JPS63122816U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63122816U JPS63122816U JP1451687U JP1451687U JPS63122816U JP S63122816 U JPS63122816 U JP S63122816U JP 1451687 U JP1451687 U JP 1451687U JP 1451687 U JP1451687 U JP 1451687U JP S63122816 U JPS63122816 U JP S63122816U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- constant temperature
- heater
- control device
- temperature control
- power
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Control Of Temperature (AREA)
Description
第1図は本考案に係る定温制御装置の構成図、
第2図は本考案に係る定温制御装置によつて制御
されるヒータに供給される電力と時間との関係を
表すとともに基板の温度と時間との関係を表すグ
ラフである。 11……予熱室、20……ヒータ、30……設
定部、40……電力制御部、50……基板。
第2図は本考案に係る定温制御装置によつて制御
されるヒータに供給される電力と時間との関係を
表すとともに基板の温度と時間との関係を表すグ
ラフである。 11……予熱室、20……ヒータ、30……設
定部、40……電力制御部、50……基板。
Claims (1)
- 加熱時間が一定である予熱室に搬入される被加
熱物を一定温度に制御する定温制御装置において
、前記ヒータに供給される電力の供給サイクルを
設定する設定部と、前記供給サイクルに従つて前
記ヒータに電力を供給する電力制御部とを具備す
ることを特徴とする定温制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1451687U JPS63122816U (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1451687U JPS63122816U (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63122816U true JPS63122816U (ja) | 1988-08-10 |
Family
ID=30804575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1451687U Pending JPS63122816U (ja) | 1987-02-02 | 1987-02-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63122816U (ja) |
-
1987
- 1987-02-02 JP JP1451687U patent/JPS63122816U/ja active Pending