JPS63116103A - Cleaning method for color filter - Google Patents
Cleaning method for color filterInfo
- Publication number
- JPS63116103A JPS63116103A JP61263361A JP26336186A JPS63116103A JP S63116103 A JPS63116103 A JP S63116103A JP 61263361 A JP61263361 A JP 61263361A JP 26336186 A JP26336186 A JP 26336186A JP S63116103 A JPS63116103 A JP S63116103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- color filter
- vessel
- tank
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 13
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 12
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 10
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 8
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 abstract description 6
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 5
- 235000010585 Ammi visnaga Nutrition 0.000 description 3
- 244000153158 Ammi visnaga Species 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229920002433 Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 210000004209 hair Anatomy 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、カラーフィルターの洗浄方法に関する。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention relates to a color filter cleaning method.
[従来の技術とその問題点]
従来、カラーフィルターの製造方法は、所謂多面付けし
た基板に例えばシリテクト(米国コントライン社商品名
、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体系コーティング剤)
を保護膜として塗布形成し、これを各々のカラーフィル
ターのチップに裁断している。大きな基板に多数個のカ
ラーフィルターを作製し、しかる後、個々に分離するた
めにダイシング機で裁断する方法を採っている。しかし
、裁断した直後のカラーフィルター5は、第2図(A)
のに示すように、周辺部に糸ひきされたようなヒゲ6が
付いている。このヒゲ6は、カラーフィルター5の表面
保護膜が裁断刃によってすし状に引き伸ばしてされたも
のであり、その材質は、保護膜と同じ樹脂でである。こ
のヒゲ6の除去は、爪楊枝等を用いて1チツプ毎にその
周囲を手作業によってこすることにより行なっていた。[Prior art and its problems] Conventionally, the method for manufacturing color filters is to apply, for example, Silitect (trade name of Contline Co., Ltd., USA, a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer coating agent) to a so-called multi-sided substrate.
is applied as a protective film and cut into chips for each color filter. The method is to fabricate a large number of color filters on a large substrate, and then cut them into individual pieces using a dicing machine. However, the color filter 5 immediately after cutting is as shown in Fig. 2 (A).
As shown in , there are thread-like whiskers 6 around the periphery. The whiskers 6 are formed by stretching the surface protective film of the color filter 5 into a sushi shape using a cutting blade, and the material thereof is the same resin as the protective film. The removal of the whiskers 6 was carried out by manually scraping the area around each chip using a toothpick or the like.
しかしながら、このような手作業によるものでは、極め
て生産性が悪くカラーフィルターの出荷納期を遅らせる
問題があった。しかも、かかる手作業によるものでは、
ヒゲ等のゴミを完全には除去できず高品質の製品を得る
ことができない問題があった。However, such manual processing has the problem of extremely poor productivity and delays in shipping and delivery of color filters. Moreover, with such manual work,
There was a problem in that it was not possible to completely remove dust such as whiskers, making it impossible to obtain a high-quality product.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、カラ
ーフィルターの周辺部に発生するゴミ等の汚れを完全に
除去し、高品質のカラーフィルターを高い生産性の下で
容易に得ることができるカラーフィルターの洗浄方法を
提供するものである。The present invention has been made in view of the above points, and it is possible to completely remove dirt such as dust generated around the color filter, and easily obtain high quality color filters with high productivity. The present invention provides a color filter cleaning method that can be used.
[問題点を解決するための手段]
本発明は、被処理体のカラーフィルターを有機溶剤を満
した第1槽内に浸漬して前記カラーフィルターに発生し
たヒゲ部を膨潤させて除去する工程と、前記第1槽から
取出した前記カラーフィタ”−を第2層目の冷却槽内に
浸漬して膜面のゴミを除去する工程と、前記第2槽から
取出した前記カラーフィターを第3層目の蒸気乾燥槽内
に導き膜面のゴミを除去すると共に乾燥させる工程とを
具備することを特徴とするカラーフィルターの洗浄方法
である。[Means for Solving the Problems] The present invention includes a step of immersing a color filter of an object to be processed in a first tank filled with an organic solvent to swell and remove whiskers generated on the color filter. , immersing the color filler taken out from the first tank into a second layer cooling tank to remove dust from the membrane surface; This method of cleaning a color filter is characterized by comprising a step of introducing the color filter into a steam drying tank to remove dust from the membrane surface and drying the membrane.
ここで、有機溶剤としては例えばフロン−113または
トリクロルエチレンを主成分とする溶剤や、フロン−1
13と塩化メチレン、アセトン、エタノール等の共沸混
合物からなるものを使用するのが好ましい。また、第1
槽目の浸漬洗浄では、洗浄液に超音波振動を与える好ま
しい。Here, examples of the organic solvent include a solvent containing Freon-113 or trichlorethylene as a main component, and Freon-1
It is preferable to use an azeotropic mixture of 13 and methylene chloride, acetone, ethanol, etc. Also, the first
In the immersion cleaning of the tank, it is preferable to apply ultrasonic vibration to the cleaning liquid.
[作用]
本発明にかかるカラーフィルターの洗浄方法によれば、
第1槽目の超音波洗浄槽でカラーフィルターの周辺部の
ヒゲ部を膨潤させ、更に超音波で膨潤したヒゲを除去す
る。次いで、第2槽目の冷却槽でカラーフィルターの膜
面のゴミを除去する。[Function] According to the color filter cleaning method according to the present invention,
The whiskers around the periphery of the color filter are swollen in the first ultrasonic cleaning tank, and the swollen whiskers are further removed by ultrasonic waves. Next, dust on the film surface of the color filter is removed in a second cooling tank.
然る後、第3槽目の蒸気乾燥槽で蒸気洗浄及び乾燥によ
って膜面のゴミの除去及び乾燥を行なう。Thereafter, dust is removed from the film surface and the film is dried by steam cleaning and drying in a third steam drying tank.
このようにしてカラーフィルターの周辺部に発生するゴ
ミ等の汚れを完全に除去し、高品質のカラーフィルター
を高い生産性の下で容易に得ることができる。In this way, dirt such as dust generated around the color filter can be completely removed, and high quality color filters can be easily obtained with high productivity.
[実施例]
以下、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。[Examples] Examples of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第1図に示すように、まず、第1槽として例えばフロン
113と塩化メチレンの共沸混合物からなる有機溶剤1
を満たしヒータ2と超音波振動子3を内蔵した超音波洗
浄槽4を用意する。次いで、有機溶剤1を沸騰状態にし
てから超音波洗浄槽4内に被処理体であるカラーフィル
ターを例えばカラーフィルターの膜面を一定方向に向け
て3点支持式治具に100チツプセツトした状態で、膜
面がヒータ2の方を向くようにして約2分間浸漬する。As shown in FIG. 1, first, an organic solvent 1 made of an azeotropic mixture of Freon 113 and methylene chloride, for example, is used as a first tank.
An ultrasonic cleaning tank 4 that satisfies the following requirements and has a built-in heater 2 and an ultrasonic vibrator 3 is prepared. Next, the organic solvent 1 is brought to a boiling state, and the color filter to be treated is placed in the ultrasonic cleaning tank 4 with, for example, 100 chips set on a three-point support jig with the film surface of the color filter facing in a certain direction. , immerse for about 2 minutes with the membrane surface facing the heater 2.
次いで、この状態で約3分間300Wの出力で超音波振
動子3により振動をかける。この時の浸漬処理によって
第2図(A)に示すようにカラーフィルター5の周辺部
のヒゲ6部を膨潤させる。Next, in this state, vibration is applied by the ultrasonic vibrator 3 at an output of 300 W for about 3 minutes. The immersion treatment at this time swells the whiskers 6 at the periphery of the color filter 5, as shown in FIG. 2(A).
次いで、超音波振動によってこれを第2図(B)に示す
ように除去する。次に、超音波洗浄槽4からカラーフィ
ルター5を取出し第2槽である冷却槽7内に約2分間浸
漬する。冷却槽7では、冷却コイルやウォータージャケ
ット等によって冷媒が所定温度に冷却されており、この
冷媒・中での浸漬処理によってカラーフィルター5の膜
面のゴミが除去される。次に、冷却槽7から取出したカ
ラーフィルター5を第3槽である蒸気乾燥槽8に導く。Next, this is removed by ultrasonic vibration as shown in FIG. 2(B). Next, the color filter 5 is taken out from the ultrasonic cleaning tank 4 and immersed in a cooling tank 7, which is a second tank, for about 2 minutes. In the cooling tank 7, a refrigerant is cooled to a predetermined temperature by a cooling coil, a water jacket, etc., and dust on the film surface of the color filter 5 is removed by immersion treatment in this refrigerant. Next, the color filter 5 taken out from the cooling tank 7 is introduced into a steam drying tank 8 which is a third tank.
而して、蒸気乾燥槽8内に設置したヒータ9によりカラ
ーフィルター5を約1分間蒸気洗浄すると共に乾燥し、
膜面ゴミの除去及び乾燥を行なう。Then, the color filter 5 is steam-cleaned for about 1 minute using a heater 9 installed in the steam drying tank 8 and dried.
Remove dust from the membrane surface and dry.
然る後、蒸気乾燥槽8から引上げたカラーフィルター5
を水取り槽10に移して洗浄し、カラーフィルター5の
洗浄処理を完了する。なお、第1+!乃至第3槽へのカ
ラーフィルター5の移送は、多槽のへの出入れが容易な
かごを使用して行なった。After that, the color filter 5 pulled up from the steam drying tank 8
is transferred to the water collecting tank 10 and cleaned, thereby completing the cleaning process of the color filter 5. In addition, the 1st +! The color filter 5 was transferred to the third to third tanks using a basket that could be easily taken in and out of the multi-tank.
このようにして洗浄されたカラーフィルター5では、1
00チツプの全てについてヒゲは完全に除去されている
ことが分った。これに対して爪楊枝を使用した従来の手
作業によるものでは、100チツプの内約70のチップ
についてヒゲを除去できたに過ぎなかった。The color filter 5 cleaned in this way has 1
It was found that the whiskers were completely removed from all 00 chips. On the other hand, the conventional manual method using a toothpick could only remove hairs from about 70 out of 100 chips.
また、本発明によると爪楊枝を使用した従来の手作業に
よるものついてカラーフィルターの洗浄の際の作業能率
、品質、作業人数、収率に関して調べたところ、下記表
に示す結果が得られた。Further, according to the present invention, the work efficiency, quality, number of workers, and yield when cleaning color filters using conventional manual methods using toothpicks were investigated, and the results shown in the table below were obtained.
[発明の効果]
以上説明した如く、本発明にかかる〃ラーフィルターの
洗浄方法によれば、カラーフィルターの周辺部に発生す
るゴミ等の汚れを完全に除去し、高品質のカラーフィル
ターを高い生産性の下で容易に得ることができるもので
ある。[Effects of the Invention] As explained above, according to the color filter cleaning method of the present invention, dirt such as dust generated around the color filter can be completely removed, and high quality color filters can be produced at a high rate. It is something that can be easily obtained under sex.
第1図は、本発明の実施例を示す説明図、第2図は、同
実施例の作用を示す説明図である。
1・・・有機溶剤、2.9・・・ヒータ、3・・・超音
波振動子、4・・・超音波洗浄槽、5・・・カラーフィ
ルター、6・・・ヒゲ、7・・・冷却槽、8・・・蒸気
乾燥槽、10・・・水取り槽。
出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
第1図
(A)CB”)
第2図FIG. 1 is an explanatory diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing the operation of the embodiment. 1... Organic solvent, 2.9... Heater, 3... Ultrasonic vibrator, 4... Ultrasonic cleaning tank, 5... Color filter, 6... Beard, 7... Cooling tank, 8... Steam drying tank, 10... Water removal tank. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 1 (A) CB'') Figure 2
Claims (3)
第1槽内に浸漬して前記カラーフィルターに発生したヒ
ゲ部を膨潤させて除去する工程と、前記第1槽から取出
した前記カラーフィターを第2層目の冷却槽内に浸漬し
て膜面のゴミを除去する工程と、前記第2槽から取出し
た前記カラーフィダーを第3層目の蒸気乾燥槽内に導き
膜面のゴミを除去すると共に乾燥させる工程とを具備す
ることを特徴とするカラーフィルターの洗浄方法。(1) A step of immersing the color filter of the object to be processed in a first tank filled with an organic solvent to swell and remove whiskers generated on the color filter, and a step of removing the color filter from the first tank. The color feeder is immersed in a second-layer cooling tank to remove dust on the film surface, and the color feeder taken out from the second tank is introduced into a third-layer steam drying tank to remove dust on the film surface. A method for cleaning a color filter, comprising the steps of removing and drying the filter.
チレンを主成分とする溶剤であることを特徴とする特許
請求の範囲第1項記載のカラーフィルターの洗浄方法。(2) The method for cleaning a color filter according to claim 1, wherein the organic solvent is a solvent containing Freon-113 or trichlorethylene as a main component.
セトン、エタノール等の共沸混合物であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載のカラーフィルターの洗
浄方法。(3) The method for cleaning a color filter according to claim 1, wherein the organic solvent is an azeotropic mixture of Freon-113, methylene chloride, acetone, ethanol, or the like.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61263361A JPS63116103A (en) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | Cleaning method for color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61263361A JPS63116103A (en) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | Cleaning method for color filter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63116103A true JPS63116103A (en) | 1988-05-20 |
Family
ID=17388419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61263361A Pending JPS63116103A (en) | 1986-11-05 | 1986-11-05 | Cleaning method for color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63116103A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103376488B (en) * | 2012-04-19 | 2015-07-08 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | Optical filter surface processing method |
-
1986
- 1986-11-05 JP JP61263361A patent/JPS63116103A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103376488B (en) * | 2012-04-19 | 2015-07-08 | 深圳欧菲光科技股份有限公司 | Optical filter surface processing method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS63116103A (en) | Cleaning method for color filter | |
JPS63102631A (en) | Pretreatment of frozen block meat | |
KR20020043217A (en) | Quartz glass article having sand blast-treated surface and method for cleaning the same | |
JPH1022239A (en) | Production of semiconductor wafer and cleaning equipment therefor | |
JPS6171932A (en) | Machining method of material | |
JP3307810B2 (en) | Single crystal block cleaning method and cleaning apparatus | |
DE2526052A1 (en) | METHOD OF CLEANING POLISHED SEMI-CONDUCTIVE DISCS | |
JP3426208B2 (en) | Method of regenerating silicon single crystal wafer with copper film and reclaimed wafer | |
JPH0368946B2 (en) | ||
JPH01216759A (en) | Method and device for slice machining | |
JPH03144459A (en) | Production of photosensitive drum | |
CN109008107A (en) | A kind of road production method after not generating the water drilling containing toxic heavy metal chromium waste water | |
KR100230484B1 (en) | Method for reusing of waste silicon wafer | |
JPH0536661A (en) | Cleaning method | |
JPH05308067A (en) | Ultrasonic washing device and method | |
CN111619116A (en) | Photosensitive resin surface modification treatment method | |
KR102506522B1 (en) | Manufacturing method for polyvinyl acetal brush | |
JP3760468B2 (en) | Evaluation method of silicon substrate | |
JPS6169007A (en) | Terminal working device of optical fiber cable | |
JPH06150229A (en) | Cleaning method for instantaneous adhesive | |
JPH07328886A (en) | Part cleaning method and cleaning device | |
GB2220678A (en) | Removal of contaminants from articles | |
JP2610441B2 (en) | Work drying method | |
JP3161007B2 (en) | Method for manufacturing mirror wafer with InP single crystal | |
JPS62287063A (en) | Method for removing matter sticking to thin film treating equipment |