JPS63110914A

JPS63110914A - インピ−ダンス型負荷のための高電圧の提供方法および装置

Info

Publication number: JPS63110914A
Application number: JP61250611A
Authority: JP
Inventors: クラウス・ミュラー−カティト; トーマス・マイアー; マンフレート・シューベルト; ユルゲン・シュヴェッケンディーク; ハンス−ヘンリヒ・シュティール
Original assignee: Sorubiosu Fueafuaarenshiyutetsuhinishie Geraete & Jiyusuteeme GmbH
Current assignee: Sorubiosu Fueafuaarenshiyutetsuhinishie Geraete & Jiyusuteeme GmbH
Priority date: 1985-06-13
Filing date: 1986-10-21
Publication date: 1988-05-16
Also published as: FR2605469B3; FR2605469A1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明が属する技術分野〕本発明は、一般に電源に関し、特にインピータンス型負
荷に対する、特に気体放電状態における負荷に対して中
間周波および高周波の高電圧電流を供給するための方法
および装置に関する。

（従来の技術およびその問題点〕独国特許公開公報明細書第３０２７１１２号からオゾン
発生装置のための電圧供給装置が既に知られているが、
この装置においては３相回路からの直流電圧が整流器に
より生じ、かつ等化コンデンサによって等化部ち平滑化
される。インバータが等化コンデンサのターミナルに対
し結合され、いずれの場合も直列に配列された２つのサ
イリスタを含む。変圧器の一次側巻線がこのサイリスタ
間の接合点に対して結合され、この変圧器の二次側巻線
は並列の個々のオゾン発生装置に給電する。予め定めた
周波数を有するパルス形電圧が、サイリスタの対応する
制御によって生じることができる。サイリスタはその切
換えのためには少量のエネルギを必要とするに過ぎない
が、比較的高い周波数においてサイリスタをオフに切換
えるためには遮断回路が必要であるため、サイリスタの
使用はＩ　ＫＨｚより低い周波数に限られ、その結果大
きなエネルギ損失が生じる。

（聞届を解決する手段〕従って、本発明の目的は、従来技術の短所を回避するこ
とにある。

更に、本発明の目的は高電圧の電流を供給する方法の提
供にあるが、本方法はこの種の公知の方法の短所のない
ものである。

本発明の更に別の目的は、特に気体放電用に用いられる
インピーダンス型負荷に対して　１００にＨｚまでの周
波数範囲において０．５乃至ｌＯ実効ｋＶ以下の高電圧
電流を供給することができる本文において考察される種
類の方法の提供にある。

本発明の他の方法は、オゾン発生装置の付勢のため使用
される時、消費される電気エネルギに対するオゾン収率
を増加させるような上記の形式の方法の開発にある。

本発明の付随目的は、上記の方法を実施することができ
る装置の考案にある。

本発明の他の目的は、運転中に生じるエネルギ損失を最
小限度に抑えるように上記装置を構成することにある。

本発明の更に他の目的は、構造が比較的簡単であり、製
造コストが安く、使用が簡単であり更に運転の信頼性が
高くなるように上記の形式の装置を構成することにある
。

以下において明らかになる上記および他の目的に従って
、本発明の１つの特徴は、特に気体放電状態において用
いられる如きインピーダンス型負荷に対して中間周波お
よび高周波の高電圧電流を提供する方法にあり、この方
法は、交番する回路電圧を整流し、整流された電圧を交
番パルス電圧ユに変換し、交番パルス電圧を変成し、負荷のインピーダ
ンスに依存する共振周波数を有する二次回圧路における負荷に対して変成された電圧を提供し、二次
回路の共振周波数に従って前記変換ステップを制御する
ステップからなるものである。

本発明はまた、特に気体放電状態において用いられる如
きインピーダンス型負荷に対する中間周波および高周波
の高電圧電力の供給のための装置に閏オる。この装置は
、交番する回路電圧を整流するための回路整流器を含む
整流装置と、整流装置からの整流された電圧を交番パル
ス電圧に変換するスイッチング装置と、一次側と二次側
の巻線部を有しスイッチング装置からの交番パルス電圧
圧の変圧を行なうよう作用する高電圧変成装置と、変歳装
置からの変圧された電圧を負荷のインピーダンスに依存
する共振周波数を有する負荷に供給する二次回路装置と
、スイッチング装置を制御するための制御装置とからな
り、この制御装置は二次回路装置の共振周波数に調整さ
れた発振器または二次回路装置の共振周波数に従ってス
イッチング装置を調整するための周波数調整装置のいず
れかを含んでいる。

交番パルス電圧を供給するスイッチング装置が二次回路
の共振周波数において切換えられるという事実により、
エネルギの移動に伴うエネルギ損失は最小限度に抑えら
れる。同時に、本装置の構成要素に要するコストはこれ
までよりも低く維持することができる。

好都合にも、制御ステップは二次回路に生じる正弦波信
号を、この正弦波信号の周波数および位相についての情
報を保持しかつ正弦波信号の周期と関連して小さくなる
パルス巾を有する位相固定パルス型制御信号に変更し、
前記変換ステップの間周期的なエネルギ結合を生じるよ
うに制御信号を利用するステップを含む。この制御ステ
ップが正弦波信号の周期のある予め定めた時点において
制御信号に結合される制御信号の位相をシフトするステ
ップを更に含む時、およびこの制御信号の結合が特に共
振電圧または共振電圧の反転時点の最小値付近において
低電圧で生じる時は、この制御ステップが更に有利とな
る。制御信号の結合は、二次回路の正弦波信号のｎ番目
の周期毎に生じることが望ましい。但し、ｎは１．２１
５、ｎである。また、負荷における電圧または電流をあ
る予め定めた値に調整し、あるいは負荷により生じる効
果をある予め定めた値に調整するステップもまた提供す
ることができる。この調整は、制御信号のパルス巾を制
御するか、あるいは直流レベルの調整を行なうことによ
り達成することができる。

本発明の装置の周波数調整装置は、二次回路装置の共振
周波数に対し位相固定的に同期させることができる発振
器を含むことが望ましい。二次回路の共振周波数を検出
してスイッチング装置の制御周波数をこれと対応して制
御する周波数制御装置即ち回路を提供することにより、
無効電力の共振抑制即ち減衰による電力損失への変換は
、負荷が変化しつつある時でさえ阻止される。

周波数調整装置は、二次回路における共振周波数を検出
しかつ検出された共振周波数を表わす第１の出力信号を
生じる装置と、二次回路において予期されるある予め定
めた共振周波数に恒久的に設定されてこの予め定めた共
振周波数を表わす第２の出力信号を生じる発振器と、本
装置の動作の始動位相においてのみエネルギ結合のため
の制御信号として第２の出力信号を使用し、かつ前記検
出装置が二次回路装置の共振周波数を検出した後この検
出装置から得た第１の信号を第２の出力信号を除く制御
信号として用いて検出装置に対して切換えるよう作用す
る別の切換え装置とを含む。

制御装置が更に、二次回路装置の正弦波信号の周期のあ
る予め定めた時点と対応するように制御信号の位相をシ
フトする装置を含むこともまた有利である。この制御装
置は更に、二次回路装置の正弦波信号“のｎ番目の周期
毎に制御信号の結合を生じるさせる分圧装置を含むこと
もできる（但し、ｎ＝１．２、、、ｎ）。調整可能であ
りあるいはプログラム可能であり、かつエネルギ結合に
対する二次側の正弦波信号の周期数の比率を制御するこ
の分圧装置を用いることにより、高電圧の電源に変更可
能な負荷範囲を提供することができる。

本スイッチング装置は、Ｐ−ＭＯＳトランジスタとして
構成される電子的スイッチを含む。電子スイッチのＰ−
ＭＯＳとしての構造は、如何なる遮断回路を設ける必要
もなく迅速なオン／オフ切換え動作を生じる利点を提供
する。制御および切換え損失は、従来用いられたパワー
・トランジスタに比較してかなり低い。電子的スイッチ
が変圧器の二次側のほとんど正弦波をなす共振周波数の
挙動カーブの最小値にあることが望ましい低電圧におい
て切換えが可能であるという事実により、切換え損失お
よび電子的スイ、ツチ数を低く保持することができる。

変成装置の二次側巻線に対して保持用コンデンサを並列
に配列することが望ましい。

本発明については、図面に間して以下に更に詳細に記述
する。

（実施例〕図面特に第１図を詳細に参照すれば、照合番号１が本発
明の高電圧電力の電源装置の入力整流器を示すため用い
られることが判る。入力整流器１は電源回路と結合され
た入力１５と、保持兼等化コンデンサ２を介して直流電
圧スイッチング装置３の入力端に結合される出力とを有
し、このスイッチング装置自体は高電圧変圧器４の一次
側巻線と結合された出力を有する。高電圧変圧器４の二
次側巻線に対して、保持用コンデンサ５が並列に異化かむ、例えばオゾン発＃ＩＲ器装置であるインピーダン
ス型の負荷６が保持用コンデンサ５に対して並列に結合
されている。高電圧変圧器４の二次佃１巻線、または高
電圧変圧器４の二次側巻線と結合される別の巻線、ある
いは二次回路装置１４に含まれる図示しない高抵抗分圧
器が、双投スイッチ８を介して立上がりの急なパルス発
生装置１０と結合された出力を有する周波数検出装置７
と結合され、前記パルス発生装置は更に直流電圧スイッ
チング装置３の作用を制御する。更にまた、発振器９の
出力は双投スイッチ８と結合されている。周波数検出装
置７の人力信号は更に所要値と実際値の電圧コンパレー
タ１１の１つの入力側に与えられるが、電圧コンパレー
タ１１の別の人力は電圧設定装置１２の出力側と結合さ
れている。所要値／実際値の電圧コンパレータ１１の出
力は電圧調整装置１３と結合され、この調整装置は立上
りの急なパルス発生装置ＩＯの別の入力端と結合される
出力を有する電圧調整装置１３と結合されている。諸装
置即ち構成要素７〜１０を相互に結合する回路は、周波
数調整回路１６を構成している。

二次回路装置１４は、フェライト・コア変圧器として構
成されることが望ましい変圧器４の二次側巻線のインダ
クタンス、保持用コンデンサ５およびインピーダンス型
負荷６と共に並列の発振回路を形成するが、これにおい
てはこの並列の発振回路の共振周波数において結果とし
て生じる無効電力は略々ゼロとなる。この共振周波数は
、負荷６が変化するため、高電圧電源装置の作用中変化
する。この周波数の振動を勘定に入れるため周波数調整
回路１６が設けられるが、この回路においては立上りの
急なパルス発生装置ｌＯが二次回路１４の共振周波数を
検出する周波数検出装置７の出力信号に従って直流電圧
スイッチング装置３をル制御し、その結果直流電圧スイ
ッチング装置３が常に共振周波数において切換わる。こ
の周波数検出装置７はＰＬＬ回路として構成することが
できる。直流電圧スイッチング装置３として、例えばそ
の制御が損失が低くなるように立上りが非常に急な矩形
波パルスで生じるべきＰ−ＭＯＳトランジスタが使用さ
れる。この直流電圧スイッチング装置３は、その効率を
増大するため、その個々のスイッチをブツシュ・プル状
態で切換えるように構成されている。

装置３の直流電圧スイッチのこのような切換え動作は共
振周波数において生じる、共振電圧の挙動カーブの最小
点即ち反転時点の付近であることが望ましい適正な位相
で結合を生じる故に、切換え損失は最小限度に抑えられ
る。制御パルスは、さもなければ過度の発振状態即ちオ
ーバーシュートを生じるおそれがあるため、発振周波数
の周期と比較して短い周期でなければならない。

電源のオンの切換えと同時に、再トリガー可能な単安定
フリップフロップを含む双投スイッチ８は、直流電圧ス
イッチング装置３の制御が発振器９の周波数で生じるよ
うに切換えられる。このように、全負荷においてさえ確
実なオン切換え動作が保証さする。無効電力損失を最小
限度に抑えるため、発振器９の周波数は最大負荷におけ
る二次回路１４の共振周波数に設定される。別の可能性
は、生じ得る動作点における共振周波数と対応するよう
に発振器９の周波数を選択することである。周波数検出
装置７による二次回路１４の実際の共振周波数の検出の
後で双投スイッチ８が切換えられ、その時直流電圧スイ
ッチング装置３の制御がフィードバックされつつある信
号に従って生じる。

周波数調整回路１６に加えて、装置即ち構成要素１１乃
至１３を含む電圧調整回路１７が設けられる。この電圧
調整回路１７の所要値／実際値の電圧コンパレータ１１
は、二次側巻線電圧を予め定めた電圧と比較する。並列
な発振回路から与えられる気体放電の発生中、放電開始
電圧を超えた時抵抗が変化する。この負荷の変化は、共
振周波数の周期および電圧の低下を生じる結果となる。

電圧調整回路１７はこの時パルス巾変調により電圧を調
整することができ、その間制御パルスの巾は電圧調整装
置１３の信号に従って変更され、その結果二次回路１４
の共振周波数もまた変化する。図面には示さない別の変
更された構成においては、この電圧調整は例えば人力整
流器１に配置された位相シフト制御装置によって直流レ
ベルの調整により行なうことができる。これもまた図示
しない別の可能性は、例えば負荷６がオゾン発生装置で
ある時、生じるオゾンの量を介する負荷６の作用による
調整作用にある。従って、オゾンの量即ち発生率が測定
され、またこれが所要の値から偏る時、前に述べたたよ
うに電圧を制御することにより訂正措置がとられる。

保持用コンデンサ５は、変圧器４の二次側巻線と共に、
基本共振周波数を有する発振回路を形成する。負荷６を
この発振回路に導入することにより、二次回路１４の全
共振周波数は基本共振周波数に関連して変化する。この
全共振周波数の直流電圧スイッチング装置３のスイッチ
ング周波数による確実な追跡を確実にするため、基本共
振周波数の全共振周波数への変化はできるだけ小さくす
べきである。従って、保持用コンデンサ５は、共振周波
数におけるこの変化が可能ならば５０％より小さくなる
ような大きさが与えられる。

１０ｋＶ　（実効値）までの電圧に対する保持用コンデ
ンサは非常に高価である。従って、保持機能は変圧器４
の二次側におけるある特定のタップを用いて僅かに数ボ
ルト程度の比較的低電圧の範囲内で提供することができ
る。この場合、電気エネルギは二次側に設けられた共振
回路において比較的低い電圧で発振し、これと対照的に
、負荷６は高電圧レベルの電気エネルギが与えられる。

その時変圧器４の二次側巻線は特定の回路に含まれる部
分で比較的大きな直径が与えわ、負荷６に対する高電圧
電源に含まれる部分においては比較的小さな直径が与え
られる。

第１図に示される例示的な構造においては、二次回路１
４は前述の如く、並列の発掘回路として構成されている
。しかし、二次回路は無論直列の発振回路としても構成
できることが判るであろうが、この場合電圧ではなく電
流が調整されることになろう。

本発明の高電圧電源装置がオゾン発生装置の付勢のため
使用される時は、二次電圧がある予め定めた最大許容値
を超えるか、あるいはオゾン濃度またはイオン濃度が高
くなり過ぎる場合に、高電圧を遮断する可能性が提供さ
れる。

更にまた、直流電圧スイッチング装置３のＰ−ＭＯＳス
イッチによる電流制限が行なわれる。この方式を用いる
ことにより、回路構造は短絡がなく過大電流を阻止する
。フィードバック巻線または二次回路１４に含まれる非
常に高い抵抗の分圧器から選択的に生じるフィードバッ
ク信号が同時に装置自体の高電圧の表示を行なうために
使用される。フィードバック巻線において得られる信号
はまた、変圧器のシメトリ性および強磁性体の飽和度の
試験のためにも用いられる。

図面の第２図は本発明の高電圧電源装置の変更された構
造を示し、これにおいては照合番号１８により示される
周波数調整回路が、第１図に関して先に述べた周波数調
整回路１６とはやや異った構成を有する。第２図におい
ては、構成要素１乃至６は第１図のそれと対応し、従っ
て前と同じ照合番号が同じ要素の識別のため用いられて
いる。両方の構造においては、直流電圧スイッチング装
置３は全装または土製遮断器として構成することができ
、かつ完全一致動作またはブツシュ・プル動作で作動し
得る。また、電子スイッチならびにガス封入管等の如き
異なる電力スイッチを用いることも可能である。既に述
べたように、保持用コンデンサ５を使用することは全く
必要がなく、むしろ保持用コンデンサ５は選択的に使用
することかできる。

第２図に示されるように、変圧器４の二次側は二次側か
ら直接もしくは別の巻線と結合され、あるいは分圧器を
介してインピーダンス・トランスジューサ、ゼロ交差検
出器および選択的にピーク値検出器を含み、かつ変圧器
４の二次側に生じる信号の周波数と位相についての情報
を含む矩形波信号をこれに入る正弦波の人力信号から形
成するアナログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）コンバータ２０
と結合される。

Ａ／Ｄコンバータ２０の出力は、移相器およびレベル調
整回路を含む信号処理装置２１の入力側と結合されてい
る。更に、直流電圧スイッチング装置３がブツシュ・プ
ル状態で作動する場合の周波数結合装置を設けることが
できる。

信号処理装置２１はスイッチング回路網制御回路２２の
入力側と結合され、この回路はランプ・ゼネレータとし
て構成される少なくとも１つの周波数ゼネレータ２３と
コンパレータ２４とを含んでいる。

この周波数ゼネレータ２３は、コンパレータ２４の１つ
の入力と結合される出力を有する。コンパレータの電圧
は、コンパレータ２４の他の入力側に対して与えられる
。このコンパレータ電圧は、恒久的に予め設定しあるい
は手動で調整することもでき、あるいは更に別の調整回
路２７によって決定することもできる。この調整回路２
７は、第１図に従って、変圧器４の二次側に生じる電圧
が所要の値と比較される電圧制御または調整回路として
構成することができ、この比較の結果に従う電圧の値が
コンパレータ２４の他の入力端に与えられる。

しかし、調整回路２７はまた、調整がオゾン発生装置に
おいて測定され所要のｌ値と比較されるＣＯ３−濃度に
基いて生じるように構成することもできる。

スイッチング回路網制御回路２２は、調整可能な即ちプ
ログラム可能な分圧器２５を介して分圧回路２６と結合
され、この回路の出力は再び直流電圧スイッチンク装置
３の制御入力端と結合される。

周波数調整回路１８の作用は下記の如くである。

既に本文に述べたように、変圧器４の二次側に生じる信
号の周波数および位相についての情報を保有するディジ
タル信号がＡ／Ｄトランスジューサ２０の出力側に与え
られる。信号処理装置２１のレベルの調整は、例えば、
周波数に従って指示された電圧パルスを生じる微分回路
として構成することができる。これらの電圧パルスはラ
ンプ・ゼネレータ２３の位相の固定的同期のため供され
、その結果二次回路Ｉ４の信号の周波数および位相と対
応するそれを有する鋸波状信号がコンパレータ２４の１
つの入力端に与えられる。この鋸波状信号は調整回路２
７から与えられる電圧の値と比較され、その結果パルス
巾変調パルスがコンパレータ２４の出力側に与えられる
。次にこれらのパルス巾変調された信号が、立上りの急
なエネルギ結合状態を得るため駆動回路２６を介して直
流電圧スイッチング装置３に対して与えられる。上に述
べ例示した構造においては、ランプ・ゼネレータか使用
されている。しかし、異なる構造の他の位相の固定的な
同期が可能な発振器ならびにＰＬＬ回路をその代りに用
いることは痛論可能である。

既に本文に述べたように、予め定めた正弦波の発振範囲
内、例えば共振電圧の挙動カーブの反転部の付近および
望ましくは最小値もしくはその付近におけるのエネルギ
結合が、スイッチング損失を低く維持することができる
ためには有利であることを証明した。パルス状の結合信
号を正弦波状発振内の所要位置に移相するために信号処
理装置２１は上記の移相器が設けられるが、この移相器
により信号処理装置２１により与えられる電圧の点の位
相、従って鋸波状信号の位相をシフトすることができる
。

更に、オゾン発生装置の作用範囲即ち出力範囲の変更の
ためには調整可能な即ちプログラム可能な分圧器２５が
設けられ、これによりエネルギ結合に対する周期数の関
係が変更でき、その結果エネルギ結合が所要の作用範囲
即ち出力範囲および二次回路１４の正弦波信号のｎ番目
（ｎ＝１１．、ｎ）の発掘毎に然るべく選択される分割
因数に従って生じる。

自由に発振し切換えられる回路電源の組合せを構成する
本発明による方法および装置の使用により、オゾン等の
発生のための発振エネルギの使用に含まれる自由に発振
する電源の利点および切換えられる動作をもたらす結果
となる立上りの急なエネルギ結合の利点が相互に組合さ
れるのである。

本発明による装置構造の上記の事例においては、個別の
周波数調整回路が常に提供されている。本発明の簡単な
実施は、二次回路の共振周波数に恒久的に設定される発
振器を単に使用するものであるが、エネルギ結合のため
の制御パルスはこの発振器の安定した共振周波数出力信
号から得られる。

本発明についてはオゾン発生装置のための電源装置の特
定構造において実施されるものとして本文に述べ例示し
たが、本発明により種々の修正および構造的な変更が可
能であり考えられるため、本発明はこのような特定の構
造の細部に限定されるものではない。このため、本発明
の範囲は専ら頭書の特許請求の範囲によって決定される
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の高電圧電源を示す概略回路図、および
第２図は本発明の高電圧電源の変更された構造例を示す
第１図と類似の回路図である。１・・・人力整流器、２・・・保持兼等化コンデンサ、
３・・・直流電圧スイッチング装置、４・・・高電圧変
圧器、５・・・保持用コンデンサ、６・・・負荷、７・
・・周波数検出装置、８・・・双投スイッチ、９・・・
発振器、１０・・・パルス発生装置、１１−・・電圧コ
ンパレータ、１２・・・電圧設定装置、１３・・・電圧
調整装置、１４−・・二次回路装置、１５−・・入力、
１６・・・周波数調整回路、１７・・・電圧調整回路、
１８・・・周波数調整回路、２０・・・アナログ／ディ
ジタル（Ａ／Ｄ）コンバータ、２１−・・信号処理装置
、２２・・・スイッチング回路網制御回路、２３・・・
周波数ゼネレータ、２４・・・コンパレータ、２５・・
・分圧器、２６・・・分圧回路、２７・・・調整回路。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）気体放電状態において用いられる如きインピーダ
ンス型負荷に対する中間周波および高周波の高電圧を提
供する方法において、交番回路電圧を整流し、整流された電圧を交番パルス電圧に変換し、前記交番パルス電圧を変圧し、変圧された該電圧を、負荷のインピーダンスに依存する
共振周波数を有する二次回路における負荷に対して提供
し、前記変換ステップを前記二次回路の共振周波数に従って
制御するステップからなることを特徴とする方法。
（２）前記制御ステップが、前記二次回路に生じる正弦
波信号を、該正弦波信号の周波数および位相についての
情報を保持しかつ正弦波信号の周期に比較して小さなパ
ルス巾を有する位相固定されたパルス状の制御信号に変
更し、前記制御信号を用いて前記変換ステップ中に周期
的なエネルギ結合を行なうステップを含むことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の方法。
（３）前記制御ステップが更に、前記制御信号の位相を
シフトして、前記正弦波信号の周期の予め定め得る時点
において制御信号を結合するステップを含むことを特徴
とする特許請求の範囲第２項記載の方法。
（４）前記制御信号の結合が低電圧において生じること
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の方法。
（５）前記制御信号の結合が、共振電圧の最小値付近に
おいて生じることを特徴とする特許請求の範囲第４項記
載の方法。
（６）前記制御信号の結合が、共振電圧の反転時点付近
において生じることを特徴とする特許請求の範囲第４項
記載の方法。
（７）前記制御信号の結合が、前記二次回路の正弦波信
号のｎ番目毎に生じることを特徴とする特許請求の範囲
第２項記載の方法（但し、ｎは１、２、、、ｎ）。
（８）前記負荷における電圧のある予め定めた値への調
整ステップを更に含むことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の方法。
（９）前記調整ステップが、前記制御信号のパルス巾を
制御するステップを含むことを特徴とする特許請求の範
囲第８項記載の方法。
（１０）前記調整ステップが、直流レベルの調整を行な
うステップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第８
項記載の方法。
（１１）前記負荷における電流をある予め定めた値に調
整するステップを更に含むことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の方法。
（１２）前記調整ステップが、前記制御信号のパルス巾
を制御するステップを含むことを特徴とする特許請求の
範囲第１１項記載の方法。
（１３）前記調整ステップが、直流レベルの調整を行な
うステップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１
１項記載の方法。
（１４）前記負荷により生じる効果をある予め定めた値
に調整するステップを更に含むことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の方法。
（１５）前記調整ステップが、前記制御信号のパルス巾
を制御するステップを含むことを特徴とする特許請求の
範囲第１４項記載の方法。
（１６）前記調整ステップが直流レベルの調整を行なう
ステップを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１４
項記載の方法。
（１７）気体放電状態において用いられる如きインピー
ダンス型負荷に対する中間周波および高周波の高電圧を
提供する装置において、ある交番する回路電圧を整流するための回路整流器を含
む整流装置と、前記整流装置からの整流された電圧を交番するパルス電
圧に変換するスイッチング装置と、一次側と二次側の巻
線装置を備え、前記スイッチング装置からの交番パルス
電圧を変圧するよう作用する高電圧変圧装置と、前記変圧装置からの変圧された電圧を前記負荷のインピ
ーダンスに依存する共振周波数を有する負荷に対して与
える二次回路装置と、前記二次回路装置の共振周波数に調整される発振器を含
む、前記スイッチング装置を制御する制御装置とを設け
ることを特徴とする装置。
（１８）前記スイッチング装置が、Ｐ−ＭＯＳトランジ
スタとして構成される電子スイッチを含むことを特徴と
する特許請求の範囲第１７項記載の装置。
（１９）前記変圧装置の前記二次側巻線に対して並列に
置かれる保持用コンデンサを更に設けることを特徴とす
る特許請求の範囲第１７項記載の装置。
（２０）前記変圧装置の前記二次側巻線に対し並列に置
かれた保持用コンデンサを更に設けることを特徴とする
特許請求の範囲第１８項記載の装置。
（２１）気体放電状態において用いられる如きインピー
ダンス型負荷に対する中間周波および高周波の高電圧を
提供する装置において、ある交番する回路電圧を整流するための回路整流器を含
む整流装置と、前記整流装置からの整流された電圧を交番するパルス電
圧に変換するスイッチング装置と、一次側と二次側の巻
線装置を備え、前記スイッチング装置からの交番パルス
電圧を変圧するよう作用する高電圧変圧装置と、前記変圧装置からの変圧された電圧を前記負荷のインピ
ーダンスに依存する共振周波数を有する負荷に対して与
える二次回路装置と、前記二次回路装置の共振周波数に従って前記スイッチン
グ装置を調整するための周波数調整装置を含む、前記ス
イッチング装置を制御する制御装置とを設けることを特
徴とする装置。
（２２）前記周波数調整装置が、前記二次回路装置の共
振周波数に対して位相の固定的な同期が可能な発振器を
含むことを特徴とする特許請求の範囲第２１項記載の装
置。
（２３）前記周波数調整装置が、前記二次回路装置にお
ける共振周波数を検出しかつ検出された共振周波数を表
わす第１の出力信号を生じる装置と、前記二次回路にお
いて予期される予め定めた共振周波数に恒久的に設定さ
れかつ前記の予め定めた共振周波数を表わす第２の出力
信号を生じる発振器と、装置の動作の始動位相のみにお
けるエネルギ結合のための前記制御信号として前記第２
の出力信号を用い、かつ前記検出装置が前記二次回路装
置の共振周波数を検出した後、前記第２の出力信号を除
いて前記検出装置から得られた前記第１の信号を前記制
御信号として用いて前記検出装置に切換えるよう作用す
る別の切換え装置とを含むことを特徴とする特許請求の
範囲第２１項記載の装置。
（２４）前記制御装置が更に、前記二次回路装置の正弦
波信号の周期のある予め定めることができる時点と対応
するように前記制御信号の位相をシフトする装置を含む
ことを特徴とする特許請求の範囲第２１項記載の装置。
（２５）前記制御装置が更に、前記二次回路装置の正弦
波信号のｎ番目の周期毎に前記制御信号の結合を生じさ
せる分圧器を含むことを特徴とする特許請求の範囲第２
１項記載の装置（但し、ｎは１、２、、、ｎ）。
（２６）前記スイッチング装置が、Ｐ−ＭＯＳトランジ
スタとして構成される電子スイッチを含むことを特徴と
する特許請求の範囲第２１項記載の装置。