化を読取り、エツジ部を検出する方法がある
Furthermore, this method was developed as a different inspection method, and the slit light generated when the printed circuit board or slit light passes through the edge of the chip component by slightly moving the printed circuit board or slit light in the vertical and horizontal directions relative to the chip component using an actuator. There is a method of detecting edges by reading changes in

[発明が解決しようとする問題点コ 上記のような従来の検査方法では、それぞれ以下のよう
な問題点を有する。
[Problems to be Solved by the Invention] The conventional inspection methods described above each have the following problems.

■ 作業者が個々のチップ部品ごとに検査せねばならず
、作業能率は極めて悪く、しかもどうして、も検査漏れ
や検査ミスが生じる。
■ Workers must inspect each individual chip component, resulting in extremely poor work efficiency, and inspection omissions and inspection errors inevitably occur.

■ チップ部品による影の状態で判別すると、たとえば
チップ部品の寸法にばらつきがあった場合、一方向から
の光による影のため影の長さが変わるので誤検出する可
能性がある。
■ When determining based on the state of the shadow caused by the chip component, for example, if there are variations in the dimensions of the chip component, there is a possibility of erroneous detection because the length of the shadow changes because the shadow is caused by light from one direction.

■ プリント基板またはスリット光の微動による検査は
、検査精度は上がるものの1チップ部品あたりの検出所
要時間が多くかかり、また装置も高価となる。
(2) Inspection using minute movements of printed circuit boards or slit light improves inspection accuracy, but it takes a long time to detect each chip component, and the equipment is expensive.

この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、高精度でかつ、処理能力の高いチップ部品の装着
検査装置を得ることを目的とする。
The present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a chip component mounting inspection device with high accuracy and high throughput.

[問題点を解決するための手段] この発明に係る装着検査装置は、プリント基板上に装着
される直方体形状のチップ部品の上平面に1つの対辺に
交わる少なくとも1本のラインと、他の対辺に交わる少
なくとも2本のラインを形成する。さらに、この少なく
とも3本のラインの対辺との交点位置を読取り、それを
出力する手段と出力された交点位置に基づいてチップ部
品の装着状態を判別する手段とを設けたものである。
[Means for Solving the Problems] The mounting inspection device according to the present invention has at least one line intersecting one opposite side on the upper plane of a rectangular parallelepiped chip component mounted on a printed circuit board, and the other opposite side. Form at least two lines that intersect. Furthermore, means for reading and outputting the intersection positions of the at least three lines with the opposite sides, and means for determining the mounting state of the chip component based on the output intersection positions are provided.

[作用コ この発明においてはチップ部品の厚さおよび位置ずれ等
によって、チップ部品上に投影された3本のラインの位
置が変化するので、この位置の変化に基づいて、チップ
部品の装着状態を検知する。
[Operation] In this invention, the positions of the three lines projected on the chip component change depending on the thickness and positional deviation of the chip component, so the mounting state of the chip component is determined based on the change in the position. Detect.

[実施例コ 第1図はこの発明の一実施例を示す構成斜視図である。[Example code] FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.

図において、面上で移動自在のX−Yテーブル9の上に
チップ部品3を載置したプリント基板4が設置される。
In the figure, a printed circuit board 4 on which a chip component 3 is placed is placed on an X-Y table 9 that is movable on the surface.

プリント基板4の面上のX軸方向の2本のラインを構成
する光源として、X軸方向スリット光光源部2およびY
軸方向の1本のラインを形成する光源として、Y軸方向
スリット光光源部1がX−Yテーブル9の斜め上方に設
置されている。また、チップ部品3の1つが3本のライ
ンの投影を受け、その投影部およびその周辺を撮像する
たとえば1. T、 V、カメラ等の撮像部5が上方に
設置される。撮像部5、A/D変換部61、検出回路部
7および制御部8がそれぞれ接続され、さらに制御部8
はX−Yテーブル9を面上で移動させるX軸方向駆動部
11およびY軸方向駆動部10に接続してその駆動を制
御するX軸方向駆動回路部13およびY軸方向駆動回路
部12にそれぞれ接続する。
As light sources forming two lines in the X-axis direction on the surface of the printed circuit board 4, an X-axis slit light source section 2 and a Y
A Y-axis slit light source section 1 is installed obliquely above the X-Y table 9 as a light source that forms one line in the axial direction. In addition, one of the chip components 3 is projected with three lines, and the projected portion and its surroundings are imaged, for example, 1. An imaging unit 5 such as a T, a V, and a camera is installed above. The imaging section 5, the A/D conversion section 61, the detection circuit section 7, and the control section 8 are connected to each other, and the control section 8
is an X-axis direction drive circuit section 13 and a Y-axis direction drive circuit section 12 that are connected to an X-axis direction drive section 11 and a Y-axis direction drive section 10 for moving the X-Y table 9 on a surface to control their driving. Connect each.

第2図はこの発明の一実施例のチップ部品に投影された
ラインの拡大斜視図であり、第3図はその平面図である
FIG. 2 is an enlarged perspective view of lines projected onto a chip component according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a plan view thereof.

両図において、チップ部品3の上面のX軸方向に、X軸
方向ラインA14およびX軸方向ラインB15を形成す
る2本のスリット光の投影によってX軸うインA17お
よびX軸うインB18が形成され、同じくY軸方向にY
軸方向ライン16を形成する1本のスリット光の投影に
よってY軸うイン19が形成される。符号A、〜A6は
各ラインのチップ部品5の端部における位置を示す符号
である。
In both figures, an X-axis groove A17 and an X-axis groove B18 are formed by projecting two slit lights that form an X-axis line A14 and an X-axis line B15 in the X-axis direction on the top surface of the chip component 3. and also in the Y-axis direction
A Y-axis groove 19 is formed by projection of one slit light beam forming the axial line 16. Reference symbols A and A6 indicate the positions at the ends of the chip components 5 of each line.

第1図〜第3図をもとに、以下、この装着検査装置の動
作を説明する。
The operation of this mounting inspection device will be explained below based on FIGS. 1 to 3.

制御部8からX軸方向駆動回路部13およびY。From the control section 8 to the X-axis direction drive circuit section 13 and Y.

軸方向駆動回路部12に与えられた信号によって、X軸
方向駆動部11およびY軸方向駆動部10を駆動させて
、X−Yテーブル9を移動し、プリント基板4上のX軸
方向ラインA14およびX軸方向ラインB15とY軸方
向ライン16との2つの交点の中間位置に正規チップ部
品の中心がくるようにセットする。検査すべきチップ部
品3の上に投影されたラインおよびプリント基板4の上
のラインパターンは、第3図のごとくなり、これをその
上方に設置されている撮像部5で読取り、その画像信号
をたとえばメツシュ法等の画像処理を行ない、A/D変
換部6でディジタル変換してラインパターンのみを取出
す。次に検出回路部7にてこのラインパターンから第3
図で示す符号A、〜A6の位置を検出し、想定範囲に存
在する所望の符号の位置の値をもとに下記の演算を行い
チップ部品3の装着状態を判別する。検出回路部7の処
理状況に応じて、制御部8からX−Yテーブル9の駆動
部に信号が送られ、これを駆動することによって、次の
チップ部品3の装着検査に移る。
The X-axis direction drive section 11 and the Y-axis direction drive section 10 are driven by the signal given to the axial direction drive circuit section 12 to move the X-Y table 9 and move the X-axis direction line A14 on the printed circuit board 4. Then, set the regular chip component so that its center is located at the midpoint between the two intersections of the X-axis direction line B15 and the Y-axis direction line 16. The lines projected onto the chip component 3 to be inspected and the line pattern on the printed circuit board 4 are as shown in FIG. For example, image processing such as the mesh method is performed, and the A/D converter 6 performs digital conversion to extract only the line pattern. Next, in the detection circuit section 7, a third
The positions of symbols A and -A6 shown in the figure are detected, and the following calculation is performed based on the value of the position of the desired symbol existing in the assumed range to determine the mounting state of the chip component 3. Depending on the processing status of the detection circuit section 7, a signal is sent from the control section 8 to the drive section of the X-Y table 9, and by driving this, the next chip component 3 is inspected for mounting.

次に、ラインパターンの読取りによるチップ部品の具体
的な装着検査の検出原理を説明する。
Next, the detection principle of a specific mounting inspection of a chip component by reading a line pattern will be explained.

第4図はチップ部品が回転ずれの状態で装着された図で
あるが、ここでたとえばX軸方向ラインA14およびX
軸方向ラインB15とY軸方向ライン16との2つの交
点の中間点を座標原点として、横方向にX軸をとり、縦
方向にY軸をとる座標軸を設定し、たとえば符号A、の
座標を(X、、3’+)として他の符号A2〜A6にも
同様に座標を与える。次に、ラインA + A 2 、
A 3 A4 、A!A6の中点をそれぞれB、、B2
、B、とし、この座標をBi  (Xi、、Yi)(i
=1〜3)で表わす。
FIG. 4 is a diagram in which the chip components are mounted in a rotationally misaligned state, and here, for example, the X-axis direction line A14 and
With the midpoint between the two intersections of the axial direction line B15 and the Y-axis direction line 16 as the coordinate origin, coordinate axes are set with the X axis in the horizontal direction and the Y axis in the vertical direction, and for example, the coordinates of code A are set. Coordinates are similarly given to the other symbols A2 to A6 as (X, , 3'+). Then the line A + A 2 ,
A 3 A4, A! The midpoint of A6 is B, ,B2 respectively.
,B, and the coordinates are Bi (Xi,,Yi)(i
=1 to 3).

このとき、チップ部品3の回転ずれの角度をθとすると
、 となり、また、チップ部品3の中心位置Oの座標を(X
o 、、Yo )とすると、中心位置0は直線8182
とB、を通り直線B、B2に直交する直線との交点とな
るから、 X(1−nX1 + (i  n) X2YO−nY、
+ (1−n)Y2 として求められる。さらに、チップ部品3の礁2および
A6の位置における高さH2およびH6は、X軸方向ラ
インB15とX軸うインB18とのY軸方向距離すおよ
びY軸方向ライン16とY軸うイン19とのX軸方向距
離aをもとにして下記となる。
At this time, if the angle of rotational deviation of the chip component 3 is θ, then the coordinates of the center position O of the chip component 3 are (X
o ,, Yo ), the center position 0 is a straight line 8182
Since it passes through B and becomes the intersection of straight line B and a straight line perpendicular to B2, X(1-nX1 + (in) X2YO-nY,
+ (1-n)Y2. Furthermore, the heights H2 and H6 of the chip component 3 at the positions of the reef 2 and A6 are the distances in the Y-axis direction between the X-axis direction line B15 and the X-axis inside B18, and the distance between the Y-axis direction line 16 and the Y-axis inside 19. Based on the distance a in the X-axis direction from

Hz = a xtan a” H6=bxtan a” ここで、αは第1図にて示すスリット光とプリント基板
とのなす角度である。
Hz=a xtan a'' H6=bxtan a'' Here, α is the angle between the slit light and the printed circuit board shown in FIG.

したがって、ラインA、A2 、A3 A4 、A5A
、の端部の位置およびプリント基板のラインの端部を読
取ることにより、中点B、〜B、の位置、すなわち、チ
ップ部品3の回転ずれ、位置ずれおよび浮き状態が求め
られるので、これを検出回路部7においてたとえば中心
位置の座標(Xo 、 YO)と(0,0)との比較の
ように所定の基準値と比較することによって、チップ部
品3の装着状態を検出することができる。
Therefore, lines A, A2, A3 A4, A5A
By reading the position of the end of , and the end of the line of the printed circuit board, the position of the midpoint B, ~B, that is, the rotational deviation, positional deviation, and floating state of the chip component 3 can be determined. The mounting state of the chip component 3 can be detected by comparing the coordinates (Xo, YO) of the center position with a predetermined reference value (0,0) in the detection circuit section 7, for example.

以上の検出原理に従って、X−Yテーブル9を移動させ
ることによって予め記憶されている正規のチップ部品の
個々の中心位置ごとに、ラインを投影させて検査を次々
と行なうことにより、プリント基板4の上のチップ部品
のすべてについてその装着状態を検査することができる
According to the above detection principle, by moving the X-Y table 9 and projecting a line at each center position of the regular chip components stored in advance, inspection is performed one after another. The mounting status of all of the above chip components can be inspected.

なお、上記実施例では、プリント基板上で2木の平行な
うインと1本のラインとを直交させ、かつ、2本のライ
ンのうち1本のラインとこれと直交するラインと、プリ
ント基板とのなす角度はすべて同一としたが、これは計
算上の便宜を図ったもので、これらの条件外であっても
演算式を考慮すれば検知可能である。
In addition, in the above embodiment, two parallel lines and one line are made perpendicular to each other on the printed circuit board, and one of the two lines and a line perpendicular to this are made to intersect with each other at right angles to the printed board. The angles formed by the two are all set to be the same, but this is for convenience in calculation, and it is possible to detect even outside these conditions by considering the arithmetic expression.

また、上記実施例では、スリット光は明光線としている
が、ライン部を明るくする曙光線であっても同様の効果
を奏する。
Further, in the above embodiment, the slit light is a bright ray, but the same effect can be obtained even if it is a dawn ray that brightens the line portion.

さらに、上記実施例では、1組のラインによってX−Y
テーブルを移動させて個々のチップ部品を検査している
が、複数組のラインおよび複数の撮像部を用いて、X−
Yテーブルを固定または移動して検査することも可能で
ある。
Furthermore, in the above embodiment, X-Y
Individual chip components are inspected by moving the table, but multiple sets of lines and multiple imaging units are used to inspect the X-
It is also possible to inspect by fixing or moving the Y table.

[発明の効果] この発明は以上説明したとおり、チップ部品上に3本の
ラインを投影してその装着状態に応じて変化するライン
の位置を検知して、装着検査を瞬時に行なうので、精度
がよく、かつ、処理能力に優れたチップ部品の装着検査
装置となる効果がある。
[Effects of the Invention] As explained above, this invention projects three lines onto a chip component and detects the position of the line that changes depending on the mounting state, and instantly performs a mounting inspection. This has the effect of providing a chip component mounting inspection device with good performance and excellent throughput.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

図面はすべて、この発明の一実施例を示すものであり、
第1図は構成斜視図、第2図はチップ部品に投影された
ラインの拡大斜視図、第3図および第4図は、チップ部
品の各種装着状態におけるラインパターンを示す図であ
る。 図において、3はチップ部品、4はプリント基板、5は
撮像部、6はA/D変換部、7は検出回路部、8は制御
部、9はX−Yテーブル、14はX軸方向ラインA11
5はX軸方向ラインB、 16はY軸方向ライン、17
はX軸うインA、18はX軸うインB119はY軸うイ
ンである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 (ほか2名)   ′r−ae’1 第2図 +5:X?白f′J向うインB 16:Ye力勾ライン 17: X章由ライ)A 18:×軸うイシB 19: Y中白ライン 第3図
All drawings depict one embodiment of the invention.
FIG. 1 is a perspective view of the structure, FIG. 2 is an enlarged perspective view of lines projected onto a chip component, and FIGS. 3 and 4 are diagrams showing line patterns in various mounting states of the chip component. In the figure, 3 is a chip component, 4 is a printed circuit board, 5 is an imaging section, 6 is an A/D conversion section, 7 is a detection circuit section, 8 is a control section, 9 is an X-Y table, and 14 is a line in the X-axis direction. A11
5 is the X-axis direction line B, 16 is the Y-axis direction line, 17
18 is the X-axis inside A, 18 is the X-axis inside B119 is the Y-axis inside. Note that the same reference numerals in each figure indicate the same or corresponding parts. (2 others) 'r-ae'1 Figure 2 +5:X? White f'J opposite in B 16: Ye force gradient line 17:

Claims (1)

【特許請求の範囲】 プリント基板上に装着された直方体形状のチップ部品の
装着検査装置であって、 前記チップ部品の上平面の上に前記上平面の第1の対辺
と交わる、少なくとも1本のラインを形成する第1のラ
イン形成手段と、 前記上平面の上に前記第1の対辺と異なる第2の対辺と
交わる、少なくとも2本のラインを形成する第2のライ
ン形成手段と、 少なくとも3本の前記ラインと前記第1の対辺および前
記第2の対辺との交点位置を検出する検出手段と、 前記検出手段により検出された前記交点に基づいて、少
なくとも3本の前記ラインの中点位置を算出し、前記第
2のライン形成手段による2本のラインの中点同志を結
んだ第1の直線と、前記第1のライン形成手段による1
本のラインの中点を通り前記第1の直線に直交する第2
の直線との交点を計算することによって、前記チップ部
品の中心位置を求め、さらに、前記交点位置に基づいて
前記チップ部品の回転角度を求める演算手段と、前記演
算手段による前記チップ部品の前記中心位置および前記
回転角度を所定の中心位置および回転角度と比較して、
前記チップ部品の装着状況を判別する判別手段とを備え
た、チップ部品の装着検査装置。
[Scope of Claims] A mounting inspection device for a rectangular parallelepiped chip component mounted on a printed circuit board, comprising: at least one wire on the top surface of the chip component that intersects with a first opposite side of the top surface. a first line forming means for forming a line; a second line forming means for forming at least two lines intersecting a second opposite side different from the first opposite side on the upper plane; a detection means for detecting an intersection point between the line of the book and the first opposite side and the second opposite side; and based on the intersection point detected by the detection means, midpoint positions of at least three of the lines. A first straight line connecting the midpoints of two lines formed by the second line forming means and a line formed by the first line forming means are calculated.
A second straight line passing through the midpoint of the book line and perpendicular to the first straight line.
calculation means for determining the center position of the chip component by calculating the intersection with the straight line, and further determining the rotation angle of the chip component based on the intersection position; comparing the position and the rotation angle with a predetermined center position and rotation angle;
A chip component mounting inspection device, comprising: a determining means for determining the mounting status of the chip component.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005017168A (en) * 2003-06-27 2005-01-20 Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd External appearance inspection apparatus, external appearance inspection method, and method for manufacturing semiconductor chip

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